EP2550517A1 - Thermosonde active - Google Patents

Thermosonde active

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Publication number
EP2550517A1
EP2550517A1 EP11711794A EP11711794A EP2550517A1 EP 2550517 A1 EP2550517 A1 EP 2550517A1 EP 11711794 A EP11711794 A EP 11711794A EP 11711794 A EP11711794 A EP 11711794A EP 2550517 A1 EP2550517 A1 EP 2550517A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
temperature
measuring
energy input
state
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP11711794A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Renè BARTSCH
Ruben Wiese
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leibniz Institut fuer Plasmaforschung und Technologie eV
Original Assignee
Leibniz Institut fuer Plasmaforschung und Technologie eV
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Filing date
Publication date
Application filed by Leibniz Institut fuer Plasmaforschung und Technologie eV filed Critical Leibniz Institut fuer Plasmaforschung und Technologie eV
Publication of EP2550517A1 publication Critical patent/EP2550517A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00—Measuring quantity of heat
    • G01K17/06—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device
    • G01K17/08—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature
    • G01K17/20—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature across a radiating surface, combined with ascertainment of the heat-transmission coefficient
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00—Measuring quantity of heat
    • G01K17/04—Calorimeters using compensation methods, i.e. where the absorbed or released quantity of heat to be measured is compensated by a measured quantity of heating or cooling

Definitions

  • the active thermo probe allows for the first time the continuous measurement of the active thermo probe
  • Controller decision takes place in the highest possible clock frequency. This state is left as soon as possible, so that it can continue to be worked and measured without major power fluctuations in state 1. However, condition 2 will not exit immediately when the target temperature is reached again. Instead, the controller works with a delay over a certain period of time, in which the target temperature is maintained. If this is the case, the average heating power is used, which was spent during this period in which the target temperature was maintained uninterrupted. Only when that is done, is the Regulator returns to state 1, with the calculated average heat output from the last phase of state 2 as start value.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Control Of Temperature (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

La thermosonde active et le procédé permettant de mesurer en continu l'apport d'énergie ainsi que le procédé permettant de régler la température au point de mesure sont utilisés lors de la mesure en continu de l'apport d'énergie, entre autres, lors du diagnostic et du réglage de processus technologiques au plasma. Le but de l'invention est de mesurer l'apport d'énergie sur la surface de la sonde en fonction de la direction et d'empêcher des flux de chaleur indésirables entre la sonde et ses conduits d'alimentation et raccords sans que les résultats de mesure de la thermosonde soient falsifiés. De plus, les fluctuations de la puissance calorifique doivent être réduites à un minimum pendant le réglage. La caractéristique principale de cette invention réside dans la mesure de l'apport d'énergie qui est indépendante de la direction en compensant de manière absolue l'émission de chaleur qui vient de la direction opposée et ne doit pas contribuer à la valeur de mesure. À cet effet, une surface de mesure chauffée est appliquée sur la face inférieur et sur la face supérieur d'un mince support et ces surfaces de mesure chauffées sont raccordées chacune à un réglage de température séparé, la température des deux surfaces de mesure chauffées étant maintenue constante au même niveau et, lors d'un changement de l'apport d'énergie sur les surfaces de mesure, la puissance calorifique est réduite chaque fois séparément. La réduction de la puissance calorifique représente une grandeur pour l'énergie arrivant sur la surface de mesure et les apports d'énergie sont mesurés séparément l'un de l'autre sur la face arrière et sur la face avant de la thermosonde.
EP11711794A 2010-03-22 2011-03-07 Thermosonde active Withdrawn EP2550517A1 (fr)

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DE102010003124 2010-03-22
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EP11711794A Withdrawn EP2550517A1 (fr) 2010-03-22 2011-03-07 Thermosonde active

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EP (1) EP2550517A1 (fr)
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