EP2666340B1 - Dielektrische koplanarentladungsquelle für eine oberflächenbehandlung unter atmosphärendruck - Google Patents

Dielektrische koplanarentladungsquelle für eine oberflächenbehandlung unter atmosphärendruck Download PDF

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EP2666340B1
EP2666340B1 EP11852212.7A EP11852212A EP2666340B1 EP 2666340 B1 EP2666340 B1 EP 2666340B1 EP 11852212 A EP11852212 A EP 11852212A EP 2666340 B1 EP2666340 B1 EP 2666340B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
discharge source
grooves
coplanar
electrodes
range
Prior art date
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Not-in-force
Application number
EP11852212.7A
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English (en)
French (fr)
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EP2666340A2 (de
Inventor
Wolfgang Viöl
Dennis Hoffmeister
Roland Damm
Stephan Wieneke
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Hochschule fuer Angewandte Wissenschaft und Kunst Hildesheim Holzminden Gottingen
Original Assignee
Hochschule fuer Angewandte Wissenschaft und Kunst Hildesheim Holzminden Gottingen
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Publication date
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Publication of EP2666340A2 publication Critical patent/EP2666340A2/de
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • H05H1/2418—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes the electrodes being embedded in the dielectric

Definitions

  • the invention relates to a coplanar dielectric discharge source having two elongated electrodes which have a common dielectric shield and which are parallel to each other and parallel to a free surface of the shield.
  • a discharge source typically provides a plasma due to an electrical discharge through a gas.
  • the gas discharge is dielectrically impeded.
  • Such a dielectric barrier often allows the gas discharge to be ignited and maintained at atmospheric pressure in a working gas or air.
  • other reactive species are generated by a gas discharge, which are not necessarily to be described as plasma. Therefore, it is deliberately not restricted to a plasma source.
  • two electrodes are not diametrically opposed by gas volume, but both electrodes are under the same surface of a dielectric.
  • an object with a surface to be treated which is brought into the vicinity of the surface of the dielectric in front of the electrodes, does not act as a counterelectrode.
  • a surface opposite the free surface of the dielectric is much less bombarded with ions than one with a surface of a surface acting as a counter electrode of the gas discharge to a plasma or generally to be treated with reactive species from a gas discharge.
  • a coplanar dielectric discharge source therefore lends itself to surface treatment under atmospheric pressure even from sensitive surfaces, such as those of biological material, including human skin.
  • the treatment of biological materials by means of a dielectric discharge source at atmospheric pressure is z. B. from the DE 103 24 926 B3 basically known.
  • a dielectric discharge source having two elongate electrodes which are parallel to each other and each disposed within a hollow fiber of dielectric material is known.
  • the two electrodes function as an electrode or counter electrode for a dielectrically impeded gas discharge which forms over the dielectric of the hollow fibers.
  • a microchannel plasma device in which plasma-driving electrodes are embedded in a flat body of oxide parallel to each other. Parallel to the electrodes and between them, microchannels are introduced into a surface of the molding. The two adjacent to a microchannel electrodes, which are isolated from the channel by the oxide, each individually be driven to generate plasma in the channel.
  • a planar electrode is provided in the oxide shaped body, and a counter electrode faces the parallel microchannels in the one surface of the molded body, and in turn opposite the channels, which are electrically insulated.
  • a large-area radiator which generates ultraviolet radiation by means of a dielectric discharge.
  • mutually parallel electrodes are provided with grooves in their respective dielectric shield.
  • the grooves may be triangular or circular in cross section and have no sharp corners or edges.
  • the axes of the grooves are perpendicular to the conductive elements of the electrodes and perpendicular to one of a plurality of electrodes arranged parallel to each other formed electrode array.
  • the grooves in the dielectric shields of the individual electrodes are thus opposite each other.
  • the dielectrically impeded discharge takes place between the electrodes.
  • the invention has for its object to provide a dielectric Koplanarentladungsario that is particularly well suited for forming a mobile hand-held device for surface treatments at atmospheric pressure, in particular low-stimulus planar treatments of biological material, but also simple Lacktechnischsvornessen of electrically poorly conductive substrates such. As plastics to perform.
  • the object of the invention is achieved by a coplanar dielectric discharge source having the features of independent claim 1.
  • the claims 2 to 10 relate to preferred embodiments of the new coplanar discharge source.
  • Claim 11 is directed to a specific use of the new coplanar discharge source.
  • the shield has grooves in the free surface transverse to the electrodes.
  • the course of the grooves transversely to the electrodes means that the grooves are not aligned parallel to the grooves and extend as short a path as possible from one electrode to the other electrode.
  • the grooves can also run diagonally to the electrodes; which is not preferred.
  • the grooves or grooves result in a modulation of the electric field across the free surface which facilitates the ignition of the gas discharge over the entire area of the free surface provided with the grooves.
  • the gas discharge and thus the resulting plasma or other reactive species are distributed evenly over the free surface of the dielectric and thus allow a uniform large-area treatment.
  • the grooves prevent in the case of placing the free surface of the dielectric on a surface to be treated a full-surface investment of the free surface on the surface.
  • the grooves still form channels with a defined free cross section, in which the gas discharge can continue to take place.
  • the grooves extend in the free surface of the dielectric in the new coplanar discharge source with respect to their length at least from one of the electrodes to the other electrode. It is preferred if the grooves extend across the full width of the shielding transversely to the main direction of extension of the electrodes.
  • the grooves run parallel to one another and thus in the projection onto the free surface perpendicular to the electrodes. This implies that the grooves have a straight course.
  • a lateral spacing of the grooves is typically 0.5 to 2 times the width of the grooves. It is preferred if the lateral spacing of the grooves is the same size as the width of the grooves. In absolute terms, the width of the grooves is in a typical range of 0.2 to 3 mm, preferably a width of 0.8 to 1.2 mm, ie about 1 mm.
  • the depth of the grooves is typically in a range of 0.2 to 2 mm. Preferably, the depth is 0.3 to 0.7 mm, d. H. about 0.5 mm.
  • the grooves generally have a rectangular free cross section; but also a slightly trapezoidal free cross-section is possible. Less preferred is a triangular or semicircular free cross section of the grooves.
  • the electrodes in the new coplanar discharge source in turn, preferably run in a straight line at a distance of 2 to 20 mm from each other and also to the free surface of the dielectric. Particularly preferably, these two distances 8 to 12 mm, d. H. about 1 cm.
  • the electrodes are regularly each longer than their lateral distance, preferably by a multiple.
  • the prerequisites for generating a defined dielectrically impeded discharge over the free surface are particularly good in the case of the new coplanar discharge source. They therefore make it possible to operate an AC voltage source for applying the AC voltage required for the gas discharge between the two electrodes also from batteries or other accumulators.
  • the new coplanar discharge source can have a pulsed AC voltage source which applies a bipolar AC voltage of high-frequency pulse packets in the form of decaying sinusoidal oscillations between the electrodes.
  • the natural frequency of these sinusoidal oscillations may be in a typical range of 10 kHz to 200 kHz, for example about 40 kHz, while a repetition frequency of the pulse packets is in a typical range of 200 Hz to 10 kHz and can also be varied within this range to be optimal Conditions provided by the applied bipolar alternating high voltage for each desired treatment of a surface at atmospheric pressure.
  • the amplitude of the alternating high voltage is typically in the kilovolt range. It is about 35 kV at the beginning of the pulse packets.
  • An AC voltage source with the electrical parameters defined above can easily be part of a battery-powered or accumulator-operated hand-held device, so that the new coplanar discharge source can be used simply and mobile.
  • Preferred uses of the novel coplanar discharge source are the treatment of biological material, particularly human skin, and the paint pretreatment of surfaces of poorly electrically conductive materials, in particular Plastics, such as plastic bumpers and plastic housings, especially of motor vehicles, in preparation for repainting.
  • the new coplanar discharge source 10 incorporated in the Fig. 1 and 2 has two elongate and at a fixed distance parallel to each other arranged electrodes 1.
  • the electrodes 1 are embedded in a solid body 11 of a dielectric 2, which forms a dielectric shield 12 of the electrodes.
  • a free surface 13 of the shield 12 which faces an object 4 with a surface 14 to be treated, 1 grooves 5 are provided transversely to the course of the electrodes.
  • the grooves 5 extend over the entire width of the shield 12 parallel to each other. Their width is about the same as their lateral distance and is in each case about 1 mm.
  • the depth of the grooves 5 is at a rectangular free cross section of the grooves 5 is about 0.5 mm. D.
  • the width and the depth of the grooves 5 is in Fig. 2 not reproduced to scale. This also applies to the distance of the electrodes 1 from each other and to the surface 13, which is in each case about 1 cm.
  • the grooves 5 deform the electric field across the free surface 13 upon application of a voltage between the electrodes 1 to an AC voltage source 15 (only in FIG Fig. 1 shown). This deformation of the electric field leads to a lighter ignition of the gas discharge in the region of the grooves 5 and prevents extinction of the gas discharge even when the coplanar discharge source 10 is placed with the free surface 13 on the surface 14 of the object 4 to be treated.
  • an electrical discharge is also formed, which is hindered by the dielectric 2, but primarily in the regions between the regions of the surface 13 in front of both electrodes and the directly opposite regions of the surface 14 of the object 4.
  • the AC voltage source applies a pulsed alternating high voltage between the two electrodes 1.
  • the maximum amplitude of this alternating high voltage is 35 kV.
  • the alternating high voltage consists of pulse clocks whose repetition frequency can be varied between 200 Hz and 10 kHz.
  • the waveform of the individual pulse packets is a decaying sine wave with a natural frequency of about 40 kHz.
  • the new coplanar discharge source is particularly suitable for low-irritation treatment of biological material, such as human skin, because on the surface to be treated in principle no relevant current flows and no relevant ion bombardment takes place. Rather, a sliding discharge 3 occurs which, starting from the grooves 5, extends over the entire free surface 14 of the dielectric shield 12 in front of Electrodes 1 spreads.
  • the new coplanar discharge source is in a paint pretreatment of surfaces of poorly electrically conductive materials, such as plastics.
  • the coplanar discharge source can be used to treat plastic bumpers or plastic rear-view mirror housings or other plastic parts of motor vehicles before repainting.

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Description

    TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine dielektrische Koplanarentladungsquelle mit zwei gestreckten Elektroden, die eine gemeinsame Abschirmung aus Dielektrikum aufweisen und die parallel zueinander und parallel zu einer freien Oberfläche der Abschirmung verlaufen.
    • STAND DER TECHNIK
  • Eine Entladungsquelle, so wie dieser Begriff hier verwendet wird, stellt typischerweise ein Plasma aufgrund einer elektrischen Entladung durch ein Gas bereit. Bei einer dielektrischen Entladungsquelle ist die Gasentladung dielektrisch behindert. Eine derartige dielektrische Behinderung erlaubt es häufig, die Gasentladung bei Atmosphärendruck in einem Arbeitsgas oder Luft zu zünden und aufrecht zu erhalten. Neben dem Plasma, worunter hier ausschließlich ein physikalisches Plasma zu verstehen ist, werden durch eine Gasentladung auch andere reaktive Spezies erzeugt, die nicht zwingend als Plasma zu bezeichnen sind. Deshalb wird hier bewusst nicht einschränkend von einer Plasmaquelle gesprochen.
  • Bei dielektrischen Koplanarentladungsquellen liegen sich zwei Elektroden nicht diametral über ein Gasvolumen gegenüber, sondern beide Elektroden liegen unter derselben Oberfläche eines Dielektrikums. Insbesondere wirkt dabei ein Objekt mit einer zu behandelnden Oberfläche, das in die Nähe der Oberfläche des Dielektrikums vor den Elektroden gebracht wird, nicht als Gegenelektrode. Dies führt dazu, dass eine der freien Oberfläche des Dielektrikums gegenüberliegende Oberfläche sehr viel weniger stark mit Ionen bombardiert wird als eine mit einem Plasma oder allgemein mit reaktiven Spezies aus einer Gasentladung zu behandelnde Oberfläche eines als Gegenelektrode der Gasentladung wirkenden Objekts.
  • Eine dielektrische Koplanarentladungsquelle bietet sich daher zur Oberflächenbehandlung unter Atmosphärendruck auch von empfindlichen Oberflächen, wie beispielsweise solchen von biologischem Material, einschließlich menschlicher Haut, an. Die Behandlung von biologischen Materialien mit Hilfe einer dielektrischen Entladungsquelle bei Atmosphärendruck ist z. B. aus der DE 103 24 926 B3 grundsätzlich bekannt.
  • Aus Shahid Rauf und Mark J. Kushner: Dynamics of a coplanar-electrode plasma display panel cell. I. Basic operation, Journal of Applied Physics, Vol. 85, No. 7, S. 3460-3469 ist eine dielektrische Koplanarentladungsquelle mit zwei gestreckten Elektroden, die eine gemeinsame Abschirmung aus Dielektrikum aufweisen und die parallel zueinander und parallel zu einer freien Oberfläche der freien Abschirmung verlaufen, als Teil eines Leuchtdisplays bekannt, in dem in einem Xenonplasma auftretende UV-Strahlung durch Phosphor in sichtbares Licht umgewandelt wird. Für eine Oberflächenbehandlung insbesondere von biologischen Materialien ist diese dielektrische Koplanarentladungsquelle weder vorgesehen, noch geeignet.
  • Aus der DE 10 2007 030 915 A1 ist eine dielektrische Entladungsquelle mit zwei gestreckten Elektroden bekannt, die parallel zueinander verlaufen und jeweils innerhalb einer Hohlfaser aus dielektrischem Material angeordnet sind. Bei Anlegen einer entsprechenden Spannung fungieren die beiden Elektroden als Elektrode bzw. Gegenelektrode für eine sich über dem Dielektrikum der Hohlfasern ausbildende dielektrisch behinderte Gasentladung.
  • Z. B. aus der EP 1 534 099 A1 ist es bekannt, ein elektrisch schlecht leitende Oberfläche mit Hilfe einer dielektrisch behinderten Entladung unter Atmosphärendruck für eine Lackierung vorzubehandeln. Nach der EP 1 534 099 A1 ist diese Oberfläche diejenige eines Finger- oder Zehennagels.
  • Aus der WO 2009/140509 A1 ist eine Mikrokanalplasmavorrichtung bekannt, bei der in einen flachen Körper aus einem Oxid parallel zueinander verlaufenden, dass plasmatreibende Elektroden eingebettet sind. Parallel zu den Elektroden und jeweils zwischen Ihnen, sind Mikrokanäle in eine Oberfläche des Formkörpers eingebracht. Die beiden an einen Mikrokanal angrenzenden Elektroden, die gegenüber dem Kanal durch das Oxid isoliert sind, können jeweils einzeln zur Erzeugung von Plasma in dem Kanal angesteuert werden. In einer alternativen Ausführungsform der Mikrokanalplasmavorrichtung ist in dem Formkörper aus Oxid eine flächige Elektrode vorgesehen, und eine Gegenelektrode liegt den parallelen Mikrokanälen in der einen Oberfläche des Formköpers gegenüber und dabei ihrerseits gegenüber den Kanälen, die elektrisch isoliert.
  • Aus der WO 02/23960 A1 ist eine dielektrische Koplanarentladungsquelle mit den Merkmalen des Oberbegriffs des unabhängigen Patentanspruchs 1 bekannt.
  • Aus der WO 99/41767 A1 ist ein großflächiger Strahler bekannt, der ultraviolette Strahlung durch eine dielektrische Entladung erzeugt. Um die Orte von erzeugten Plasmamikrofilamenten in dem Strahler zu verteilen, sind parallel zueinander angeordnete Elektroden mit Rillen in ihrer jeweiligen dielektrischen Abschirmung versehen. Die Rillen können von dreieckigem Querschnitt oder rundem Querschnitt sein und haben keine scharfen Ecken oder Kanten. Die Achsen der Rillen verlaufen senkrecht zu den leitfähigen Elementen der Elektroden und senkrecht zu einem aus einer Mehrzahl von parallel zueinander angeordneten Elektroden ausgebildeten Elektrodenarray. Die Rillen in den dielektrischen Abschirmungen der einzelnen Elektroden liegen so einander gegenüber. Bei dem bekannten Strahler erfolgt die dielektrisch behinderte Entladung zwischen den Elektroden.
    • AUFGABE DER ERFINDUNG
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine dielektrische Koplanarentladungsquelle aufzuzeigen, die besonders gut zur Ausbildung eines mobilen Handgeräts für Oberflächenbehandlungen bei Atmosphärendruck geeignet ist, um insbesondere reizarme flächige Behandlungen von biologischem Material, aber auch einfache Lackierungsvorbehandlungen von elektrisch schlecht leitenden Substraten, wie z. B. Kunststoffen, durchführen zu können.
    • LÖSUNG
  • Die Aufgabe der Erfindung wird durch eine dielektrische Koplanarentladungsquelle mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1 gelöst. Die Patentansprüche 2 bis 10 betreffen bevorzugte Ausführungsformen der neuen Koplanarentladungsquelle. Der Patentanspruch 11 ist auf eine spezielle Verwendungen der neuen Koplanarentladungsquelle gerichtet.
    • BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Bei der neuen dielektrischen Koplanarentladungsquelle mit zwei gestreckten Elektroden, die eine gemeinsame Abschirmung aus Dielektrikum aufweisen und die parallel zueinander und parallel zu einer freien Oberfläche der Abschirmung verlaufen, weist die Abschirmung quer zu den Elektroden verlaufende Rillen in der freien Oberfläche auf. Dabei bedeutet der Verlauf der Rillen quer zu den Elektroden, dass die Rillen nicht parallel zu den Rillen ausgerichtet sind und sich auf möglichst kurzem Wege von vor der einen Elektrode bis vor die andere Elektrode erstrecken. Die Rillen können dabei auch diagonal zu den Elektroden verlaufen; was jedoch nicht bevorzugt ist. Die Rillen oder Nuten führen zu einer Modulation des elektrischen Feldes über der freien Oberfläche, die das Zünden der Gasentladung erleichtert, und zwar über den gesamten Bereich der mit den Rillen versehenen freien Oberfläche. D h., die Gasentladung und damit das hieraus resultierende Plasma oder andere reaktive Spezies verteilen sich gleichmäßig über die freie Oberfläche des Dielektrikums und erlauben damit eine gleichmäßige großflächige Behandlung. Zudem verhindern die Rillen im Falle eines Aufsetzens der freien Oberfläche des Dielektrikums auf eine zu behandelnde Oberfläche eine vollflächige Anlage der freien Oberfläche an der Oberfläche. Die Rillen bilden auch dann noch Kanäle mit definiertem freien Querschnitt aus, in denen die Gasentladung weiterhin stattfinden kann. Mit den erfindungsgemäßen Rillen wird der Betrieb einer dielektrischen Koplanarentladungsquelle sehr stark vereinfacht. Der dafür mit dem Einbringen der Rillen in die freie Oberfläche des Dielektrikums zu betreibende Aufwand ist nur gering.
  • Die Rillen erstrecken sich in der freien Oberfläche des Dielektrikums bei der neuen Koplanarentladungsquelle bezogen auf Ihre Länge zumindest von vor der einen Elektrode bis vor die andere Elektrode. Bevorzugt ist es, wenn sich die Rillen über die volle Breite der Abschirmung quer zu der Haupterstreckungsrichtung der Elektroden erstrecken.
  • Weiterhin ist es bevorzugt, wenn die Rillen parallel zueinander und damit in der Projektion auf die freie Oberfläche senkrecht zu den Elektroden verlaufen. Dies schließt ein, dass die Rillen einen geradlinigen Verlauf aufweisen.
  • Ein seitlicher Abstand der Rillen ist typischerweise 0,5 bis 2-mal so groß wie eine Breite der Rillen. Bevorzugt ist es, wenn der seitliche Abstand der Rillen genauso groß ist wie die Breite der Rillen. Absolut liegt die Breite der Rillen in einem typischen Bereich von 0,2 bis 3 mm, bevorzugt ist eine Breite von 0,8 bis 1,2 mm, d. h. etwa 1 mm.
  • Die Tiefe der Rillen liegt typischerweise in einem Bereich von 0,2 bis 2 mm. Vorzugsweise beträgt die Tiefe 0,3 bis 0,7 mm, d. h. etwa 0,5 mm. Die Rillen weisen dabei in aller Regel einen rechteckigen freien Querschnitt auf; aber auch ein leicht trapezförmiger freier Querschnitt ist möglich. Weniger bevorzugt ist ein dreieckiger oder halbkreisförmiger freier Querschnitt der Rillen.
  • Die Elektroden verlaufen bei der neuen Koplanarentladungsquelle ihrerseits vorzugsweise geradlinig in einem Abstand von 2 bis 20 mm untereinander und auch zu der freien Oberfläche des Dielektrikums. Besonders bevorzugt betragen diese beiden Abstände 8 bis 12 mm, d. h. etwa 1 cm. Die Elektroden sind dabei regelmäßig jeweils länger als ihr seitlicher Abstand, vorzugsweise um ein Vielfaches.
  • Die Voraussetzungen zur Erzeugung einer definierten dielektrisch behinderten Entladung über der freien Oberfläche sind bei der neuen Koplanarentladungsquelle besonders gut. Sie ermöglichen es daher, eine Wechselspannungsquelle zum Anlegen der für die Gasentladung benötigten Wechselspannung zwischen den beiden Elektroden auch aus Batterien oder anderen Akkumulatoren zu betreiben. Konkret kann die neue Koplanarentladungsquelle eine gepulste Wechselspannungsquelle aufweisen, die zwischen den Elektroden eine bipolare Wechselspannung aus hochfrequenten Pulspaketen in Form abklingender Sinusschwingungen anlegt. Die Eigenfrequenz dieser Sinusschwingungen kann in einem typischen Bereich von 10 kHz bis 200 kHz, beispielsweise bei etwa 40 kHz liegen, während eine Wiederholungsfrequenz der Pulspakete in einem typischen Bereich von 200 Hz bis 10 kHz liegt und innerhalb dieses Bereichs auch variiert werden kann, um optimale Bedingungen seitens der angelegten bipolaren Wechselhochspannung für die jeweils gewünschte Behandlung einer Oberfläche bei Atmosphärendruck bereitzustellen. Die Amplitude der Wechselhochspannung liegt typischerweise im Kilovoltbereich. Maximal beträgt sie zu Beginn der Pulspakete etwa 35 kV.
  • Eine Wechselspannungsquelle mit den oben definierten elektrischen Parametern kann ohne weiteres Teil eines batterie- oder akkumulatorbetriebenen Handgeräts sein, so dass die neue Koplanarentladungsquelle einfach und mobil einsetzbar ist.
  • Bevorzugte Verwendungen der neuen Koplanarentladungsquelle sind die Behandlung von biologischem Material, insbesondere von menschlicher Haut, und die Lackierungsvorbehandlung von Oberflächen von schlecht elektrisch leitenden Materialien, insbesondere Kunststoffen, wie beispielsweise Kunststoffstoßstangen und Kunststoffgehäusen, insbesondere von Kraftfahrzeugen, zur Vorbereitung für eine Neulackierung.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Patentansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen. Die in der Beschreibungseinleitung genannten Vorteile von Merkmalen und von Kombinationen mehrerer Merkmale sind lediglich beispielhaft und können alternativ oder kumulativ zur Wirkung kommen, ohne dass die Vorteile zwingend von erfindungsgemäßen Ausführungsformen erzielt werden müssen. Weitere Merkmale sind den Zeichnungen - insbesondere den dargestellten Geometrien und den relativen Abmessungen mehrerer Bauteile zueinander sowie deren relativer Anordnung und Wirkverbindung - zu entnehmen. Die Kombination von Merkmalen unterschiedlicher Ausführungsformen der Erfindung oder von Merkmalen unterschiedlicher Patentansprüche ist ebenfalls abweichend von den gewählten Rückbeziehungen der Patentansprüche möglich und wird hiermit angeregt. Dies betrifft auch solche Merkmale, die in separaten Zeichnungen dargestellt sind oder bei deren Beschreibung genannt werden. Diese Merkmale können auch mit Merkmalen unterschiedlicher Patentansprüche kombiniert werden.
    • KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert und beschrieben.
    • Fig. 1
    ist ein Querschnitt durch den prinzipiellen Aufbau der neuen Koplanarentladungsquelle; und
    Fig. 2
    ist ein Längsschnitt durch den prinzipiellen Aufbau gemäß Fig. 1.
    FIGURENBESCHREIBUNG
  • Die neue Koplanarentladungsquelle 10, die in den Fig. 1 und 2 dargestellt ist, weist zwei langgestreckte und in einem festen Abstand parallel zueinander angeordnete Elektroden 1 auf. Die Elektroden 1 sind in einen Festkörper 11 aus einem Dielektrikum 2 eingebettet, das eine dielektrische Abschirmung 12 der Elektroden ausbildet. In einer freien Oberfläche 13 der Abschirmung 12, die einem Objekt 4 mit einer zu behandelnden Oberfläche 14 gegenüberliegt, sind quer zum Verlauf der Elektroden 1 Rillen 5 vorgesehen. Die Rillen 5 verlaufen über die gesamte Breite der Abschirmung 12 parallel zueinander. Ihre Breite ist dabei etwa genauso groß wie ihr seitlicher Abstand und beträgt jeweils etwa 1 mm. Die Tiefe der Rillen 5 beträgt bei rechteckigem freien Querschnitt der Rillen 5 etwa 0,5 mm. D. h., die Breite und die Tiefe der Rillen 5 ist in Fig. 2 nicht maßstabsgetreu wiedergegeben. Dies gilt auch für den Abstand der Elektroden 1 untereinander und zu der Oberfläche 13, der jeweils etwa 1 cm beträgt. Die Rillen 5 deformieren das elektrische Feld über der freien Oberfläche 13 beim Anlegen einer Spannung zwischen den Elektroden 1 mit einer Wechselspannungsquelle 15 (nur in Fig. 1 dargestellt). Diese Deformation des elektrischen Felds führt zu einer leichteren Zündung der Gasentladung im Bereich der Rillen 5 und verhindert ein Erlöschen der Gasentladung selbst dann, wenn die Koplanarentladungsquelle 10 mit der freien Oberfläche 13 auf die Oberfläche 14 des zu behandelnden Objekts 4 aufgesetzt wird. Dies gilt natürlich nur für zu behandelnde Objekte 4 aus schlecht elektrisch leitenden Materialien. Bei Objekten 4 aus gut elektrisch leitenden Materialien bildet sich auch eine elektrische Entladung aus, die durch das Dielektrikum 2 behindert wird, aber primär in den Bereichen zwischen den Bereichen der Oberfläche 13 vor beiden Elektroden und den direkt gegenüberliegenden Bereichen der Oberfläche 14 des Objekts 4.
  • Die Wechselspannungsquelle legt eine gepulste Wechselhochspannung zwischen den beiden Elektroden 1 an. Die maximale Amplitude dieser Wechselhochspannung beträgt 35 kV. Die Wechselhochspannung setzt sich aus Pulspakten zusammen, deren Wiederholungsfrequenz zwischen 200 Hz und 10 kHz variiert werden kann. Die Signalform der einzelnen Pulspakete ist eine abklingende Sinusschwingung mit einer Eigenfrequenz von etwa 40 kHz.
  • Die neue Koplanarentladungsquelle ist insbesondere auch für eine reizarme Behandlung von biologischem Material, wie beispielsweise menschlicher Haut geeignet, weil über die zu behandelte Oberfläche prinzipiell kein relevanter Strom fließt und auch kein relevanter Ionenbeschuss stattfindet. Es tritt vielmehr eine Gleitentladung 3 auf, die sich ausgehend von den Rillen 5 über die gesamte freie Oberfläche 14 der dielektrischen Abschirmung 12 vor den
    Elektroden 1 ausbreitet.
  • Eine weitere bevorzugte Verwendungsmöglichkeit der neuen Koplanarentladungsquelle besteht in einer Lackierungsvorbehandlung von Oberflächen von schlecht elektrisch leitenden Materialien, wie beispielsweise Kunststoffen. So kann die Koplanarentladungsquelle zum Beispiel eingesetzt werden, um Kunststoffstoßstangen oder Kunststoff-Rückspiegelgehäuse oder andere Kunststoffteile von Kraftfahrzeugen vor einer Neulackierung zu behandeln.
    • BEZUGSZEICHENLISTE
    • 1
    Elektrode
    2
    Dielektrikum
    3
    Gleitentladung
    4
    Objekt
    5
    Rille
    10
    Koplanarentladungsquelle
    11
    Formkörper
    12
    Abschirmung
    13
    Oberfläche
    14
    Oberfläche
    15
    Wechselspannungsquelle

Claims (11)

  1. Dielektrische Koplanarentladungsquelle (10) mit zwei gestreckten Elektroden (1), die eine gemeinsame Abschirmung (12) aus Dielektrikum (2) aufweisen und die parallel zueinander und parallel zu einer freien Oberfläche (13) der Abschirmung (12) verlaufen, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschirmung (12) quer zu den Elektroden (1) verlaufende Rillen (5) in der freien Oberfläche (13) aufweist, die sich von vor der einen Elektrode (1) bis vor die andere Elektrode (1) erstrecken.
  2. Koplanarentladungsquelle (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Rillen (5) über die volle Breite der Abschirmung (12) erstrecken.
  3. Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rillen (5) geradlinig und parallel zueinander verlaufen.
  4. Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein seitlicher Abstand der Rillen (5) 0,5- bis 2-mal so groß, vorzugsweise genauso groß, ist wie eine Breite der Rillen (5).
  5. Koplanarentladungsquelle (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite der Rillen (5) 0,2 bis 3 mm, vorzugsweise 0,8 bis 1,2 mm, beträgt.
  6. Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Tiefe der Rillen (5) 0,2 bis 2 mm, vorzugsweise 0,3 bis 0,7 mm, beträgt.
  7. Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rillen (5) einen rechteckigen freien Querschnitt aufweisen.
  8. Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (1) geradlinig in einem Abstand von 2 bis 20 mm, vorzugsweise von 8 bis 12 mm, verlaufen.
  9. Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine gepulste Wechselspannungsquelle (15) zwischen den Elektroden (1) eine bipolare Wechselhochspannung aus hochfrequenten Pulspaketen in Form abklingender Sinusschwingungen mit einer Eigenfrequenz von 10 kHz bis 200 kHz und mit einer Wiederholungsfrequenz im Bereich von 200 Hz bis 10 kHz anlegt.
  10. Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Ausbildung als batterie- oder akkumulatorbetriebenes Handgerät.
  11. Verwendung einer Koplanarentladungsquelle (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 10 zur Lackierungsvorbehandlung von Oberflächen (14) von elektrisch schlecht leitenden Materialien, insbesondere Kunststoffen.
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