EP3201581A1 - Transducteur opto-mécanique pour la détection de vibrations - Google Patents

Transducteur opto-mécanique pour la détection de vibrations

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EP3201581A1
EP3201581A1 EP15784080.2A EP15784080A EP3201581A1 EP 3201581 A1 EP3201581 A1 EP 3201581A1 EP 15784080 A EP15784080 A EP 15784080A EP 3201581 A1 EP3201581 A1 EP 3201581A1
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EP
European Patent Office
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opto
optical fiber
distal end
transducer according
mechanical transducer
Prior art date
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Application number
EP15784080.2A
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German (de)
English (en)
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EP3201581B1 (fr
Inventor
Vivien STAEHLE-BOULIANE
Jean-Michel MALAVIEILLE
François-Louis Malavieille
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Phonoptics
Original Assignee
Phonoptics
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Publication date
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Publication of EP3201581A1 publication Critical patent/EP3201581A1/fr
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Publication of EP3201581B1 publication Critical patent/EP3201581B1/fr
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • G01H9/004—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • G01H9/004—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors
    • G01H9/006—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors the vibrations causing a variation in the relative position of the end of a fibre and another element
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties

Definitions

  • the present invention relates to the field of opto-mechanical transducers for detecting vibrations, continuous or periodic pressure variations and for capturing acoustic signals in the air or in a fluid, including in hostile environments.
  • EP0082615 discloses a transducer for detecting acoustic signals or the like applied thereto.
  • the transducer has two ridged pieces forming an optical network interacting with a fiber optic waveguide.
  • Elastic means attached to the striated pieces provide a displacement perpendicular to the waveguide.
  • an optical microphone which comprises a vibrating membrane defining a diaphragm for receiving signals acoustic.
  • An optical element such as a lens is fixed to vibrate with the membrane in direct relation to the acoustic input signals.
  • Fixed optical fibers are disposed in alignment with the lens to orient the initial light to the lens and to transmit light directed from the lens.
  • optical sensor / microphone also known in the prior art optical sensor / microphone described in US patent US6462808. It comprises a light source coupled to a waveguide for transmitting a beam of light. One end of the waveguide has a pointed surface with an angle determined by Snell's refraction law:
  • alpha 2 is the path angle of the light beam in the second media output of the peak area
  • n 2 are the light indices of the light waveguide media and the second medium.
  • a reflective surface is disposed at an optimum distance from the peak area determined by the angle alpha 2 .
  • the waveguide has on its outer surface at least in an adjacent manner means for preventing light waves from being reflected onto the surface by a back reflection effect in the waveguide.
  • a light detector arranged to receive light reflected from the reflecting surface.
  • a sensor for measuring distances to a medium and / or physical properties including a housing, at least one pair of optical fibers, each having an entrance end portion and an output end portion.
  • the input end portion of the first optical fiber is connectable to a light source and the output end portion of the second optical fiber is connectable to light intensity measuring means.
  • a sensor head including the input end portion of the second optical fiber is disposed near the output end portion of the first optical fiber.
  • the intensity of this return light obeys an intensity response curve (I) calibrated as a function of the distance (Z) to the sample as well as its optical characteristics and has a maximum (A) at a fixed distance from the 'sample.
  • the analysis means are arranged to determine one of the magnitudes of the group comprising the relative or absolute position of the sample and at least one of the optical characteristics thereof.
  • the method that is the subject of this patent, the purpose of which is a measurement of distance comprises the following steps: a) providing an optical fiber having a polished end along at least two planes inclined with respect to the axis of this fiber and secants forming a diopter roof or pyramid, the light from the fiber being thus divided into at least two beams convergent
  • the invention relates, in its most general sense, to an opto-mechanical transducer comprising an optical fiber having a polished pointed distal end placed in front of a reflecting surface and a proximal end connected to a coupler combining an optical fiber for illumination associated with a light source and a measurement optical fiber associated with a photo-detector, characterized in that said reflecting element has a movable zone with an axial component, the axial distance between the distal end of the optical fiber and said reflecting surface at rest is determined so that the reflected light intensity I 0 is equal to PI max where I max designates the maximum reflected light intensity, and P is a parameter between 0.25 and 0.75.
  • distal means the side of the fiber for the acquisition of physical phenomena, and "proximal” the side where the processing electronics, and the optical coupler. Between the two ends extends the single optical fiber, which may have a great length, typically several hundred meters or even kilometers for applications such as marine hydrophone networks.
  • the distal end of the optical fiber has at least two intersecting polished facets forming diopter roof, pyramid or cone.
  • said mobile zone is constituted by an elastically deformable membrane.
  • said deformable membrane is attached peripherally to a rigid frame mechanically linked to the support of the distal end of the optical fiber.
  • the end comprising the distal end of the optical fiber and said membrane are encapsulated in a casing having a vent in front of and behind the membrane for balancing static pressures.
  • said membrane has an elastic suspension.
  • said mobile zone is constituted by an elastic blade fixed at one end to a rigid frame mechanically linked to the support of the distal end of the optical fiber.
  • the natural frequency of the blade is between hertz and kilohertz.
  • said elastic blade is fixed at one end to a rigid frame mechanically linked to the support of the distal end of the optical fiber, the natural frequency of the blade being greater than 5 hertz.
  • said mobile zone is constituted by a flexible blade fixed at one end to a rigid frame mechanically linked to the support of the distal end of the optical fiber, the natural frequency of the blade being less than 5. hertz.
  • the optical fiber comprises on the distal side a multiplexer ensuring the coupling of several segments of optical fibers each having a pointed distal end positioned opposite said reflective surface.
  • the optical fiber comprises on the proximal side a multiplexer providing the coupling of several couples of optical fibers each operating at a distinct wavelength band.
  • the invention also relates to different applications of this inventive concept.
  • an opto-mechanical microphone a pressure gauge or an opto-mechanical pressure sensor comprising an optical fiber having a polished pointed distal end placed in front of a reflecting surface and a proximal end being connected to a coupler combining an optical fiber.
  • light source associated with a light source and a measurement optical fiber associated with a photo-detector characterized in that said reflecting element is formed by a deformable membrane having a movable zone with an axial component, the axial distance between the end distal from the optical fiber and said reflecting surface at rest is determined so that the reflected light intensity I 0 is equal to PI max where I max is the maximum reflected light intensity, and P is a parameter between 0.25 and 0 75.
  • an opto-mechanical sonar or a hydrophone comprising an optical fiber having a polished pointed distal end placed in front of a reflecting surface and a proximal end being connected to a coupler combining a lighting optical fiber associated with a light source.
  • said reflecting element is formed by a deformable membrane having a movable zone with an axial component, the axial distance between the distal end of the optical fiber and said surface reflecting at rest is determined so that the reflected light intensity I 0 is equal to PI max where I max designates the maximum reflected light intensity, and P is a parameter between 0.25 and 0.75, said sonar comprising a duct balancing the static pressure exerted on both sides of said membrane.
  • an opto-mechanical vibration sensor or an opto-mechanical biological sensor comprising an optical fiber having a polished pointed distal end placed in front of a reflecting surface and a proximal end being connected to a coupler combining an optical fiber.
  • lighting associated with a light source and a measurement optical fiber associated with a photo-detector characterized in that said reflecting element is formed by a deformable vibrating beam integral with a rigid support for fixing the distal end of said fiber optical, said vibrating beam having a movable zone with an axial component, the axial distance between the distal end of the optical fiber and said reflecting surface at rest is determined so that the reflected light intensity I 0 is equal to PI max where I max denotes the maximum reflected light intensity, and P is a parameter compr is between 0.25 and 0.75.
  • said beam is coated with a surface activator capable of interacting specifically with a biochemical component.
  • a drill head or a pitot probe comprising an opto-mechanical pressure sensor comprising an optical fiber having a polished pointed distal end placed in front of a reflecting surface and a proximal end connected to a coupler combining a fiber illumination optics associated with a light source and a measurement optical fiber associated with a photodetector, characterized in that said reflecting element is formed by a deformable membrane having a movable zone with an axial component, the axial distance between the distal end of the optical fiber and said reflecting surface at rest is determined so that the reflected light intensity I 0 is equal to PI max where I max designates the maximum reflected light intensity, and P is a parameter between 0.25 and 0.75.
  • FIG. 1 represents a schematic view of a sensor according to the invention
  • FIG. 2 represents a schematic view of the distal end of the fiber
  • FIG. 3 represents the measurement diagram of the reflected intensity as a function of the distance between the distal end of the fiber and the reflecting surface.
  • FIG. 4 represents a schematic view of a variant embodiment
  • FIG. 5 represents the measurement diagram of the reflected intensities of different wavelengths as a function of the distance between the distal end of the fiber and the reflecting surface for this variant embodiment.
  • FIG. 6 represents a schematic view of a second variant embodiment
  • FIG. 7 represents the measurement diagram of the reflected intensity as a function of the distance between the distal end of the fiber and the reflecting surface for this second variant embodiment.
  • FIG. 8 represents a schematic view of a third variant embodiment
  • FIG. 9 represents a schematic view of a fourth variant embodiment
  • the invention relates in the first exemplary embodiment illustrated in FIGS. 1 to 3 to a transducer intended to measure the pressure variations exerted on a membrane (1).
  • a transducer can be used to pick up sounds, and thus form a microphone or a sonar or a hydrophone when the medium in which it is disposed is liquid. It can also constitute a pressure sensor for measuring very low pressures, or on the contrary large pressures, for example for the analysis of explosions.
  • the transducer comprises an optical fiber (2), having a distal end (3) polished along at least two planes (faces) inclined with respect to the axis of this fiber and secants forming a diopter roof or pyramid.
  • the proximal end of the fiber (2) is connected to a "Y" fiber coupler (4) for mixing:
  • the single optical fiber (2) is used both as a transmitter (transport of the light emitted by the light source (5)) and a receiver (collection of the light reflected on the reflective membrane (1)). This significantly reduces manufacturing costs and space requirements, while allowing measurement at a sample distance as large as required.
  • the fiber (2) transmits a beam (9) in a direction corresponding to the refraction angle of the fiber, defined by the fiber core and the external environment indices.
  • the membrane (1) extends in a plane perpendicular to the axis of the distal end (3) of the optical fiber.
  • the intensity of light returning to the fiber varies with the distance between the distal end of the fiber and the surface of the membrane (1), with a response curve shown in Figure 3, corresponding to the intensity I of the return light as a function of the fiber-membrane distance Z.
  • the end (3) of the fiber is polished along at least two inclined planes (11, 12) respectively at an angle Alpha ! and Alpha 2 (preferably equal) with respect to the normal axis at the cross-section of the fiber and secants in the shape of a roof or pyramid.
  • This end has a response curve substantially bell and therefore having a maximum.
  • FIG. 3 shows the reflected relative intensity as a percentage (%) of the maximum intensity reflected as a function of the membrane-fiber distance Z in micrometer ( ⁇ ).
  • this angle Alpha should be selected in the range 50 degrees to 85 degrees.
  • the peak of the response curve is all the more important that the light beam emitted by the fiber is narrow, which depends on the numerical aperture of this fiber.
  • the rest distance between the distal end of the fiber (3) and the surface of the membrane (1) is determined so as to be positioned on the curve in FIG. 3 by two points A and B, A being positioned at the of the rising slope of the curve and B being positioned at the level of the part down the curve. These points A and B are placed where the change in the reflected light intensity is the most sensitive compared to the change in the position of the membrane.
  • This position can be determined experimentally, by respective adjustments of the rest position of the membrane (1), or by calculation, or by pre-setting for a series production of a set of transducers of the same characteristics.
  • the distance is determined so that the reflected light intensity I 0 is equal to PI max where I max is the maximum reflected light intensity, and P is a parameter between 0.25 and 0.75.
  • the membrane (1) is suspended relative to a rigid frame (13) also ensuring the maintenance and positioning of the distal end (3) of the optical fiber.
  • the suspension can be made in any known manner, for example by the periphery of an elastically deformable membrane, for example a metallized sheet.
  • the fiber (2) comprises a core (14) of index surrounded by a sheath (15) of index n 2 .
  • the end is cut to form two intersecting flat surfaces in the example described.
  • the fiber can be of any type, for example monomode or multimode, index gradient or index jump.
  • a multimode index-jump type 100/140 fiber will be chosen, comprising two inclined planes at the same angle ⁇ of approximately 75 degrees with respect to its axis. corresponds to a maximum fiber-sample distance of approximately 150 ⁇ .
  • FIG. 4 represents a variant embodiment in which the light source comprises two distinct wavelengths, produced by a first source (51) in a lambda wavelength 2 and a second source (52) emitting in a wavelength lambda ⁇ these two light-transmitting sources via optical fibers coupled by a Y-coupler (53) to the main fiber (2).
  • the detection comprises a first photodetector (71) for measuring the light in the lambda band ! and a second photodetector for measuring light in the lambda band 2 , receiving beams via a coupler (73).
  • the main optical fiber (2) is connected to a Wavelength Division Multiplexing (WDM) multiplexer (60) which makes it possible to pass several signals of different wavelengths on a single optical fiber, by mixing them at the input to using a multiplexer (MUX), and separating them at the output by means of a demultiplexer (DEMUX).
  • WDM Wavelength Division Multiplexing
  • the distal end of the fiber (2) is equipped with a band rejection filter blocking and reflecting one of the Lambda 2 wavelengths.
  • the Lambda wavelength ! thus produces a response illustrated in Figure 5 by the curve (21), while the curve (20), substantially constant, represents the response for the Lambda wavelength 2 blocked by the filter (50).
  • the curve (21) varies not only as a function of the distance between the distal end (3) and the membrane, but also as a function of the endogenous variations of the fiber (2) due, for example, to variations in temperature, curvature of the fiber, aging fiber, etc. Variations endogenous fibers (2) are also presented in curve (20).
  • the measurement of the luminous intensity difference in the two wavelengths lambda ! and lambda 2 makes it possible to obtain an independent response of the external artifacts: the variations due not to the displacement of the membrane (1) but to variations of the intensity in the main fiber (2) where by the upstream components are neutralized by subtracting the signals measured by the two photodetectors (71, 72).
  • An alternative is to use a single wide-spectrum light source, and two different bandwidth filters to produce two beams of lambda wavelengths ! and lambda 2 .
  • FIG. 6 represents a second variant embodiment in which the acquisition head comprises two (or more) measurement probes (31, 32) positioned facing one and the same membrane (1).
  • a coupler (33) at the distal end of the main fiber (2) transmits the light to two optical fiber segments (34,35) whose tip is sharpened as previously described.
  • the difference in the intensity "x" between the two maximum curves depends on various parameters, such as the nature of the tip used with respect to the other tip, and the attenuation of the signal, which may differ between the two peaks. etc.
  • This difference "x" can be zero or non-zero.
  • Figure 8 shows an alternative embodiment where the distal end of the optical fiber (83) and the membrane (81) are encapsulated in an envelope.
  • the envelope is formed by a rigid frame (82), which is mechanically bonded to the support of the distal end of the optical fiber in one side, and on which the membrane is peripherally fixed in another side.
  • the casing has a vent (84) which connects the internal cavity delimited by the casing with the external medium.
  • the materials, in the gas or liquid states, can circulate freely through the vent in order to reach the equilibrium between the internal pressure cavity PI and the pressure P2 of the external medium. Description of a fourth embodiment variant
  • Figure 9 shows an alternative embodiment where a reflecting element, for example, a mirror (91) is present on a vibrating blade (92).
  • a reflecting element for example, a mirror (91)
  • One end of the vibrating blade is mechanically bonded to the support (95) of the distal end of the optical fiber (93).
  • the vibration frequency of the blade varies from hertz to kilohertz depending on the shape and material that make up this blade, for example, a metal elastic blade.
  • Another possibility is to attach the optical fiber support to another support whose measurement is to be measured.
  • vibration for example, a motor. While the optical fiber support follows the movement of the motor, the moving area of the reflective element does not follow this movement because of the weak coupling by the end. The axial distance between the distal end of the optical fiber and said reflective surface changes as a function of the movement of the motor. By analyzing the reflected light intensity, the vibratory motion of the motor can be well illustrated.

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Abstract

La présente invention porte sur un transducteur opto-mécanique comprenant une fibre optique présentant une extrémité distale pointue polie placée en face d'une surface réfléchissante et une extrémité proximale étant raccordée à un coupleur combinant une fibre optique d'éclairage associée à une source lumineuse et une fibre optique de mesure associée à un photo-détecteur. L'élément réfléchissant présente une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75.

Description

TRANSDUCTEUR OPTO-MECANIQUE POUR LA DETECTION DE VIBRATIONS
Domaine de 1 ' invention
La présente invention concerne le domaine des transducteurs opto-mécanique pour la détection de vibrations, de variations de pression continues ou périodiques et pour la captation de signaux acoustiques dans l'air ou dans un fluide, y compris dans des milieux hostiles.
Elle concerne plus particulièrement le domaine des transducteurs mettant en œuvre la variation optique de la lumière transmise par une ou plusieurs fibres optiques. Etat de la technique
On connaît dans l'état de la technique une solution décrite dans le brevet européen EP0082615. Ce brevet décrit un transducteur pour détecter des signaux acoustiques ou équivalents qui lui sont appliqués. Le transducteur comporte deux pièces striées formant un réseau optique interagissant avec un guide d'ondes à fibres optiques. Des moyens élastiques fixés aux pièces striées assurent un déplacement perpendiculairement au guide d'onde.
On connaît aussi la solution proposée par le brevet européen EP0027540 décrivant un transducteur optique avec un guide d'onde optique muni de deux trajets pour la propagation de la lumière qui est déformé en réponse à des variations de pression acoustique ou autres paramètres à mesurer pour moduler l'amplitude de la lumière propagée le long des deux trajets avec des polarités opposées. Les sorties de lumière des deux trajets sont captées par des photodétecteurs et appliquées à un circuit de différentiation électrique.
La demande de brevet internationale WO 1993007686 décrit un microphone optique qui comprend une membrane vibrante définissant un diaphragme destiné à recevoir des signaux acoustiques. Un élément optique tel qu'une lentille est fixée pour vibrer avec la membrane en relation directe avec les signaux acoustiques d'entrée. Des fibres optiques fixes sont disposées dans l'alignement avec la lentille afin d'orienter la lumière initiale vers la lentille et de transmettre la lumière orientée à partir de la lentille.
On connaît encore dans l'art antérieur un capteur/microphone optique décrit dans le brevet américain US6462808. Il comporte une source de lumière couplée à un guide d'onde pour transmettre un faisceau de lumière. L'une des extrémités du guide d'onde présente une surface en pointe avec un angle déterminé par la loi de réfraction de Snell :
sin alpha! /sin alpha2 = /n2 dans lequel :
- alpha! est l'angle de trajet du faisceau de lumière au travers du média guide d'onde
- alpha2 est l'angle de trajet du faisceau de lumière dans le second média en sortie de la surface en pointe,
- et n2 sont les indices de lumière du média à guide d'onde de lumière et le second média.
Une surface réfléchissante est disposée à une distance optimale par rapport à la surface en pointe déterminée par l'angle alpha2. Le guide d'onde présente à sa surface externe au moins d'une façon adjacente des moyens pour éviter que les ondes de lumière ne soient réfléchies sur la surface par effet de réflexion arrière dans le guide d'onde. Un détecteur de lumière agencé pour recevoir la lumière réfléchie à partir de la surface réfléchissante.
On connaît aussi dans l'état de la technique des solutions de métrologies, qui ne sont pas des transducteurs mais des équipements pour la mesure de distance.
La demande internationale US6239865 décrit un exemple de capteur et procédé pour mesurer la distance ou/et les propriétés physiques d'un matériau. Ce document décrit un capteur de mesure de distances vers un milieu et/ou des propriétés physiques, incluant un boîtier, au moins une paire de fibres optiques, chacune ayant une partie d'extrémité d'entrée et une partie d'extrémité de sortie. La partie d'extrémité d'entrée de la première fibre optique est connectable à une source de lumière et la partie d'extrémité de sortie de la seconde fibre optique est connectable à des moyens de mesure d'intensité lumineuse. Une tête de capteur, incluant la partie d'extrémité d'entrée de la seconde fibre optique est disposée à proximité de la partie d'extrémité de sortie de la première fibre optique.
Ces deux extrémités forment entre elles un angle thêta par rapport à l'axe, la lumière sortant de la partie d'extrémité de sortie de la première fibre optique étant réfléchie par une surface d'un milieu selon un angle d'incidence bêta et dans lequel l'angle bêta = f( alpha, thêta).
On connaît aussi dans l'état de la technique le brevet FR2739445, dont le contenu est incorporé au présent brevet par citation. Ce brevet ne concerne pas un transducteur, mais contient un enseignement sur un procédé de mesure physique par réflectométrie , comportant une étape essentielle d'étalonnage. Il décrit un dispositif formant un capteur optique comprenant une fibre optique possédant une extrémité polie suivant au moins deux plans inclinés et sécants en formant dioptre en toit ou en pyramide et une autre extrémité couplée à un ensemble photo-émetteur/photo-détecteur , un moyen propre à déplacer de façon contrôlée l'extrémité polie relativement à un échantillon, ainsi que des moyens d'analyse de la lumière de retour, revenant par la fibre. L'intensité de cette lumière de retour obéit à une courbe de réponse en intensité (I) étalonnable en fonction de la distance (Z) à l'échantillon ainsi que de ses caractéristiques optiques et possède un maximum (A) à distance fixe de l'échantillon. Les moyens d'analyse sont agencés pour déterminer 1 ' une des grandeurs du groupe comprenant la position relative ou absolue de l'échantillon et l'une au moins des caractéristiques optiques de celui-ci.
Le procédé objet de ce brevet, dont la finalité est une mesure de distance, comporte les étapes suivantes : a) prévoir une fibre optique possédant une extrémité polie suivant au moins deux plans inclinés par rapport à l'axe de cette fibre et sécants en formant dioptre en toit ou en pyramide, la lumière issue de la fibre étant ainsi divisée en au moins deux faisceaux convergents,
b) soumettre ladite extrémité polie de cette fibre à un déplacement relatif contrôlé au voisinage d'un échantillon- cible,
c) faire venir par la fibre une lumière de caractéristiques connues,
d) mesurer l'intensité de la lumière de retour, revenant par la fibre, après réflexion sur ledit échantillon, cette mesure de la lumière de retour obéissant à une courbe de réponse en intensité (I) qui est étalonnable en fonction de la distance (Z) à l'échantillon ainsi que des caractéristiques optiques de l'échantillon, et qui possède un maximum (A) à distance sensiblement fixe de l'échantillon, et analyser cette intensité en fonction dudit déplacement relatif, en vue d'une détermination de l'une des grandeurs du groupe comprenant, d'une part, la position relative ou absolue de l'échantillon, et d'autre part, l'une au moins des caractéristiques optiques de 1 ' échantillon .
Inconvénients de l'art antérieur
Les solutions de l'art antérieur portant sur des transducteurs opto-mécaniques présentent plusieurs inconvénients .
Certaines solutions nécessitent l'emploi de plusieurs fibres, une pour le faisceau entrant, l'autre pour le faisceau sortant. Ceci complique considérablement l'utilisation dans des environnements hostiles.
Par ailleurs, les solutions de l'art antérieur nécessitent un assemblage complexe sur le plan optique comme sur le plan mécanique. Ces solutions conduisent à des transducteurs fragiles, difficiles à régler et peu stables. Enfin, la solution proposée par le brevet FR2739445, pour la mesure de distance, implique un point de fonctionnement de la tête optique très sensible et conduisant à des dérives importantes des performances à la moindre variation mécanique, notamment en cas de déréglage ou de modification des positionnements sous l'effet de la dilation thermique.
L'enseignement des documents concernant des procédés et des équipements de métrologie est adapté à des mesures de distance statique.
Solution apportée par 1 ' invention
Afin de remédier à ces inconvénients, l'invention concerne selon son acception la plus générale un transducteur opto-mécanique comprenant une fibre optique présentant une extrémité distale pointue polie placée en face d'une surface réfléchissante et une extrémité proximale étant raccordée à un coupleur combinant une fibre optique d'éclairage associée à une source lumineuse et une fibre optique de mesure associée à un photo-détecteur, caractérisé en ce que ledit élément réfléchissant présente une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75.
On entendra par « distale » le coté de la fibre destinée à l'acquisition des phénomènes physique, et par « proximale » le coté où se trouve l'électronique de traitement, ainsi que le coupleur optique. Entre les deux extrémités s'étend la fibre optique unique, qui peut présenter une grande longueur, typiquement de plusieurs centaines de mètres voire de kilomètres pour des applications telles que des réseaux d' hydrophones marins . De préférence, l'extrémité distale de la fibre optique présente au moins deux facettes polies sécantes en formant dioptre en toit, en pyramide ou en cône.
Selon une première variante, ladite zone mobile est constituée par une membrane déformable élastiquement .
Selon une variante particulière, ladite membrane déformable est fixée périphériquement sur un cadre rigide lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique .
Selon un mode de réalisation particulier, l'extrémité comprenant l'extrémité distale de la fibre optique et ladite membrane sont encapsulés dans une enveloppe présentant un évent en avant et en arrière de la membrane pour l'équilibrage des pressions statiques.
Selon un autre mode de réalisation, ladite membrane présente une suspension élastique.
Selon une deuxième variante, ladite zone mobile est constituée par une lame élastique fixée par une extrémité sur un cadre rigide lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique. La fréquence propre de la lame est entre hertz et kilohertz.
Selon un mode de mise en œuvre particulier, ladite lame élastique est fixée par une extrémité sur un cadre rigide lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique, la fréquence propre de la lame étant supérieure à 5 hertz .
Selon un autre mode de mise en œuvre, ladite zone mobile est constituée par une lame souple fixée par une extrémité sur un cadre rigide lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique, la fréquence propre de la lame étant inférieure à 5 hertz.
Selon un autre mode de mise en œuvre particulier, la fibre optique comporte du coté distal un multiplexeur assurant le couplage de plusieurs segments de fibres optiques présentant chacune une extrémité distale pointue positionnée en regard de ladite surface réfléchissante. Selon un autre mode de mise en œuvre particulier, la fibre optique comporte du coté proximale un multiplexeur assurant le couplage de plusieurs couples de fibres optiques fonctionnant chacun à une bande de longueurs d'ondes distincte.
L'invention concerne également différentes applications de ce concept inventif.
Elle concerne notamment un microphone opto-mécanique, un manomètre ou un capteur de pression opto-mécanique comprenant une fibre optique présentant une extrémité distale pointue polie placée en face d'une surface réfléchissante et une extrémité proximale étant raccordée à un coupleur combinant une fibre optique d'éclairage associée à une source lumineuse et une fibre optique de mesure associée à un photo-détecteur, caractérisé en ce que ledit élément réfléchissant est formé par une membrane déformable présentant une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75.
Elle concerne aussi un sonar opto-mécanique ou un hydrophone comprenant une fibre optique présentant une extrémité distale pointue polie placée en face d'une surface réfléchissante et une extrémité proximale étant raccordée à un coupleur combinant une fibre optique d'éclairage associée à une source lumineuse et une fibre optique de mesure associée à un photo-détecteur, caractérisé en ce que ledit élément réfléchissant est formé par une membrane déformable présentant une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75, ledit sonar comportant un conduit d'équilibrage de la pression statique s 'exerçant sur les deux faces de ladite membrane.
Elle concerne également un capteur de vibrations opto-mécanique ou un capteur biologique opto-mécanique comprenant une fibre optique présentant une extrémité distale pointue polie placée en face d'une surface réfléchissante et une extrémité proximale étant raccordée à un coupleur combinant une fibre optique d'éclairage associée à une source lumineuse et une fibre optique de mesure associée à un photo-détecteur, caractérisé en ce que ledit élément réfléchissant est formé par une poutre vibrante déformable solidaire d'un support rigide de fixation de l'extrémité distale de la dite fibre optique, ladite poutre vibrante présentant une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75. Concernant le capteur biologique, ladite poutre est revêtue d'un activateur de surface apte à interagir spécifiquement avec un composant biochimique.
Elle concerne aussi une tête de forage ou une sonde de Pitot comprenant un capteur de pression opto-mécanique comprenant une fibre optique présentant une extrémité distale pointue polie placée en face d'une surface réfléchissante et une extrémité proximale étant raccordée à un coupleur combinant une fibre optique d'éclairage associée à une source lumineuse et une fibre optique de mesure associée à un photo-détecteur, caractérisé en ce que ledit élément réfléchissant est formé par une membrane déformable présentant une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75. Description détaillée d'exemples non limitatifs de l'invention
La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit, concernant des exemples non limitatifs de réalisation, et se référant aux dessins annexés où :
- la figure 1 représente une vue schématique d'un capteur selon l'invention
la figure 2 représente une vue schématique de l'extrémité distale de la fibre
- la figure 3 représente le diagramme de mesure de l'intensité réfléchie en fonction de la distance entre l'extrémité distale de la fibre et la surface réfléchissante
- la figure 4 représente une vue schématique d'une variante de réalisation
- la figure 5 représente le diagramme de mesure des intensités réfléchies de longueurs d'onde différentes en fonction de la distance entre l'extrémité distale de la fibre et la surface réfléchissante pour cette variante de réalisation
- la figure 6 représente une vue schématique d'une deuxième variante de réalisation
- la figure 7 représente le diagramme de mesure de l'intensité réfléchie en fonction de la distance entre l'extrémité distale de la fibre et la surface réfléchissante pour cette deuxième variante de réalisation
- la figure 8 représente une vue schématique d'une troisième variante de réalisation
- la figure 9 représente une vue schématique d'une quatrième variante de réalisation
Description du principe général d'un transducteur selon
1 ' invention
L'invention porte dans le premier exemple de réalisation illustré par les figures 1 à 3 sur un transducteur destiné à mesurer les variations de pression s 'exerçant sur une membrane (1). Un tel transducteur peut être utilisé pour capter des sons, et former ainsi un microphone ou un sonar ou un hydrophone lorsque le milieu dans lequel il est disposé est liquide. Il peut aussi constituer un capteur de pression pour mesurer de très faibles pressions, ou au contraire de grandes pressions, par exemple pour l'analyse d'explosions.
Le transducteur comprend une fibre optique (2), possédant une extrémité distale (3) polie suivant au moins deux plans (faces) inclinés par rapport à l'axe de cette fibre et sécants en formant dioptre en toit ou en pyramide.
L'extrémité proximale de la fibre (2) est raccordée à un coupleur fibré en « Y » (4) permettant de mélanger :
- un signal d'entrée provenant d'une source lumineuse (5) par l'intermédiaire d'un premier tronçon de fibre (6), et
- un signal de sortie transmis à un photodétecteur (7) par l'intermédiaire d'un deuxième tronçon de fibre (8).
L'unique fibre optique (2) est utilisée à la fois en temps qu'émetteur (acheminement de la lumière émise par la source lumineuse (5)) et récepteur (recueillement de la lumière réfléchie sur la membrane (1) réfléchissante), ce qui permet de réduire notablement les coûts de fabrication et l'encombrement, tout en autorisant une mesure à une distance de l'échantillon aussi grande que les besoins le nécessitent.
La fibre (2) transmet un faisceau (9) dans une direction correspondant à l'angle de réfraction de la fibre, défini par les indices de l'âme de la fibre et du milieu extérieur .
Une partie (10) de la lumière (dite lumière de retour) qui est réfléchie sur la surface réfléchissante de la membrane (1) pénètre dans la fibre (2) par l'extrémité distale (3). Dans l'exemple décrit, la membrane (1) s'étend dans un plan perpendiculaire à l'axe de l'extrémité distale (3) de la fibre optique .
L'intensité de lumière qui revient dans la fibre varie en fonction de la distance entre l'extrémité distale de la fibre et la surface de la membrane (1), avec une courbe de réponse représentée en figure 3, correspondant à l'intensité I de la lumière de retour en fonction de la distance fibre- membrane Z .
L'extrémité (3) de la fibre est polie suivant au moins deux plans inclinés (11, 12) respectivement d'un angle Alpha! et Alpha2 (de préférence égaux) par rapport à l'axe normal à la section droite de la fibre et sécants en forme de toit ou de pyramide. Cette extrémité présente une courbe de réponse sensiblement en cloche et par conséquent comportant un maximum. Une telle courbe est représentée sur la figure 3, où l'on a représenté l'intensité relative réfléchie en pourcentage (%) de l'intensité maximale réfléchie en fonction de la distance membrane-fibre Z en micromètre (μπι).
La valeur de Zmax dépend essentiellement de l'angle
Alpha, tandis que la valeur de Imax dépend du type de la fibre et des caractéristiques optiques de la surface de l'échantillon (principalement sa réflectivité à la longueur d'onde de la lumière sonde). Plus l'angle Alpha est grand, plus Zmax est grand. De préférence, cet angle Alpha doit être choisi dans l'intervalle 50 degrés à 85 degrés.
Par ailleurs, le pic de la courbe de réponse est d'autant plus important que le faisceau lumineux émis par la fibre est étroit, ce qui dépend de l'ouverture numérique de cette fibre.
En conséquence, lorsque l'on effectue l'étalonnage d'une fibre à l'aide d'une pluralité d'échantillons, il est possible de fabriquer un tableau de couples de données relatives à chaque échantillon, chaque couple comportant une donnée d'intensité maximum ou Imax et une donnée de distance maximum ou
^max ·
La distance de repos entre l'extrémité distale de la fibre (3) et la surface de la membrane (1) est déterminée de façon à être positionnée sur la courbe dans le figure 3 par deux points A et B, A étant positionné au niveau de la pente montante de la courbe et B étant positionné au niveau de la partie descendante de la courbe. Ces points A et B sont placés où le changement de l'intensité lumineuse réfléchie est le plus sensible par rapport au changement de la position de la membrane. Cette position peut être déterminée expérimentalement, par ajustements respectifs de la position au repos de la membrane (1), ou par calcul, ou encore par préréglage pour une fabrication en série d'un ensemble de transducteurs de mêmes caractéristiques .
La distance est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75.
La membrane ( 1 ) est suspendue par rapport à un châssis rigide (13) assurant également le maintien et le positionnement de l'extrémité distale (3) de la fibre optique.
La suspension peut être réalisée de toute manière connue, par exemple par la périphérie d'une membrane déformable élastiquement , par exemple une feuille métallisée.
Selon l'application visée, on recherchera une forte raideur, pour permettre la détection de vibrations de haute- fréquences acoustiques, ou au contraire de très faible raideur, pour mesurer de faibles variations de pression.
La fibre (2) comprend un coeur (14) d'indice entouré d'une gaine (15) d'indice n2.
L'extrémité est taillée pour former deux surfaces planes sécantes dans l'exemple décrit.
Bien entendu, il peut y avoir trois plans, quatre plans, ou plus encore, formant une pyramide, ou un cône, ou bien on peut envisager d'utiliser deux plans inclinés sous deux angles différents, ou encore une forme conique.
Par ailleurs, la fibre peut être de tout type, comme par exemple monomode ou multimode, et à gradient d'indice ou à saut d'indice.
On choisira par exemple une fibre de type 100/140 multimode à saut d'indice, comprenant deux plans inclinés d'un même angle 0 d'environ 75 degrés par rapport à son axe, ce qui correspond à une distance maximale fibre-échantillon d'environ 150 μπι.
Description d ' une première variante de réalisation
La figure 4 représente une variante de réalisation où la source lumineuse comprend deux longueurs d'onde distinctes, produites par une première source (51) dans une longueur d'onde lambda2 et une seconde source (52) émettant dans une longueur d'onde lambda^ ces deux sources transmettant la lumière par l'intermédiaire de fibres optiques couplées par un coupleur en Y (53) à la fibre principale (2).
De même, la détection comprend un premier photodétecteur (71) pour la mesure de la lumière dans la bande lambda! et un second photodétecteur pour la mesure de la lumière dans la bande lambda2, recevant des faisceaux par l'intermédiaire d'un coupleur (73). La fibre optique principale (2) est raccordée à un multiplexeur (60) WDM (Wavelength Division Multiplexing en anglais) qui permet de faire passer plusieurs signaux de longueur d'onde différentes sur une seule fibre optique, en les mélangeant à l'entrée à l'aide d'un multiplexeur (MUX), et en les séparant à la sortie au moyen d'un démultiplexeur (DEMUX) .
L'extrémité distale de la fibre (2) est équipée d'un filtre réjecteur de bande bloquant et réfléchissant l'une des longueurs d'onde Lambda2.
La longueur d'onde Lambda! produit donc une réponse illustrée sur la figure 5 par la courbe (21), alors que la courbe (20), sensiblement constante, représente la réponse pour la longueur d'onde Lambda2 bloquée par le filtre (50).
La courbe (21) varie non pas seulement en fonction de la distance entre l'extrémité distale (3) et la membrane, mais aussi en fonction des variations endogènes de la fibre (2) dues par exemple aux variations de température, de courbure de la fibre, du vieillissement de la fibre, etc. Les variations endogènes de la fibre (2) sont présentées également dans la courbe ( 20 ) .
Par conséquent, la mesure de la différence d'intensité lumineuse dans les deux longueurs d'onde lambda! et lambda2 permet d'obtenir une réponse indépendante des artefacts externes : les variations dues non pas au déplacement de la membrane (1) mais à des variations de l'intensité dans la fibre principale (2) où par les composants en amont sont neutralisés par une soustraction des signaux mesurés par les deux photo- détecteurs (71, 72).
Une alternative consiste à utiliser une seule source lumineuse à spectre étendu, et deux filtres de bandes passantes différentes pour produire deux faisceaux de longueurs d'onde lambda! et lambda2.
Description d'une deuxième variante de réalisation
La figure 6 représente une deuxième variante de réalisation où la tête d'acquisition comporte deux (ou plusieurs) pointes de mesure (31, 32) positionnées en face d'une même membrane ( 1 ) .
Un coupleur (33) situé à l'extrémité distale de la fibre principale (2) transmet la lumière à deux segments de fibres optiques (34, 35) dont l'extrémité est taillée en pointe comme décrit précédemment.
Il y a deux capteurs en pointe (31, 32) positionnés en face de la surface réfléchissante mais décalés dans la direction axiale l'une de l'autre d'une distance connue h. Cette distance est la même que celle entre les deux maximums de l'intensité réfléchie des deux capteurs en pointe montrée en figure 7. Quand la membrane est à une distance telle qu'il y ait un maximum d'intensité, on se situe sur une position quelconque mais non maximale pour l'autre pointe. Quand le signal passe d'un maximum d'intensité à un autre maximum d'intensité, on connaît alors parfaitement le déplacement effectué par la membrane dans la direction axiale, puisqu'il correspond à la distance entre les deux pointes dans la direction axiale qui est définie lors du montage des fibres optiques sur le support fixe. C'est pour cette raison qu'on peut qualifier le système « d ' auto-calibrant ». En figure 7, la différence de l'intensité « x » entre les deux maximums de courbes dépend de divers paramètres comme la nature de la pointe utilisée par rapport à l'autre pointe, 1 ' atténuations du signal qui peut différer entre les deux pointes etc. Cette différence « x » peut être nulle ou non nulle.
Description d'une troisième variante de réalisation
La figure 8 présente une variante de réalisation où l'extrémité distale de la fibre optique (83) et la membrane (81) sont encapsulées dans une enveloppe. L'enveloppe est formée par un cadre rigide (82), qui est lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique dans un côté, et sur lequel la membrane est fixée périphériquement dans un autre côté. L'enveloppe présente un évent (84), qui relie la cavité interne délimitée par l'enveloppe avec le milieu extérieur. Les matériaux, aux états gaz ou liquide, peuvent circuler librement à travers l' évent afin d'atteindre l'équilibre entre la cavité interne pression PI et la pression P2 du milieu extérieur. Description d'une quatrième variante de réalisation
La figure 9 représente une variante de réalisation où un élément réfléchissant, par exemple, un miroir (91) est présent sur une lame vibrante (92). Une extrémité de la lame vibrante est liée mécaniquement au support (95) de l'extrémité distale de la fibre optique (93). La fréquence de vibration de la lame varie de hertz jusqu'à kilohertz selon la forme et le matériau qui constituent cette lame, par exemple, une lame élastique en métal.
Une autre possibilité est d'attacher le support de fibre optique sur un autre support dont on cherche à mesurer sa vibration, par exemple, un moteur. Tandis que le support de fibre optique suit le mouvement du moteur, la zone mobile de l'élément réfléchissant ne suit pas ce mouvement en raison du couplage faible par l'extrémité. La distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante change en fonction du mouvement du moteur. Par l'analyse de l'intensité lumineuse réfléchie, le mouvement vibratoire du moteur peut être bien illustré.

Claims

Revendications
1 - Transducteur opto-mécanique comprenant une fibre optique présentant une extrémité distale pointue polie placée en face d'une surface réfléchissante et une extrémité proximale étant raccordée à un coupleur combinant une fibre optique d'éclairage associée à une source lumineuse et une fibre optique de mesure associée à un photo-détecteur, caractérisé en ce que ledit élément réfléchissant présente une zone mobile avec une composante axiale (1), la distance axiale entre l'extrémité distale (3) de la fibre optique et ladite surface réfléchissante (1) au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75.
2 - Transducteur opto-mécanique selon la revendication 1 caractérisé en ce que l'extrémité distale (3) de la fibre optique présente au moins deux facettes polies sécantes en formant dioptre en toit, en pyramide ou en cône.
3 - Transducteur opto-mécanique selon la revendication 1 caractérisé en ce que ladite zone mobile est constituée par une membrane (1) déformable élastiquement .
4 - Transducteur opto-mécanique selon la revendication 1 caractérisé en ce que ladite zone mobile est constituée par une membrane déformable (1) fixée périphériquement sur un cadre rigide lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique.
5 - Transducteur opto-mécanique selon la revendication 3 ou 4 caractérisé en ce que l'extrémité de la fibre comprenant l'extrémité distale (3) de la fibre optique et ladite membrane (1) sont encapsulés dans une enveloppe présentant un évent pour l'équilibrage des pressions statiques.
6 - Transducteur opto-mécanique selon la revendication 3 ou 4 caractérisé en ce que ladite membrane ( 1 ) présente une suspension élastique.
7 - Transducteur opto-mécanique selon la revendication 1 caractérisé en ce que ladite zone mobile est constituée par une lame élastique (1) fixée par une extrémité sur un cadre rigide lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique, la fréquence propre de la lame étant entre hertz et kilohertz. 8 - Transducteur opto-mécanique selon la revendication 1 caractérisé en ce que ladite zone mobile est constituée par une lame souple fixée par une extrémité sur un cadre rigide lié mécaniquement au support de l'extrémité distale de la fibre optique, la fréquence propre de la lame étant inférieure à 5 hertz.
9 - Transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la fibre optique comporte du coté distal un multiplexeur assurant le couplage de plusieurs segments de fibres optiques présentant chacune une extrémité distale pointue positionnée en regard de ladite surface réfléchissante.
10 - Transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la fibre optique comporte du coté proximale un multiplexeur assurant le couplage de plusieurs couples de fibres optiques fonctionnant chacun à une bande de longueurs d'ondes distincte. 11 — Microphone opto-mécanique comprenant un transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications précédentes.
12 — Sonar opto-mécanique comprenant un transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, ledit sonar comportant un conduit d'équilibrage de la pression statique s 'exerçant sur les deux faces de ladite membrane.
13 — Manomètre opto-mécanique comprenant un transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications 1 à 10.
14 — Capteur de vibrations opto-mécanique comprenant un transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que il comporte un élément réfléchissant formé par une poutre vibrante déformable solidaire d'un support rigide de fixation de l'extrémité distale de la dite fibre optique et de liaison avec un organe à analyser, ladite poutre vibrante présentant une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75.
15 — Capteur biologique opto-mécanique comprenant un transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que il comporte un élément réfléchissant formé par une poutre vibrante déformable solidaire d'un support rigide de fixation de l'extrémité distale de la dite fibre optique, ladite poutre vibrante présentant une zone mobile avec une composante axiale, la distance axiale entre l'extrémité distale de la fibre optique et ladite surface réfléchissante au repos est déterminée pour que l'intensité lumineuse réfléchie I0 soit égale à P.Imax où Imax désigne l'intensité lumineuse réfléchie maximale, et P est un paramètre compris entre 0,25 et 0,75, ladite poutre étant revêtue d'un activateur de surface apte à interagir spécifiquement avec un composant biochimique.
16 — Tête de forage comprenant un capteur de pression opto-mécanique comprenant un transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications 1 à 10.
17 — Sonde de Pitot comprenant un capteur de pression opto-mécanique comprenant un transducteur opto-mécanique selon l'une quelconque des revendications 1 à 10.
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