EP3201944A1 - Kombiniertes waferherstellungsverfahren mit einer mehrkomponentenaufnahmeschicht - Google Patents

Kombiniertes waferherstellungsverfahren mit einer mehrkomponentenaufnahmeschicht

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EP3201944A1
EP3201944A1 EP15767168.6A EP15767168A EP3201944A1 EP 3201944 A1 EP3201944 A1 EP 3201944A1 EP 15767168 A EP15767168 A EP 15767168A EP 3201944 A1 EP3201944 A1 EP 3201944A1
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EP
European Patent Office
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layer
solid
polymer
receiving layer
solid body
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EP15767168.6A
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English (en)
French (fr)
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EP3201944B1 (de
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Jan Richter
Christian Beyer
Anas AJAJ
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Siltectra GmbH
Original Assignee
Siltectra GmbH
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Publication date
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Publication of EP3201944B1 publication Critical patent/EP3201944B1/de
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    • H10W10/00—Isolation regions in semiconductor bodies between components of integrated devices
    • H10W10/10—Isolation regions comprising dielectric materials
    • H10W10/181—Semiconductor-on-insulator [SOI] isolation regions, e.g. buried oxide regions of SOI wafers

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing solid-state layers according to the subject matter of claim 1, to a wafer produced by this method according to claim 12, to a film according to claim 13 and to a use of this film according to claim 14.
  • wafers In many technical fields (e.g., microelectronics or photovoltaic technology), materials such as e.g. Silicon, germanium or sapphire, often used in the form of thin discs and plates (so-called wafers). By default, such wafers are currently produced by sawing from an ingot, resulting in relatively large material losses (“kerf-loss"). Since the starting material used is often very expensive, there are strong efforts to produce such wafers with less material and thus more efficient and cost-effective.
  • kerf-loss material losses
  • kerf-free wafering are methods that do without conventional sawing and, for example. by using temperature-induced voltages can directly split thin wafers from a thicker workpiece. These include, in particular, methods such as e.g. in PCT / US2008 / 012140 and PCT / EP2009 / 067539, where a polymer layer applied to the workpiece is used to generate these stresses.
  • the polymer layer has in the mentioned method a compared to the workpiece by about two orders of magnitude higher thermal expansion coefficient.
  • a relatively high modulus of elasticity in the polymer layer can be achieved, so that sufficiently high voltages can be induced in the layer system polymer layer workpiece by cooling in order to enable the removal of wafers from the workpiece.
  • the wafers produced usually each have larger variations in thickness, wherein the spatial thickness distribution often shows a pattern with fourfold symmetry.
  • the regions of greatest variability unfortunately lie in the middle of the wafer where they are most disturbing.
  • the cooling down of the polymer takes a very long time, as a result of which the solids are also significantly tempered or cooled down and negative effects on the TTV of the solid-state layer to be produced arise.
  • the method preferably comprises at least the steps of providing a solid for separating at least one solid layer, arranging a receiving layer for holding the solid layer on the solid, wherein the recording layer consists of at least one polymer and another material, wherein the recording layer preferably preferred in terms of volume or mass consists in the majority of the polymer, wherein the further material has a greater thermal conductivity than the polymer, thermally applying the recording layer to, in particular mechanical, generating stresses in the solid, wherein the stresses propagate a crack in the solid along a Ablöseebene the solid state layer is separated from the solid by the crack.
  • the further material is applied according to a further preferred embodiment of the present invention as a coating on the polymer or the polymer is applied as a coating on the further material.
  • This solution is advantageous since the cooling of the further material can be effected quickly and thus this heat is removed by the direct contact between the further material and the polymer material, whereby a cooling of the polymer material portion of the recording layer is accelerated.
  • the coating i.
  • the further material share according to another preferred embodiment of the present invention, local weakenings, in particular, the coating is broken, in particular to follow a caused by the polymer in the voltage generation deformation. It is also conceivable that a plurality of mutually different sections of the polymer portion of the receiving layer are coated with the further material, wherein the individual material portions preferably do not form a coherent structure, but are particularly preferably movable relative to one another.
  • the thermal conductivity (W / (m * K)) of the further material is, according to a further preferred embodiment of the present invention, preferably more than 5 times greater, preferably more than 10 times greater, and more preferably more than 30, more than 100, more than 200 or more than 300 times greater than that of the polymer or the polymer material portion of the receiving layer, wherein the further material is preferably a metal or an alloy.
  • This embodiment is advantageous since cooling of the polymer material portion of the receiving layer can be accelerated with increasing thermal conductivity of the further material.
  • the further material is provided according to a further preferred embodiment of the present invention in the form of elongated chips or peg-like elements within a layer structure predetermined by the polymer, wherein the Chips are preferably oriented in such a way that their longitudinal axes extend orthogonally to the layer extension direction.
  • the chips are preferably introduced during the production of the recording layer in the liquid which is preferably liquid at this time and, for example, aligned via a magnetic application.
  • This embodiment is advantageous in that a cold bridge is created by the individual chips, through which the polymer material content of the receiving layer heat is very quickly withdrawn or the polymer material content of the receiving layer can be cooled very quickly.
  • the receiving layer has, according to a further preferred embodiment of the present invention, a multiplicity of holes, wherein the holes are filled or lined with the further material.
  • This embodiment is advantageous since the position and / or shape of the cold bridge formed by the further material can be predetermined or generated very precisely.
  • the stresses for detaching the solid-state layer are generated by the solid body by the thermal loading of the receiving layer, in particular a multi-component layer, according to a preferred embodiment of the present invention.
  • the thermal application preferably represents a cooling of the recording layer to or below the ambient temperature and preferably below 10 ° C. and more preferably below 0 ° C. and more preferably below -10 ° C.
  • the cooling of the recording layer is most preferably such that at least the polymer material fraction the receiving layer, which preferably consists at least partially of a polymer material, in particular of PDMS, and of a further material, in particular a metal, completes a glass transition.
  • the cooling may in this case be a cooling to below -100 ° C, e.g.
  • This embodiment is advantageous because the receiving layer contracts as a function of the temperature change and / or undergoes a gas transfer and transfers the resulting forces to the solid, whereby mechanical stresses in the solid can be generated, which trigger a crack and / or crack propagation lead, wherein the crack propagates first along the first release plane for splitting off the solid layer.
  • the solid body is disposed on a holding layer for holding the solid body, wherein the holding layer is disposed on a first planar surface portion of the solid, wherein the first planar surface portion of the solid body is spaced from a second planar surface portion of the solid arranged on the second planar surface portion of the recording layer is and wherein the Ablöseebene compared to the first planar surface portion and / or the second planar surface portion is aligned in parallel or is generated in parallel.
  • This embodiment is advantageous because the solid body is at least partially and preferably completely disposed between the holding layer and the receiving layer, whereby by means of one of these layers or by means of both layers, the tensions for crack generation or crack propagation are introduced into the solid.
  • the solid has silicon and / or gallium or perovskite and the polymer layer and / or the holding layer consist at least partially and preferably completely or more than 75% (volume percent) of polydimethylsiloxanes (PDMS)
  • Holding layer is disposed on an at least partially planar surface of a stabilizing device, which consists at least partially of at least one metal.
  • the stabilizing device is preferably a plate, in particular a plate comprising or consisting of aluminum.
  • the solid preferably comprises a material or combination of materials from one of the major groups 3, 4 and 5 of the Periodic Table of the Elements, e.g. Si, SiC, SiGe, Ge, GaAs, InP, GaN, Al 2 O 3 (sapphire), AlN. Particularly preferably, the solid has a combination of elements occurring in the third and fifth group of the periodic table. Conceivable materials or material combinations are e.g. Gallium arsenide, silicon, silicon carbide, etc. Further, the solid may comprise a ceramic (e.g., Al 2 O 3 - alumina) or may be made of a ceramic, preferred ceramics being e.g.
  • Perovskite ceramics such as Pb, O, Ti / Zr containing ceramics
  • lead magnesium niobates barium titanate, lithium titanate, yttrium aluminum garnet, especially yttrium aluminum garnet crystals for solid state laser applications, SAW ceramics ( surface acoustic wave), such as Lithium niobate, gallium orthophosphate, quartz, calcium titanate, etc. in particular.
  • the solid body thus preferably has a semiconductor material or a ceramic material or particularly preferably the solid body consists of at least one semiconductor material or a ceramic material. It is further conceivable that the solid body comprises a transparent material or partially made of a transparent material, such as e.g. Sapphire, exists or is made. Other materials which may be used here as solid material alone or in combination with another material are e.g. "Wide band gap" materials, InAISb,
  • the fixing layer is fixed to the solid by means of a connecting layer, the receiving layer particularly preferably having a plurality of holes for conducting a liquid.
  • the holes have a diameter of less than 1 mm, preferably less than 0.5 mm and more preferably less than 0.1 mm.
  • the receiving layer according to a further preferred embodiment of the present invention has more than 10 holes, preferably more than 100 holes and more preferably more than 1000 holes.
  • each hole is preferably formed according to another preferred embodiment of the present invention, at least one further hole.
  • a fluid in particular a liquid, can be supplied through the holes of the connecting layer, the fluid preferably causing the fixation of the receiving layer to be weakened or released from the solid.
  • defects are generated in the internal structure of the solid to predetermine the release plane before or after the attachment of the acquisition layer to the solid.
  • the invention further relates to a wafer which is produced by a method according to one of claims 1 to 12.
  • the present invention relates to a film for voltage generation in a solid, wherein the film consists of at least one polymer material, in particular PDMS, and of a further material, wherein the film is preferably in terms of volume and / or mass majority of the polymer material, wherein the further material has a greater thermal conductivity than the polymer material, wherein the Polymer material preferably undergoes a glass transition at a temperature of less than 0 ° C, especially at a temperature less than -50 ° C experiences.
  • the film consists of at least one polymer material, in particular PDMS, and of a further material, wherein the film is preferably in terms of volume and / or mass majority of the polymer material, wherein the further material has a greater thermal conductivity than the polymer material, wherein the Polymer material preferably undergoes a glass transition at a temperature of less than 0 ° C, especially at a temperature less than -50 ° C experiences.
  • the present invention relates to a use of a film according to claim 13 as a receiving layer in a method according to claim 1.
  • Fig. 1a shows a schematic structure for generating local voltages in a
  • FIG. 1b shows a schematic representation of a layer arrangement before the separation of a solid layer from a solid body
  • 1c a schematic representation of a layer arrangement after the separation of a solid layer from a solid body
  • FIG. 2a shows a receiving layer according to the invention
  • FIG. 2b shows a receiving layer according to the invention, which is arranged on a solid body
  • FIG. 2c shows a second recording layer according to the invention, which is arranged on a solid body
  • FIG. 2 d shows a third recording layer according to the invention, which is arranged on a solid body
  • FIG. 1 a shows a workpiece 2 or a substrate which is arranged in the region of a radiation source 18, in particular a laser, in particular a femtosecond laser (fs laser).
  • the workpiece 2 preferably has a first, in particular flat, surface portion 14 and a second, in particular planar, surface portion 16, wherein the first planar surface portion 14 is preferably aligned substantially or exactly parallel to the second planar surface portion 16.
  • the first planar surface portion 14 and the second planar surface portion 16 preferably define the workpiece 2 in a Y-direction, which is preferably oriented vertically or vertically.
  • the planar surface portions 14 and 16 preferably each extend in an X-Z plane, wherein the X-Z plane is preferably aligned horizontally.
  • the radiation source 18 emits steel 6 at the same time or with a time delay to the workpiece 2.
  • the beams 6 penetrate deeply into the workpiece 2 and generate local stresses at the respective position or at a predetermined position.
  • a multilayer arrangement is shown, wherein the workpiece 2 includes the crack guiding layer 8 and is provided in the region of the first planar surface portion 14 with a holding layer 12, which in turn is preferably superimposed by a further layer 20, wherein the further layer 20 preferably a stabilizing device, in particular a metal plate, is.
  • a polymer layer 10 is preferably arranged at the second planar surface portion 16 of the workpiece 2.
  • the receiving layer or polymer layer 10 and / or the holding layer 12 preferably consists at least partially and particularly preferably completely of PDMS and particularly preferably has a large number of holes, in particular blind holes and / or through holes.
  • the film preferably has at least one polymer material, in particular PDMS, wherein the polymer material preferably has a glass transition at a temperature of less than 20 ° C., in particular smaller than 10 ° C, in particular at less than 0 ° C, in particular at a temperature less than -50 ° C experiences.
  • the film particularly preferably has a multiplicity of holes 36 for conducting a liquid, the holes 36 each having a diameter of less than 5 mm.
  • FIG. 2 b shows a solid layer 4 separated from a solid body 2.
  • a receiving layer 10 or a foil 10 by means of which the voltages required to generate a crack for separating the solid layer 4 from the solid 2 have been produced.
  • the receiving layer 10 has a multiplicity of holes for conducting a liquid, the receiving layer 10 being fixed to the solid-state layer 4 by means of a bonding layer 11.
  • FIG. 2c shows a further receiving layer 10 or film according to the invention, which is preferably also arrangeable by means of a bonding layer 11 on the solid body 2 or arranged thereon.
  • the receiving layer 10 or multi-component receiving layer preferably has a first material portion 39, in particular a polymer portion, and a second material portion 40, in particular a metal portion.
  • the second material portion 40 preferably represents a coating of the first material portion 39 and is particularly preferably used for accelerated cooling of the first material portion 39.
  • the receiving layer 10 is preferably from the direction 38 with cold, in particular liquid nitrogen, applied, whereby the second material portion 40th cools down quickly and in particular by the direct contact with the first material portion 39 this is also cooled very quickly.
  • FIG. 2 d shows a further variant of the receiving layer 10 or foil according to the invention, which in turn is formed by the first material portion 39 and the second material portion 40.
  • the first material portion 39 preferably has holes 36 which are filled by the second material portion 40.
  • the second material portion 40 coats the first material portion 39 additionally or alternatively topside, i. parallel to the connection layer 1 1.
  • FIG. 2 e shows a still further variant of the receiving layer 10 or foil according to the invention, which in turn is formed by the first material portion 39 and the second material portion 40.
  • the first material portion 39 preferably has holes 36 through the second material portion 40 are lined, ie that the respective hole 36 bounding wall with the second material portion 40 is coated.
  • the second material portion 40 preferably coats the first material portion 39 additionally or alternatively on the upper side, ie parallel to the connection layer 11.
  • the method for producing solid-state layers comprises at least the following steps: providing a solid 2 for separating at least one solid layer 4, fixing a receiving layer 0 for holding the solid layer 4 on the solid 2, wherein the recording layer is a plurality having holes for conducting a liquid, wherein the receiving layer is fixed by means of a bonding layer on the solid and thermal loading of the receiving layer 10 for, in particular mechanical, generating stresses in the solid 2, which is due to the tears a crack in the solid 2 along a stripping level 8 propagates, wherein the solid state layer 4 is separated from the solid 2 by the crack.
  • the film according to the invention for generating voltage in a solid preferably has at least one polymer material, in particular PDMS, wherein the polymer material preferably undergoes a glass transition at a temperature of less than 0 ° C., in particular at a temperature of less than -50 ° C.
  • the film has a plurality of holes for conducting a liquid, wherein the holes each have a diameter of less than 5mm.

Landscapes

  • Dicing (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst mindestens die Schritte des Bereitstellens eines Festkörpers (2) zum Abtrennen mindestens einer Festkörperschicht (4), des Anordnens einer Aufnahmeschicht (10) zum Halten der Festkörperschicht (4) an dem Festkörper (2), wobei die Aufnahmeschicht zumindest aus einem Polymer und einem weiteren Werkstoff besteht, wobei die Aufnahmeschicht volumenmäßig mehrheitlich aus dem Polymer besteht, wobei der weitere Werkstoff eine größere Leitfähigkeit als das Polymer aufweist, und des thermischen Beaufschlagens der Aufnahmeschicht (10) zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (2), wobei sich durch die Spannungen ein Riss in dem Festkörper (2) entlang einer Ablöseebene (8) ausbreitet, wobei durch den Riss die Festkörperschicht (4) von dem Festkörper (2) abgetrennt wird.

Description

Kombiniertes Waferherstellungsverfahren mit einer
Mehrkomponentenaufnahmeschicht
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten gemäß dem Gegenstand von Anspruch 1 , auf einen mittels dieses Verfahrens hergestellten Wafer gemäß Anspruch 12, auf eine Folie gemäß Anspruch 13 und auf eine Verwendung dieser Folie gemäß Anspruch 14.
In vielen technischen Bereichen (z.B. Mikroelektronik- oder Photovoltaiktechnologie) werden Materialien, wie z.B. Silizium, Germanium oder Saphir, häufig in der Form dünner Scheiben und Platten (so genannte Wafer) gebraucht. Standardmäßig werden solche Wafer derzeit durch Sägen aus einem Ingot hergestellt, wobei relativ große Materialverluste ("kerf-loss") entstehen. Da das verwendete Ausgangsmaterial oft sehr teuer ist, gibt es starke Bestrebungen, solche Wafers mit weniger Materialaufwand und damit effizienter und kostengünstiger herzustellen.
Beispielsweise gehen mit den derzeit üblichen Verfahren allein bei der Herstellung von Siliziumwafern für Solarzellen fast 50% des eingesetzten Materials als "kerf-loss" verloren. Weltweit gesehen entspricht dies einem jährlichen Verlust von über 2 Milliarden Euro. Da die Kosten des Wafers den größten Anteil an den Kosten der fertigen Solarzelle ausmachen (über 40%), könnten durch entsprechende Verbesserungen der Waferherstellung die Kosten von Solarzellen signifikant reduziert werden.
Besonders attraktiv für eine solche Waferherstellung ohne kerf-loss ("kerf-free wafering") erscheinen Verfahren, die auf das herkömmliche Sägen verzichten und z.B. durch Einsatz von temperaturinduzierten Spannungen direkt dünne Wafer von einem dickeren Werkstück abspalten können. Dazu gehören insbesondere Verfahren, wie sie z.B. in PCT/US2008/012140 und PCT/EP2009/067539 beschrieben sind, wo zum Erzeugen dieser Spannungen eine auf das Werkstück aufgetragene Polymerschicht verwendet wird.
Die Polymerschicht weist bei den erwähnten Verfahren einen im Vergleich zum Werkstück um ungefähr zwei Größenordnungen höheren thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf. Außerdem kann durch Ausnutzen eines Glasübergangs ein relativ hoher Elastizitätsmodul in der Polymerschicht erreicht werden, so dass im Schichtsystem Polymerschicht-Werkstück durch Abkühlen genügend große Spannungen induziert werden können, um die Abspaltung von Wafer vom Werkstück zu ermöglichen.
Beim Abspalten eines Wafers vom Werkstück haftet bei den erwähnten Verfahren jeweils auf einer Seite des Wafers noch Polymer an. Der Wafer krümmt sich dabei sehr stark in l Richtung dieser Polymerschicht, was ein kontrolliertes Abspalten erschwert, und z.B. zu Dickenschwankungen des abgespaltenen Wafers führen kann. Außerdem erschwert die starke Krümmung die weitere Verarbeitung und kann sogar zum Zerbrechen des Wafers führen.
Bei Verwendung der Verfahren nach bisherigem Stand der Technik weisen die hergestellten Wafer üblicherweise jeweils größere Dickenschwankungen auf, wobei die räumliche Dickenverteilung häufig ein Muster mit vierzähliger Symmetrie zeigt. Die totale Dickenschwankung über den ganzen Wafer gesehen ("total thickness Variation", TTV) beträgt bei Verwendung der bisherigen Verfahren häufig mehr als 100% der mittleren Waferdicke (ein Wafer von bspw. 100 Mikrometer mittlerer Dicke, der z.B. an seiner dünnsten Stelle 50 Mikrometer dick und an seiner dicksten Stelle 170 Mikrometer dick ist, hat ein TTV von 170-50=120 Mikrometer, was relativ zu seiner mittleren Dicke einer totalen Dickenschwankung von 120% entspricht). Wafer mit solch starken Dickenschwankungen sind für viele Anwendungen nicht geeignet. Außerdem liegen bei den am häufigsten auftretenden vierzähligen Dickenverteilungsmustern die Bereiche mit den größten Schwankungen unglücklicherweise in der Mitte des Wafers, wo sie am meisten stören.
Außerdem entstehen beim Verfahren nach aktuellem Stand der Technik während der Bruchpropagation beim Abspalten selbst unerwünschte Oszillationen in den beteiligten Schichtsystemen, die den Verlauf der Bruchfront ungünstig beeinflussen und insbesondere zu signifikanten Dickenschwankungen des abgespaltenen Wafers führen können.
Ferner dauert das Herunterkühlen des Polymers sehr lange, wodurch der Festkörper ebenfalls signifikant temperiert bzw. heruntergekühlt wird und negative Effekte auf den TTV der herzustellenden Festkörperschicht entstehen.
Es ist somit die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Festkörperschichten bereitzustellen, das die Herstellung von Festkörperplatten bzw. Wafern mit einer gleichmäßigen Dicke ermöglicht, insbesondere mit einem TTV von weniger als 120 Mikrometer.
Die zuvor genannte Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 zum Herstellen von Festkörperschichten gelöst. Das Verfahren umfasst dabei bevorzugt mindestens die Schritte, Bereitstellen eines Festkörpers zum Abtrennen mindestens einer Festkörperschicht, Anordnen einer Aufnahmeschicht zum Halten der Festkörperschicht an dem Festkörper, wobei die Aufnahmeschicht zumindest aus einem Polymer und einem weiteren Werkstoff besteht, wobei die Aufnahmeschicht bevorzugt volumenmäßig oder massemäßig bevorzugt mehrheitlich aus dem Polymer besteht, wobei der weitere Werkstoff eine größere Temperaturleitfähigkeit als das Polymer aufweist, thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper, wobei sich durch die Spannungen ein Riss in dem Festkörper entlang einer Ablöseebene ausbreitet, wobei durch den Riss die Festkörperschicht von dem Festkörper abgetrennt wird.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung und/oder der Unteransprüche.
Der weitere Werkstoff ist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung als Beschichtung auf das Polymer aufgebracht oder das Polymer ist als Beschichtung auf den weiteren Werkstoff aufgebracht. Diese Lösung ist vorteilhaft, da das Abkühlen des weiteren Werkstoffs schnell bewirkbar ist und somit durch den unmittelbaren Kontakt zwischen dem weiteren Werkstoff und dem Polymerwerkstoff diesem Wärme entzogen wird, wodurch eine Abkühlung des Polymerwerkstoffanteils der Aufnahmeschicht beschleunigt erfolgt.
Die Beschichtung, d.h. bevorzugt der weitere Werkstoff anteil, weist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung lokale Schwächungen auf, insbesondere ist die Beschichtung gebrochen, insbesondere um einer durch das Polymer bei der Spannungserzeugung bewirkten Verformung zu folgen. Es ist ebenfalls denkbar, dass mit dem weiteren Werkstoff mehrere voneinander verschiedene Abschnitte des Polymeranteils der Aufnahmeschicht beschichtet sind, wobei die einzelnen Werkstoffanteile bevorzugt keine zusammenhängende Struktur ausbilden, sondern besonders bevorzugt zueinander bewegbar sind.
Die Wärmeleitfähigkeit (W/(m*K)) des weiteren Werkstoffs ist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bevorzugt mehr als 5 mal größer, bevorzugt mehr als 10 mal größer und besonders bevorzugt mehr als 30, mehr als 100, mehr als 200 oder mehr als 300 mal größer als die des Polymers bzw. des Polymerwerkstoffanteils der Aufnahmeschicht, wobei der weitere Werkstoff bevorzugt ein Metall oder eine Legierung ist. Diese Ausführungsform ist vorteilhaft, da mit zunehmender Wärmeleitfähigkeit des weiteren Werkstoffs eine Abkühlung des Polymerwerkstoffanteils der Aufnahmeschicht beschleunigbar ist.
Der weitere Werkstoff ist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Form von länglichen Spänen oder zapfenartigen Elementen innerhalb einer von dem Polymer vorgegebenen Schichtstruktur vorgesehen, wobei die Späne bevorzugt derart ausgerichtet sind, dass sich ihrer Längsachsen orthogonal zur Schichterstreckungsrichtung erstrecken. Die Späne werden bevorzugt beim Erzeugen der Aufnahmeschicht in das zu diesem Zeitpunkt bevorzugt flüssige Polymer eingebracht und z.B. über eine Magnetbeaufschlagung ausgerichtet. Diese Ausführungsform ist vorteilhaft, da durch die einzelnen Späne jeweils eine Kältebrücke geschaffen wird, durch die dem Polymerwerkstoffanteil der Aufnahmeschicht sehr schnell Wärme entziehbar ist bzw. der Polymerwerkstoffanteil der Aufnahmeschicht sehr schnell abkühlbar ist.
Die Aufnahmeschicht weist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine Vielzahl an Löcher auf, wobei die Löcher mit dem weiteren Werkstoff gefüllt oder ausgekleidet sind. Diese Ausführungsform ist vorteilhaft, da die Position und/oder Gestalt der durch den weiteren Werkstoff ausgebildeten Kältebrücke sehr genau vorgebbar bzw. erzeugbar ist.
Die Spannungen zum Ablösen der Festkörperschicht werden gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung von dem Festkörper durch die thermische Beaufschlagung der Aufnahmeschicht, insbesondere einer Mehrkomponentenschicht, erzeugt. Die thermische Beaufschlagung stellt bevorzugt ein Abkühlen der Aufnahmeschicht auf oder unter die Umgebungstemperatur und bevorzugt unter 10°C und besonders bevorzugt unter 0°C und weiter bevorzugt unter -10°C dar. Die Abkühlung der Aufnahmeschicht erfolgt höchst bevorzugt derart, dass zumindest der Polymerwerkstoffanteil der Aufnahmeschicht, die bevorzugt zumindest teilweise aus einem Polymerwerkstoff, insbesondere aus PDMS, und aus einem weiteren Werkstoff, insbesondere einem Metall, besteht, einen Glasübergang vollzieht. Die Abkühlung kann hierbei eine Abkühlung auf unter -100°C sein, die z.B. mittels flüssigen Stickstoffs bewirkbar ist. Diese Ausführungsform ist vorteilhaft, da sich die Aufnahmeschicht in Abhängigkeit von der Temperaturveränderung zusammenzieht und/oder einen Gasübergang erfährt und die dabei entstehenden Kräfte auf den Festkörper überträgt, wodurch mechanische Spannungen in dem Festkörper erzeugbar sind, die zum Auslösen eines Risses und/oder zur Rissausbreitung führen, wobei sich der Riss zunächst entlang der ersten Ablöseebene zum Abspalten der Festkörperschicht ausbreitet.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird der Festkörper an einer Halteschicht zum Halten des Festkörpers angeordnet, wobei die Halteschicht an einem ersten ebenen Flächenanteil des Festkörpers angeordnet wird, wobei der erste ebene Flächenanteil des Festkörpers von einem zweiten ebenen Flächenanteil des Festkörpers beabstandet ist, wobei am zweiten ebenen Flächenanteil die Aufnahmeschicht angeordnet ist und wobei die Ablöseebene gegenüber dem ersten ebenen Flächenanteil und/oder dem zweiten ebenen Flächenanteil parallel ausgerichtet wird bzw. parallel erzeugt wird.
Diese Ausführungsform ist vorteilhaft, da der Festkörper zumindest abschnittweise und bevorzugt vollständig zwischen der Halteschicht und der Aufnahmeschicht angeordnet ist, wodurch mittels einer dieser Schichten oder mittels beider Schichten die Spannungen zur Risserzeugung bzw. Rissausbreitung in den Festkörper einleitbar sind.
Der Festkörper weist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung Silizium und/oder Gallium oder Perowskit auf und die Polymerschicht und/oder die Halteschicht bestehen zumindest teilweise und bevorzugt vollständig oder zu mehr als 75% (Volumenprozent) aus Polydimethylsiloxane (PDMS), wobei die Halteschicht an einer zumindest abschnittsweise ebenen Fläche einer Stabilisierungseinrichtung angeordnet ist, die zumindest teilweise aus mindestens einem Metall besteht. Die Stabilisierungseinrichtung ist bevorzugt eine Platte, insbesondere eine Platte die Aluminium aufweist oder daraus besteht. Diese Ausführungsform ist vorteilhaft, da durch die Stabilisierungseinrichtung und die Halteschicht der Festkörper definiert bzw. fest gehalten wird, wodurch die Spannungen sehr genau in dem Festkörper erzeugt werden können.
Der Festkörper weist bevorzugt ein Material oder eine Materialkombination aus einer der Hauptgruppen 3, 4 und 5 des Periodensystems der Elemente auf, wie z.B. Si, SiC, SiGe, Ge, GaAs, InP, GaN, AI203 (Saphir), AIN. Besonders bevorzugt weist der Festkörper eine Kombination aus in der dritten und fünften Gruppe des Periodensystems vorkommenden Elementen auf. Denkbare Materialien oder Materialkombinationen sind dabei z.B. Galliumarsenid, Silizium, Siliziumcarbid, etc. Weiterhin kann der Festkörper eine Keramik (z.B. AI203 - Alumiumoxid) aufweisen oder aus einer Keramik bestehen, bevorzugte Keramiken sind dabei z.B. Perovskitkeramiken (wie z.B. Pb-, O-, Ti/Zr-haltige Keramiken) im Allgemeinen und Blei-Magnesium-Niobate, Bariumtitanat, Lithiumtitanat, Yttrium-Aluminium- Granat, insbesondere Yttrium-Aluminium-Granat Kristalle für Festkörperlaseranwendungen, SAW-Keramiken (surface acoustic wave), wie z.B. Lithiumniobat, Galliumorthophosphat, Quartz, Calziumtitanat, etc. im Speziellen. Der Festkörper weist somit bevorzugt ein Halbleitermaterial oder ein Keramikmaterial auf bzw. besonders bevorzugt besteht der Festkörper aus mindestens einem Halbleitermaterial oder einem Keramikmaterial. Es ist weiterhin denkbar, dass der Festkörper ein transparentes Material aufweist oder teilweise aus einem transparenten Material, wie z.B. Saphir, besteht bzw. gefertigt ist. Weitere Materialien, die hierbei als Festkörpermaterial alleine oder in Kombination mit einem anderen Material in Frage kommen, sind z.B. „wide band gap"-Materialien, InAISb,
Hochtemperatursupraleiter, insbesondere seltene Erden Cuprate (z.B. YBa2Cu307). Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt das Fixieren der Aufnahmeschicht an dem Festkörper mittels einer Verbindungsschicht, wobei die Aufnahmeschicht besonders bevorzugt eine Vielzahl an Löcher zum Leiten einer Flüssigkeit aufweist.
Bevorzugt weisen die Löcher einen Durchmesser von weniger als 1 mm, bevorzugt von weniger als 0,5mm und besonders bevorzugt von weniger als 0,1 mm auf.
Die Aufnahmeschicht weist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mehr als 10 Löcher, bevorzugt mehr als 100 Löcher und besonders bevorzugt mehr als 1000 Löcher auf.
In einem Radius von weniger als 50mm, bevorzugt weniger als 25mm und besonders bevorzugt weniger als 5mm oder von weniger als 4mm oder von weniger als 3mm oder von weniger als 2mm oder von weniger als 1mm oder von weniger als 0,5mm, um das Zentrum eines jeden Loches herum ist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bevorzugt mindestens ein weiteres Loch ausgebildet.
Zum Ablösen der Aufnahmeschicht von dem Festkörper ist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein Fluid, insbesondere eine Flüssigkeit, durch die Löcher der Verbindungsschicht zuführbar, wobei das Fluid bevorzugt bewirkt, dass die Fixierung der Aufnahmeschicht an dem Festkörper geschwächt oder aufgehoben wird.
Mittels mindestens einer Strahlungsquelle, insbesondere einem Laser, insbesondere einem Femtosekunden-Laser, werden gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung vor oder nach der Anbringung der Aufnahmeschicht an dem Festkörper Defekte in der inneren Struktur des Festkörpers zum Vorgeben der Ablöseebene erzeugt.
Die Erfindung bezieht sich ferner auf einen Wafer, der nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 hergestellt wird.
Weiterhin bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Folie zur Spannungserzeugung in einem Festkörper, wobei die Folie zumindest aus einen Polymerwerkstoff, insbesondere PDMS, und aus einem weiteren Werkstoff besteht, wobei die Folie bevorzugt volumenmäßig und/oder massemäßig mehrheitlich aus dem Polymerwerkstoff besteht, wobei der weitere Werkstoff eine größere Wärmeleitfähigkeit als der Polymerwerkstoff aufweist, wobei der Polymerwerkstoff bevorzugt einen Glasübergang bei einer Temperatur kleiner als 0°C, insbesondere bei einer Temperatur kleiner -50°C, erfährt.
Ferner bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Verwendung einer Folie gemäß Anspruch 13 als Aufnahmeschicht in einem Verfahren nach Anspruch 1.
Weiterhin werden die Gegenstände der Druckschriften PCT/US2008/012140, PCT/EP2009/067539, DE102013016666.7, WO 2013/1 13730A1 und DE102014013107.6 vollumfänglich durch Bezugnahme zum Gegenstand der vorliegenden Patentanmeldung gemacht. Ebenso werden die Gegenstände aller weiteren am Anmeldetag der vorliegenden Patentanmeldung von der Anmelderin ebenfalls eingereichten und das Gebiet der Herstellung von Festkörperschichten betreffenden weiteren Patentanmeldungen vollumfänglich zum Gegenstand der vorliegenden Patentanmeldung gemacht.
Weitere Vorteile, Ziele und Eigenschaften der vorliegenden Erfindung werden anhand nachfolgender Beschreibung anliegender Zeichnungen erläutert, in welchen beispielhaft die erfindungsgemäße Waferherstellung dargestellt ist. Bauteile oder Elemente der erfindungsgemäßen Waferherstellung, welche in den Figuren wenigstens im Wesentlichen hinsichtlich ihrer Funktion übereinstimmen, können hierbei mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sein, wobei diese Bauteile oder Elemente nicht in allen Figuren beziffert oder erläutert sein müssen.
Darin zeigt:
Fig. 1a einen schematischen Aufbau zum Erzeugen von Lokal-Spannungen in einem
Festkörper;
Fig. 1b eine schematische Darstellung einer Schichtanordnung vor dem Abtrennen einer Festkörperschicht von einem Festkörper;
Fig. 1c eine schematische Darstellung einer Schichtanordnung nach dem Abtrennen einer Festkörperschicht von einem Festkörper;
Fig. 2a eine erfindungsgemäße Aufnahmeschicht;
Fig. 2b eine erfindungsgemäße Aufnahmeschicht, die an einem Festkörper angeordnet ist; Fig. 2c eine zweite erfindungsgemäße Aufnahmeschicht, die an einem Festkörper angeordnet ist;
Fig. 2d eine dritte erfindungsgemäße Aufnahmeschicht, die an einem Festkörper angeordnet ist; und
Fig. 2e eine vierte erfindungsgemäße Aufnahmeschicht, die an einem Festkörper angeordnet ist.
In Fig. 1 a ist ein Werkstück 2 bzw. ein Substrat gezeigt, das im Bereich einer Strahlungsquelle 18, insbesondere einem Laser, insbesondere einem Femtosekundenlaser (fs-Laser), angeordnet ist. Das Werkstück 2 weist bevorzugt einen ersten, insbesondere ebenen, Flächenanteil 14 und einen zweiten, insbesondere ebenen, Flächenanteil 16 auf, wobei der erste ebene Flächenanteil 14 bevorzugt im Wesentlichen oder genau parallel zu dem zweiten ebenen Flächenanteil 16 ausgerichtet ist. Der erste ebene Flächenanteil 14 und der zweite ebene Flächenanteil 16 begrenzen bevorzugt das Werkstück 2 in einer Y- Richtung, die bevorzugt vertikal bzw. lotrecht ausgerichtet ist. Die ebenen Flächenanteile 14 und 16 erstrecken sich bevorzugt jeweils in einer X-Z-Ebene, wobei die X-Z-Ebene bevorzugt horizontal ausgerichtet ist. Weiterhin lässt sich dieser Darstellung entnehmen, dass die Strahlungsquelle 18 Stahlen 6 zeitgleich oder zeitversetzt auf das Werkstück 2 ausstrahlt. Die Strahlen 6 dringen je nach Konfiguration definiert tief in das Werkstück 2 ein und erzeugen an der jeweiligen Position bzw. an einer vorbestimmten Position Lokal- Spannungen.
In Fig. 1 b ist eine mehrschichtige Anordnung gezeigt, wobei das Werkstück 2 die Rissführungsschicht 8 beinhaltet und im Bereich des ersten ebenen Flächenanteils 14 mit einer Halteschicht 12 versehen ist, die wiederum bevorzugt von einer weiteren Schicht 20 überlagert wird, wobei die weitere Schicht 20 bevorzugt eine Stabilisierungseinrichtung, insbesondere eine Metallplatte, ist. An dem zweiten ebenen Flächenanteil 16 des Werkstücks 2 ist bevorzugt eine Polymerschicht 10 angeordnet. Die Aufnahmeschicht bzw. Polymerschicht 10 und/oder die Halteschicht 12 bestehen bevorzugt zumindest teilweise und besonders bevorzugt vollständig aus PDMS und weist besonders bevorzugt eine Vielzahl an Löchern, insbesondere Sacklöcher und/oder Durchgangslöcher, auf.
In Fig. 1 c ist ein Zustand nach einer Rissauslösung und anschließender Rissführung gezeigt. Die Festkörperschicht 4 haftet an der Polymerschicht 10 und ist von dem verbleibenden Rest des Werkstücks 2 beabstandet bzw. beabstandbar. Fig. 2a zeigt eine erfindungsgemäße Aufnahmeschicht 10 bzw. Folie zur Spannungserzeugung in einem Festkörper 2. Die Folie weist dabei bevorzugt zumindest einen Polymerwerkstoff, insbesondere PDMS, auf, wobei der Polymerwerkstoff bevorzugt einen Glasübergang bei einer Temperatur kleiner als 20°C, insbesondere bei kleiner als 10°C, insbesondere bei kleiner als 0°C, insbesondere bei einer Temperatur kleiner -50°C, erfährt. Die Folie weist besonders bevorzugt eine Vielzahl an Löcher 36 zum Leiten einer Flüssigkeit auf, wobei die Löcher 36 jeweils einen Durchmesser von weniger als 5mm aufweisen.
Fig. 2b zeigt eine von einem Festkörper 2 abgetrennte Festkörperschicht 4. An der Festkörperschicht 4 ist noch eine Aufnahmeschicht 10 bzw. eine Folie 10 angeordnet, mittels der die zum Erzeugen eines Risses zum Abtrennen der Festkörperschicht 4 vom Festkörper 2 erforderlichen Spannungen erzeugt wurden. Die Aufnahmeschicht 10 weist eine Vielzahl an Löcher zum Leiten einer Flüssigkeit auf, wobei die Aufnahmeschicht 10 mittels einer Verbindungsschicht 11 an der Festkörperschicht 4 fixiert ist.
Fig. 2c zeigt eine weitere erfindungsgemäße Aufnahmeschicht 10 bzw. Folie, die bevorzugt ebenfalls mittels einer Verbindungsschicht 11 an dem Festkörper 2 anordenbar ist bzw. daran angeordnet ist. Die Aufnahmeschicht 10 bzw. Mehrkomponentenaufnahmeschicht weist dabei bevorzugt einen ersten Materialanteil 39, insbesondere einen Polymeranteil, und einen zweiten Materialanteil 40, insbesondere einen Metallanteil, auf. Der zweite Materialanteil 40 stellt dabei bevorzugt eine Beschichtung des ersten Materialanteils 39 dar und dient besonders bevorzugt zum beschleunigten Abkühlen des ersten Materialanteils 39. Die Aufnahmeschicht 10 wird dabei bevorzugt aus der Richtung 38 mit Kälte, insbesondere flüssigem Stickstoff, beaufschlagt, wodurch der zweite Materialanteil 40 schnell herunterkühlt und insbesondere durch den unmittelbaren Kontakt mit dem ersten Materialanteil 39 dieser ebenfalls sehr schnell abgekühlt wird.
Fig. 2d zeigt eine weitere Variante der erfindungsgemäßen Aufnahmeschicht 10 bzw. Folie, die wiederum durch den ersten Materialanteil 39 und den zweiten Materialanteil 40 gebildet wird. Der erste Materialanteil 39 weist bevorzugt Löcher 36 auf, die durch den zweiten Materialanteil 40 ausgefüllt werden. Bevorzugt beschichtet der zweite Materialanteil 40 den ersten Materialanteil 39 zusätzlich oder alternativ oberseitig, d.h. parallel zur Verbindungsschicht 1 1.
Fig. 2e zeigt eine noch weitere Variante der erfindungsgemäßen Aufnahmeschicht 10 bzw. Folie, die wiederum durch den ersten Materialanteil 39 und den zweiten Materialanteil 40 gebildet wird. Der erste Materialanteil 39 weist bevorzugt Löcher 36 auf, die durch den zweiten Materialanteil 40 ausgekleidet werden, d.h. dass die das jeweilige Loch 36 begrenzende Wandung mit dem zweiten Materialanteil 40 beschichtet ist. Bevorzugt beschichtet der zweite Materialanteil 40 den ersten Materialanteil 39 zusätzlich oder alternativ oberseitig, d.h. parallel zur Verbindungsschicht 11.
Ferner ist bevorzugt denkbar, dass das Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten, zumindest die nachfolgend genannten Schritte umfasst: Bereitstellen eines Festkörpers 2 zum Abtrennen mindestens einer Festkörperschicht 4, Fixieren einer Aufnahmeschicht 0 zum Halten der Festkörperschicht 4 an dem Festkörper 2, wobei die Aufnahmeschicht eine Vielzahl an Löcher zum Leiten einer Flüssigkeit aufweist, wobei die Aufnahmeschicht mittels einer Verbindungsschicht an dem Festkörper fixiert wird und thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht 10 zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper 2, wobei sich durch die Spannungen ein Riss in dem Festkörper 2 entlang einer Ablöseebene 8 ausbreitet, wobei durch den Riss die Festkörperschicht 4 von dem Festkörper 2 abgetrennt wird.
Weiterhin weist die erfindungsgemäße Folie zur Spannungserzeugung in einem Festkörper bevorzugt zumindest einen Polymerwerkstoff, insbesondere PDMS, auf, wobei der Polymerwerkstoff bevorzugt einen Glasübergang bei einer Temperatur kleiner als 0°C, insbesondere bei einer Temperatur kleiner -50°C, erfährt. Besonders bevorzugt weist die Folie eine Vielzahl an Löchern zum Leiten einer Flüssigkeit auf, wobei die Löcher jeweils einen Durchmesser von weniger als 5mm aufweisen.
Bezugszeichenliste
2 Werkstück
3 Substrat
4 Festkörperschicht
5 Opferschicht
6 Strahlung
8 Rissführungsschicht
10 Aufnahmeschicht / Folie
11 Verbindungsschicht
12 Halteschicht
14 erster ebener Flächenanteil
16 zweiter ebener Flächenanteil
18 Strahlungsquelle/Defekterzeugungsvorrichtung
20 Stabilisierungseinrichtung
36 Loch
38 Beaufschlagung mit Kälte
39 erster Materialanteil
40 zweiter Materialanteil
X erste Richtung
Y zweite Richtung
Z dritte Richtung

Claims

Ansprüche
1. Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten, mindestens umfassend die Schritte:
Bereitstellen eines Festkörpers (2) zum Abtrennen mindestens einer Festkörperschicht (4),
Anordnen einer Aufnahmeschicht (10) zum Halten der Festkörperschicht (4) an dem Festkörper (2), wobei die Aufnahmeschicht zumindest aus einem Polymer und einem weiteren Werkstoff besteht, wobei der weitere Werkstoff eine größere Temperaturleitfähigkeit als das Polymer aufweist,
thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht (10) zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (2), wobei sich durch die Spannungen ein Riss in dem Festkörper (2) entlang einer Ablöseebene (8) ausbreitet, wobei durch den Riss die Festkörperschicht (4) von dem Festkörper (2) abgetrennt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der weitere Werkstoff als Beschichtung auf das Polymer aufgebracht ist oder das Polymer als Beschichtung auf den weiteren Werkstoff aufgebracht ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung lokale Schwächungen aufweist, insbesondere gebrochen ist, um einer durch das Polymer bei der Spannungserzeugung bewirkten Verformung zu folgen.
4. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeleitfähigkeit (W/(m*K)) des weiteren Werkstoffs mehr als 5 mal größer, bevorzugt mehr als 10 mal größer und besonders bevorzugt mehr als 30, mehr als 100, mehr als 200 oder mehr als 300 mal größer als die des Polymers ist, wobei der weitere Werkstoff bevorzugt ein Metall oder eine Legierung ist.
5. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der weitere Werkstoff in Form von länglichen Elementen, insbesondere Spänen, innerhalb einer von dem Polymer vorgegebenen Schichtstruktur vorgesehen ist, wobei die Elemente, insbesondere die Späne, bevorzugt derart ausgerichtet sind, dass sich ihrer Längsachse orthogonal zur Schichterstreckungsrichtung erstreckt.
6. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeschicht eine Vielzahl an Löcher aufweist, wobei die Löcher mit dem weiteren Werkstoff gefüllt oder ausgekleidet sind.
7. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Löcher einen Durchmesser von weniger als 1 mm, bevorzugt von weniger als 0,5mm und besonders bevorzugt von weniger als 0,1 mm aufweisen.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeschicht mehr als 10 Löcher (36), bevorzugt mehr als 100 Löcher (36) und besonders bevorzugt mehr als 1000 Löcher (36) aufweist.
9. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Radius von weniger als 50mm, bevorzugt weniger als 25mm und besonders bevorzugt weniger als 5mm, um das Zentrum eines jeden Loches (36) herum mindestens ein weiteres Loch (36) ausgebildet ist.
10. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Ablösen der Aufnahmeschicht (10) von dem Festkörper (2) oder der Festkörperschicht (4) ein Fluid, insbesondere eine Flüssigkeit, durch die Löcher (36) einer Verbindungsschicht (11 ) zuführbar ist, durch welche die Aufnahmeschicht (10) an dem Festkörper (2) oder der Festkörperschicht (4) fixiert ist, wobei das Fluid bewirkt, dass die Fixierung der Aufnahmeschicht (10) an dem Festkörper (2) oder an der Festkörperschicht (4) geschwächt oder aufgehoben wird.
11. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mittels mindestens einer Strahlungsquelle (18), insbesondere einem Laser, insbesondere einem Femtosekunden-Laser, vor oder nach der Anbringung der Aufnahmeschicht (10) an dem Festkörper (2) Defekte in der inneren Struktur des Festkörpers (2) zum Vorgeben der Ablöseebene erzeugt werden.
12. Wafer, hergestellt nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11.
13. Folie (10) zur Spannungserzeugung in einem Festkörper, wobei die Folie (10) zumindest aus einen Polymerwerkstoff, insbesondere PDMS, und aus einem weiteren Werkstoff besteht, wobei die Folie volumenmäßig mehrheitlich aus dem Polymerwerkstoff besteht, wobei der weitere Werkstoff eine größere Wärmeleitfähigkeit als der Polymerwerkstoff aufweist, wobei der Polymerwerkstoff einen Glasübergang bei einer Temperatur kleiner als 0°C, insbesondere bei einer Temperatur kleiner -50°C, erfährt.
14. Verwendung einer Folie gemäß Anspruch 13 als Aufnahmeschicht (10) in einem Verfahren nach Anspruch 1.
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