ES2136798T3 - Estructura para la alineacion de una abertura de fuente de iones con un paso de haz de iones prefijado. - Google Patents

Estructura para la alineacion de una abertura de fuente de iones con un paso de haz de iones prefijado.

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ES2136798T3 ES95303262T ES95303262T ES2136798T3 ES 2136798 T3 ES2136798 T3 ES 2136798T3 ES 95303262 T ES95303262 T ES 95303262T ES 95303262 T ES95303262 T ES 95303262T ES 2136798 T3 ES2136798 T3 ES 2136798T3
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Abstract

SE PRESENTA UNA ESTRUCTURA Y UN METODO PARA POSICIONAR EXACTAMENTE Y ALINEAR UNA ABERTURA DE UN MIEMBRO DE EXTRACCION (78) Y UN HUECO DE UN ELECTRODO DE EXTRACCION (140) CON UNA LINEA DE HAZ PREDETERMINADA EN UN APARATO PARA LA IMPLANTACION DE IONES (10). LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION SE POSICIONA CON RESPECTO AL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE DEL HAZ DE IONES (44) ELIMINANDO DE ESTA FORMA LOS ERRORES ACUMULATIVOS DE TOLERANCIA QUE INUNDAN LOS APARATOS DE IMPLANTACIONES DE IONES CONOCIDOS HASTA EL MOMENTO. SE UTILIZA UNA FIJACION DE ALINEAMIENTO SEPARABLE (90) EN CONJUNCION CON UN DISPOSITIVO DE AGARRE AUTOCENTRABLE (92) PARA POSICIONAR EXACTAMENTE LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION EN ALINEAMIENTO CON LA LINEA PREDETERMINADA DEL HAZ. EL MIEMBRO DE EXTRACCION SE FIJA A UN ANILLO DE SOPORTE (94) DEL DISPOSITIVO DE AGARRE Y EL DISPOSITIVO DE AGARRE SE MONTA EN LA FIJACION DE ALINEAMIENTO. LA FIJACION DE ALINEAMIENTO SE MONTA EN EL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE DE FORMA PRECISA ALINEANDO LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION CON UNA LINEA PREDETERMINADA DEL HAZ. LA ARANDELA DIVIDIDA (107) DEL DISPOSITIVO DE AGARRE SE FIJA A UN TUBO DE SOPORTE (80) RODEANDO LA CAMARA DEL ARCO DE GENERACION DE IONES (18). DESDE EL MOMENTO QUE EL DISPOSITIVO DE AGARRE ES AUTOCENTRABLE, NO SE COMPROMETE EL ALINEAMIENTO DE LA ABERTURA DEL MIEMBRO DE EXTRACCION. ENTONCES, SE QUITA LA FIJACION DE ALINEAMIENTO. DESPUES DE QUITAR LA FIJACION DE ALINEAMIENTO, SE ASEGURA UN DISPOSITIVO DE ELECTRODO DE EXTRACCION DE HUECO VARIABLE (130) EN EL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE. SE UTILIZA UNA FIJACION DE FABRICACION DURANTE LA FABRICACION Y EL MONTAJE DEL DISPOSITIVO DE ELECTRODO DE EXTRACCION PARA ASEGURAR QUE EL HUECO DE EXTRACCION ESTE ALINEADO CON UNA LINEA DE HAZ PREDETERMINADA CUANDO SE MONTA EL DISPOSITIVO DEL ELECTRODO DE EXTRACCION EN EL ALOJAMIENTO DE LA FUENTE.
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