ES2197768A1 - Instalacion para deposicion de peliculas de carbono tipo damante sobre substratos de acero o de metal endurecido y el correspondiente metodo in situ usando recubrimientos duros de metal/carburo de ese metal como capas intermedias para el mejoramiento de la adherencia entre pelicu - Google Patents
Instalacion para deposicion de peliculas de carbono tipo damante sobre substratos de acero o de metal endurecido y el correspondiente metodo in situ usando recubrimientos duros de metal/carburo de ese metal como capas intermedias para el mejoramiento de la adherencia entre pelicuInfo
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- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 title abstract 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 title abstract 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 title abstract 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title abstract 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 title abstract 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 abstract 1
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Instalación para deposición de películas de carbono tipo diamante sobre substratos de acero o de metal endurecido "in situ" usando recubrimientos duros de metal/carburo de ese metal como capas intermedias para el mejoramiento de la adherencia entre películas y substrato. La invención está relacionada con un método de deposición "in situ" de multicapas de recubrimientos duros de W/WC/DLC (tungsteno/carburo de tungsteno/carbono tipo diamante) por el método PVD (Physical Vapor Deposition) de pulverización catódica reactiva asistida por campo magnético (magnetrón sputtering), a partir de un sólo blanco binario de forma circular mitad tungsteno (99.99%) y mitad de carbono (99.99%). La deposición de las multicapas de W/WC/DLC a partir de este blanco binario único se obtiene con variación gradual del porcentaje de CH4 (Metano) en la mezcla Ar/CH4 (Argón/Metano) que se introduce en la cámara donde se genera el plasma de la descarga luminiscente que da lugar a la deposición de las multicapas. Este método produce un mejoramiento de la adherencia del DLC a los substratos de aceros al usar las películas de W/WC como capas intermedias.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| ES200102020A ES2197768B1 (es) | 2001-09-06 | 2001-09-06 | Instalacion para deposicion de peliculas de carbono tipo diamante sobre substratos de acero o de metal endurecido y el correspondiente metodo in situ usando recubrimientos duros de metal/carburo de ese metal como capas intermedias para el mejoramiento de la adherencia entre peli. |
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| ES200102020A ES2197768B1 (es) | 2001-09-06 | 2001-09-06 | Instalacion para deposicion de peliculas de carbono tipo diamante sobre substratos de acero o de metal endurecido y el correspondiente metodo in situ usando recubrimientos duros de metal/carburo de ese metal como capas intermedias para el mejoramiento de la adherencia entre peli. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2197768A1 true ES2197768A1 (es) | 2004-01-01 |
| ES2197768B1 ES2197768B1 (es) | 2005-03-16 |
Family
ID=30470487
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES200102020A Expired - Fee Related ES2197768B1 (es) | 2001-09-06 | 2001-09-06 | Instalacion para deposicion de peliculas de carbono tipo diamante sobre substratos de acero o de metal endurecido y el correspondiente metodo in situ usando recubrimientos duros de metal/carburo de ese metal como capas intermedias para el mejoramiento de la adherencia entre peli. |
Country Status (1)
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| ES (1) | ES2197768B1 (es) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN121320900A (zh) * | 2025-12-17 | 2026-01-13 | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 | 一种钻针涂层及其制备方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5135808A (en) * | 1990-09-27 | 1992-08-04 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
| US5607560A (en) * | 1993-03-25 | 1997-03-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Diamond crystal forming method |
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2001
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|---|---|---|---|---|
| US5135808A (en) * | 1990-09-27 | 1992-08-04 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
| US5607560A (en) * | 1993-03-25 | 1997-03-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Diamond crystal forming method |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN121320900A (zh) * | 2025-12-17 | 2026-01-13 | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 | 一种钻针涂层及其制备方法 |
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