ES2209385T3 - Aparatos y metodo para usar burbujas como valvula virtual en un microinyector para eyectar fluido. - Google Patents

Aparatos y metodo para usar burbujas como valvula virtual en un microinyector para eyectar fluido.

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ES2209385T3
ES2209385T3 ES99902419T ES99902419T ES2209385T3 ES 2209385 T3 ES2209385 T3 ES 2209385T3 ES 99902419 T ES99902419 T ES 99902419T ES 99902419 T ES99902419 T ES 99902419T ES 2209385 T3 ES2209385 T3 ES 2209385T3
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Fan-Gang Tseng
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Abstract

Aparato para usar burbujas (30, 32) como válvula virtual en un microinyector (12) para eyectar fluido (26), que comprende: una cámara (14) para contener fluido (26) en su interior; un orificio (18) en comunicación fluida con dicha cámara (14); medios (20) para generar una primera burbuja (30) en dicha cámara (14) cuando es llenada dicha cámara (14) con fluido (26); y medios (22) para generar una segunda burbuja (32) en dicha cámara (14) posteriormente a la generación de dicha primera burbuja (30), cuando es llenada dicha cámara (14) con fluido (26), para eyectar fluido (26) de dicha cámara (14), caracterizado porque: dicho orificio (18) está dispuesto encima de dicha cámara (14); dicho medio (20) generador de la primera burbuja está dispuesto junto a dicho orificio (8) y encima de dicha cámara (14); y dicho medio (22) generador de la segunda burbuja está dispuesto junto a dicho orificio (8) y en cima de dicha cámara (14); dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) son adyacentes al orificio (18).

Description

Aparato y método para usar burbujas como válvula virtual en un micro inyector para eyectar fluido.
Antecedentes de la invención 1. Campo de la invención
Esta invención se refiere en general a los inyectores de líquido, y más particularmente a un aparato y método para eyectar líquido de un micro dispositivo.
2. Descripción de la técnica anterior
Los inyectores de gotitas de líquido son muy utilizados para la impresión en impresoras de chorro de tinta. No obstante, los inyectores de gotitas de líquido pueden usarse también en una multitud de otras aplicaciones potenciales, tales como en sistemas de inyección de carburante, separación de células, sistemas de administración de medicación, litografía de impresión directa, y sistemas de propulsión de micro chorro, por citar sólo unos pocos. Común a todas estas aplicaciones, es altamente deseable un inyector de chorro de gotitas, fiable y de bajo coste que puede suministrar gotitas de alta calidad con alta frecuencia y alta resolución espacial.
Sólo varios dispositivos tienen la habilidad de eyectar gotitas de líquido individualmente y con un tamaño de gotita uniforme. Entre los sistemas de inyección de gotitas de líquido actualmente conocidos y utilizados, la inyección por una burbuja gobernada térmicamente tal como los sistemas descritos en la patente US nº 5.479.196, es el dispositivo que ha tenido más éxito debido a su sencillez y coste relativamente bajo.
Los sistemas de burbuja térmicamente gobernados, que son también conocidos como sistemas de chorro de burbuja, adolecen de diafonia y gotitas satélite. El sistema de inyección de burbujas utiliza un impulso de corriente para calentar un electrodo con el fin de hervir líquido en una cámara. Cuando hierve el líquido, se forma en el mismo una burbuja que se expande, funcionando como una bomba para eyectar una columna de líquido desde la cámara a través de un orificio, transformándose en gotitas. Cuando se termina el impulso de corriente, la burbuja se colapsa y el líquido rellena la cámara por fuerza capilar. El rendimiento de tal sistema puede medirse por la velocidad y dirección de eyección, el tamaño de las gotitas, la frecuencia máxima de eyección, la diafonia entre cámaras adyacentes, los sobre alcances y oscilación del menisco durante el rellenado de líquido, y la emergencia de gotitas satélite. Durante la impresión, las gotitas satélite degradan la nitidez de la imagen, y en control de líquido preciso, reducen la exactitud de estimación de flujo. Se produce diafonía cuando los inyectores de chorro de burbujas están colocados en redes con un paso apretado, y las gotitas son eyectadas de boquillas adyacentes.
La mayoría de los sistemas de chorro de burbujas de tipo térmico ponen un calentador en el fondo de la cámara, que pierde gran cantidad de energía debido al material del sustrato. Igualmente, se usa típicamente adhesivo para unir la placa de boquillas a su placa calentadora, lo que limita la resolución espacial de la boquilla debido a las tolerancias de montaje requeridas. Adicionalmente, el procedimiento de pegado puede no ser compatible con los procesos IC, lo que podría ser importante si se desea integrar la red de micro inyectores con el circuito de control para reducir el cableado y asegurar un empaquetado compacto.
Para resolver los problemas de diafonía y sobre alcance, la práctica habitual ha consistido en incrementar la longitud del canal o añadir cuello de cámara para incrementar la impedancia del fluido entre la cámara y el depósito. Sin embargo, estas prácticas lentifican el rellenado de líquido dentro de la cámara y reducen considerablemente la frecuencia máxima de inyección del dispositivo.
El problema más preocupante que tienen los sistemas de chorro de tinta conocidos es la gotita satélite porque produce emborronamiento de la imagen. Las gotitas satélite que arrastran la gotita principal impactan en la superficie del papel en emplazamientos ligeramente diferentes que la gotita principal ya que la cabeza impresora y el papel están en movimiento relativo. No se conoce un medio o método que sean efectivos para resolver el problema de las gotitas satélites que sean fácilmente disponibles y económicos.
En consecuencia, se necesita un sistema de inyección de gotitas de líquido que minimice la diafonía sin ralentizar la cadencia de rellenado de líquido, manteniendo así una alta frecuencia de respuesta a la vez que se elimina las gotitas satélite, todo esto sin añadir complejidad al diseño ni a la fabricación. La presente invención satisface estas necesidades, así como otras, y supera generalmente las deficiencias encontradas en la técnica anterior.
Breve sumario de la invención
La presente invención se refiere a un aparato y método para formar una burbuja dentro de una cámara de un micro inyector para funcionar como una mecanismo de válvula entre la cámara y el colector, presentando así gran resistencia al líquido que sale de la cámara al colector durante la eyección de fluido a través del orificio y proporcionando también una baja resistencia al rellenado de líquido dentro de la cámara después de la eyección de líquido y del colapso de la burbuja.
En términos generales, el aparato de la presente invención comprende generalmente un micro inyector que tiene una cámara y un colector en comunicación de flujo a través de ella, un orificio en comunicación fluida con la cámara, al menos un medio para formar una burbuja entre la cámara y el colector y un medio para presurizar la cámara.
Cuando se forma la burbuja a la entrada de la cámara, se restringe el flujo de líquido desde la cámara al colector. El medio de presurización, que presuriza la cámara después de la formación de la burbuja, incrementa la presión de la cámara para expulsar el fluido fuera del orificio. Después de la eyección del fluido a través del orificio, la burbuja se colapsa y permite al líquido rellenar rápidamente la cámara.
Al presurizar la cámara mientras la burbuja está bloqueando la cámara con respecto al colector y cámaras adyacentes, se minimiza igualmente el problema de la diafonía.
En la realización preferida de la invención, el medio para formar la burbuja comprende un primer calentador dispuesto junto a la cámara. El medio de presurización comprende un segundo calentador capaz de formar una segunda burbuja dentro de la cámara. Los calentadores están dispuestos junto al orificio y comprenden un electrodo conectado en serie y que tienen diferentes resistencias debido a variaciones en la anchura del electrodo. El primer calentador tiene un electrodo más estrecho que el segundo calentador, haciendo así que se forme la primera burbuja antes que a la segunda burbuja, incluso cuando se aplica a través del mismo una señal eléctrica común.
Al expandirse la primera y segunda burbujas, las mismas se aproximan entre sí y finalmente se fusionan, interrumpiendo así claramente el flujo de líquido a través del orificio y dando lugar a la eliminación o reducción significativa de gotitas satélite.
Un objeto de la presente invención es proporcionar un aparato micro inyector que elimine las gotitas satélite.
Otro objeto de la presente invención es proporcionar un aparato micro inyector que minimice la diafonia.
Otro objeto más de la presente invención es proporcionar un aparato micro inyector que permita el rellenado rápido de líquido dentro de la cámara después de la eyección de fluido.
Otro objeto más de la presente invención es proporcionar un método para eyectar líquido de una cámara micro inyectora que minimice las gotitas satélite.
Otro objeto más de la presente invención es proporcionar un método para eyectar fluido de una cámara micro inyectora que minimice la diafonía.
Otro objeto más de la presente invención es proporcionar un método para eyectar fluido de una cámara micro inyectora que permita el rápido rellenado de líquido dentro de la cámara después de la eyección de fluido.
Otros objetos y ventajas de la invención aparecerán en el curso de la presente memoria descripción, en la que la descripción detallada se hace con el propósito de describir plenamente realizaciones preferidas de la invención sin imponer limitaciones.
Breve descripción de los dibujos
La invención será comprendida más perfectamente con referencia a los dibujos siguientes que se facilitan con fines ilustrativos únicamente:
la figura 1 es una vista en perspectiva de una sección de un aparato de red de micro inyectores de acuerdo con la presente invención;
la figura 2A es una vista en sección transversal de una cámara y colector del aparato de red de micro inyectores mostrado en la figura 1;
la figura 2B es una vista en sección transversal de una cámara y colector mostrados en la figura 2A para ilustrar la formación de una primera burbuja seguida por un segunda burbuja para eyectar fluido de un orificio;
la figura 2C es una vista en sección transversal de una cámara y colector mostrados en la figura 2A para ilustrar la coalescencia de una primera y segunda burbujas con el fin de terminar la eyección de líquido de un orificio;
la figura 2D es una vista en sección transversal de una cámara y colector mostrados en la figura 2A para ilustrar un colapso de una primera burbuja seguida por una segunda burbuja para permitir al fluido rellenar la cámara;
la figura 3 es una vista en planta superior de una oblea de silicio usada para fabricar un aparato de red de micro inyectores de la presente invención;
la figura 4 es una vista en sección transversal de una oblea de silicio mostrada en la figura 3, tomada a lo largo de la línea 4-4;
la figura 5 es una vista en planta superior de una oblea de silicio mostrada en la figura 3, mordentada desde su lado posterior para formar un colector;
la figura 6 es una vista en sección transversal de una oblea de silicio mostrada en la figura 5, tomada a lo largo de la línea 6-6;
la figura 7 es una vista en planta superior de una oblea de silicio mostrada en la figura 5, mordentada para agrandar la profundidad de una cámara;
la figura 8 es una vista en sección transversal de una oblea de silicio mostrada en la figura 7, tomada a lo largo de la línea 8-8;
la figura 9 es una vista en planta superior de una oblea de silicio mostrada en la figura 7, con calentadores depositados y configurados sobre ella;
la figura 10 es una vista en sección transversal de una oblea de silicio mostrada en la figura 9, tomada a lo largo de la línea 10-10;
la figura 11 es una vista en planta superior de una oblea de silicio mostrada en la figura 9, con un orificio formado;
la figura 12 es una vista en sección transversal de un oblea de silicio mostrada en la figura 11, tomada a lo largo de la línea 12-12.
Descripción detallada de la invención
Haciendo referencia más específicamente a los dibujos, para fines ilustrativos se materializa la presente invención en el aparato mostrado generalmente en las figuras 1 a 12. Se comprenderá que el aparato puede variar en lo que respecta a su configuración y a los detalles de las partes sin separarse de los conceptos básicos aquí descritos.
Haciendo referencia primeramente a la figura 1, se muestra generalmente una red 10 de un aparato micro inyector 12. La red 10 comprende una pluralidad de micro inyectores 12 dispuestos uno junto a otro. Cada micro inyector comprende una cámara 14, un colector 16, un orificio 18, un primer calentador 20 y un segundo calentador 22. El primer calentador 20 y el segundo calentador 22 son típicamente electrodos conectados en serie a un electrodo común 24.
Haciendo referencia también a la figura 2A, la cámara 14 está adaptada para ser llenada con líquido 26. El líquido 26 puede incluir, aunque sin limitarse a ellos, tinta, gasolina, aceite, productos químicos, solución biomédica, agua o similares, dependiendo de la aplicación específica. El nivel de menisco 28 del líquido 26 se estabiliza generalmente en el orificio 18. El colector 16 es adyacente a/y está en comunicación de flujo con la cámara 14. El líquido procedente de un depósito (no mostrado) es suministrado a la cámara 14 pasando a través del colector 16. El primer calentador 20 y el segundo calentador 22 están situados junto al orificio 18 y encima de la cámara 14 para impedir la pérdida de calor al sustrato. El primer calentador 20 está dispuesto junto al colector 16 mientras que el segundo calentador 22 está dispuesto junto a la cámara 14. Como se puede ver en la figura 2A, la sección transversal del primer calentador 20 es más estrecha que la del segundo calentador 22.
Haciendo también referencia a la figura 2B, como el primer calentador 20 y el segundo calentador 22 están conectados en serie, puede usarse un impulso eléctrico común para activar simultáneamente tanto el primer calentador 20 como el segundo calentador 22. Debido a que el primer calentador 20 tiene una sección más estrecha se produce una mayor disipación de potencia del impulso de corriente, haciendo así que se caliente el primer calentador 20 más rápidamente, en respuesta al impulso eléctrico común, que el segundo calentador 22 que tiene una sección más ancha. Esto permite simplificar el diseño al eliminar la necesidad de un medio para activar secuencialmente el primer calentador 20 y el segundo calentador 22. La activación del primer calentador hace que se forme una primera burbuja 30 entre el colector 16 y la cámara 14. Al expandirse la primera burbuja 30 en la dirección de la flecha P, la primera burbuja 30 comienza a limitar el flujo de fluido hacia el colector 16, formando así una válvula virtual que aisla la cámara 14 y apantalla las cámaras adyacentes contra la diafonía. Se forma una segunda burbuja 32 bajo el calentador 22 después de formarse la primera burbuja 30, y al expandirse la segunda burbuja 32 en la dirección de las flechas P, la cámara 14 es presurizada provocando la eyección de líquido 26 a través del orificio 18 como una columna de líquido 36 en la dirección F.
Haciendo también referencia a la figura 2C, cuando la primera burbuja 30 y la segunda burbuja 32 continúan expandiéndose, la primera burbuja 30 y la segunda burbuja 32 se aproximan entre sí y se termina la eyección de líquido a través del orificio 18. Cuando el primer calentador 20 y el segundo calentador 22 empiezan a coalescer, se corta violentamente la cola 34 de la columna de líquido 36, impidiendo así que se formen gotitas satélite.
Haciendo también referencia a la figura 2D, la terminación del impulso eléctrico hace que la primera burbuja 30 comience a colapsarse en la dirección mostrada en P. El colapso casi instantáneo de la primera burbuja 30 permite al flujo 26 rellenar rápidamente la cámara 14 en la dirección mostrada por las flechas R, al no existir ya restricción al líquido entre el colector 16 y la cámara 14.
Como puede verse hasta aquí un método para eyectar fluido 26 de un aparato micro inyector 12 de acuerdo con la presente invención, comprende generalmente las etapas de:
(a)
generar una primera burbuja 30 en la cámara llena de fluido 14 del aparato micro inyector 12;
(b)
presurizar la cámara 14 para eyectar fluido de la cámara 14, en el que la etapa de presurización comprende la generación de una segunda burbuja 32 en la cámara 14;
(c)
agrandar la primera burbuja 30 en la cámara 14 para que sirva de válvula virtual con el fin de restringir el flujo de fluido entre la cámara 14 y el colector 16;
(d)
agrandar la segunda burbuja 32 en la cámara 14, de forma que la primera burbuja 30 y la segunda burbuja 32 se aproximen entre sí para terminar violentamente la eyección de fluido de la cámara 14; y
(e)
colapsar la primera burbuja 30 para acelerar el rellenado de fluido dentro de la cámara 14.
Haciendo también referencia a la figura 3 y a la figura 4, se usa tecnología de superficie combinada y micro máquina masiva para fabricar una red 10 de micro inyectores sobre una oblea de silicio 38 sin proceso alguno de pegado de la oblea. El proceso de fabricación comienza depositando y configurando vidrio de fosfosilicato (PSG) como capa sacrificial de cámara 40 y depositando aproximadamente un nitruro de silicio de pocas tensiones 42 como capa superior de la cámara.
La oblea de silicio 38 es mordentada entonces desde el lado posterior 44, como se muestra en la figura 5 y en la figura 6, con hidróxido de potasio (KOH) para formar el colector 16. La capa sacrificial de PSG 40 se elimina con ácido fluorhídrico (HF). Como se puede ver en la figura 7 y la figura 8, otro mordentado con KOH agranda la profundidad de la cámara 14 por control de tiempo preciso. Hay que tener sumo cuidado durante esta etapa porque las esquinas convexas de la cámara 14 son también atacadas y redondeadas.
Haciendo también referencia a la figura 9 y a la figura 10, se deposita y se configura el primer calentador 20 y el segundo calentador 22. El primer calentador 20 y el segundo calentador 22 son preferiblemente de platino. Se forma alambres de metal 44 y se deposita encima una capa de óxido 46 para pasivación. Se dispone una interconexión 48 entre el primer calentador 20 y el electrodo común 24 por debajo de la capa de óxido 46. Haciendo referencia finalmente a la figura 11 y a la figura 12, se forma el orificio 18, asumiendo una capacidad de litografía de 3 \mum de anchura de línea, el orificio 18 puede ser tan pequeño como 2 \mum aproximadamente, y el paso entre orificios 18 puede ser tan bajo como aproximadamente 15 \mum. Puede verse que las esquinas convexas 47 de la cámara 14 quedan claramente definidas como resultado del mordentado.
Por consiguiente, se verá que esta invención proporciona un nuevo micro inyector que usa una burbuja para restringir el flujo de fluido en un micro canal, impidiendo así el escape de líquido de la cámara al colector durante la eyección de fluido a través del orificio. Se verá también que la segunda burbuja se usa, en conjunción con una primera burbuja, para cortar violentamente la columna de líquido que se está eyectando a través del orificio, eliminando así las gotitas satélite. Aunque la descripción que precede contiene muchas especificidades, éstas no deberían ser interpretadas para limitar el ámbito de la invención sino simplemente para proporcionar ilustraciones de algunas de las realizaciones actualmente preferidas de esta invención. Por tanto, el ámbito de esta invención debería ser determinado por las reivindicaciones que se acompaña y sus equivalentes legales.

Claims (28)

1. Aparato para usar burbujas (30, 32) como válvula virtual en un micro inyector (12) para eyectar fluido (26), que comprende:
una cámara (14) para contener fluido (26) en su interior;
un orificio (18) en comunicación fluida con dicha cámara (14);
medios (20) para generar una primera burbuja (30) en dicha cámara (14) cuando es llenada dicha cámara (14) con fluido (26); y
medios (22) para generar una segunda burbuja (32) en dicha cámara (14) posteriormente a la generación de dicha primera burbuja (30), cuando es llenada dicha cámara (14) con fluido (26), para eyectar fluido (26) de dicha cámara (14),
caracterizado porque:
dicho orificio (18) está dispuesto encima de dicha cámara (14);
dicho medio (20) generador de la primera burbuja está dispuesto junto a dicho orificio (8) y encima de dicha cámara (14); y
dicho medio (22) generador de la segunda burbuja está dispuesto junto a dicho orificio (8) y en cima de dicha cámara (14);
dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) son adyacentes al orificio (18).
2. Aparato según la reivindicación 1, que comprende además un colector (16) en comunicación de flujo con dicha cámara (14) para suministrar fluido (26) a dicha cámara (14), en el que
la formación de dicha segunda burbuja (32) produce la eyección de fluido (26) de la citada cámara (14) a través de dicho orificio (18).
3. Aparato según la reivindicación 1 ó 2, en el que dicho medio (20) generador de la primera burbuja comprende un primer calentador (20).
4. Aparato según la reivindicación 1 ó 2, en el que dicho medio (22) generador de la segunda burbuja comprende un segundo calentador (22).
5. Aparato según la reivindicación 4, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están dispuestos de manera que dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) se expandan una en dirección de la otra para terminar violentamente la eyección de fluido (26) a través de dicho orificio (18).
6. Aparato según la reivindicación 4 ó 5, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están adaptados para ser accionados por una señal común.
7. Aparato según la reivindicación 4, 5, ó 6, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están conectados en serie.
8. Aparato según la reivindicación 1, en el que la generación de dicha primera burbuja (30) restringe el flujo de fluido (26) desde dicha cámara (14) sirviendo de válvula virtual.
9. Método para eyectar fluido (26) de un micro inyector (12) que tiene una cámara (14), comprendiendo las etapas de:
(a)
generar una primera burbuja (30) junto a un orificio (18) en la cámara (14) cuando la cámara (14) es llenada con fluido (26);
(b)
generar una segunda burbuja (32) junto al orificio (18) para eyectar fluido (26) a través del orificio (18), en el que se ejecuta dicha etapa de generación de la segunda burbuja después de la etapa de generación de la primera burbuja; y
(c)
coalescer dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) para cortar violentamente la eyección de fluido (26) a través del orificio (18).
10. Método según la reivindicación 9, en el que:
dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) se yuxtaponen cada una al orificio (18);
antes de la coalescencia de dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) se agranda dicha primera burbuja (30) para que sirva de válvula virtual con el fin de restringir el flujo de fluido dentro de la cámara (14).
11. Método según la reivindicación 9 ó 10, que comprende además la etapa de colapsar dicha primera burbuja (30) para acelerar el flujo de fluido (26) dentro de la cámara (14).
12. Método según la reivindicación 9, 10 u 11, en el que se usa una señal común para iniciar secuencialmente la generación tanto de dicha primera burbuja (30) como de dicha segunda burbuja (32).
13. Método según la reivindicación 9, 10, 11 ó 12, en el que se lleva a cabo las etapas de generación de dicha primera y dicha segunda burbujas con un primer calentador (20) y un segundo calentador (22) que están conectados en serie.
14. Método según la reivindicación 9, en el que:
se usa un primer calentador (20) para generar y agrandar dicha primera burbuja (30); y
se usa un segundo calentador (22) para generar y agrandar dicha segunda burbuja (32).
15. Método según la reivindicación 14, en el que dicho primer calentador (20) agranda dicha primera burbuja (30) más rápidamente que dicho segundo calentador (22) agranda dicha segunda burbuja (32).
16. Aparato según la reivindicación 1, que comprende además:
una capa superior (42) en dicha cámara (14), una capa de pasivación (46) dispuesta junto a dicha capa superior (42);
en el que:
dicho orificio (18) atraviesa dicha capa de pasivación (46) y dicha capa superior (42);
dicho medio (20) generador de la primera burbuja está dispuesto entre dicha capa de pasivación (46) y dicha capa superior (42); y
dicho medio (22) generador de la segunda burbuja está dispuesto entre dicha capa de pasivación (46) y dicha capa superior (42).
17. Aparato según la reivindicación 16, en el que dicho primer medio (20) generador de burbuja comprende un primer calentador (20).
18. Aparato según la reivindicación 16 ó 17, en el que dicho medio (22) generador de la segunda burbuja comprende un segundo calentador (22).
19. Aparato según la reivindicación 18, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están dispuestos de manera que dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) se expandan una en dirección de la otra para terminar violentamente la eyección de fluido (26) de dicha cámara (14).
20. Aparato según la reivindicación 18, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están adaptados para ser accionados por una señal común.
21. Aparato según la reivindicación 18, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están conectados en serie.
22. Aparato según la reivindicación 16, en el que se genera dicha primera burbuja (30) para que sirva de válvula virtual y restrinja el flujo de líquido fuera de dicha cámara (14).
23. Aparato según la reivindicación 1, que comprende además:
una capa superior (42) en dicha cámara (14);
en el que:
dicho orificio (18) atraviesa dicha capa superior (42);
el medio (20) generador de la primera burbuja es un primer calentador (20) que tiene una primera disipación de potencia para generar dicha primera burbuja (30) en dicha cámara (14) para que sirva de válvula virtual;
el medio (22) generador de la segunda burbuja es un segundo calentador (22) que tiene una segunda disipación de potencia para generar dicha segunda burbuja (32) en dicha cámara (14) para eyectar fluido (26) de dicha cámara (14); y
dicha primera disipación de potencia es notablemente mayor que dicha segunda disipación de potencia.
24. Aparato según la reivindicación 23, en el que dicho primer calentador (20) y el segundo calentador (22) están conectados en serie.
25. Aparato según la reivindicación 23, en el que dicho primer calentador (20) tiene un primer valor de resistencia y dicho segundo calentador (22) tiene un segundo valor de resistencia, siendo dicho primer valor de resistencia notablemente mayor que dicho segundo valor de resistencia.
26. Aparato según la reivindicación 23, 24 ó 25, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están adaptados para ser accionados por una señal común.
27. Aparato según la reivindicación 23, 24, ó 25, en el que dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) están dispuestos de manera que dicha primera burbuja (30) y dicha segunda burbuja (32) se expandan una en dirección de la otra para terminar violentamente la eyección de fluido de dicha
cámara.
28. Aparato según la reivindicación 23, 24, ó 25, que incluye además una capa de pasivación (46) dispuesta junto a dicha capa superior (42), atravesando dicho orificio (18) tanto la citada capa de pasivación (46) como la capa superior (42), estando dispuestos dicho primer calentador (20) y dicho segundo calentador (22) junto a dicha capa de pasivación (46) y dicha capa superior (42).
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Families Citing this family (66)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3507421B2 (ja) 1999-09-03 2004-03-15 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および液体吐出方法
US6986566B2 (en) 1999-12-22 2006-01-17 Eastman Kodak Company Liquid emission device
US6378292B1 (en) * 2000-11-10 2002-04-30 Honeywell International Inc. MEMS microthruster array
TWI232807B (en) * 2001-01-19 2005-05-21 Benq Corp Microinject head with driving circuitry and the manufacturing method thereof
TW461961B (en) * 2001-03-15 2001-11-01 Benq Corp Pressure resisting temperature sensor
DE10211559B4 (de) * 2001-03-15 2004-07-01 Benq Corp. Piezo-resistive thermische Erfassungsvorrichtung
KR100416544B1 (ko) * 2001-03-15 2004-02-05 삼성전자주식회사 이중히터를 가지는 버블젯 방식의 잉크젯프린트 헤드
CN1296211C (zh) * 2001-03-27 2007-01-24 明基电通股份有限公司 流体喷射装置
CN1165428C (zh) * 2001-04-03 2004-09-08 明基电通股份有限公司 具有驱动电路的微喷射头
TW503179B (en) * 2001-05-07 2002-09-21 Benq Corp Ink jetting device having bubble valve and the method thereof
TW491734B (en) * 2001-06-28 2002-06-21 Acer Comm & Multimedia Inc Microinjector for ejecting droplets of different sizes
TW552201B (en) * 2001-11-08 2003-09-11 Benq Corp Fluid injection head structure and method thereof
TW510858B (en) * 2001-11-08 2002-11-21 Benq Corp Fluid injection head structure and method thereof
US6568799B1 (en) 2002-01-23 2003-05-27 Eastman Kodak Company Drop-on-demand ink jet printer with controlled fluid flow to effect drop ejection
US6568795B1 (en) * 2002-02-14 2003-05-27 Eastman Kodak Company Drop-on-demand ink jet printing with controlled fluid flow during drop ejection
TWI221322B (en) * 2002-02-26 2004-09-21 Benq Corp Manufacturing method of fluid spraying apparatus
US9943847B2 (en) 2002-04-17 2018-04-17 Cytonome/St, Llc Microfluidic system including a bubble valve for regulating fluid flow through a microchannel
US6808075B2 (en) 2002-04-17 2004-10-26 Cytonome, Inc. Method and apparatus for sorting particles
US20070065808A1 (en) * 2002-04-17 2007-03-22 Cytonome, Inc. Method and apparatus for sorting particles
US6976590B2 (en) 2002-06-24 2005-12-20 Cytonome, Inc. Method and apparatus for sorting particles
US6877528B2 (en) 2002-04-17 2005-04-12 Cytonome, Inc. Microfluidic system including a bubble valve for regulating fluid flow through a microchannel
TW552200B (en) 2002-07-12 2003-09-11 Benq Corp Fluid injection device and its manufacturing method
US7513042B2 (en) 2002-07-12 2009-04-07 Benq Corporation Method for fluid injector
US7252368B2 (en) 2002-07-12 2007-08-07 Benq Corporation Fluid injector
KR100445004B1 (ko) * 2002-08-26 2004-08-21 삼성전자주식회사 모노리틱 잉크 젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법
KR100499132B1 (ko) * 2002-10-24 2005-07-04 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
US6938993B2 (en) * 2002-10-31 2005-09-06 Benq Corporation Fluid injection head structure
US6726310B1 (en) 2002-11-14 2004-04-27 Eastman Kodak Company Printing liquid droplet ejector apparatus and method
US6820967B2 (en) * 2002-11-23 2004-11-23 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal ink jet printhead with heaters formed from low atomic number elements
US7036913B2 (en) * 2003-05-27 2006-05-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Ink-jet printhead
TW580435B (en) * 2003-06-16 2004-03-21 Benq Corp Method for fabricating a monolithic fluid eject device
CN100346969C (zh) * 2003-06-20 2007-11-07 明基电通股份有限公司 流体喷射装置
TWI253986B (en) 2003-06-24 2006-05-01 Benq Corp Fluid ejection apparatus
TW580436B (en) 2003-06-27 2004-03-21 Benq Corp Ink-jet micro-injector device and fabrication method thereof
CN1317736C (zh) * 2003-08-14 2007-05-23 明基电通股份有限公司 单片流体喷射装置的制作方法
TWI250279B (en) * 2003-11-13 2006-03-01 Benq Corp Method for fabricating an enlarged fluid channel
TWI246115B (en) * 2004-01-16 2005-12-21 Benq Corp Method for fabricating an enlarged fluid chamber using multiple sacrificial layers
US20050179716A1 (en) * 2004-02-14 2005-08-18 Eastman Kodak Company Apparatus and method of controlling temperatures in ejection mechanisms
TWI232806B (en) * 2004-03-17 2005-05-21 Benq Corp Fluid injector and method of manufacturing the same
TW200600348A (en) * 2004-06-17 2006-01-01 Ind Tech Res Inst Inkjet printhead
TWI264376B (en) * 2004-06-28 2006-10-21 Benq Corp Fluid injection device and method of fabricating the same
TWI308886B (en) * 2004-06-30 2009-04-21 Ind Tech Res Inst Inkjet printhead and process for producing the same
US7213908B2 (en) 2004-08-04 2007-05-08 Eastman Kodak Company Fluid ejector having an anisotropic surface chamber etch
CN100446977C (zh) * 2004-08-11 2008-12-31 明基电通股份有限公司 流体喷射装置
JP2006129445A (ja) 2004-09-28 2006-05-18 Fujitsu Media Device Kk 分波器
TWI231785B (en) * 2004-10-06 2005-05-01 Benq Corp Fluid injector and method of manufacturing the same
TWI272127B (en) * 2004-10-15 2007-02-01 Benq Corp Fluid injector and method of controlling fluid injector with optimized droplet
TWI252813B (en) * 2004-11-10 2006-04-11 Benq Corp Fluid injector device with sensors and method of manufacturing the same
US9260693B2 (en) 2004-12-03 2016-02-16 Cytonome/St, Llc Actuation of parallel microfluidic arrays
TWI241244B (en) * 2004-12-13 2005-10-11 Benq Corp Fluid injection device and method of fabricating the same
TWI254132B (en) * 2004-12-13 2006-05-01 Benq Corp Device and method of detecting openings
US20060176326A1 (en) * 2005-02-09 2006-08-10 Benq Corporation Fluid injector devices and methods for utilizing the same
TWI246461B (en) * 2005-05-12 2006-01-01 Benq Corp Method of manufacturing fluid injector
CN100484763C (zh) * 2005-05-16 2009-05-06 明基电通股份有限公司 单石化流体喷射装置及其制作方法
KR100676815B1 (ko) * 2005-05-31 2007-02-01 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
TW200718568A (en) * 2005-11-14 2007-05-16 Benq Corp Fluid injection apparatus
KR20070087817A (ko) * 2005-12-21 2007-08-29 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드
TWI273035B (en) * 2006-01-04 2007-02-11 Benq Corp Microinjection apparatus integrated with size detector
TWI322085B (en) * 2007-03-07 2010-03-21 Nat Univ Tsing Hua Micro-droplet injector apparatus having nozzle arrays without individual chambers and ejection method of droplets thereof
US8925835B2 (en) * 2008-12-31 2015-01-06 Stmicroelectronics, Inc. Microfluidic nozzle formation and process flow
US9108196B1 (en) * 2012-01-24 2015-08-18 Stratedigm, Inc. Method and apparatus for control of fluid flow or fluid suspended particle flow in a microfluidic channel
RU2498103C1 (ru) * 2012-07-10 2013-11-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) Микроэлектромеханический ракетный двигатель
JP6090560B2 (ja) * 2012-10-12 2017-03-08 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
CN108404699A (zh) * 2017-02-09 2018-08-17 埃尔微尘科技（北京）有限公司 一种气液混合装置
JP2019005950A (ja) 2017-06-22 2019-01-17 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、及び、液体噴射装置の制御方法
EP3853403B1 (en) 2018-09-17 2023-11-08 Arçelik Anonim Sirketi A washing machine comprising a hydrocyclone and a filtration hybrid arrangement.

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1127227A (en) * 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
US4463359A (en) * 1979-04-02 1984-07-31 Canon Kabushiki Kaisha Droplet generating method and apparatus thereof
US4494128A (en) * 1982-09-17 1985-01-15 Hewlett-Packard Company Gray scale printing with ink jets
JPS59199256A (ja) * 1983-04-28 1984-11-12 Canon Inc 液体噴射記録方法
US4546360A (en) * 1983-12-16 1985-10-08 Xerox Corporation Electrothermic ink jet
US4638337A (en) * 1985-08-02 1987-01-20 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead
JPS62169657A (ja) * 1986-01-22 1987-07-25 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
JPS62225364A (ja) * 1986-03-27 1987-10-03 Nec Corp インクジエツトプリンタの印字ヘツド
EP0317171A3 (en) * 1987-11-13 1990-07-18 Hewlett-Packard Company Integral thin film injection system for thermal ink jet heads and methods of operation
US5479196A (en) * 1990-02-26 1995-12-26 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording apparatus and method of recovery ink discharging condition of the same
JPH0733091B2 (ja) * 1990-03-15 1995-04-12 日本電気株式会社 インクジェット記録方法及びそれを用いたインクジェットヘッド
US5211806A (en) * 1991-12-24 1993-05-18 Xerox Corporation Monolithic inkjet printhead
US5648805A (en) * 1992-04-02 1997-07-15 Hewlett-Packard Company Inkjet printhead architecture for high speed and high resolution printing
DE4214555C2 (de) * 1992-04-28 1996-04-25 Eastman Kodak Co Elektrothermischer Tintendruckkopf
US5278585A (en) * 1992-05-28 1994-01-11 Xerox Corporation Ink jet printhead with ink flow directing valves
JPH06996A (ja) * 1992-06-19 1994-01-11 Hitachi Koki Co Ltd 液滴吐出器
JPH06297719A (ja) * 1993-04-16 1994-10-25 Brother Ind Ltd 液滴噴射装置及びその製造方法
US5666140A (en) * 1993-04-16 1997-09-09 Hitachi Koki Co., Ltd. Ink jet print head
US5539437A (en) * 1994-01-10 1996-07-23 Xerox Corporation Hybrid thermal/hot melt ink jet print head
ATE177369T1 (de) * 1994-07-20 1999-03-15 Spectra Inc Auf abruf arbeitende hochfrequenz- tintenstrahldruckvorrichtung
US5751317A (en) * 1996-04-15 1998-05-12 Xerox Corporation Thermal ink-jet printhead with an optimized fluid flow channel in each ejector
US6375309B1 (en) * 1997-07-31 2002-04-23 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge apparatus and method for sequentially driving multiple electrothermal converting members

Also Published As

Publication number Publication date
CN1274501C (zh) 2006-09-13
CN1495023A (zh) 2004-05-12
CN1274499C (zh) 2006-09-13
PT1053104E (pt) 2004-02-27
PL342061A1 (en) 2001-05-21
CN1144680C (zh) 2004-04-07
JP2002500975A (ja) 2002-01-15
DE69911742D1 (de) 2003-11-06
CN1597326A (zh) 2005-03-23
ATE251037T1 (de) 2003-10-15
AU2240499A (en) 1999-08-09
IL137459A0 (en) 2001-07-24
JP2005231364A (ja) 2005-09-02
CA2318983C (en) 2005-12-20
CN1299905C (zh) 2007-02-14
AU752431B2 (en) 2002-09-19
DE69911742T2 (de) 2004-08-05
EP1053104A4 (en) 2001-05-02
KR20010040355A (ko) 2001-05-15
HK1032564A1 (en) 2001-07-27
CA2318983A1 (en) 1999-07-29
IL137459A (en) 2003-12-10
HUP0101628A2 (hu) 2001-10-28
KR100563360B1 (ko) 2006-03-22
EP1053104A1 (en) 2000-11-22
CN1550336A (zh) 2004-12-01
DK1053104T3 (da) 2004-02-02
TR200002162T2 (tr) 2001-01-22
BR9907222A (pt) 2000-10-24
CN1597325A (zh) 2005-03-23
US6102530A (en) 2000-08-15
WO1999037486A1 (en) 1999-07-29
CN1290211A (zh) 2001-04-04
EP1053104B1 (en) 2003-10-01
HUP0101628A3 (en) 2002-07-29
CN1274500C (zh) 2006-09-13

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