ES2228650T3 - Microespejo. - Google Patents
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Abstract
Microespejo, especialmente, microespejo oscilante, con, al menos, una superficie de espejo (10) ampliamente voladiza que puede orientarse alrededor de al menos un eje de torsión (17) desde la posición de reposo, que está unido mediante, al menos, dos barras de torsión (13, 13¿) dirigidas aprox. de forma paralela entre sí con, al menos, un cuerpo portador (11, 12), caracterizado porque la superficie de espejo (10) está provista, al menos parcialmente, de forma superficial con circuitos impresos (15, 15¿).
Description
Microespejo.
La invención se refiere a un microespejo,
especialmente a un microespejo oscilante, según el género de la
reivindicación principal.
Del documento
EP-A-754958 se conoce un microespejo
según el preámbulo de la reivindicación 1.
Un microespejo y, especialmente, un microespejo
oscilante, que está provisto con un accionamiento electrostático,
ya se propone en la solicitud DE 19857946.2. Así mismo, una
superficie de espejo ampliamente voladiza con dos, o dado el caso,
cuatro trabillas elásticas que se encuentran opuestas entre sí por
pares o barras de torsión están unidas con un cuerpo portador
circundante.
Del documento US 5748172 se conoce un microespejo
con un accionamiento magnético. Así mismo, del mismo modo, una
membrana ampliamente voladiza está unida con un cuerpo portador
circundante mediante dos barras de torsión opuestas, en el que en
el lado inferior de la superficie de espejo se encuentran circuitos
impresos en forma de bucles de conductores o arrollamientos, a
través de las que se dirige una corriente eléctrica, de forma que
al aplicar un campo magnético exterior se ejerce un par de giro
sobre la superficie de espejo.
El objetivo de la presente invención era el
desarrollo de un diseño de espejo de nuevo tipo con capacidad de
carga mecánica incrementada, que sea adecuada especialmente,
también, para un accionamiento magnético. La capacidad de carga
incrementada debe conseguirse, así mismo, de forma que las barras de
torsión o trabillas elásticas que unen superficie de espejo con el
cuerpo portante se configuren de forma más fuerte o con más
capacidad de carga frente a torsiones y vibraciones.
El microespejo según la invención tiene respecto
al estado de la técnica la ventaja de una capacidad de carga
mecánica superior y una estabilidad frente a rotura más elevada, en
la que al mismo tiempo son necesarias pequeñas tensiones
eléctricas, para orientar la superficie del espejo desde la posición
de reposo o estimularla hacia una oscilación de torsión.
Además, mediante la configuración de las barras
de torsión según la invención, de forma ventajosa, son necesarias
en conjunto fuerzas de accionamiento para orientar la superficie de
espejo superiores a las de los microespejos conocidos, lo que
conduce a la estabilidad incrementada mencionada.
Finalmente, se obtiene una rigidez de torsión
reducida, de forma que la superficie de espejo según la invención
está unida con el cuerpo portador, al menos, mediante dos barras de
torsión que se dirigen, al menos de forma aprox. paralela entre sí,
en caso de una rigidez a la torsión comparable en comparación con
una única barra de torsión que ocupa toda la anchura de la barra de
torsión paralela y del espacio intermedio. Con ello, en caso de una
estabilidad incrementada de todo el diseño de espejo es posible, al
mismo tiempo, un ángulo de orientación mayor de la superficie de
espejo.
Variantes ventajosas de la invención se
desprenden de las medidas mencionadas en las reivindicaciones
subordinadas.
Así es especialmente ventajoso, que la superficie
de espejo en dos lados opuestos está unida respectivamente con dos
barras de torsión dirigidas distanciadas en paralelo una junto a la
otra con el cuerpo portador. De este modo, en la superficie de cada
barra de torsión está aplicado un circuito impreso, que puede
ocupar toda la superficie de la barra de torsión, de forma que se
obtiene un aprovechamiento óptimo de la anchura de la barra de
torsión, en caso de aislamiento simultaneo de los circuitos
impresos entre sí. Para ello, es especialmente ventajoso dirigir
corrientes eléctricas especialmente elevadas de, por ejemplo, 10 mA
a 1A a través de los circuitos impresos que se encuentran sobre la
superficie de las barras de torsión.
Así mismo, los circuitos impresos que se
extienden sobre la superficie de las barras de torsión pueden
hacerse ahora lo más grande posible, puesto que se elimina el
problema del aislamiento eléctrico.
En conjunto, mediante los circuitos impresos
ensanchados y el aprovechamiento óptimo de la superficie de la
barra de torsión se obtiene, de este modo, una capacidad de carga
de corriente más elevada que conduce a fuerzas magnéticas más
elevadas o pares de giro en caso de un accionamiento magnético. Por
tanto, el diseño del microespejo según la invención, debido a las
fuerzas mayores que pueden generarse, permite seleccionar de forma
ventajosa un diseño más robusto de la barra de torsión.
Así, la anchura total de ambas barras de torsión
que se dirigen distanciadas en paralelo una junto a la otra es,
junto con la achura del espacio intermedio que se encuentra en
medio, mayor que la anchura de la barra de torsión única
correspondiente conocida del estado de la técnica.
Así mismo, se obtiene de forma ventajosa una
rigidez de torsión del diseño elástico según la invención, que es
menor que la rigidez de torsión de una barra de torsión única, que
ocupa toda la anchura de ambas barras de torsión paralelas y del
espacio intermedio correspondiente.
El diseño elástico presentado puede transferirse,
en general, de forma ventajosa también a microespejos que presentan
dos ejes de torsión perpendiculares entre sí.
Resulta ventajoso, además, que los circuitos
impresos sobre la superficie de las barras de torsión, las
superficies de contacto que se encuentran parcialmente sobre el
cuerpo portador y los circuitos impresos dirigidos sobre la
superficie de las superficies de espejo pueden realizarse, de forma
sencilla, mediante procesos conocidos para la metalización de
superficies.
El microespejo según la invención puede, además,
estar dotado tanto con un accionamiento electrostático como,
también, con un accionamiento magnético.
Proveer la superficie de espejo real con dos
bucles colocados de forma simétrica en la zona exterior, que
conduce a una clara ampliación del flujo magnético encerrado
dirigido por los circuitos impresos sobre la superficie de la
superficie de espejo en un campo magnético exterior, tiene
finalmente la ventaja de que estos bucles, al mismo tiempo, pueden
servir como tope para la superficie de espejo y, de este modo, los
protege y especialmente, también, a las barras de torsión frente a
choques y sobrecargas breves. Para ello se prevé de forma ventajosa
que los bucles, en caso de una torsión demasiado fuerte de la
superficie de espejo, topen en el lado superior o inferior de la
caja o en el cuerpo portador, y eviten una rotura de la barra de
torsión.
Estos bucles adicionales en la superficie de
espejo son especialmente ventajosos cuando el microespejo según la
invención debe orientarse de forma estática y para obtener una
amortiguación neumática lo menor posible se prevé una holgura de
aire entre la superficie de espejo y el cuerpo portador
circundante.
En resumen, el microespejo según la invención
tiene la ventaja de las grandes fuerzas de accionamiento en
pequeñas tensiones de accionamiento simultaneas, obteniendo al
mismo tiempo una estabilidad mejorada del microespejo y un
rendimiento superior en la fabricación, puesto que las
microestructuras generadas en conjunto son más robustas. Así mismo,
el microespejo según la invención puede fabricarse completamente en
un proceso de fabricación conocido, de forma que no son necesarias
nuevas etapas de procedimiento y tecnologías de fabricación en la
producción.
La invención se explica en detalle mediante los
dibujos y en la descripción siguiente.
La figura 1 muestra un primer ejemplo de
realización de un microespejo con accionamiento electrostático, la
figura 2 muestra una segunda forma de realización con accionamiento
magnético y la figura 3 muestra una tercera forma de realización de
un microespejo con accionamiento magnético.
La figura 1 muestra un microespejo 5, que está
realizado en forma de un microespejo oscilante.
En detalle, el microespejo 5 representado se ha
estructurado a partir de un cuerpo portador 11, 12, por ejemplo, de
silicio, de forma conocida, en el que la superficie de espejo 10 se
prevé en forma de un rectángulo con dimensiones típicas de 100
\mum x 100 \mum hasta 400 \mum x 400 \mum, que en dos lados
opuestos está provisto con dos barras de torsión 13, 13'distanciadas
paralelas entre sí. Las barras de torsión 13, 13', que actúan como
trabillas elásticas, unen la superficie de espejo 10 con el cuerpo
portador 11, 12 que rodea la superficie de espejo, pro ejemplo,
lateralmente y en la zona inferior, de forma que la superficie de
espejo 10 es ampliamente voladiza. Para ello, el cuerpo portador
11, 12 es, por ejemplo, una plaquita de silicio.
Las barras de torsión 13, 13' tienen, además, una
longitud de 10 \mum hasta 100 \mum, una altura de 2 \mum
hasta 10 \mum y una anchura de 5 \mum hasta 15 \mum. Además,
están dispuestas de forma paralela entre sí a una distancia de 2
\mum hasta 5 \mum, de forma que se obtiene un espacio
intermedio correspondiente a la distancia entre las barras de
torsión 13, 13'.
Por debajo de la superficie de espejo 10 se
encuentra para la realización de un accionamiento electrostático
una superficie de electrodos, sobre la que está colocado
parcialmente de forma conocida un electrodo 18. Además, se prevé
proveer la superficie de espejo, al menos parcialmente,
especialmente en el lado inferior, con una metalización, que esté
unida con un suministro de tensión exterior mediante los circuitos
impresos dirigidos a través de las barras de torsión 13, 13'.
De este modo, mediante la aplicación de una
corriente eléctrica en el electrodo 18 o en la superficie de espejo
10 puede ejercerse una fuerza electrostática entre la superficie de
espejo 10 y el electrodo 18, de forma que aparece una orientación
de la superficie de espejo 10 alrededor del eje de torsión, que se
encuentra de forma paralela al eje definido por las barras de
torsión 13, 13'.
En otras realizaciones del ejemplo de realización
según la figura 1, especialmente de otros detalles para la
fabricación del microespejo 5, se renuncia al control eléctrico y
al contacto de unión, puesto que estos detalles son conocidos por
el especialista.
La figura 2 muestra una forma de realización
alternativa del ejemplo de realización según la figura 1, en la que
en lugar de un accionamiento estático se monta un accionamiento
magnético. Para ello, en la superficie de la superficie de espejo
10 se prevén, al menos, en un lado circuitos impresos 15, 15', que
se dirigen convenientemente en el borde exterior de la superficie de
espejo, de forma que encierran una superficie lo mayor posible en
la superficie de espejo 10. Los circuitos impresos 15, 15' se
fabrican, por ejemplo, de forma conocida mediante la aplicación de
metalizaciones superficiales, por ejemplo, de oro. Para que los
circuitos impresos 15, 15' en la figura 2 puedan llevar una
corriente eléctrica lo mayor posible, es conveniente configurar los
circuitos impresos 15, 15' de la forma más gruesa y plana
posible.
Los circuitos impresos 15, 15' se dirigen,
partiendo de la superficie de espejo 10 a través de las barras de
torsión 13 ó 13' asignadas hacia las superficies de contacto
eléctrico 14, 14' que, por ejemplo están colocadas de forma
conocida en el cuerpo portador 11, 12. En este sentido, los
circuitos impresos 15, 15' ocupan respectivamente toda la
superficie superior de la barra de torsión 13 ó 13' asignada
correspondientemente.
La separación eléctrica de ambos circuitos
impresos 15, 15' se garantiza mediante el espacio intermedio que se
encuentra entre las barras de torsión 13, 13'.
El grosor de los circuitos impresos 15, 15'
asciende preferiblemente a 100 nm hasta 2 \mum, no obstante,
también puede llegar a 10 \mum. Su anchura se encuentra
convenientemente entre 5 \mum y 50 \mum. Los circuitos impresos
15, 15' se componen, en general, preferentemente de oro.
En la figura 2 se indica además mediante el
símbolo H introducido, que el microespejo 5 según la figura 2 se
encuentra en un campo magnético exterior.
En caso de funcionamiento del microespejo 5
mediante la aplicación de una tensión eléctrica exterior de, por
ejemplo 10 V a 30 V en dos superficies de contacto contiguas 14,
14' y cerrando el circuito de corriente con ayuda de las dos
superficies de contacto 14, 14' opuestas restantes, circula de este
modo una corriente eléctrica I de, por ejemplo, 10 mA hasta 500 mA
a través de los circuitos impresos 15, 15', de forma que mediante
la disposición explicada de los circuitos impresos 15, 15' se forma
un bucle de conductores cerrado, que encierra una superficie A
definida por la dimensión de la superficie de espejo 10.
De este modo, mediante la corriente I eléctrica
aplicada y el campo magnético H exterior se ejerce un par de giro T
sobre la superficie de espejo 10, en el que es válido:
\overline{T}
= \overline{I} \cdot \overline{A} x \overline{B} y
\overline{B} =
\mu_{0}\mu_{0}\overline{H}
Este par de giro T, que es proporcional a la
corriente I eléctrica contigua, a la fuerza del campo magnético
exterior rB o H y a la superficie A encerrada por el circuito
impreso provoca, de este modo, un giro o torsión de la superficie
de espejo 10 \mum alrededor del eje de torsión 17. En caso de una
variación adecuada, por ejemplo, periódica de la corriente eléctrica
I aplicada y/o del campo magnético exterior H es posible de forma
sencilla también provocar una oscilación de torsión de la superficie
de espejo 10.
El ejemplo de realización explicado es adecuado,
no obstante, claramente también para una orientación estática de la
superficie de espejo 10.
En conjunto, para conseguir una fuerza lo mayor
posible o un par de giro lo mayor posible sobre la superficie de
espejo 10 en el ejemplo explicado es conveniente dirigir los
circuitos impresos 15, 15', al menos, en un lado sobre la
superficie de la superficie de espejo 10, de forma que en el campo
magnético H exterior se encierra un flujo magnético lo mayor
posible por los circuitos impresos 15, 15'.
La figura 3 explica en una variante de la figura
2 otro ejemplo de realización de la invención, que se distingue
simplemente de la figura 2 en que la superficie de espejo 10
presenta mediante una estructuración adecuada correspondiente del
cuerpo portador 11, 12, bucles laterales 16, 16'. Estos bucles 16,
16' están dispuestos de forma simétrica, preferiblemente, y sirven
en primer lugar para ampliar el par de giro T o el flujo magnético
encerrado mediante la ampliación de la superficie encerrada por los
circuitos impresos 15, 15'.
Los bucles 16, 16' según la figura 3 presentan,
por ejemplo, una longitud total de 500 \mum a 1 mm y una anchura
total de 100 \mum a 500 \mum. Su grosor corresponde al grosor
de la superficie de espejo 10. Los bucles 16, 16' están
configurados de forma similar a las barras de torsión 13, 13', es
decir, tienen forma de pequeñas trabillas, que encierran un
espacio, en el que en la superficie de las trabillas se extiende el
circuito impreso asignado 15 ó 15' y cubre esta superficie,
preferiblemente, de forma completa.
De este modo, que la superficie de espejo 10 está
provista en la figura 3 con los bucles, el bucle conductor que se
genera al cerrar el circuito de corriente encierra una mayor
superficie, de manera que, en caso de igual corriente I e igual
campo magnético exterior H, puede generarse un par de giro T
claramente aumentado.
El campo magnético exterior contiguo tiene, en
general, una fuerza de, preferiblemente 1 mTesla hasta 100 mTesla y
se genera, por ejemplo, mediante un imán permanente o electroimán
dispuesto en el entorno de la superficie de espejo 10.
Claims (14)
1. Microespejo, especialmente, microespejo
oscilante, con, al menos, una superficie de espejo (10) ampliamente
voladiza que puede orientarse alrededor de al menos un eje de
torsión (17) desde la posición de reposo, que está unido mediante,
al menos, dos barras de torsión (13, 13') dirigidas aprox. de forma
paralela entre sí con, al menos, un cuerpo portador (11, 12),
caracterizado porque la superficie de espejo (10) está
provista, al menos parcialmente, de forma superficial con circuitos
impresos (15, 15').
2. Microespejo según la reivindicación 1,
caracterizado porque las barras de torsión (13, 13') se
dirigen de forma paralela distanciada entre sí.
3. Microespejo según la reivindicación 1 ó 2,
caracterizado porque la superficie de espejo (10) está unida
mediante cuatro barras de torsión (13, 13') con el cuerpo portador
(11, 12), en el que dos de las barras de torsión (13, 13') están
dispuestas de forma distanciada entre sí y, en el que las cuatro
barras de torsión (13, 13') definen un eje de torsión (17)
común.
4. Microespejo según la reivindicación 1,
caracterizado porque la superficie de espejo (10) está
metalizada en superficie, al menos, parcialmente.
5. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la
superficie de espejo (10) está unida eléctricamente con el cuerpo
portador (11, 12) mediante, al menos, un circuito impreso (15,
15'), en el que el cuerpo portador (11, 12) presenta, especialmente,
al menos, una superficie de contacto (14, 14').
6. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque se prevén
medios, que producen una orientación, especialmente, una torsión
estática o una oscilación de torsión de la superficie de espejo
(10) alrededor del eje de torsión (17).
7. Microespejo según la reivindicación 6,
caracterizado porque el medio es, al menos, un electrodo
(18) dispuesto en un entorno de la superficie de espejo (10),
mediante el que puede orientarse la superficie de espejo (10) desde
la posición de reposo o estimularse a una oscilación de torsión
mediante un efecto de cambio electrostático.
8. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la
superficie de la superficie de espejo (10) está provista
parcialmente de circuitos impresos (15, 15'), que están unidos de
forma eléctricamente conductora mediante las barras de torsión (13,
13') con el cuerpo portador (11, 12), especialmente con las
superficies de contacto (14, 14') que se encuentran sobre el cuerpo
portador (11, 12).
9. Microespejo según la reivindicación 8,
caracterizado porque los circuitos impresos (15, 15') se
extienden al menos en un lado superficialmente sobre una superficie
de una barra de torsión (13, 13') asignada y, especialmente, cubren
al menos ampliamente esta superficie de la barra de torsión (13,
13').
10. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque los
circuitos impresos (13, 13') se extienden al menos en un lado sobre
la superficie de la superficie de espejo (10), de forma que en un
campo magnético exterior (H) se encierra un flujo magnético lo mayor
posible de los circuitos impresos. (13, 13').
11. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque los
circuitos impresos (13, 13') se extienden, al menos, en un lado en
la superficie de la superficie de espejo (10), de forma que en un
campo magnético exterior (H) en caso de una corriente eléctrica
dirigida a través de los circuitos impresos (13, 13') se ejerce un
par de giro lo mayor posible en la superficie de espejo (10).
12. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque los
circuitos impresos (13, 13') se dirigen sobre la superficie de la
superficie de espejo (10) en forma de un bucle de conductores.
13. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la
superficie de espejo (10) para ampliar el par de giro y/o el flujo
magnético presenta, al menos, un bucle (16, 16'), especialmente dos
bucles (16, 16') estructurados de forma simétrica, sobre cuya
superficie se extiende en cada uno un circuito impreso (15,
15').
14. Microespejo según, al menos, una de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque los
bucles (16, 16') presentan un peso lo menor posible y, al mismo
tiempo, en un campo magnético (H) exterior encierra un flujo
magnético lo mayor posible y/o en caso de una corriente eléctrica
dirigida a través de circuitos impresos (13, 13') ejercen un par de
giro lo mayor posible sobre la superficie de espejo (10).
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| US8294975B2 (en) | 1997-08-25 | 2012-10-23 | Donnelly Corporation | Automotive rearview mirror assembly |
| US6124886A (en) | 1997-08-25 | 2000-09-26 | Donnelly Corporation | Modular rearview mirror assembly |
| US6326613B1 (en) | 1998-01-07 | 2001-12-04 | Donnelly Corporation | Vehicle interior mirror assembly adapted for containing a rain sensor |
| US8288711B2 (en) | 1998-01-07 | 2012-10-16 | Donnelly Corporation | Interior rearview mirror system with forwardly-viewing camera and a control |
| US6690268B2 (en) | 2000-03-02 | 2004-02-10 | Donnelly Corporation | Video mirror systems incorporating an accessory module |
| US6445287B1 (en) | 2000-02-28 | 2002-09-03 | Donnelly Corporation | Tire inflation assistance monitoring system |
| US6329925B1 (en) | 1999-11-24 | 2001-12-11 | Donnelly Corporation | Rearview mirror assembly with added feature modular display |
| US6477464B2 (en) | 2000-03-09 | 2002-11-05 | Donnelly Corporation | Complete mirror-based global-positioning system (GPS) navigation solution |
| US6693517B2 (en) | 2000-04-21 | 2004-02-17 | Donnelly Corporation | Vehicle mirror assembly communicating wirelessly with vehicle accessories and occupants |
| US7370983B2 (en) | 2000-03-02 | 2008-05-13 | Donnelly Corporation | Interior mirror assembly with display |
| US7167796B2 (en) | 2000-03-09 | 2007-01-23 | Donnelly Corporation | Vehicle navigation system for use with a telematics system |
| US7255451B2 (en) | 2002-09-20 | 2007-08-14 | Donnelly Corporation | Electro-optic mirror cell |
| EP1363810B1 (en) | 2001-01-23 | 2007-05-30 | Donnelly Corporation | Improved vehicular lighting system |
| US7581859B2 (en) | 2005-09-14 | 2009-09-01 | Donnelly Corp. | Display device for exterior rearview mirror |
| US6918674B2 (en) | 2002-05-03 | 2005-07-19 | Donnelly Corporation | Vehicle rearview mirror system |
| US7329013B2 (en) | 2002-06-06 | 2008-02-12 | Donnelly Corporation | Interior rearview mirror system with compass |
| WO2003105099A1 (en) | 2002-06-06 | 2003-12-18 | Donnelly Corporation | Interior rearview mirror system with compass |
| AU2003278863A1 (en) | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Donnelly Corporation | Mirror reflective element assembly |
| US7310177B2 (en) | 2002-09-20 | 2007-12-18 | Donnelly Corporation | Electro-optic reflective element assembly |
| WO2004034126A1 (ja) | 2002-10-10 | 2004-04-22 | Fujitsu Limited | トーションバーを備えるマイクロ可動素子 |
| US7177068B2 (en) | 2002-12-20 | 2007-02-13 | Robert Bosch Gmbh | Apparatus, method and system for providing enhanced mechanical protection for thin beams |
| US7014115B2 (en) | 2003-08-25 | 2006-03-21 | Advanced Nano Systems, Inc. | MEMS scanning mirror with distributed hinges and multiple support attachments |
| US7446924B2 (en) | 2003-10-02 | 2008-11-04 | Donnelly Corporation | Mirror reflective element assembly including electronic component |
| US7308341B2 (en) | 2003-10-14 | 2007-12-11 | Donnelly Corporation | Vehicle communication system |
| US7706046B2 (en) * | 2004-06-08 | 2010-04-27 | Gentex Corporation | Rearview mirror element having a circuit mounted to the rear surface of the element |
| US7864398B2 (en) | 2004-06-08 | 2011-01-04 | Gentex Corporation | Electro-optical element including metallic films and methods for applying the same |
| ATE517368T1 (de) | 2005-05-16 | 2011-08-15 | Donnelly Corp | Fahrzeugspiegelanordnung mit zeichen am reflektierenden teil |
| DE102005033800B4 (de) | 2005-07-13 | 2016-09-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Fläche sowie dessen Verwendung |
| EP1949666B1 (en) | 2005-11-01 | 2013-07-17 | Magna Mirrors of America, Inc. | Interior rearview mirror with display |
| US7643196B2 (en) | 2005-12-16 | 2010-01-05 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Systems, methods and devices for actuating a moveable miniature platform |
| US8169681B2 (en) | 2006-03-03 | 2012-05-01 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
| US8274729B2 (en) * | 2006-03-03 | 2012-09-25 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
| US7746534B2 (en) * | 2006-12-07 | 2010-06-29 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
| US8368992B2 (en) * | 2006-03-03 | 2013-02-05 | Gentex Corporation | Electro-optical element including IMI coatings |
| EP2426552A1 (en) | 2006-03-03 | 2012-03-07 | Gentex Corporation | Electro-optic elements incorporating improved thin-film coatings |
| US7688495B2 (en) * | 2006-03-03 | 2010-03-30 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
| TWI328139B (en) * | 2007-01-22 | 2010-08-01 | Ind Tech Res Inst | Projector |
| US9274394B2 (en) | 2007-03-05 | 2016-03-01 | Gentex Corporation | Multi-zone mirrors |
| US10017847B2 (en) * | 2007-03-05 | 2018-07-10 | Gentex Corporation | Method and apparatus for ion milling |
| US8035881B2 (en) * | 2007-03-05 | 2011-10-11 | Gentex Corporation | Multi-zone mirrors |
| US8649083B2 (en) | 2007-03-05 | 2014-02-11 | Gentex Corporation | Multi-zone mirrors |
| US8196874B2 (en) | 2007-10-12 | 2012-06-12 | Maxtec, Llc | Storable intravenous stands |
| JP2009229916A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ |
| US8154418B2 (en) | 2008-03-31 | 2012-04-10 | Magna Mirrors Of America, Inc. | Interior rearview mirror system |
| DE102008026886B4 (de) * | 2008-06-05 | 2016-04-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats |
| DE102013210059B4 (de) * | 2013-05-29 | 2021-07-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element |
| CN105712290B (zh) * | 2014-12-04 | 2017-09-29 | 无锡华润上华半导体有限公司 | Mems静电驱动器的制作方法 |
| DE102015216811B4 (de) | 2015-09-02 | 2023-06-29 | Robert Bosch Gmbh | Schwenkvorrichtung für einen Mikrospiegel |
| DE102016220514A1 (de) | 2016-10-19 | 2018-04-19 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
| DE102016013227A1 (de) * | 2016-11-07 | 2018-05-09 | Blickfeld GmbH | Faser-Scanner mit mindestens zwei Fasern |
| DE102016221966A1 (de) | 2016-11-09 | 2018-05-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Ansteuern einer Aktoreinrichtung und mikromechanische Vorrichtung |
| DE102017206252A1 (de) | 2017-04-11 | 2018-10-11 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanische Spiegelvorrichtung |
| CN116100845A (zh) * | 2023-01-06 | 2023-05-12 | 四川大学 | 一种3d打印扭转梁微型集成扫描微镜的方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3003429B2 (ja) * | 1992-10-08 | 2000-01-31 | 富士電機株式会社 | ねじり振動子および光偏向子 |
| GB2275787A (en) | 1993-03-05 | 1994-09-07 | British Aerospace | Silicon micro-mirror unit |
| EP0657760A1 (en) * | 1993-09-15 | 1995-06-14 | Texas Instruments Incorporated | Image simulation and projection system |
| US5665997A (en) * | 1994-03-31 | 1997-09-09 | Texas Instruments Incorporated | Grated landing area to eliminate sticking of micro-mechanical devices |
| JP3425814B2 (ja) * | 1994-12-28 | 2003-07-14 | 日本信号株式会社 | 電磁アクチュエータ及びその製造方法 |
| US5670977A (en) * | 1995-02-16 | 1997-09-23 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator having single bit-line dual-latch memory cells |
| KR100343219B1 (ko) * | 1995-02-25 | 2002-11-23 | 삼성전기주식회사 | 거울구동장치 |
| US6046840A (en) * | 1995-06-19 | 2000-04-04 | Reflectivity, Inc. | Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements |
| US5739941A (en) * | 1995-07-20 | 1998-04-14 | Texas Instruments Incorporated | Non-linear hinge for micro-mechanical device |
| US6072617A (en) * | 1996-11-26 | 2000-06-06 | Texas Instruments Incorporated | Micro mechanical device with memory metal component |
| DE19728598C2 (de) | 1997-07-04 | 2000-12-14 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanische Spiegeleinrichtung |
| US6201629B1 (en) * | 1997-08-27 | 2001-03-13 | Microoptical Corporation | Torsional micro-mechanical mirror system |
| DE19857946C1 (de) | 1998-12-16 | 2000-01-20 | Bosch Gmbh Robert | Mikroschwingspiegel |
-
1999
- 1999-12-28 DE DE19963382A patent/DE19963382A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-11-22 WO PCT/DE2000/004116 patent/WO2001048527A2/de not_active Ceased
- 2000-11-22 JP JP2001549121A patent/JP4541627B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-22 ES ES00988634T patent/ES2228650T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-22 DE DE50007817T patent/DE50007817D1/de not_active Expired - Lifetime
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- 2000-11-22 US US10/169,247 patent/US6749308B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
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