ES2244266A1 - Micromaquina. - Google Patents
Micromaquina.Info
- Publication number
- ES2244266A1 ES2244266A1 ES200250038A ES200250038A ES2244266A1 ES 2244266 A1 ES2244266 A1 ES 2244266A1 ES 200250038 A ES200250038 A ES 200250038A ES 200250038 A ES200250038 A ES 200250038A ES 2244266 A1 ES2244266 A1 ES 2244266A1
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- rotor
- rotor according
- disk
- blades
- micromachine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 11
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 11
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 18
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 11
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 9
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 5
- 239000004566 building material Substances 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000003542 behavioural effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004035 construction material Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021344 molybdenum silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- SBEQWOXEGHQIMW-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si].[Si] SBEQWOXEGHQIMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B5/00—Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/02—Selection of particular materials
- F04D29/023—Selection of particular materials especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
- F01D1/00—Non-positive-displacement machines or engines, e.g. steam turbines
- F01D1/34—Non-positive-displacement machines or engines, e.g. steam turbines characterised by non-bladed rotor, e.g. with drilled holes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/161—Shear force pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/20—Oxide or non-oxide ceramics
- F05D2300/22—Non-oxide ceramics
- F05D2300/222—Silicon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/20—Oxide or non-oxide ceramics
- F05D2300/22—Non-oxide ceramics
- F05D2300/226—Carbides
- F05D2300/2261—Carbides of silicon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/60—Properties or characteristics given to material by treatment or manufacturing
- F05D2300/607—Monocrystallinity
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T50/00—Aeronautics or air transport
- Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Brushless Motors (AREA)
Abstract
Una micromáquina que incluye al menos un rotor sin álabes, estando dicho rotor adaptado para impartir energía a o derivar energía desde un fluido. Un rotor para una micromáquina que comprende al menos un par de discos alineados coaxialmente y ligeramente espaciados que definen superficies planas enfrentadas, teniendo al menos un disco al menos una abertura, por la que se define un pasaje de fluido entre la abertura, las superficies planas y la periferia del rotor, estando formado el rotor por un material monocristalino.
Description
Micromáquina.
Esta invención se refiere a micromáquinas y a un
rotor mejorado para micromaquinaria. El término micromaquinaria se
emplea para englobar muchos tipos de turbinas o compresores muy
pequeños. Estas máquinas pueden ser tan pequeñas que sólo midan 12
mm de diámetro con rotores de 4 mm de diámetro.
Micromáquinas tales como
micro-turbinas de gas, generadores de energía de
combustión, bombas y compresores se describen en la patente
estadounidense nº 5.932.940 (la patente M.I.T.), cuya descripción se
incluye aquí como referencia. Todas estas máquinas contienen un
rotor que consta de un disco o discos que definen bien un
compresor/bomba centrífuga o bien una turbina de flujo radial. El
material de construcción se caracteriza por una relación
resistencia-densidad que permite una velocidad de
rotor de al menos 500.000 rotaciones por minuto. Las máquinas se
construyen usando técnicas de microfabricación incluyendo
deposición en fase de vapor y grabado químico de microplaquetas,
siendo el material de construcción común a todos los elementos
estructurales.
Los rotores del compresor y de la turbina de los
dispositivos descritos en la patente M.I.T. utilizan una pluralidad
de paletas de flujo radial. Se considera que esta disposición de
álabes no es deseable en micromáquinas por las siguientes
razones:
(a) debido a que la naturaleza de la construcción
implica técnicas de construcción plana, los redondeos en las
aristas son difíciles de conseguir y, en ausencia de los redondeos
adecuados, la concentración de altas tensiones en la unión de la
base de los álabes disminuye la resistencia a la fractura de estos
microelementos;
(b) la colocación de los álabes alrededor de la
periferia de los discos aumenta la masa de la estructura en el
lugar en el que las tensiones centrífugas tienen el mayor
efecto;
(c) la multitud de álabes tiende a provocar una
turbulencia indeseable y pulsaciones los fluidos de trabajo, y la
naturaleza cíclica de la reacción entre fluidos y álabes resulta en
fluctuaciones de tensiones cíclicas (tensiones de fatiga) que
limitan la durabilidad (vida de fatiga) del conjunto rotor;
(d) la velocidad máxima de rotor está limitada en
parte por las tensiones mecánicas y térmicas permisibles que
pueden imponerse sobre la estructura del rotor por la multitud de
paletas de flujo radial;
(e) el grado de equilibrio de rotor obtenible se
ve afectado por el requisito de una multitud de paletas de flujo
radial; y
(f) el disco del rotor emplea álabes sólo en un
lado y está sujeto a un momento de flexión, causado por las fuerzas
centrífugas sobre el álabe.
Son estos problemas los que han provocado la
siguiente invención para utilizar un rotor sin álabes o sin paletas
en micromáquinas.
El uso de rotores sin álabes ha sido sugerido en
el contexto de turbinas a "gran escala". De este modo, un
método para comandar turbinas por medio del rozamiento viscoso fue
explicado por Tesla en la patente estadounidense 1.061.206 y para
la propulsión de fluido en la patente estadounidense 1.061.142. En
ambas descripciones el rotor consta de una pila de discos planos
circulares con aberturas en las zonas centrales, siendo los discos
ligeramente separados. En la forma de realización de la turbina el
rotor se pone en movimiento por la acción adhesiva y viscosa del
fluido de trabajo, que entra en el sistema tangencialmente por la
periferia y lo deja por su centro. En la realización de la
propulsión del fluido, el fluido entra en el sistema por el centro
de los discos rotatorios y es transferido por medio del rozamiento
viscoso a la periferia donde es descargado tangencialmente.
Para aplicaciones de propulsión del fluido tales
como bombas y compresores, el fluido es forzado a una circulación
en forma de vórtice alrededor de un punto central donde se crea un
gradiente de presión. Este gradiente de presión es tal que un
aumento de la distancia en sentido radial desde el centro de
rotación lleva a un aumento en la presión, con la densidad del
fluido y la velocidad de rotación determinando la intensidad del
aumento de presión. Si un flujo radial hacia afuera es superpuesto
a la circulación en vórtice se impone una presión creciente sobre
el fluido a medida que fluye hacia afuera.
Para conservar la circulación en vórtice, debe
actuar una fuerza externa sobre el fluido, y esta fuerza debe
acelerar el fluido en la dirección tangencial a medida que el
fluido se mueve hacia afuera para mantener su velocidad angular.
Esta función es simplemente una transferencia de la cantidad de
movimiento desde el impulsor hacia el fluido, y con un impulsor
compresor centrífugo esto puede conseguirse de una o dos maneras.
Un primer método es confinar el fluido dentro de un canal de
contorno fijo y luego acelerar el canal. En un impulsor del tipo
utilizado con técnicas anteriores de micromaquinaria, las paletas y
las paredes del rotor forman dicho canal, y la aceleración se
produce cuando el fluido se mueve hacia afuera hacia las regiones
de mayor velocidad de propulsión. Un segundo método de
transferencia de cantidad de movimiento es por rozamiento viscoso y
este es el principio que subyace en la disposición descrita en las
dos patentes estadounidenses a las que se ha hecho referencia
anteriormente. El rozamiento viscoso siempre actúa en el sentido de
reducir la diferencia de velocidad, de forma que en el caso de un
compresor en el que las paredes del canal se mueven relativa y
paralelamente al fluido, el fluido se acelerará en la dirección del
movimiento del canal. Por el contrario, cuando es el fluido el que
se mueve con relación y paralelamente a las paredes del canal, las
paredes del canal se acelerarán en la dirección del movimiento del
fluido.
Los rotores sin álabes o sin paletas conocidos
han tenido un éxito moderado en las turbinas a gran escala. El
número relativamente grande de piezas necesarias para su
construcción y la distorsión de los discos que tiene lugar bajo las
condiciones de elevadas tensiones térmicas y mecánicas han limitado
su adopción.
Son estos problemas los que han hecho surgir esta
invención.
Según un aspecto de la presente invención se
proporciona una micromáquina que incluye al menos un rotor sin
álabes, estando dicho rotor adaptado para impartir energía a u
obtener energía de un fluido.
Para la micromáquina, el rotor de la invención
puede tener un disco de diámetro no superior a 20 mm.
Preferiblemente, el rotor incluye un eje central
que soporta al menos dos discos planos ligeramente espaciados,
teniendo dichos discos superficies enfrentadas que definen un
pasaje de fluido. Al menos uno de los discos puede tener una o más
aberturas para permitir al fluido pasar hacia dentro o hacia afuera
del pasaje de fluido. Las aberturas están preferiblemente cerca de
una región central del disco. Puede haber dos o más discos con
aberturas, con las aberturas de cada disco alineadas con las de los
otros discos. Preferiblemente los discos están separados por
espaciadores.
El rotor de la invención puede tener un disco de
apoyo soportando varios discos anulares que forman una hilera de
discos coaxiales ligeramente espaciados. En esa disposición, cada
disco anular puede estar montado sobre el disco de apoyo o un disco
adyacente mediante una hilera de espaciadores. El disco de apoyo va
montado preferiblemente de forma coaxial sobre un eje.
La micromáquina, incluyendo su rotor,
preferiblemente tiene un estátor con paletas colocado alrededor de
la periferia del rotor sin álabes.
La micromáquina está hecha preferiblemente de
material capaz de funcionar a temperaturas superiores a 1000ºC. El
rotor, muy preferiblemente, está hecho de un material con una
resistencia a la tracción que permita al rotor funcionar a
velocidades mayores que 500.000 rpm a las elevadas temperaturas
asociadas a la combustión. El rotor puede estar hecho de material
monocristalino. El rotor puede, por ejemplo, estar formado al menos
en parte de un material de silicio, carburo de silicio, silicio
recubierto de carburo de silicio, y silicio recubierto de nitruro
de silicio.
El rotor está preferiblemente formado con una
técnica de microfabricación, como la fotolitografía o la deposición
en fase de vapor.
Según otro aspecto de la presente invención se
proporciona un rotor para una micromáquina, en donde el rotor
incluye al menos un par de discos alineados coaxialmente y
ligeramente espaciados que definen superficies planas enfrentadas,
y al menos un disco tiene al menos una abertura por la que se
define un pasaje de fluido entre la abertura, las superficies
planas y la periferia del rotor, y en donde el rotor no tiene
álabes y está formado por un material monocristalino.
Según otro aspecto de la presente invención se
proporciona un rotor para una micromáquina, en donde el rotor
incluye al menos un par de discos alineados coaxialmente y
ligeramente espaciados que definen superficies planas enfrentadas,
al menos un disco tiene al menos una abertura por la cual se define
un pasaje de fluido entre la abertura, las superficies planas y la
periferia del rotor, y en donde el rotor no tiene álabes y está
construido de un material que tiene una resistencia a la tracción
que permita al rotor funcionar a velocidades mayores que 500.000
rpm a las elevadas temperaturas asociadas a la combustión.
Según otro aspecto más de la presente invención
se proporciona un rotor, en donde el rotor incluye un disco de
apoyo y al menos un disco anular coaxialmente espaciado apoyado en
el disco de apoyo por un buje central que define al menos una
abertura, en donde el rotor no tiene álabes y el disco anular
define un pasaje de fluido libre de obstáculos entre la abertura y
la periferia del disco.
El rotor de la invención es, muy preferiblemente,
de construcción unitaria. El rotor está preferiblemente formado
con una técnica de microfabricación, como la fotolitografía o la
deposición en fase de
vapor.
vapor.
A continuación se describirán las formas
preferidas de realización de la invención sólo a modo de ejemplo
con referencia a los dibujos adjuntos en los que:
La Figura 1 es una vista en alzado frontal de una
primera realización de un rotor sin álabes para el uso en una
micromáquina,
la Figura 2 es una vista en alzado lateral del
rotor sin álabes de la Figura 1,
la Figura 3 es una vista en corte transversal
tomada a lo largo de la línea III-III de la Figura
1,
la Figura 4 es una vista en alzado frontal de una
segunda realización de un rotor sin álabes,
la Figura 5 es una vista en corte del rotor,
tomada a través de la línea V-V de la Figura 4,
la Figura 6 es una vista en corte del rotor,
tomada a través de la línea VI-VI de la Figura
4,
la Figura 7 es una vista tridimensional que
ilustra dos rotores sin álabes montados coaxialmente sobre un eje
común,
la Figura 8 es una vista en alzado frontal de un
rotor sin álabes según una tercera realización,
la Figura 9 es una vista en alzado lateral del
rotor de la Figura 8,
la Figura 10 es una vista en corte del rotor
tomada a través de la línea X-X de la Figura 9,
la Figura 11 es una vista en alzado frontal de un
aparato de pruebas que ilustra el funcionamiento de una turbina de
flujo radial que utiliza un rotor sin álabes,
la Figura 12 es una vista en corte transversal
tomada a lo largo de la línea XII-XII de la Figura
11,
la Figura 13 es una vista en alzado frontal de un
aparato de pruebas que ilustra el funcionamiento de una turbina de
flujo radial que emplea un rotor con álabes,
la Figura 14 es una vista en corte transversal
tomada a lo largo de la línea XIV-XIV de la Figura
13,
la Figura 15 es un gráfico de la velocidad del
rotor frente a la presión de la cámara impelente utilizando el
aparato de pruebas de las Figuras 11 y 13, y
la Figura 16 es un gráfico de la velocidad del
rotor frente al flujo de masa en gramos por segundo.
En la patente estadounidense 5.932.940 (la
patente M.I.T.) hay una descripción de micromaquinaria en la forma
de micro turbinas de gas y microcomponentes asociados. Los
componentes tales como el compresor, los difusores, las cámaras de
combustión, los rotores de la turbina y los estátores son todos
descritos como fabricados empleando técnicas de microfabricación en
un material que es común a todos los elementos. Entre los
materiales adecuados se incluyen una variedad de materiales
cerámicos empleados en el campo de los semiconductores o en el de
la microelectrónica, tales materiales incluyen el silicio, el
carburo de silicio o el nitruro de silicio. Otros materiales
adecuados incluyen metales refractarios y aleaciones basadas en el
níquel, tantalio, iridio y renio. También se consideran materiales
compuestos como el siliciuro de molibdeno. Los materiales también
pueden variar dependiendo de si se emplean en la zona caliente o en
la zona fría de la micromáquina. Tales técnicas y materiales son
adecuadas para su uso con un rotor y una micromáquina de acuerdo
con la invención.
Independientemente de si la máquina es una
turbina o un compresor, incluye al menos un rotor normalmente
montado sobre un eje. En una forma de realización la máquina podría
incluir un eje común que dirige un disco compresor en un extremo,
definiendo un compresor centrífugo y un disco de turbina en el
extremo opuesto definiendo una turbina de flujo radial hacia el
interior. Los componentes son muy pequeños de forma que el conjunto
entero mide menos de 20 mm de diámetro. Las micromáquinas están
diseñadas para funcionar a velocidades muy altas con una velocidad
angular típica de al menos 500.000 revoluciones por minuto. En una
forma de realización preferida las dimensiones de la máquina
abarcan los discos del compresor y de la turbina, de diámetros
entre 1 y 20 mm con una cámara de combustión que tiene una altura
entre 2 y 10 mm y con una longitud axial para la cámara de
combustión entre 0,5 mm y 12 mm. Los materiales que se emplean para
producir los componentes deberían ser preferiblemente capaces de
aguantar temperaturas de al menos 1.000ºC en el caso de las
turbinas. De nuevo, estas consideraciones son igualmente válidas
para un rotor y una micromáquina de acuerdo con la presente
invención, como se pondrá de manifiesto en lo que sigue.
La micromáquina descrita en la patente M.I.T.
utiliza rotores con álabes o paletas. Como se ha discutido en la
introducción de la presente descripción, se considera que el uso de
un rotor con álabes o paletas en la micromaquinaria provoca una
serie de problemas, muchos de los cuales pueden resolverse mediante
el uso de rotores sin álabes o paletas.
En la forma de realización mostrada en las
Figuras 1 a 3, se ilustra una forma de construcción sugerida para
un rotor 10 sin álabes. El rotor 10 sin álabes o paletas mostrado
en las Figuras 1 a 3 incluye dos discos o anillos coaxiales 12 y 13
fundamentalmente planos y lisos que forman una hilera y están muy
próximos y separados por un espaciador en forma de estrella 14 que
va unido a un disco de apoyo 16. El espaciador 14 está provisto de
aberturas 18 que comunican con el espacio 20 entre el disco de
apoyo 16 y el anillo 12 y con el espacio 21 entre el anillo 12 y el
13. En el ejemplo mostrado el rotor tiene un diámetro de unos 4 mm
y una anchura de unos 0,6 mm. El rotor está construido de material
como silicio, carburo de silicio u otro material adecuado y está
fabricado preferiblemente como un subconjunto de micromaquinaria de
una técnica anterior y, por supuesto, compatible con la fabricación
de componentes de micromaquinaria asociados.
Los espacios 20 y 21 forman pasajes de fluido
desde la abertura 18 hasta la periferia de los anillos 12 y 13.
Los pasajes de fluido están definidos por cuatro superficies, 22,
23, 24 y 25 sobre las cuales fluye el fluido, a saber las
superficies enfrentadas 23 y 24 de los anillos 12 y 13 y las
superficies enfrentadas 22 y 25 del anillo 12 y el disco de apoyo
16.
En las Figuras 4 a 6, se ilustra una segunda
forma de realización del rotor de una micromáquina. En el rotor
30, un disco de apoyo 32 soporta un separador con forma de cruz 34
sobre el cual se apoyan formando una hilera dos discos anulares o
anillos paralelos 36 y 37 sustancialmente planos y lisos muy
próximos entre sí. El separador 34 va provisto de aberturas 38 que
están en conexión fluida con el espacio 40 entre el disco de apoyo
32 y el anillo 36 y con el espacio 41 entre el anillo 36 y el
anillo 37. Los espacios 40 y 41 forman pasajes de fluido desde las
aberturas 38 hasta la periferia de los anillos 36 y 37. Los pasajes
de fluido están definidos por las cuatro superficies 42, 43, 44 y
45, a saber las superficies enfrentadas 43 y 44 de los anillos 36 y
37, y las superficies enfrentadas 42 y 45 del anillo 36 y el disco
de apoyo 32. El diámetro interior 46 de los espacios 40 y 41, es
más pequeño que el diámetro exterior 48 de las aberturas 38. Esta
disposición permite un flujo sin obstáculos de la circulación del
vórtice del fluido dentro de los pasajes de fluido formados por los
espacios 40 y 41 y dentro de las aberturas 38. En esta forma de
realización el rotor tiene un diámetro aproximado de 4 mm y una
anchura de unos 0,6 mm.
La construcción del rotor 10 de las Figuras 1 a 3
y el rotor 41 de las Figuras 4 a 6 puede realizarse mediante
técnicas de microfabricación de uso común como la fotolitografía y
las capas de enmascaramiento. En el caso de que el silicio sea el
material de construcción, pueden emplearse también procesos de
grabación en surco profundo que empleen pasos de grabación con
plasma anisotrópico alternando con pasos de polimerización. Un
proceso así se describe en la patente estadounidense nº 5.501.893 y
está disponible en Surface Technology Systems Ltd. de Imperial
Park, Newport, Reino Unido. Sin embargo, pueden emplearse otras
técnicas de grabación, y preferiblemente las técnicas de grabación
y química empleadas serán capaces de producir geometrías de surco
profundo con grandes relaciones dimensionales. Pueden emplearse
otras técnicas de fabricación, en particular cuando el material de
construcción es carburo de silicio, en cuyo caso los componentes
pueden moldearse por depositado de fase de vapor del material
seleccionado dentro de un molde pre-grabado formado
por ejemplo a partir de una microplaqueta de silicio. Los
componentes moldeados resultantes se sacan luego de sus moldes y
pueden enlazarse con los otros componentes para producir el rotor
final.
El rotor 10 mostrado en las Figuras 1 a 3 puede
funcionar como un compresor/bomba o como una turbina. En el caso de
que el rotor se defina como el compresor/bomba de una
microturbomáquina, se imprime velocidad al rotor dentro de una
carcasa adecuada por medios eléctricos o mecánicos (no mostrados).
Debería indicarse que el rotor 10 funcionará con igual eficacia
cuando se dirija en sentido de las agujas del reloj que cuando lo
haga en el sentido contrario a las agujas del reloj. El fluido, al
entrar por las aberturas de entrada 18 y ponerse en contacto con
los discos 12 y 13, se ve sujeto a dos fuerzas, una que actúa
tangencialmente en la dirección de la rotación, y la otra
radialmente hacia el exterior. El efecto combinado de estas fuerzas
tangencial y radial es la propulsión del fluido con velocidad
creciente en una trayectoria en espiral hasta que alcanza el
perímetro del rotor por donde es expulsado. En el caso en que el
rotor funciona como turbina en una microturbomáquina el
funcionamiento descrito anteriormente es invertido. Por lo tanto,
si el fluido bajo presión es admitido tangencialmente hacia el
perímetro del disco rotor, el rotor se pondrá en movimiento por las
propiedades del rozamiento viscoso del fluido que, recorriendo una
trayectoria en espiral y con una velocidad continuamente
decreciente alcanza las aberturas 18 por donde escapa.
Aunque un rotor 10 con los dos discos 12 y 13 se
describe en las Figuras 1 a 3, se entiende que se puede utilizar
una pluralidad de más de dos discos que cumplan adecuadamente con
los requisitos de funcionamiento particulares. De modo similar, el
rotor 30 de las Figuras 4 a 6 puede tener al menos un disco o
anillo adicional a los anillos 36 y 37.
Como puede apreciarse en las Figuras 1 a 3, las
tensiones impuestas por las fuerzas centrífugas son aguantadas
radialmente por el separador en forma de estrella 14, previniendo
así un momento flector en el disco de apoyo 16. También, según se
ilustra en las Figuras 1 a 3, los extremos 26 del separador con
forma de estrella 14 que se prolongan dentro del espacio 20 entre
la placa de apoyo 16, y el disco 12, y el espacio 21 entre los
discos 12 y 13 para proporcionar apoyo lateral a los discos 12 y
13.
De forma opuesta, en la segunda forma de
realización ilustrada en las Figuras 4 a 6, los extremos del
espaciador en forma de estrella 34 terminan por debajo del diámetro
exterior 48 de las aberturas 38 formando en consecuencia el
diámetro interior 46 de los espacios 40 y 41. Los beneficios de
esta forma de realización son que el flujo de fluido perturbado,
causado por los extremos 26 del espaciador 14 del rotor 10 de la
primera forma de realización, puede ser eliminado y el flujo por
rozamiento viscoso puede continuar sin obstáculos hacia las
aberturas 38.
Un material de construcción preferido para el
rotor de la invención es el carburo de silicio. Este material
posee como propiedades una alta resistencia y estabilidad
dimensional (resistencia a la termofluencia) para temperaturas
elevadas y una elevada relación
resistencia-densidad. En el caso particular de un
rotor de turbina sin álabes de técnica anterior, en donde los
principales problemas han estado siempre relacionados con la
vibración interna, las altas temperaturas, altas velocidades y
altas presiones, ha sido impracticable la construcción del rotor de
carburo de silicio, limitando así el potencial de alto rendimiento
de los rotores de turbina que funcionan con los principios del
rozamiento viscoso del fluido. El uso del carburo de silicio en el
rotor de una micro turbina de gas según la presente invención
minimiza la distorsión del disco y permite mayores velocidades y
por lo tanto un mejor rendimiento. Además, debido a que el rotor
está hecho con técnicas de microfabricación, se gana una ventaja de
los métodos particulares disponibles para la producción por lotes.
En el caso en que los rotores de la microturbomáquina puedan
funcionar a temperaturas inferiores a las de las micro turbinas de
gas, el material preferido de construcción puede ser el silicio.
Este material ya se usa ampliamente en los componentes
microelectrónicos y las técnicas de fabricación están bien
comprendidas. Las cerámicas son materiales excelentes para la
microfabricación de componentes sometidos a grandes tensiones
porque muestran una gran resistencia a la tracción a temperaturas
muy elevadas.
En algunas aplicaciones de micromaquinaria, se
puede aplicar un nivel de tensión térmica o mecánica relativamente
bajo, en cuyo caso los medios para soportar los anillos 12 y 13
según se muestra para el rotor 10 en las Figuras 1 a 3 puede
modificarse. Lo mismo sirve para los anillos 36 y 37 del rotor 30
mostrado en las Figuras 4 a 6.
La Figura 7 es una vista en perspectiva de un
rotor 50 de una micro turbina de gas de la presente invención
construida según lo habitual para una turbina de gas que sigue el
ciclo de Bryton. El rotor 50 tiene una unidad compresora 51 de
flujo radial de salida y una unidad de turbina 52 para el flujo
radial de entrada cada una de las cuales funciona con los
principios del rozamiento viscoso de fluido. Las unidades 51 y 52
van montadas por sus respectivos discos de apoyo 53 y 54 a los
respectivos extremos de un eje de conexión 55.
Cada una de las unidades 51 y 52 del rotor 50 de
la Figura 7 tiene una forma general parecida a la del rotor 10 de
las Figuras 1 a 3 y del rotor 30 de las Figuras 4 a 6. Una
descripción detallada de las unidades 51 y 52 no es, por tanto,
necesaria. Sin embargo, como se ve, los discos de apoyo respectivos
53 y 54 están encarados el uno frente al otro a lo largo del eje
55. Por lo tanto, los anillos 56 y 57 de la unidad 51 son
adyacentes a la superficie del disco 53 que es remoto a la unidad
52, mientras que los anillos 58 y 59 son adyacentes a la
superficie del disco 54 que es remoto a la unidad 51.
En las Figuras 8 a 10 se muestra una forma de
realización en la cual un rotor 70 de una micromáquina consta de un
disco de apoyo 72 sobre el cual van montados una serie de
espaciadores 73. Cada uno de los espaciadores 73 está unido por una
cara al disco de apoyo 72 y por la cara opuesta al anillo 74. Sobre
la cara opuesta del anillo 74 va montada otra serie de
espaciadores 75 y estos espaciadores van en contacto con la cara
interior del anillo 76. Aunque en los dibujos se muestran seis
espaciadores 73 y seis espaciadores 75 de un tamaño y forma
particular se comprende que pueden ser válidas otras cantidades,
tamaños y formas. En esta forma particular de realización de la
invención de las Figuras 8 a 10, la ventaja del apoyo radial dado a
los anillos por el espaciador en forma de estrella según muestran
las Figuras 1 a 3 o de un espaciador en forma de cruz según
muestran las Figuras 4 a 6 respectivamente, se intercambia por la
ventaja de una abertura sin obstáculos 78. Esta forma de
realización de las Figuras 8 a 10, como la primera forma de
realización de las Figuras 1 a 3 y la segunda forma de realización
de las Figuras 4 a 6, define pasajes de fluido entre la abertura 78
y la periferia de los anillos 74 y 76.
Las dimensiones del rotor 70 en conjunto, y el
espaciamiento del disco 72 y los anillos 74 y 76, para cualquier
máquina dada estarán determinados por las condiciones y requisitos
de la aplicación particular de la micromáquina, como con el rotor
10 de las Figuras 1 a 3, el rotor 30 de las Figuras 4 a 6 y el
rotor 50 de la Figura 7. En general, hace falta mayor espaciamiento
entre discos para diámetros de disco más grandes, recorridos en
espiral más largos y mayores viscosidades del fluido. Por ejemplo,
cuando la máquina está configurada como una turbina el par es
directamente proporcional al cuadrado de la velocidad relativa del
fluido respecto al rotor y al área efectiva de los discos, e
inversamente porporcional a la distancia que los separa. El tamaño
y la forma de las aberturas de los discos también estará
determinada según la aplicación y la construcción del rotor. En un
rotor de múltiples discos, el disco más lejano al disco de apoyo
puede tener aberturas más grandes no sólo para acomodar el flujo de
salida del fluido a través del pasaje adyacente al disco, sino
también la salida de fluido de los otros discos entre el disco de
apoyo y el disco más lejano. Además, el acabado de la superficie de
los discos es lo suficientemente liso para que al menos a una capa
de partículas de fluido se adhieran al disco, creando por lo tanto
una capa límite en el vórtice del fluido.
En sus formas preferidas, la presente invención
puede proporcionar las siguientes ventajas sobre el uso de paletas
de flujo radial en microturbomáquinas de técnica anterior:
(a) menor concentración de tensiones en las
aristas;
(b) menor turbulencia y pulsación en los fluidos
de trabajo;
(c) mayores velocidades angulares dentro de los
límites de la resistencia a la tracción y módulo elástico del
material debido a la carga plana radial y la ausencia de cambios
bruscos de sección;
(d) mejor equilibrado del rotor;
(e) reducción del momento flector causado por las
cargas centrífugas de los álabes;
y en el caso del uso técnicas anteriores en
rotores sin álabes de gran escala:
(a) no se requiere la multiplicidad de partes;
y
(b) distorsión de disco minimizada debido al
material de construcción preferido que da una alta resistencia y
estabilidad dimensional a elevadas temperaturas como, por ejemplo,
carburo de silicio o silicio.
La reducción o eliminación de las tensiones
cíclicas que surgen de la reacción entre los álabes y los fluidos
de trabajo en los rotores de microturbinas de técnica anterior,
tiene el efecto de obtener las ventajas bosquejadas en el párrafo
(b) anterior y, efectivamente, extender la vida de fatiga, o
durabilidad del rotor en la presente configuración sin álabes.
Las figuras 11 y 12 muestran un primer aparato de
pruebas 80 para su uso en el ensayo de un rotor 10 sin álabes como
muestran las Figuras 1 a 3. Las Figuras 13 y 14 muestran un segundo
aparato de pruebas 80, usado para ensayar un rotor con álabes 100
con los álabes 102. Los respectivos aparatos 80 de las Figuras 11 y
12 y de las Figuras 13 y 14 son idénticos, y por lo tanto tienen
los mismos números de referencia y son descritos refiriéndose a
cualquiera de ellos. El rotor 100 mostrado en las Figuras 13 y 14
tiene una construcción modelada lo más fielmente posible según los
rotores de turbina descritos en la patente M.I.T.
Los respectivos aparatos 80 se usaron para
demostrar la eficacia de usar un rotor sin álabes en una
micromáquina representada por un aparato de pruebas 80 como el
mostrado en las Figuras 11 y 12 y, usando un rotor 100 con álabes
en un aparato de pruebas 80 como el mostrado en las Figuras 13 y
14. Es decir, el propósito de los aparatos 80 era demostrar el
comportamiento de tales maquinarias cuando se emplea un rotor 10 sin
álabes del tipo descrito antes, según las Figuras 11 y 12,
comparado con el comportamiento de un rotor 100 convencional con
álabes, que tiene los álabes 102 según las Figuras 13 y 14. Por
razones prácticas se tomó la decisión de construir una turbina con
rotores 10 y 100 de 18 mm de diámetro para ser impulsadas por aire
comprimido. El uso de aire comprimido significó que la turbina no
necesitaba la capacidad de alcanzar elevadas temperaturas de
combustión y por ello no debía estar hecha de un material cerámico
resistente a las altas temperaturas. Por lo tanto, los componentes
se construyeron de un metal fácilmente asequible que tiene
excelentes cualidades de maquinabilidad. Se eligió una aleación de
aluminio 2011 debido a sus características de maquinabilidad y su
alta resistencia a la tracción. La elección de un rotor de 18 mm de
diámetro se hizo también por facilidad de construcción y para
asegurar que el aparato puede seguir clasificándose como
micromáquina.
El diseño del rotor sigue la forma de realización
del rotor 30 según se ilustra en las figuras 4 a 6 pero con todas
las dimensiones escaladas en la proporción 1:4,5. El espaciamiento
entre el disco de apoyo 32 y el disco 36, y entre los discos 36 y
37 fue de 0,375 mm, mientras que el espesor de los discos 36 y 37
fue de 0,375 mm. La distancia entre las superficies de trabajo 44
y 45 fue 1,125 mm.
Según muestran las Figuras 11 a 14, cada aparato
de pruebas 50 consta de un bloque de alojamiento 81 con una cara
frontal 82 con un hueco anular 83. Un agujero cilíndrico 84 se
extiende a través del centro del bloque 81. El agujero 84 sirve de
apoyo para los rodamientos espaciados 86. En las Figuras 11 y 12,
el rotor 10 sin álabes se muestra montado en un extremo del eje 87
que va apoyado dentro del agujero 84 por los rodamientos 86 para
rotación axial. El lado trasero 85 del bloque 81 está cerrado por
una placa final 88 que está asegurada al bloque por tornillos de
cabeza plana 89. El hueco anular 83 en la parte frontal del bloque
81 sirve de apoyo a una chapa soporte 90 que va colocada muy
próxima a la parte de atrás del rotor 10 sin álabes de las figuras
11 y 12 y el rotor 100 con álabes de las Figuras 13 y 14. La placa
soporte 89 soporta un estátor anular 91 que tiene los álabes 92. El
estátor respectivo 91 está colocado fuera pero cerca de la
periferia del rotor 10 o del rotor 100 para dirigir el aire
entrante hacia la periferia del rotor. Una tapa delantera 93 va
sujeta sobre la parte delantera del alojamiento por seis tornillos
de cabeza plana 94. Se usa aire comprimido para impulsar la turbina
y la entrada de aire 95 está colocada en la parte inferior derecha
del bloque como muestran las Figuras 11 y 13. El aire llena
inicialmente la cavidad anular alrededor de la periferia del
respectivo rotor 10 y 100 y entonces en el caso del rotor 10 sin
álabes fluye a través del pasaje de fluido definido por los discos
del rotor para impartir un rozamiento viscoso que rote el rotor y
luego escapar vía las aberturas en el centro del rotor. El espacio
anular exterior a cada rotor también está ligado a través de una
cámara impelente con un sensor de presión (no mostrado) mediante
una vía de escape 96 mostrada en las Figuras 11 y 13 en la esquina
superior derecha del bloque 81.
El rotor 10, 100 de flujo radial de entrada
montado en el eje respectivo 87 va apoyado sobre sus respectivos
rodamientos de bolas de alta velocidad (140.000 rpm) con cada
rodamiento 86 localizado de forma precisa con precargas idénticas
en ambos aparatos de prueba. El aire es suministrado
tangencialmente al rotor por la entrada de aire 95. También es
suministrado a la cámara impelente que incluye el sensor de
presión. El estátor multiálabe respectivo 91 dirige el aire hacia
el rotor 10, 100 y cada estátor 91 también está modelado sobre el
estátor descrito en la patente M.I.T. Los aparatos 80 tienen
idénticas aberturas de salida y el eje 87 incluye un disco bicolor
que permite leer la velocidad angular del eje 87 usando un
tacómetro óptico. El aire comprimido se reguló con válvulas de
aguja de ajuste basto y fino para asegurar el control fino del
flujo.
Se tomaron todas las precauciones necesarias para
asegurar que los dos aparatos de pruebas 80 funcionaban según
idénticos parámetros. En un ensayo, se midieron las revoluciones
por minuto frente a la presión de la cámara impelente en puntos de
cambio precisos para obtener datos repetibles. La presión se
incrementó poco a poco para asegurar que las medidas representaban
condiciones estables de flujo de aire y velocidad de rotor. La
presión se aumentó progresivamente hasta que se sobrepasó el límite
de rpm especificado para cada rodamiento de bolas 86. Los
resultados es este ensayo, a saber, la velocidad del rotor frente
la presión de suministro, se representaron en el gráfico mostrado
en la Figura 15.
Los aparatos de pruebas 80 se usaron después para
realizar ensayos de flujo de masa en donde se midieron las rpm
frente a la velocidad del aire de salida. La presión se incrementó
poco a poco para asegurar que las medidas representaban condiciones
estables de flujo de aire y velocidad de rotor. La presión se
aumentó progresivamente hasta sobrepasar el límite de rpm
especificado para el rodamiento de bolas. El flujo de masa en
gramos por segundo se derivó del volumen por segundo del aire de
salida y se representó una gráfica como muestra la Figura 16.
Del gráfico de la Figura 16 puede verse que hay
una clara ventaja de comportamiento al usar el rotor 10 sin álabes
en comparación con el rotor 100 con álabes. Los gráficos del flujo
de masa divergen desde aproximadamente las 40.000 rpm mostrando una
fuerte tendencia hacia valores proporcionadamente más bajos para el
rotor 10 sin álabes en comparación con el rotor 100 con álabes al
aumentar las rpm. El rotor 100 con álabes registró una cifra para
el flujo de masa un 30% mayor que el rotor 10 sin álabes a 100.000
rpm. Al flujo de masa de prueba máximo, el rotor sin álabes alcanzó
aproximadamente un 35% más de rpm que el rotor 100 con álabes. El
gráfico de presión impelente frente a las rpm mostró una fuerte
tendencia similar favoreciendo al rotor 10 sin álabes. Desde
aproximadamente las 50.000 rpm el rotor 10 sin álabes alcanzó
mayores velocidades que el rotor 100 con álabes, y esta divergencia
aumentó hasta las 140.400 rpm lo que estaba justo por encima del
límite especificado para los rodamientos. Esta velocidad se alcanzó
con sólo 20,4 KN de fuerza por metro cuadrado (KPa), una mejora
del 18,5% sobre el rotor 100 con álabes. Adicionalmente, una
presión un 27% mayor fue necesaria para que el rotor 100 con álabes
alcanzase las 100.000 rpm. Las tendencias divergentes de ambos
gráficos indican los principales beneficios de comportamiento que
sería de esperar que aumentase proporcionalmente a mayores
rpms.
Una ventaja más que se apreció durante el uso de
los dos aparatos de pruebas 80 fue que el rotor 10 sin álabes era
considerablemente más silencioso que el rotor 100 con álabes.
Los expertos en la técnica apreciarán que se
pueden hacer numerosas variaciones y/o modificaciones en la
invención como se muestra en las realizaciones específicas sin
salir del espíritu o alcance de la invención como se ha descrito
ampliamente. Las presentes realizaciones, por lo tanto, deben
considerarse en todos los aspectos como ilustrativas y no
restrictivas.
Claims (22)
1. Un rotor para una micromáquina
caracterizado porque el rotor incluye al menos un par de
discos alineados coaxialmente y espaciados entre sí una distancia
no superior a la longitud del radio del disco de, mayor radio, que
definen superficies planas enfrentadas, teniendo al menos un disco
al menos una abertura por la que se define un pasaje de fluido
entre la abertura, las superficies planas y la periferia del
rotor.
2. Rotor según la reivindicación 1,
caracterizado porque el rotor incluye un disco de apoyo y al
menos un disco anular coaxialmente espaciado apoyado en el disco de
apoyo mediante un cubo central que define al menos una
abertura.
3. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
no tiene álabes.
4. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está fabricado de una pieza.
5. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
tiene un disco de diámetro no mayor de 20 mm.
6. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
incluye un eje que soporta centralmente dichos discos.
7. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque al menos
una abertura de al menos uno de dichos discos está en la región
delimitada por la mitad radialmente interna del disco.
8. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque hay al
menos dos discos que tienen, cada uno, al menos una abertura,
estando al menos una abertura de cada disco alineadas entre sí.
9. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque los discos
están separados por espaciadores.
10. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
incluye un disco de apoyo que soporta una pluralidad de discos
anulares que forman una matriz coaxial con separaciones no
superiores a la longitud del radio del disco de mayor radio.
11. Rotor según la reivindicación 10,
caracterizado porque cada disco anular está montado sobre el
disco de apoyo o sobre un disco adyacente mediante una matriz de
espaciadores.
12. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones 10 y 11, caracterizado porque el disco de
apoyo está montado coaxialmente sobre un eje.
13. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está hecho de un material capaz de funcionar a temperaturas
superiores a 1.000ºC.
14. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está hecho de un material que tiene una resistencia a la tracción
que permite que el rotor funcione a velocidades superiores a
500.000 rpm a elevadas temperaturas asociadas con la
combustión.
15. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está hecho de un material monocristalino.
16. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está formado al menos en parte de un material seleccionado de entre
silicio, carburo de silicio, silicio revestido de carburo de
silicio, y silicio revestido de nitruro de silicio.
17. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está formado mediante una técnica de microfabricación.
18. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está formado mediante fotolitografía.
19. Rotor según una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, caracterizado porque el rotor
está formado mediante deposición en fase de vapor.
20. Una micromáquina caracterizada porque
incluye al menos un rotor de acuerdo con una cualquiera de las
reivindicaciones anteriores.
21. Micromáquina según la reivindicación 20,
caracterizada porque un estátor con paletas está colocado
alrededor de la periferia del rotor.
22. Micromáquina según una cualquiera de las
reivindicaciones 20 y 21, caracterizada porque la
micromáquina está hecha con materiales capaces de funcionar a
temperaturas superiores a 1.000ºC.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AUPQ4462 | 1999-12-02 | ||
| AUPQ4462A AUPQ446299A0 (en) | 1999-12-02 | 1999-12-02 | Micromachines |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2244266A1 true ES2244266A1 (es) | 2005-12-01 |
| ES2244266B1 ES2244266B1 (es) | 2007-02-16 |
Family
ID=3818604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES200250038A Expired - Fee Related ES2244266B1 (es) | 1999-12-02 | 2000-12-04 | Micromaquina. |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6726443B2 (es) |
| JP (1) | JP2003515691A (es) |
| KR (1) | KR20020086460A (es) |
| CN (1) | CN1189384C (es) |
| AU (1) | AUPQ446299A0 (es) |
| BR (1) | BR0016132A (es) |
| CA (1) | CA2393139A1 (es) |
| CH (1) | CH695063A5 (es) |
| DE (1) | DE10085260T1 (es) |
| ES (1) | ES2244266B1 (es) |
| GB (1) | GB2379958B (es) |
| RU (1) | RU2002117431A (es) |
| SE (1) | SE523091C2 (es) |
| WO (1) | WO2001040111A1 (es) |
| ZA (1) | ZA200204353B (es) |
Families Citing this family (53)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090072545A1 (en) * | 1980-06-05 | 2009-03-19 | Van Michaels Christopher | Process of processes for radical solution of the air pollution and the global warming, based on the discovery of the bezentropic thermomechanics and eco fuels through bezentropic electricity |
| US20050180845A1 (en) * | 2002-04-04 | 2005-08-18 | Vreeke Mark S. | Miniature/micro-scale power generation system |
| US6932564B2 (en) * | 2002-12-19 | 2005-08-23 | Forced Physics Corporation | Heteroscopic turbine |
| WO2005021146A2 (en) * | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Forced Physics Corporation | Single-molecule systems |
| US7192244B2 (en) * | 2004-02-23 | 2007-03-20 | Grande Iii Salvatore F | Bladeless conical radial turbine and method |
| US20070009346A1 (en) * | 2004-08-30 | 2007-01-11 | Scott Davis | Single-molecule systems |
| US20060216149A1 (en) * | 2004-10-26 | 2006-09-28 | Wilson Erich A | Fluid Flow Channels in Bladeless Compressors, Turbines and Pumps |
| US20060291997A1 (en) * | 2004-10-26 | 2006-12-28 | Wilson Erich A | Fluid Flow Chambers and Bridges in Bladeless Compressors, Turbines and Pumps |
| GB0424199D0 (en) * | 2004-11-01 | 2004-12-01 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| US7118050B1 (en) * | 2005-07-20 | 2006-10-10 | Chiang-Pei Chen | Sprayer with changeable volume |
| US20070029952A1 (en) * | 2005-08-04 | 2007-02-08 | Scott Davis | Coherent emission of spontaneous asynchronous radiation |
| US20070029498A1 (en) * | 2005-08-04 | 2007-02-08 | Forced Physics Llc, A Limited Liability Company | Enhanced heteroscopic techniques |
| US7478990B2 (en) * | 2005-10-25 | 2009-01-20 | Wilson Erich A | Bracket/spacer optimization in bladeless turbines, compressors and pumps |
| US8784035B2 (en) * | 2007-05-16 | 2014-07-22 | Ralf W. Blackstone | Bladeless fluid propulsion pump |
| ATE498061T1 (de) * | 2007-05-24 | 2011-02-15 | Lindenmaier Gmbh | Turbolader |
| BRPI0721763A2 (pt) * | 2007-07-09 | 2013-03-05 | Horia Nica | turbina eàlica de camada limite com lÂminas de rotor tangencial |
| US20110027069A1 (en) * | 2008-03-06 | 2011-02-03 | Heraldo Da Silva Couto | Hybrid Tesla-Pelton Wheel Disc Turbine |
| US20140328666A1 (en) * | 2008-06-24 | 2014-11-06 | Diana Michaels Christopher | Bezentropic Bladeless Turbine |
| US9052116B2 (en) | 2008-10-30 | 2015-06-09 | Power Generation Technologies Development Fund, L.P. | Toroidal heat exchanger |
| US8863530B2 (en) | 2008-10-30 | 2014-10-21 | Power Generation Technologies Development Fund L.P. | Toroidal boundary layer gas turbine |
| WO2011057019A1 (en) * | 2009-11-04 | 2011-05-12 | Wilson Erich A | Composite boundary layer turbine |
| CN102182517B (zh) * | 2011-05-04 | 2013-08-21 | 南京航空航天大学 | 带叶盘式附面层透平 |
| US9464638B2 (en) | 2012-05-01 | 2016-10-11 | California Institute Of Technology | Reverse brayton cycle with bladeless turbo compressor for automotive environmental cooling |
| GB2505484A (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-05 | 3M Innovative Properties Co | Powered exhaust apparatus for a personal protection respiratory device |
| US10352325B2 (en) * | 2012-10-29 | 2019-07-16 | Exhale Fans LLC | Laminar flow radial ceiling fan |
| US8796875B2 (en) | 2012-11-20 | 2014-08-05 | Turbogen, Llc | Housing apparatus for use with an electrical system and method of using same |
| US8907512B2 (en) | 2012-11-20 | 2014-12-09 | Turbogen, Llc | Load apparatus and method of using same |
| AU2012397854B2 (en) * | 2012-12-28 | 2016-05-19 | Halliburton Energy Services Inc. | Downhole bladeless generator |
| US9194233B2 (en) | 2013-02-13 | 2015-11-24 | William W. Cochran | Disk turbine using heat pipes |
| US10670301B1 (en) * | 2015-12-18 | 2020-06-02 | Pds, Llc | Magnetic air heating an impelling apparatus |
| US10503220B2 (en) * | 2016-04-14 | 2019-12-10 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Viscous flow blower for thermal management of an electronic device |
| CN107477003A (zh) * | 2016-06-08 | 2017-12-15 | 日本电产株式会社 | 送风装置 |
| CN107476992B (zh) * | 2016-06-08 | 2019-06-07 | 日本电产株式会社 | 送风装置 |
| US20170356462A1 (en) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | Nidec Corporation | Blower apparatus |
| US10550846B2 (en) * | 2016-06-08 | 2020-02-04 | Nidec Corporation | Blower apparatus |
| US20170356459A1 (en) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | Nidec Corporation | Blower apparatus |
| US9976570B2 (en) * | 2016-06-08 | 2018-05-22 | Nidec Corporation | Blower apparatus |
| CN107477002A (zh) * | 2016-06-08 | 2017-12-15 | 日本电产株式会社 | 送风装置 |
| CN107477006B (zh) * | 2016-06-08 | 2019-06-07 | 日本电产株式会社 | 送风装置 |
| US20170356458A1 (en) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | Nidec Corporation | Blower apparatus |
| US20170356455A1 (en) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | Nidec Corporation | Blower apparatus |
| CN106762807B (zh) * | 2017-02-28 | 2022-10-21 | 杭州大路实业有限公司 | 一种低比转速离心复合叶轮及其设计方法 |
| CN108915785A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-11-30 | 至玥腾风科技投资集团有限公司 | 一种无叶片涡轮机的涡轮盘片 |
| USD918142S1 (en) | 2018-12-14 | 2021-05-04 | Smith Flow Dynamics, LLC | Bladeless turbine impeller |
| US11105343B2 (en) | 2018-12-14 | 2021-08-31 | Smith Flow Dynamics, LLC | Fluid-foil impeller and method of use |
| GB2583974B (en) * | 2019-05-17 | 2023-12-06 | Time To Act Ltd | Improvements to the construction of axial flux rotary generators |
| US11174792B2 (en) | 2019-05-21 | 2021-11-16 | General Electric Company | System and method for high frequency acoustic dampers with baffles |
| US11156164B2 (en) | 2019-05-21 | 2021-10-26 | General Electric Company | System and method for high frequency accoustic dampers with caps |
| RU2743777C1 (ru) * | 2020-05-20 | 2021-02-25 | Виктор Кузьмич Мазуров | Безлопастной микротурбинный двигатель |
| CN113266603B (zh) * | 2021-06-25 | 2022-06-28 | 上海尚实航空发动机股份有限公司 | 一种离心压气机的扩压器及离心压气机 |
| CN113882904B (zh) * | 2021-10-26 | 2024-11-01 | 范家铭 | 一种非定常附面层流道复合叶片式透平 |
| CN116117857B (zh) * | 2022-09-30 | 2023-08-15 | 广东天太机器人有限公司 | 机器人关节模组 |
| WO2025262541A1 (en) | 2024-06-20 | 2025-12-26 | Sf Energy Srl | Turbo-compressor |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1061206A (en) * | 1909-10-21 | 1913-05-06 | Nikola Tesla | Turbine. |
| WO1990007223A1 (en) * | 1988-12-14 | 1990-06-28 | The Regents Of The University Of California | Micro-motors and method for their fabrication |
| EP0725451A1 (fr) * | 1995-02-06 | 1996-08-07 | Thomson-Csf | Transducteur en matériau à transformation électromécanique, application à des microactionneurs et procédé de réalisation |
| US5685062A (en) * | 1994-07-05 | 1997-11-11 | Ford Motor Company | Self-assembly fabrication method for planar micro-motor |
| US5932940A (en) * | 1996-07-16 | 1999-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Microturbomachinery |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4534699A (en) * | 1983-06-22 | 1985-08-13 | Possell Clarence P | Coal fired turbine |
| DE8816703U1 (de) | 1988-09-01 | 1990-04-05 | Inoex GmbH Innovationen und Ausrüstungen für die Extrusionstechnik, 4970 Bad Oeynhausen | Zuführvorrichtung für Schüttgut bei einer Massendurchsatzwiegeeinrichtung |
-
1999
- 1999-12-02 AU AUPQ4462A patent/AUPQ446299A0/en not_active Abandoned
-
2000
- 2000-12-04 WO PCT/AU2000/001495 patent/WO2001040111A1/en not_active Ceased
- 2000-12-04 ES ES200250038A patent/ES2244266B1/es not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-04 CA CA002393139A patent/CA2393139A1/en not_active Abandoned
- 2000-12-04 CH CH00921/02A patent/CH695063A5/de not_active IP Right Cessation
- 2000-12-04 DE DE10085260T patent/DE10085260T1/de not_active Withdrawn
- 2000-12-04 JP JP2001541809A patent/JP2003515691A/ja active Pending
- 2000-12-04 CN CNB008182450A patent/CN1189384C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-04 KR KR1020027006975A patent/KR20020086460A/ko not_active Ceased
- 2000-12-04 BR BR0016132-2A patent/BR0016132A/pt not_active IP Right Cessation
- 2000-12-04 RU RU2002117431/06A patent/RU2002117431A/ru not_active Application Discontinuation
- 2000-12-04 GB GB0212603A patent/GB2379958B/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-30 ZA ZA200204353A patent/ZA200204353B/en unknown
- 2002-05-31 SE SE0201620A patent/SE523091C2/sv not_active IP Right Cessation
- 2002-05-31 US US10/157,934 patent/US6726443B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1061206A (en) * | 1909-10-21 | 1913-05-06 | Nikola Tesla | Turbine. |
| US1061142A (en) * | 1909-10-21 | 1913-05-06 | Nikola Tesla | Fluid propulsion |
| WO1990007223A1 (en) * | 1988-12-14 | 1990-06-28 | The Regents Of The University Of California | Micro-motors and method for their fabrication |
| US5685062A (en) * | 1994-07-05 | 1997-11-11 | Ford Motor Company | Self-assembly fabrication method for planar micro-motor |
| EP0725451A1 (fr) * | 1995-02-06 | 1996-08-07 | Thomson-Csf | Transducteur en matériau à transformation électromécanique, application à des microactionneurs et procédé de réalisation |
| US5932940A (en) * | 1996-07-16 | 1999-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Microturbomachinery |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003515691A (ja) | 2003-05-07 |
| ES2244266B1 (es) | 2007-02-16 |
| US20020195886A1 (en) | 2002-12-26 |
| SE523091C2 (sv) | 2004-03-30 |
| SE0201620L (sv) | 2002-07-10 |
| AUPQ446299A0 (en) | 2000-01-06 |
| US6726443B2 (en) | 2004-04-27 |
| DE10085260T1 (de) | 2003-02-20 |
| WO2001040111A1 (en) | 2001-06-07 |
| ZA200204353B (en) | 2003-09-01 |
| BR0016132A (pt) | 2002-08-20 |
| CA2393139A1 (en) | 2001-06-07 |
| KR20020086460A (ko) | 2002-11-18 |
| SE0201620D0 (sv) | 2002-05-31 |
| GB2379958A (en) | 2003-03-26 |
| RU2002117431A (ru) | 2004-01-27 |
| HK1054910A1 (en) | 2003-12-19 |
| CH695063A5 (de) | 2005-11-30 |
| GB0212603D0 (en) | 2002-07-10 |
| GB2379958B (en) | 2004-01-21 |
| CN1189384C (zh) | 2005-02-16 |
| CN1420842A (zh) | 2003-05-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2244266B1 (es) | Micromaquina. | |
| US1013248A (en) | Centrifugal pump. | |
| JP2014513243A (ja) | ターボ・エンジン、特に内燃機関 | |
| KR20170131564A (ko) | 압축기 로터, 압축기, 및 가스 터빈 | |
| KR101839656B1 (ko) | 가스터빈 블레이드 | |
| JP2019148179A (ja) | 遠心ファン | |
| KR101776883B1 (ko) | 압력발생날개가 부가된 임펠러를 포함하는 원심펌프 | |
| US7390162B2 (en) | Rotary ram compressor | |
| ES2343139T3 (es) | Rotor para una turbo maquina y una turbo maquina. | |
| US1119713A (en) | Centrifugal air-compressor. | |
| US20070059156A1 (en) | Rotary centrifugal and viscous pumps | |
| AU771685B2 (en) | Micromachines | |
| JP6823649B2 (ja) | せん断流ターボ機械装置 | |
| CN106089306A (zh) | 一种离心径流透平 | |
| EP3358133A1 (en) | Disk assembly for gas turbine compressor | |
| KR102204913B1 (ko) | 밀착 결합 구조를 갖는 원심 압축기 | |
| HK1054910B (en) | Micromachines | |
| CN113339075A (zh) | 一种低输入需求的无叶涡轮机及其盘体 | |
| JPWO2019229863A1 (ja) | 真空ポンプとその冷却部品 | |
| Shan et al. | A micro turbine device with enhanced micro air-bearings | |
| RU25929U1 (ru) | Насос-теплогенератор | |
| JP2022064022A (ja) | 過給機 | |
| CN121676076A (zh) | 一种透平机 | |
| JP2005299690A (ja) | マイクロ回転流体機械動圧空気軸受 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EC2A | Search report published |
Date of ref document: 20051201 Kind code of ref document: A1 |
|
| FG2A | Definitive protection |
Ref document number: 2244266B1 Country of ref document: ES |
|
| FD1A | Patent lapsed |
Effective date: 20100315 |