ES2246565T3 - Captador de presion con compensacion de la no linealidad de la deriva de cero a temperaturas muy bajas. - Google Patents

Captador de presion con compensacion de la no linealidad de la deriva de cero a temperaturas muy bajas.

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Abstract

Para realizar una compensación de la no linealidad de la deriva de cero del puente al muy bajas temperaturas, en al menos una de las ramas del puente (10) el calibre extensométrico está en serie con una resistencia (c), por ejemplo un cordón de conexión que tiene un valor muy inferior al del calibre y sobre el cual está conectado en paralelo un circuito de compensación,. Que comprende un elemento resistivo, por ejemplo una sonda de platino, cuya resistencia varía en función de la temperatura para influir sobre el valor de la resistencia sobre el cual está conectado en paralelo, en el campo de las temperaturas muy bajas, de manera sensible y creciente cuando la temperatura se reduce.

Description

Captador de presión con compensación de la no linealidad de la deriva de cero a temperaturas muy bajas.
Campo de la invención
La presente invención se refiere a un captador de presión del tipo que comprende unas galgas extensométricas montadas respectivamente en las ramas de un puente de Wheatstone.
El campo más particularmente previsto es el de los captadores de presión utilizables a temperaturas muy bajas, típicamente unas temperaturas inferiores a la de ebullición del nitrógeno, y que pueden descender hasta algunos grados Kelvin.
Antecedentes de la invención
Un problema bien conocido de los captadores de presión con galgas extensométricas montadas en puente de Wheatstone es el de la deriva de cero del puente en función de la temperatura.
Para resolver este problema, se recurre generalmente a unas redes de compensación conectadas a las entradas y/o salidas del puente. Estas redes, que utilizan por lo menos un elemento sensible a la temperatura, están habitualmente ideadas para realizar una compensación de tipo lineal, siendo la deriva térmica de los puentes de galgas sensiblemente lineal en las zonas de temperaturas usuales.
El documento JP-A-62 121 302 describe un circuito con cuatro galgas montadas en las ramas de un puente de Wheatstone. En un vértice del puente, están previstos dos elementos resistivos dispuestos en paralelo para compensar la deriva del puente en función de la temperatura.
Una dificultad suplementaria surge cuando los captadores de presión son utilizados a temperaturas muy bajas. En efecto, la deriva térmica de los puentes de galgas resulta no lineal, y esta no linealidad se incrementa cuando la temperatura decrece. Esto está ilustrado en la figura 1 que muestra la evolución, en función de la temperatura, de la tensión de salida de un puente de galgas constituidas por unos depósitos de níquel-cromo en capa delgada sobre un substrato de silicio, estando el puente equilibrado (tensión de salida nula) para una temperatura de 22ºC.
Las redes de compensación usuales resultan ineficaces, y es por tanto que las termistancias utilizadas habitualmente presentan a menudo una resistencia que resulta extremadamente elevada, casi infinita, cuando la temperatura resulta inferior a -40ºC o -50ºC.
El problema que prevé resolver la presente invención es compensar la no linealidad de la deriva térmica y, por consiguiente, "linealizar" ésta a temperaturas muy bajas, en particular a temperaturas inferiores al punto de ebullición del nitrógeno, es decir inferiores a -196ºC aproximadamente.
Breve descripción de la invención
Este problema se resuelve gracias a un captador de presión como el definido en la reivindicación 1.
La resistencia sobre la cual el circuito de compensación está conectado en paralelo tiene un valor muy inferior a la de la galga extensométrica, a fin de no penalizar la extensión de la zona de funcionamiento y la sensibilidad del puente. Por valor muy inferior, se entiende aquí un valor inferior a 1/20, incluso 1/100 por lo menos de la resistencia de una galga extensométrica.
Según una característica del captador de presión de acuerdo con la invención, el circuito de compensación está conectado en paralelo sobre una resistencia constituida por una rama de conexión que conecta la galga extensométrica a un vértice del puente.
Así, no es necesaria ninguna modificación del puente para insertar el circuito de compensación. Se evitan así las inestabilidades que podrían generarse si fuera necesaria una apertura del puente con este fin.
Además, el circuito de compensación de no linealidad puede así ser dispuesto lo más cerca posible del puente, por tanto estar expuesto exactamente a las mismas condiciones de temperatura que el puente.
Para compensar la no linealidad en el campo de temperaturas muy bajas, es decir por debajo de -196ºC, el elemento resistivo del circuito de compensación debe tener una resistencia tal que influya la de la resistencia sobre la cual está conectado en paralelo, y esto de manera creciente cuando la temperatura disminuye. A este fin, es preferible que la relación entre la resistencia del elemento resistivo y la de la resistencia sobre la cual está conectado en paralelo sea como máximo igual a 100, cuando la temperatura resulta inferior a -196ºC, y disminuye a continuación cuando la temperatura decrece. Dicho elemento resistivo está por ejemplo constituido por una sonda de platino.
Breve descripción de los planos
En los planos anexos:
- la figura 1 ilustra la variación, en función de la temperatura, de la deriva de cero de un captador de presión constituido por un puente de galgas extensométricos, en ausencia de compensación de deriva,
- la figura 2 es un esquema eléctrico de un modo de realización de un captador de presión de acuerdo con la invención, y
- la figura 3 ilustra la variación en función de la temperatura, de la deriva de cero del captador de presión de la figura 1, provisto de un circuito de compensación de no linealidad de deriva térmica, de acuerdo con la invención.
Descripción detallada de un modo de realización preferido
La figura 2 ilustra el esquema de un captador de presión que comprende cuatro galgas extensométricas J1, J2, J3, J4 insertadas respectivamente en las cuatro ramas de un puente de Wheatstone 10. Las galgas J1 a J4 están conectadas cada una a dos vértices adyacentes del puente por unas ramas de conexión c.
Las galgas J1 a J4 y las ramas de conexión c están constituidas por unos depósitos metálicos sobre un substrato, por ejemplo de silicio, que forma parte del elemento sensible del captador. De forma bien conocida, dos galgas montadas en dos ramas opuestas del puente están dispuestas sobre el substrato de manera que sean solicitadas en extensión, cuando el substrato es sometido a una presión a medir, mientras que las otras dos galgas están dispuestas de manera que sean solicitadas en compresión.
Las galgas J1 a J4 están por ejemplo constituidas por unos depósitos de níquel-cromo, tan idénticos como sea posible, mientras que las ramas de conexión c están por ejemplo constituidas por unos depósitos de oro, también tan idénticos como sea posible.
Los depósitos son realizados en capa delgada, por ejemplo por proyección bajo vacío, siendo el cierre de del puente realizado por los depósitos realizados.
Unos vértices opuestos +a y -a del puente están conectados a unos bornes de alimentación +A y -A mientras que los otros dos vértices +m y -m están conectados a unos bornes de medición +M y -M. Una red de compensación 12 está interpuesta entre los vértices +a, -a, +m, -m por una parte, y los bornes +A, -A, +M, -M, por otra parte. La red de compensación 12 prevé realizar una compensación de deriva lineal del captador de presión en función de la temperatura. Se trata de una red resistiva, de tipo conocido, por ejemplo tal como la descrita en el documento FR-A-2 613 833.
Un circuito 20 de compensación de no linealidad de deriva de cero del puente está conectado en paralelo sobre una rama de conexión c que conecta una de las galgas del puente, por ejemplo la galga J2, a uno de los dos vértices del puente situado en los extremos de la rama que contiene la galga, por ejemplo el vértice +m.
El circuito de compensación 20 comprende un elemento resistivo P cuya resistencia es variable en función de la temperatura, en particular en el campo de las temperaturas muy bajas, es decir, típicamente, las temperaturas inferiores al punto de ebullición del nitrógeno (-196ºC). Una resistencia de ajuste R puede estar conectada en serie con el elemento resistivo P, en el circuito de compensación, a fin de permitir un ajuste de la compensación realizada.
El montaje del elemento resistivo en paralelo sobre una parte constitutiva de la resistencia total de una rama del puente permite influir de forma no lineal en el comportamiento del puente, por tanto realizar una compensación de no linealidad de deriva. Cuando esta no linealidad se incrementa a medida que la temperatura decrece, la influencia del elemento resistivo P debe crecer, por tanto su resistencia decrecer de manera que la relación entre esta resistencia y la de una rama de conexión c resulta como máximo igual a 100 cuando la temperatura resulta inferior a -196ºC y disminuye cuando la temperatura decrece por debajo de -196ºC. Se utiliza entonces un elemento resistivo P que tiene un coeficiente de temperatura positivo, por ejemplo una sonda de platino.
Un captador de presión tal como el ilustrado en la figura 2 ha sido realizado con unas galgas extensométricas constituidas por un depósito en capa delgada de níquel-cromo, teniendo cada galga una resistencia de 1.000 \Omega a temperatura ambiente (22ºC). Las ramas de conexión c son unos depósitos lineales de oro en capa delgada que tienen cada una una resistencia de 0,6 \Omega a 22ºC.
La figura 1 muestra la evolución de la tensión recogida en los vértices +m, -m del puente en ausencia de esfuerzos sobre el captador, y en ausencia de la red de compensación 12 y del circuito de compensación 20, siendo el equilibrio del puente (tensión de salida nula) realizado a 22ºC.
Se constata que la deriva de cero del puente, debida esencialmente a las galgas, resulta cada vez más pronunciada a medida que la temperatura decrece. Hasta aproximadamente -140ºC, la deriva es sensiblemente lineal. Hacia las temperaturas más bajas, la no linealidad de la deriva resulta cada vez más perceptible.
Un circuito de compensación constituido por una sonda de platino P de resistencia igual a 100 \Omega a 0ºC en serie con una resistencia de ajuste R está dispuesta en paralelo sobre la rama de conexión de oro que conecta la galga J2 al vértice +m del puente.
La tabla 1 siguiente muestra los valores de las resistencias de una rama de conexión c y de la sonda P, siendo la resistencia de ajuste R nula así como la resistencia equivalente del circuito paralelo constituido por P y c, a diferentes temperaturas. La relación entre las resistencias de la sonda P y de la rama de conexión c pasa de 47 aproximadamente a 7,9 aproximadamente entre -196ºC y -246ºC.
TABLA 1 Evolución de la resistencia (\Omega)
1
La introducción del circuito de compensación 20 se traduce por un desplazamiento de cero del puente, desplazamiento que aumenta cuando la temperatura decrece. La tabla 2 siguiente da el valor del desplazamiento \DeltaZ, medido en tensión de salida del puente, no estando las galgas bajo esfuerzo (con unas galgas de 800 \Omega, un desplazamiento de 6,4 \Omega de una galga produce una tensión de salida de 20 mV cuando el puente es alimentado a 10 V). Los diferentes desplazamientos \DeltaZ indicados en la tabla 2 corresponden a diferentes valores del circuito de compensación y diferentes temperaturas. Las líneas de la tabla muestran que el desplazamiento puede ser atenuado aumentando el valor de R o acentuado disminuyendo el valor de P (colocando por ejemplo dos sondas de 100 \Omega en paralelo). La elección del circuito de compensación es por tanto función del grado de no linealidad a corregir.
TABLA 2 Desplazamiento de cero del puente \DeltaZ (\muv)
2
La figura 3 muestra la evolución de la tensión recogida entre los vértices +m, -m del puente, en las mismas condiciones que para la figura 1, a saber ausencia de esfuerzos sobre el captador, cero del puente realizado a 22ºC y sin compensación lineal, pero con diferentes circuitos de compensación 20 que comprenden una resistencia R en serie con dos sondas P en paralelo, siendo cada sonda P una sonda de platino de resistencia igual a 100 \Omega a 0ºC.
Se constata que, con respecto a la curva I que da la evolución de la deriva de cero en ausencia de circuito de compensación 20, la corrección de no linealidad es tanto más acentuada cuanto más pequeña es la resistencia de R. En este ejemplo, para R = 4 \Omega y con dos sondas P en paralelo, la deriva cero del puente es linealizada hasta temperaturas muy bajas (aproximadamente -250ºC). Por la acción de la red de compensación lineal 12, es entonces posible compensar totalmente la deriva térmica de cero del puente desde la temperatura ambiente hasta temperaturas muy bajas (algunos grados Kelvin).
En lo que precede, se ha previsto conectar un circuito de compensación de no linealidad de deriva sobre una de las ramas de conexión que conectan una galga extensométrica de una de las ramas del puente a un vértice de éste. Es previsible, para llegar al mismo efecto, conectar un circuito de compensación de no linealidad de deriva sobre una y/o la otra de las ramas de conexión de esta rama del puente y/o sobre una y/o la otra de las ramas de conexión de la rama opuesta.
En el caso de la figura 1, la no linealidad evoluciona en el mismo sentido que la componente de deriva lineal y agrava ésta, pero podría en otros casos evolucionar en el otro sentido. Según el sentido de esta evolución, el circuito de compensación es conectado o bien a una y/o la otra de las dos ramas opuestas del puente, o bien a una y/o la otra de las otras dos ramas opuestas del puente.

Claims (5)

1. Captador de presión susceptible de ser utilizado en un campo de temperaturas muy bajas, que van hasta temperaturas inferiores a -196ºC, y que comprende unas galgas extensométricas (J1-J4) montadas respectivamente en las ramas de un puente Wheatstone (10) y unas ramas de conexión (c) que conectan cada galga extensométrica a dos vértices adyacentes del puente y que tienen unos valores de resistencia muy inferiores a los de las galgas extensométricas, estando las galgas extensométricas (J1-J4) y las ramas de conexión (c) constituidas por unos depósitos metálicos sobre un substrato,
caracterizado porque está además previsto un circuito de compensación de la no linealidad de la deriva de cero del puente en dicho campo de temperaturas muy bajas, comprendiendo el circuito de compensación un elemento resistivo (P) que está conectado en paralelo sobre una rama de conexión (c) entre una galga extensométrica y un vértice del puente y cuya resistencia varía en función de la temperatura de manera que tenga una influencia sensible y creciente sobre el valor de resistencia de la rama de conexión sobre la cual está conectado en paralelo cuando la temperatura disminuye, en dicho campo de temperaturas muy bajas.
2. Captador según la reivindicación 1, caracterizado porque las ramas de conexión (c) están constituidas por oro.
3. Captador según cualquiera de las reivindicaciones 1 y 2, caracterizado porque la relación entre la resistencia de dicho elemento resistivo (P) y la de la resistencia (c) sobre la cual está conectado en paralelo es como máximo igual a 100 cuando la temperatura resulta inferior a -196ºC y disminuye a continuación cuando la temperatura decrece.
4. Captador según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque dicho elemento resistivo (P) está constituido por lo menos por un sonda de platino.
5. Captador según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 4, caracterizado porque dicho circuito de compresión (20) comprende una resistencia de ajuste (R) en serie con dicho elemento resistivo (P).
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