ES2247530T3 - Dispositivo para el deposito de sustratos. - Google Patents
Dispositivo para el deposito de sustratos.Info
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Abstract
El dispositivo para el depósito de substratos (S), especialmente obleas o substratos de silicio para la fabricación de elementos fotovoltaicos, con dos paredes opuestas (1), donde al menos están previstos dos soportes (2, 3) en forma de barras conectados a las paredes (1), donde los soportes (2, 3) están previstos para mantener los substratos (S) afianzados en una posición vertical, paralela a las paredes (1), mediante piezas de parada (5), muestra que se ha previsto al menos un contra- soporte (4) con forma de barra conectado a ambas paredes (1), que está colocado, con respecto a los soportes (2, 3), de tal forma, que limita un movimiento vertical de los substratos (S) con respecto a las paredes (1), y una carga o descarga de los substratos (S) de forma oblicua con respecto a la dirección vertical (V) es posible.
Description
Dispositivo para el depósito de sustratos.
La invención trata de un dispositivo para el
depósito de substratos, según el término genérico de la
reivindicación 1.
Un dispositivo de este tipo sirve para la
disposición en forma vertical y/o perpendicular de una multiplicidad
de sustratos para la fabricación de elementos fotovoltaicos. El
dispositivo se introduce en el baño de tratamiento con los
substratos depositados para corroer, limpiar o para secar, y, a
continuación, se vuelve a extraer.
Según el estado de la técnica actual, algunos
dispositivos, que se representan también como rejillas del
depurador o portadores, constan generalmente de cuatro paredes
giratorias. En la cara interior de las paredes longitudinales
opuestas, hay ranuras movibles verticalmente, en las que se
insertan los substratos por los lados. Las paredes longitudinales
pueden doblarse hacia dentro por la parte de sus bordes inferiores,
para que los substratos puedan caer hacia fuera. Se conoce un
dispositivo de este tipo por la EP 0 385 536, por la US 4, 963, 069,
así como por la US 4, 722, 752.
Se conoce un dispositivo común, por ejemplo,
tanto por la DE 42 23 326 B1, así como por la 44 28 169 C2. Así, al
mismo tiempo, los substratos se afianzan en varios soportes en
forma de barras, que unen dos paredes opuestas. Estos dispositivos
no muestran paredes longitudinales previstas con ranuras.
En la práctica, a veces ocurre que, en un baño
cáustico, durante el proceso de corrosión, el hidrógeno formado se
adhiere a la superficie superior de los substratos en forma de
burbujas. Por consiguiente, los substratos pueden salirse del
dispositivo y flotar en un baño cáustico. El desplazamiento de
algunos substratos flotantes requiere un esfuerzo adicional. Al
mismo tiempo, puede llevar a contaminaciones no deseadas de los
fluidos del tratamiento.
Se conoce un cartucho para el depósito de
substratos por la DE 43 00 205 A1. Este cartucho muestra una pieza
con la que los substratos se apoyan en dos soportes. Para la
retención de los substratos, se ha previsto un
contra-soporte. Con el cartucho propuesto, se
reduce el flotamiento de los substratos en el baño cáustico. La
carga o descarga de los substratos conlleva, sin embargo, un coste
de tiempo. La pieza se debe extraer inmediatamente después del
cartucho, y, a continuación, desplazar el
contra-soporte.
Es función de la presente invención eliminar las
desventajas existentes, según el estado de la técnica. Se debe
conseguir especialmente un dispositivo, con el que se pueda evitar
un flotamiento de substratos, y que sea sencillo de utilizar.
Esta función se soluciona mediante las
características de la reivindicación 1. Los acondicionamientos
adecuados surgen de las características de las reivindicaciones 2 a
la 25.
Según las condiciones establecidas por la
presente invención, se prevé que al menos en las dos paredes haya
previsto contra-soportes conectados, que estén
colocados, con respecto a los soportes, de tal modo, para que sea
posible, un movimiento vertical de los substratos, limitado con
respecto a las paredes, y la carga o descarga de los substratos de
forma transversal con respecto al movimiento vertical.
Con ello, se consigue fácilmente que los
substratos no se salgan del dispositivo durante el baño de
tratamiento. Un movimiento vertical de los substratos dirigido a la
superficie del fluido se limita mediante el
contra-soporte. Es decir, el hecho de que los
substratos se despeguen de los soportes sólo es posible en caso de
que se mantengan fijados en las piezas de parada y de que sea
imposible que se produzca una extracción del dispositivo. El
dispositivo funciona, generalmente, de tal modo, que los substratos
puedan despegarse, estando sumergidos a pocos milímetros de los
soportes. En un movimiento de los substratos, oblicuo y ascendente,
hacia la superficie del fluido, en el baño de tratamiento, tampoco
pueden desprenderse del dispositivo, porque, en este caso, serían
impulsadas hacia las paredes del depósito. Por lo contrario, los
substratos pueden cargar o descargar oblicuamente en el dispositivo
para la extracción del baño de tratamiento. Es especialmente
innecesario, para la carga o descarga, alejar el
contra-soporte del dispositivo.
Bajo un "soporte en forma de barras", se
encuentra al menos un soporte extendido a lo largo. El corte
transversal de un soporte de este tipo puede adoptar formas
redondas, rectangulares o poligonales, entre otras. Es esencial para
el acondicionamiento del soporte, que en la extracción del
dispositivo fuera del baño de tratamiento, se vacíe libremente y
por completo el líquido de tratamiento que permanezca.
El contra-soporte puede fijarse
en las paredes, preferiblemente de forma desmontable. En una
fijación, de forma desmontable, del contra-soporte,
el soporte, tras la extracción del dispositivo fuera del baño de
tratamiento, puede separarse y, a continuación, los substratos
también pueden cargarse o descargarse en dirección vertical. Una
fijación de forma desmontable puede realizarse, por ejemplo,
mediante un trinquete de retención adecuado, que haya sido diseñado
de tal modo, que el contra-soporte se pueda
solucionar con un robot eléctrico y a continuación volver a
fijarse. El dispositivo propuesto es especialmente universal.
Según un acondicionamiento, al menos uno de los
soportes muestra piezas o dientes. El soporte puede ser, por
ejemplo, una barra cilíndrica, que muestra hendiduras contiguas, a
modo de pieza de parada. Sin embargo, también pueden preverse
dientes a modo de sierra para la barra.
Los dientes se colocan adecuadamente en el
soporte, de tal modo, que haya un fondo de dientes en una línea de
techo superior del soporte. De este modo, se puede asegurar, que en
una extracción de un soporte previsto con este tipo de dientes, se
vacíe por completo el líquido de tratamiento.
De un modo parecido, el
contra-soporte puede mostrar piezas de parada en la
dirección del soporte, esencialmente diseñadas como piezas en forma
de ranura o dientes. Los dientes están colocados adecuadamente en
el contra-soporte, de tal forma, que hay un fondo
de dientes en la línea de techo inferior del
contra-soporte. Esta medida asegura, asimismo, un
transcurso completamente seguro del líquido de tratamiento en la
extracción del contra-soporte del baño de
tratamiento.
Según otro acondicionamiento especialmente
ventajoso, el contra-soporte está colocado o
diseñado, con respecto al soporte, de tal forma, que los substratos,
en un movimiento en dirección vertical, se mantengan fijos en las
piezas de parada. En este caso, el líquido de tratamiento no sólo
se evita una extracción indeseada de los substratos fuera del
dispositivo, sino que también se asegura que los substratos se
mantengan situados opuestamente, de forma paralela, en el
dispositivo. Un movimiento vertical de los substratos en un
determinado límite específico, dentro de los elementos de parada,
posibilita también, durante la corrosión, un cambio del líquido, y
con ello un detrimento de la corrosión en el punto de apoyo de los
substratos, y con ello una corrosión absoluta de los substratos. A
excepción de esto, un deslizamiento insignificante de los
substratos en dirección vertical posibilita un secado completo de
los substratos. Mediante un dispositivo adecuado, los substratos
pueden extraerse despacio del baño de tratamiento. Durante el paso
de los substratos por la superficie del líquido de tratamiento,
pueden extraerse brevemente de los soportes, y tras el paso de los
soportes por el fluido de tratamiento, vuelven a colocarse sobre
estos.
El soporte muestra adecuadamente una barra de
bajada extendida esencialmente en posición vertical, hacia abajo. De
un modo parecido, el contra-soporte puede mostrar
otra barra de bajada extendida esencialmente en posición vertical,
hacia arriba. Un ancho de la barra de bajada y/o de la otra barra
de bajada puede prestar apoyo por la mitad del soporte y/o del
contra-soporte. La previsión de una barra de bajada
de este tipo y de la otra barra de bajada contribuye a que en la
extracción del soporte y/o del contra-soporte fuera
del líquido de tratamiento, se derrame este totalmente por fuera
del soporte y/o del contra-soporte. Se asegura que
el soporte y/o el contra-soporte pueden extraerse
completamente secos del líquido de tratamiento.
Los bordes de las paredes pueden cantearse. Por
otro lado, es adecuado que los bordes inferiores de las paredes
desciendan de forma oblicua por ambos lados de una primera pieza
dispuesta centralmente, con forma de U. Esta primera pieza con
forma de U sirve como medio de centrado para la colocación del
dispositivo en un correspondiente dispositivo de parada, en el
depósito de movimiento. La formación citada de los bordes, así como
de los bordes inferiores, contribuye a que el líquido de
tratamiento se salga completamente de las paredes durante la
extracción del dispositi-
vo.
vo.
Según otro acondicionamiento, los bordes
laterales de las paredes muestran, en un corte superior, en una
colocación opuesta, las segundas piezas para el asimiento de un
dispositivo que sirve para tal efecto. Por otro lado, un borde
superior de las paredes puede mostrar una tercera pieza para el
asimiento de un dispositivo de carga y/o descarga para los
substratos. La tercera pieza se limita adecuadamente mediante al
menos dos bordes de piezas movibles, oblicuos a los bordes
laterales.
Según otro acondicionamiento, se ha previsto que
un corte esencial de los bordes laterales de las paredes se mueva
verticalmente. El orden vertical de los bordes laterales se
corresponde con la dirección del movimiento vertical del
dispositivo en el baño de movimiento. Mediante la formación vertical
de los bordes laterales se garantiza, que, durante la extracción
del dispositivo, se produce un desbordamiento libre del líquido de
tratamiento existente.
Según otro acondicionamiento, el soporte y/o el
contra-soporte están formados a partir de una
estructura de refuerzo. La estructura de refuerzo puede fabricarse
con metal, cristal, cerámica o con un segundo plástico
preferiblemente reforzado con filamentos. Las paredes pueden,
asimismo, fabricarse con el primer plástico. Al mismo tiempo, se
trata de, preferiblemente, un plástico resistente contra ácidos y
bases, que puede elegirse del siguiente grupo: PFA (Perflúor-
Alquiloxi - Polímero), PTFE (Polivinilo Diene Difluorido), PVDF
(Politetrafluoretileno), PP (Polipropileno)
El primer plástico también puede reforzarse con
fibras. Son fibras adecuadas las fabricadas a partir de carbono o
cristal.
Según un acondicionamiento especial, se ha
previsto que cuatro soportes unan las puertas. Generalmente, los
soportes están colocados paralelamente. Sus piezas de parada están
dispuestas en dirección a un eje central movible del dispositivo,
paralelo al soporte paralelo al soporte. Pueden situarse dos
soportes inferiores cerca de un borde inferior de la pared, y dos
soportes superiores cerca de una sección inferior de los bordes
laterales de las paredes.
El contra-soporte puede situarse
cerca del borde superior de las paredes laterales. El
contra-soporte se encuentra encajado adecuadamente
con respecto a la disposición o a la conformación del soporte o
soportes, y de forma paralela a este o estos planos de simetría
movibles. Mediante esta colocación especial, se contrarresta un
movimiento vertical de los substratos en el baño de tratamiento. Al
mismo tiempo, se asegura una carga o descarga oblicua de los
substratos, además del baño de tratamiento. El elemento de
contra-soporte que debe haber como mínimo puede
unirse fijamente con las paredes. Sin embargo, también puede fijarse
de forma desmontable en las paredes, por ejemplo mediante un enlace
de retención, una sujeción con tornillos o una fijación por
pegue.
A continuación, se explica un ejemplo de
ejecución de la invención, más detalladamente. Aquí se muestra:
Figura 1: una vista del lado longitudinal de un
dispositivo;
Figura 2: una vista A, según la Figura 1;
Figura 3: una vista B, según la Figura 1, y
Figura 4: una vista transversal representada de
forma esquemática de un soporte y/o
contra-soporte.
En las Figuras se muestra un dispositivo para el
depósito de substratos, entre otros, desde diferentes puntos de
vista. Dos paredes 1 están unidas de forma desmontable con dos
soportes inferiores 2, dos soportes superiores 3 y un
contra-soporte 4. Los soportes inferiores 2 y/o
superiores 3 están colocados simétricamente con respecto a un plano
de simetría E. El contra-soporte 4 está encajado
con respecto al plano de simetría E. Asimismo, aquí está conectado
de horma desmontable con las paredes 1. Naturalmente, también es
posible que el contra-soporte 4 se conecte de forma
desmontable con las paredes 1. Al respecto, el
contra-soporte 4 puede, por ejemplo, fijarse a las
paredes 1 con enlaces de retención comunes.
Como se muestra de forma evidente, especialmente
en las Figuras 2 y 3, las paredes 1 están construidas como espejos.
Un substrato fijado en el dispositivo se representa con S. El
substrato S se afianza en el soporte inferior 2 y en el superior 3.
Un movimiento del substrato S en una dirección vertical representada
con una V se limita por medio del contra-soporte 4.
Por el contrario, es posible una carga y/o una descarga del
dispositivo en una dirección oblicua representada con SR.
Siempre que el contra-soporte 4
se coloque de forma desmontable en las paredes 1, también es
posible, tras un distanciamiento del contra-soporte
4, cargar y descargar los substratos S en dirección vertical.
Se ha previsto en los soportes 2, 3, dientes 5 a
modo de piezas de parada. Los dientes 5 se colocan aquí
verticalmente, hacia arriba. Sin embargo, también es posible que
los dientes 5 se muestren en dirección a un eje central representado
con ZA. Los dientes 5 previstos en los
contra-soportes 4 se muestran verticalmente, hacia
abajo. También aquí es posible que los dientes 5 se muestren en
dirección al eje central ZA. Una ranura instalada a través de dos
dientes 5 colocados de forma contigua disminuye en dirección al
soporte 2, 3, y/o al soporte 4.
Los bordes giratorios ubicados en las paredes 1
se han previsto con biseles 6.
Los soportes 2, 3, muestran respectivamente
barras de bajada 7a extendidas verticalmente hacia abajo, el
contra-soporte 4, y una barra de bajada 7b
extendida verticalmente hacia arriba. El borde inferior 8 de un
ancho y/o alto de las barras de bajada 7a, 7b muestra en la parte
central una primera pieza en forma de U. Los bordes inferiores 8
descienden por ambos lados de la primera pieza en forma de U 9
hacia fuera.
Los bordes laterales 10 se mueven esencialmente
en dirección vertical, es decir, paralelamente a la dirección
vertical V. Muestran, en una sección superior, las segundas piezas
11 para el asimiento de un (aquí no representado) sistema para el
asimiento del dispositivo.
En un borde superior 12, las paredes 1 conforman,
además, una tercera pieza 13. La tercera pieza 13 posibilita el
asimiento de un brazo de asimiento para la carga y descarga del
dispositivo con substratos S. Al menos dos de los bordes de las
piezas 14a, 14b limitados a la tercera pieza se mueven de forma
oblicua a los bordes laterales 10. La tercera pieza 13 conformada
de forma oblicua posibilita una carga y descarga del dispositivo
con substratos S en la dirección oblicua SR.
En la Figura 4 se representa un corte transversal
mediante un soporte inferior 2. El soporte inferior 2 está diseñado
a partir de una estructura de refuerzo 15 central, que está
construida adecuadamente a partir de un segundo plástico reforzado
con filamento de carbón. Naturalmente, la estructura de refuerzo
también puede fabricarse a partir de otros materiales, aunque
preferiblemente no metálicos. La estructura de refuerzo 15 muestra
una cubierta protectora 16 fabricada a partir de un primer
plástico. El primer plástico es adecuadamente resistente contra
ácidos y bases. Puede tratarse, al mismo tiempo, por ejemplo, de
PFA (Perflúor- Alquiloxi - Polímero), PTFE (Polivinilo Diene
Difluorido), o PVDF (Politetrafluoretileno), PP (Polipropileno)
Los dientes 5 y las barras de bajada 7a, 7b se
fabrican adecuadamente en un diseño de una sola pieza con la
cubierta protectora 16. Con 17 se representa un punto de techo
superior del soporte inferior 2 aquí conformado de forma
cilíndrica. Hay un fondo de dientes 18 colocado de forma transversal
a la línea de contacto formada aquí como un segmento circular entre
el diente 5 y el soporte inferior 2. Con ello, se asegura un
transcurso total y constante del líquido de limpieza, y los dientes
5 están dispuestos de tal forma, que el punto de techo superior 17
pasa a ser un componente del fondo de dientes 18.
Las colocaciones mostradas para los dientes 5
sirven del mismo modo para los soportes superiores 3. Sirven, de la
misma manera, para el contra-soporte 4, con lo que
aquí, con respecto a la colocación de los dientes 5, se detiene en
un punto de techo inferior, que se representa en la Figura 4 con
símbolos de referencia.
En el ámbito de la presente invención, es
posible, naturalmente, variar la cantidad y la formación de los
soportes 2, 3, así como la de los contra-soportes
4, especialmente adoptando la geometría de los substratos S para el
transporte. Así, también es posible, por ejemplo, en lugar de los
cuatro soportes descritos en el presente ejemplo de ejecución,
utilizar solo dos o, incluso, un soporte.
Con la presente invención, se contrarresta
fácilmente un movimiento vertical no deseado de los substratos S en
un baño de tratamiento. Al mismo tiempo, es posible realizar cargas
y descargas del dispositivo de una forma sencilla, sin que se deba
distanciar un elemento de contención, como el
contra-soporte 4, del dispositivo.
| 1 | Pared |
| 2 | Soporte inferior |
| 3 | Soporte superior |
| 4 | Contra-soporte |
| 5 | Diente |
| 6 | Bisel |
| 7a, b | Barra de bajada |
| 8 | Borde inferior |
| 9 | Primera pieza |
| 10 | Borde lateral |
| 11 | Segunda pieza |
| 12 | Borde superior |
| 13 | Tercera pieza |
| 14a, b | Bordes de las piezas |
| 15 | Estructura de refuerzo |
| 16 | Cubierta protectora |
| 17 | Punto de techo superior |
| 18 | Fondo de dientes |
| 19 | Punto de techo inferior |
| V | Dirección vertical |
| SR | Dirección oblicua |
| S | Substrato |
| E | Plano de simetría |
| ZA | Eje central |
Claims (25)
1. El dispositivo para el depósito de substratos
(S), especialmente obleas o substratos de silicio para la
fabricación de elementos fotovoltaicos, con dos paredes opuestas
(1), donde al menos están previstos dos soportes (2, 3) en forma de
barras conectados a las paredes (1), donde los soportes (2, 3) están
previstos para mantener los substratos (S) afianzados en una
posición vertical, paralela a las paredes (1), mediante piezas de
parada (5), muestra que se ha previsto al menos un
contra-soporte (4) con forma de barra conectado a
ambas paredes (1), que está colocado, con respecto a los soportes
(2, 3), de tal forma, que limita un movimiento vertical de los
substratos (S) con respecto a las paredes (1), y una carga o
descarga de los substratos (S) de forma oblicua con respecto a la
dirección vertical (V) es posible.
2. El dispositivo, según la reivindicación 1,
donde el contra-soporte (4) está fijado,
preferiblemente de forma desmontable, a las paredes (1).
3. El dispositivo, según la reivindicación 1 ó 2,
donde los substratos (S) se pueden cargar o descargar en el
contra-soporte (4) distanciado, así como en
posición vertical (V).
4. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde al menos uno de los soportes (2,
3) muestra dientes (5) o piezas en forma de ranura como piezas de
parada.
5. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde los dientes (5) se colocan en el
soporte (2, 3), de modo que hay un fondo de dientes (18) en la
línea de techo superior (17) del soporte (2, 3).
6. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el
contra-soporte (4) muestra piezas de parada
conformadas, en la dirección del soporte (2, 3), esencialmente como
dientes (5) o piezas en forma de ranura.
7. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde los dientes (5) se colocan de
tal modo en el contra-soporte (4), que hay un fondo
de dientes (18) en la línea de techo inferior (19) del
contra-soporte.
8. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el
contra-soporte (4) está dispuesto o conformado, con
respecto al soporte (2, 3), de tal modo, que los substratos (S) se
mantienen quietos en las piezas de parada (5) mediante un
movimiento en la dirección vertical (V).
9. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el soporte (2, 3) muestra una
barra de bajada (7a) extendida esencialmente en posición vertical,
hacia abajo.
10. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el
contra-soporte (4) muestra otra barra de bajada (7b)
extendida esencialmente en posición vertical, hacia arriba.
11. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde un ancho de la barra de bajada
(7a) y/o de la otra barra de bajada (7b) puede prestar apoyo por la
mitad del soporte (2, 3) y/o del contra-soporte
(4).
12. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde los bordes (8, 10, 12) de las
paredes (1) están canteados.
13. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde los bordes inferiores (8) de las
paredes (1) descienden oblicuamente por ambos lados de una primera
pieza (9) en forma de U, colocada por la mitad.
14. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde los bordes laterales (10)
muestran, en un corte superior, en una colocación opuesta, las
segundas piezas (11) para el asimiento de un dispositivo que sirve
para tal efecto.
15. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde un borde superior (12) de las
paredes (1) muestra una tercera pieza (13) para el asimiento de un
dispositivo para la carga y/o descarga de substratos(S).
16. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde la tercera pieza (134) está
limitada por al menos dos bordes de piezas (14a, 14b), oblicuas a
los bordes laterales (10).
17. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el soporte (2, 3) y/o el
contra-soporte (4) están formados por una estructura
de refuerzo (15), preferiblemente con una cubierta protectora
fabricada a partir del primer plástico.
18. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde la estructura de refuerzo (15)
está fabricada a partir de metal, cristal, cerámica o un segundo
plástico preferiblemente reforzado con filamentos.
19. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde las paredes (1) están fabricadas
a partir del primer plástico.
20. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el primer plástico es resistente
contra ácidos y bases, que preferiblemente se escogen de entre los
del siguiente grupo: PFA, PTFE, PVDF.
21. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el primer plástico está
reforzado con filamentos.
22. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde los cuatro soportes (2, 3) están
conectados a las paredes.
23. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde dos soportes inferiores (2)
están colocados cerca de un borde inferior (8) de las paredes (1),
y dos soportes superiores (3), cerca de una sección inferior de los
bordes laterales (10) de las paredes (1).
24. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el
contra-soporte (4) está colocado cerca de un borde
superior (12) de las paredes (1).
25. El dispositivo, según una de las
reivindicaciones anteriores, donde el
contra-soporte (4) está colocado de forma movible
con respecto a un plano de simetría (E) que está relacionado con la
colocación o a la formación del soporte o soportes (2, 3) y está
encajado de forma paralela a este o estos planos de simetría (E)
movibles.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10215283A DE10215283B4 (de) | 2002-04-05 | 2002-04-05 | Vorrichtung zur Aufnahme von Substraten |
| DE10215283 | 2002-04-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2247530T3 true ES2247530T3 (es) | 2006-03-01 |
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ID=28684808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES03720395T Expired - Lifetime ES2247530T3 (es) | 2002-04-05 | 2003-03-31 | Dispositivo para el deposito de sustratos. |
Country Status (12)
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| EP (1) | EP1493176B1 (es) |
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| CN (1) | CN1586000A (es) |
| AT (1) | ATE299294T1 (es) |
| AU (1) | AU2003224015B2 (es) |
| DE (2) | DE10215283B4 (es) |
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