ES2259667T3 - Revestimiento barrera. - Google Patents
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Abstract
Revestimiento de barrera al gas dispuesto sobre un sustrato polimérico, comprendiendo el dicho revestimiento una capa barrera con base en óxido de silicio, que está recubierta de una capa protectora de carbono amorfo hidrogenado, caracterizado porque la capa barrera presenta un espesor comprendido entre 8 y 20 nanómetros y porque la capa protectora presenta un espesor inferior a 20 nanómetros.
Description
Revestimiento barrera.
La invención se refiere al campo de los
revestimientos de barreras en capa delgada depositados empleando un
plasma a presión reducida. Para obtener tales revestimientos, un
fluido reactivo es inyectado a presión reducida en una zona de
tratamiento. Este fluido, cuando es llevado a las presiones
utilizadas, es generalmente gaseoso. En la zona de tratamiento, un
campo electromagnético es instaurado para llevar este fluido al
estado de plasma es decir para provocar in ionización al menos
parcial. Las partículas provenientes de este mecanismo de ionización
pueden entonces depositarse sobre las paredes del objeto que está
colocado en la zona de tratamiento.
Los depósitos por plasma a baja presión, también
llamado plasmas fríos, permiten depositar capas delgadas sobre los
objetos en material plástico sensibles a la temperatura garantizando
una buena adhesión fisicoquímica del revestimiento depositado sobre
el objeto.
Una tecnología tal de depósito es utilizada en
diversas aplicaciones. Una de esas aplicaciones concierne el depón
de revestimientos funcionales sobre placas o recipientes,
particularmente con el objetivo de disminuir su permeabilidad a los
gases tales como el oxígeno y el dióxido de carbono.
Particularmente, recientemente ha aparecido como
una tecnología tal podía ser utilizada para revestir de una
material barrera las botellas en plástico destinadas para
condicionar productos sensibles al oxígeno, tales como la cerveza,
los jugos de fruta, o productos carbonatados tales como las
sodas.
El documento WO99/49991 describe un dispositivo
que permite recubrir la cara interna o externa de una botella en
plástico con un revestimiento barrera. En este documento, se
considera la utilización de un revestimiento a base de carbono
amorfo hidroge-
nado.
nado.
Es por otra parte conocido utilizar
revestimientos densos con base de óxido de silicio del tipo SiOx
depositados por plasma bajo presión para disminuir la permeabilidad
de sustratos plásticos. Sin embargo, cuando son depositados sobre
sustratos deformables, se verifica que estos revestimientos no
pueden resistir a las deformaciones sufridas por el sustrato. En
efecto, a pesar de la muy fuerte adhesión al sustrato, la
deformación de este último conduce a la aparición de microfisuras en
el revestimiento, lo que le deteriora las propiedades de
barrera.
Ahora bien, ciertas aplicaciones necesitan que
el revestimiento pueda resistir a pesar de las deformaciones del
sustrato. Así, una botella plástica llena de líquido carbonatado,
tal como una soda o tal como una cerveza, está sometida a una
presión interna de varios bares (1 bar. = 100.000 Pa) lo que puede
conducir, en el caso de las botellas más ligeras, a una deformación
del material plástico que se traduce en un ligero aumento de volumen
de la botella. En un caso tal, los materiales densos tales como el
SiOx, por el hecho de su elasticidad mucho más débil que la del
sustrato plástico, pueden deteriorarse al punto de perder una gran
parte de las propiedades de barrera de la botella.
La invención tiene por lo tanto por objeto
proponer un nuevo tipo de revestimiento optimizado para obtener
propiedades de barrera de muy alto nivel.
Con este objetivo, la invención propone
inicialmente un revestimiento de barrera frente a los gases
depositado sobre un sustrato polimérico por plasma a baja presión,
según la cual el dicho revestimiento comprende una capa de barrera
con base en óxido de silicio que está recubierto de una capa
protectora de carbono amorfo hidrogenado, y está caracterizada
porque la capa de barrera presenta un espesor comprendido entre 8 y
20 nanómetros y porque la capa protectora presenta un espesor
inferior a 20 nanómetros.
Según otras características de este
revestimiento según la invención;
- -
- la capa de barrera está compuesta esencialmente de óxido de silicio de fórmula SiOx, donde x está comprendida entre 1.5 y 2.3;
- -
- la capa protectora presenta un espesor inferior a 10 nanómetros;
- -
- la capa de barrera es obtenida por depósito por plasma a baja presión de un compuesto organosilícico en presencia de un exceso de oxígeno;
- -
- la capa protectora es obtenida por depósito por plasma a baja presión de un compuesto hidrocarbonado;
- -
- entre el sustrato y la capa de barrera, se deposita una capa de interfaz;
- -
- la capa de interfaz se obtiene por depósito por plasma a baja presión de un compuesto organosilícico en ausencia de oxígeno adicional; y
- -
- la capa de interfaz se obtiene por depósito por plasma a baja presión de un compuesto organosilícico en presencia de nitrógeno.
La invención se relaciona con un procedimiento
que emplea un plasma a presión reducida para depositar un
revestimiento de barrera sobre un sustrato por tratar, del tipo en
el cual el plasma se obtiene por ionización parcial, bajo la acción
de un campo electromagnético, de un fluido reaccionante inyectado
bajo presión reducida en una zona de tratamiento, caracterizado
porque comprende al menos una etapa consistente en depositar una
capa de barrera con base en óxido de silicio, y porque comprende una
etapa ulterior consistente en depositar sobre la capa de barrera una
capa protectora de carbono amorfo hidrogenado obtenido por plasma a
baja presión.
Según otras características del procedimiento
según la invención:
- -
- la capa protectora se obtiene por depósito por plasma a baja presión de un compuesto hidrocarbonado;
- -
- el compuesto hidrocarbonado es acetileno;
- -
- la capa de barrera se obtiene por depósito por plasma a baja presión de un compuesto organosilícico en presencia de un exceso de oxígeno;
- -
- el procedimiento comprende una etapa previa consistente en depositar una capa de interfaz entre el sustrato y la capa barrera; y
- -
- la capa de interfaz se obtiene llevando al estado de plasma una mezcla que comprende al menos un compuesto organosilícico y un compuesto nitrogenado.
La invención se relaciona también con un
recipiente en materia polimérica caracterizado porque está
recubierto sobre al menos una de sus caras de un revestimiento de
barrera del tipo descrito más arriba. Este recipiente está revestido
de un revestimiento de barrera, por ejemplo, sobre su cara interna y
puede tratarse de una botella en tereftalato de polietileno.
Otras características y ventajas de la invención
aparecerán con la lectura de la descripción detallada que sigue,
para cuya lectura se hará referencia a la figura única anexa.
Se ha ilustrado sobre la figura única una vista
esquemática en corte axial de un ejemplo de realización de un
puesto de tratamiento 10 que permite emplear un procedimiento
conforme a las enseñanzas de la invención. La invención será
descrita aquí en el marco del tratamiento de recipientes en material
plástico. Más precisamente, se describirá un procedimiento y un
dispositivo que permitan depositar un revestimiento de barrera sobre
la cara interna de una botella en material plástico.
El puesto 10 puede por ejemplo hacer parte de
una máquina rotativa que comprende un carrusel animado de movimiento
continuo de rotación alrededor de un eje vertical.
El puesto de tratamiento 10 comprende un recinto
externo 14 que está realizado en un material conductor de la
electricidad, por ejemplo en metal, y que está formado por una pared
cilíndrica tubular 18 de eje A1 vertical. El recinto 14 está cerrado
en su extremo inferior por una pared inferior de fondo 20.
En el exterior del recinto 14 fijado al mismo,
se encuentra un cárter 22 que comprende medios (no representados)
para crear en el interior del recinto 14 un campo electromagnético
apto para generar un plasma. En este caso, puede tratarse de medios
aptos para generar un rayo electromagnético en el rango UHF, es
decir, en el rango de las microondas. En este caso, el cárter 22
puede entonces contener un magnetrón cuya antena 24 desemboca en una
guía de onda 26. Esta guía de onda 26 es por ejemplo un túnel de
sección rectangular que se extiende según un radio con respecto al
eje A1 y que desemboca directamente en el interior del recinto 14, a
través de la pared lateral 18. No obstante, la invención podría
también ser empleada en el marco de un dispositivo provisto de una
fuente de rayo de tipo radiofrecuencia, y/o la fuente podría también
ser dispuesta diferentemente, por ejemplo en el extremo axial
inferior del recinto 14.
En el interior del recinto 14, se encuentra un
tubo 28 de eje A1 que está realizado en un material transparente a
las ondas electromagnéticas introducidas en el recinto 14 a través
de la guía de onda 26. Se puede por ejemplo realizar el tubo 28 en
cuarzo. Este tubo 28 está destinado a recibir un recipiente 30 por
tratar. Su diámetro interno debe entonces ser adaptado al diámetro
del recipiente. Debe además delimitar una cavidad 32 en l cual será
creada una depresión una vez el recipiente esté en el interior del
recinto.
Como se puede ver en la figura, el recinto 14
está parcialmente cerrado en su extremo superior por una pared
superior 36 que está provista de una abertura central de diámetro
sensiblemente igual al diámetro del tubo 28 de tal manera que el
tubo 28 esté totalmente abierto hacia lo alto para permitir la
introducción del recipiente 30 en la cavidad 32. Al contrario, se ve
que la pared inferior metálica 20, en la cual el extremo inferior
del tubo 28 está unido de manera hermética, forma el fondo de la
cavidad 32.
Para cerrar el recinto 14 y la cavidad 32, el
puesto de tratamiento 10 comprende entonces una cubierta 34 que es
móvil axialmente entre una posición alta (no representada) y una
posición baja de cierre ilustrada en la figura. En posición alta la
cubierta está suficientemente holgada para permitir la introducción
del recipiente 30 en la cavidad 32.
En posición de cierre, la cubierta 34 se apoya
de manera hermética contra la cara superior de la pared superior 36
del recinto 14.
De manera particularmente ventajosa, la cubierta
34 no tiene como única función asegurar el cierre hermético de la
cavidad 32. Lleva en efecto órganos complementarios.
En primer lugar, la cubierta 34 lleva medios de
soporte del recipiente. En el ejemplo ilustrado, los recipientes por
tratar son botellas en material termoplástico, por ejemplo, en
tereftalato de polietileno (PET). Estas botellas comprenden una
brida que se extiende radialmente en la base de su cuello de tal
manera que es posible asirlas con la ayuda de una campana de uñas 54
que viene a engancharse o a asirse alrededor del cuello, de
preferencia bajo la brida. Una vez llevada por la campana de uñas
54, la botella 30 es sujetada hacia arriba contra una superficie de
apoyo de la campana de uñas 54. Preferiblemente, este apoyo es
hermético de tal manera que, cuando la cubierta está en posición de
cierre, el espacio interior de la cavidad 32 es separado en dos
partes por la pared del recipiente: el interior y el exterior del
recipiente.
Esta disposición permite no tratar más que una
de las dos superficies (interior o exterior) de la pared del
recipiente. En el ejemplo ilustrado, se busca no tratar más que la
superficie interna de la pared del recipiente.
Este tratamiento interno impone por tanto el
poder controlar a la vez la presión y la composición de los gases
presentes en el interior del recipiente. Por ello, el interior del
recipiente debe poder ser puesto en comunicación con una fuente de
despresurización y con un dispositivo de alimentación de fluido
reaccionante 12. Este último comprende entonces una fuente de fluido
reaccionante 16 conectada por una tubuladura 38 a un inyector 66
que está dispuesto según el eje A1 y que es móvil con respecto a la
cubierta 34 entre una posición alta escamoteada (no representada) y
una posición baja en la cual el inyector 62 está sumergido en el
interior del recipiente 30 a través de la cubierta 34. Una válvula
controlada 40 está interpuesta en la tubuladura 38 entre la fuente
de fluido 16 y el inyector 62. El inyector 62 puede ser un tubo con
pared porosa que permite optimizar la repartición de la inyección de
fluido reaccionante en la zona de tratamiento.
Para que el gas inyectado por el inyector 62
pueda ser ionizado y formar un plasma bajo el efecto del campo
electromagnético creado en el recinto, es necesario que la presión
en el recipiente sea inferior a la presión atmosférica, por ejemplo
del orden de 10 Pa (10-4 bar) Para poner en
comunicación el interior del recipiente con una fuente de de
despresurización (por ejemplo una bomba), la cubierta 34 comprende
un canal interno 64 del cual una terminación principal desemboca en
la cara inferior de la cubierta, más precisamente al centro de la
superficie de apoyo contra la cual está plaque el cuello de la
botella 30.
Se enfatiza que en el modo de realización
propuesto, la superficie de apoyo no esta formada directamente sobre
la cara inferior de la campana de uñas 54 que está fijada bajo la
cubierta 34. Así, cuando el extremo superior del cuello del
recipiente está en apoyo contra la superficie de apoyo, la abertura
del recipiente 30, que está delimitada por este extremo superior,
rodea completamente el orificio por el cual la terminación principal
desemboca en la cara inferior de la cubierta 34.
En el ejemplo ilustrado, el canal interno 64 de
la cubierta 24 comprende una extremidad de unión 66 y el circuito de
vació de la máquina comprende un extremo fijo 68que está dispuesto
de tal manera que los dos extremos 66, 68 están en frente el uno del
otro cuando la cubierta está en posición de cierre.
La máquina ilustrada está prevista para tratar
la superficie interna de recipientes que son de material
relativamente deformable. Tales recipientes no podrían soportar una
sobrepresión del orden de 106 Pa (1 bar) entre el exterior y el
interior de la botella. Así, para obtener en el interior de la
botella una presión del orden de 10 Pa (10-4 bar)
sin deformar la botella, es necesario que la parte4 de la cavidad 32
en el exterior de la botella sea, también, al menos parcialmente
despresurizada. También, el canal interno 64 de la cubierta 34
comprende, además la terminación principal, una terminación auxiliar
(no representada) que desemboca también a través de la cara inferior
de la cubierta, pero radialmente hacia el exterior de la superficie
anular de apoyo sobre la cual está plaque el cuello del
recipiente.
Así, incluso los medios de bombeo crean
simultáneamente el vacío en el interior y el exterior del
recipiente.
Para limitar el volumen de bombeo, y para evitar
la aparición de un plasma inútil en el exterior de la botella, es
preferible que la presión en el exterior no descienda por debajo de
5.000 a 10.000 Pa (1-4 bar) en el interior. Se
constata además que las botellas, incluso de paredes delgadas,
pueden soportar esta diferencia de presión sin sufrir deformación
notable. Por esta razón, está previsto suministrar la cubierta de
una válvula controlada (no representada) que pueda obturar la
terminación auxiliar.
El funcionamiento del dispositivo que acaba de
ser descrito puede entonces ser el siguiente.
Un vez el recipiente cargado la campana de uñas
54, la cubierta baja hacia su posición de cierre. En el mismo
momento, el inyector se baja a través de la terminación principal
del canal 64, pero sin obturarlo.
Cuando la cubierta está en posición de cierre,
es posible aspirar el aire contenido en la cavidad 32, la cual se
encuentra conectada al circuito de vacío gracias la canal interno 64
de la cubierta 34.
En un primer momento, la válvula está controlada
para ser abierta a medida que la presión caiga en la cavidad 32 a la
vez en el exterior y en el interior del recipiente. Cuando el nivel
de vacío en el exterior del recipiente ha alcanzado un nivel
suficiente, el sistema controla el cierre de la válvula. Es entonces
posible continuar el bombeo exclusivamente en el interior del
recipiente 30.
Una vez la presión de tratamiento se alcanza, el
tratamiento puede comenzar según el procedimiento de la
invención.
En una variante preferida de la invención, el
procedimiento de depósito comprende una primera etapa que consiste
en depositar directamente sobre el sustrato, en este caso sobre la
superficie interna de la botella, una capa de interfaz compuesta
esencialmente de silito, carbona, oxígeno, nitrógeno e hidrógeno. La
capa de interfaz podrá por supuesto portar otros elemento en
cantidades reducidas o en estado de trazas proviniendo estos otros
compuestos de impurezas contenidas en los fluidos reactivos
utilizados o bien simplemente de impurezas debidas a la presencia de
aire residual aún presente al final del bombeo.
Para obtener una capa de interfaz tal, es
necesario inyectar en la zona de tratamiento una mezcla que
comprenda esencialmente un compuesto organosilícico, es decir, que
comprenda esencialmente carbono, silicio, oxígeno e hidrógeno, y un
compuesto nitrogenado.
El compuesto organosilícico puede, por ejemplo
ser un organosiloxano y, de manera simple, un el compuesto
nitrogenado puede ser nitrógeno. Se puede también visualizar la
utilización, en calidad de compuesto organosilícico, un
organosilazano, que contiene al menos un átomo de nitrógeno.
Los organosiloxanos tales como el
hexametildisiloxano (HMDSO) o el tetrametildisiloxano
(TMDSO) son generalmente líquidos a temperatura ambiente. También, para inyectarlos en la zona de tratamiento, se puede ya sea utilizar un gas portador que, en un burbujeador, se combine con los vapores del organosiloxano, o bien simplemente trabajar a la presión de vapor saturante del organosiloxano.
(TMDSO) son generalmente líquidos a temperatura ambiente. También, para inyectarlos en la zona de tratamiento, se puede ya sea utilizar un gas portador que, en un burbujeador, se combine con los vapores del organosiloxano, o bien simplemente trabajar a la presión de vapor saturante del organosiloxano.
Si se utiliza un gas portador, éste podrá ser un
gas raro como helio o argón. Sin embargo, de manera ventajosa, se
podrá bien simplemente utilizar el nitrógeno gaseoso (N_{2}) en
calidad de gas portador.
Según un modo de realización preferido, esta
capa de interfaz se obtiene inyectando en la zona de tratamiento, en
este caso el volumen interno de una botella plástica de 500 ml, un
caudal de 4 sccm (centímetro cúbico estándar por minuto) de HMDSO
utilizando el nitrógeno gaseoso como gas portador bajo un caudal de
40 sccm, La potencia de microondas utilizada es por ejemplo de 400 W
y el tiempo de tratamiento del orden 0.5 segundos. De tal manera, se
obtiene, en un dispositivo del tipo aquí descrito más arriba, una
capa de interfaz cuyo espesor es del orden de algunos nanómetros
solamente.
Diferentes análisis permiten poner en evidencia
que la capa de interfaz así dispuesta contiene por supuesto
silicio, pero es particularmente rica en carbono y nitrógeno.
Contiene también oxígeno e hidrógeno. Los análisis muestran también
que existen numerosas uniones químicas de unión
N-H.
Estos ensayos han mostrado que era posible, en
el curso de esta etapa de depósito de la capa de interfaz,
reemplazar el nitrógeno gaseoso (N_{2}) por aire (siempre bajo un
caudal de 40 sccm en el ejemplo propuesto) por lo cual se sabe que
está compuesto de cerca de 80% de nitrógeno.
Sobre esta capa de interfaz, es entonces posible
depositar una capa barrera de material SiOx. Existen numerosas
técnicas para depositar un material tal por plasma bajo presión. A
título de ejemplo, se puede satisfacerse el añadir a la mezcla
HMDSO/N_{2} descrito más arriba 80 sccm de oxígeno gaseoso
(O_{2}). Esta adición puede hacerse de manera instantánea o de
manera progresiva. El oxígeno, largamente en exceso en el plasma
provoca la eliminación casi completa de los átomos de carbono,
nitrógeno e hidrógeno, que son aportados por el HSDMO, o bien por el
nitrógeno utilizado como gas portador. Se obtiene así un material
SiOx donde x, que expresa la relación con la cantidad de oxígeno con
respecto a la cantidad de silicio, está generalmente comprendido
entre 1.5 y 2.3 siguiendo las condiciones operativas utilizadas. En
las condiciones dadas más arriba, se puede obtener un valor de x
superior a 2. Por supuesto, como el curso de la primera etapa las
impurezas debidas al modo de obtención puede incorporarse en
reducidas cantidades en esta capa sin modificar de manera
significativa sus propiedades.
La duración de la segunda etapa del tratamiento
puede variar por ejemplo de 2 a 4 segundos. El espesor de la capa
de barrera así obtenida es por lo tanto del orden de 6 a 20
nanómetros.
Las dos etapas del procedimiento de depósito
pueden ser realizadas bajo la forma de dos etapas perfectamente
separadas o, al contrario, bajo la forma de dos etapas encadenadas,
sin que el plasma se extinga entre las dos.
Conforme a las enseñanzas de la invención, es
posible recubrir la capa barrera con una capa protectora de carbono
amorfo hidrogenado depositada por plasma bajo presión.
Del documento WO99/49991 se sabe que el carbono
amorfo hidrogenado puede ser utilizado en calidad de capa barrera.
Sin embargo, para obtener buenos valores de barrera es necesario
depositar un espesor del orden de 80 a 200 nanómetros, espesor a
partir del cual la capa barrera de carbono presenta una coloración
dorada no despreciable.
En el marco de la presente invención, la capa de
carbono depositada presenta un espesor que es inferior a 20
nanómetros. A este nivel de espesor, el aporte de esta capa
suplementaria en términos de barrera de gas no es determinante, aun
si este aporte existe.
El principal interés de la adición de una capa
de carbono amorfo hidrogenado de tan reducido espesor reside en el
hecho de que se constata que la capa de SiOx así protegida resiste
mejor a las diferentes deformaciones del sustrato plástico.
A título de ejemplo, esta capa de carbono amorfo
hidrogenado puede ser producida introduciendo, en la zona de
tratamiento, acetileno gaseoso bajo un caudal de alrededor de 60
sccm durante un periodo del orden de 0.2 segundos. La capa
protectora así dispuesta es suficientemente delgada para que su
coloración sea apenas discernible a simple vista, si bien incrementa
de manera significativa la resistencia global del revestimiento.
El revestimiento barrera así obtenido se revela
particularmente de buen rendimiento. Así, una botella estándar en
PET de 500 ml sobre la cual se ha depositado un revestimiento
conforme a las enseñanzas de la invención presenta una tasa de
permeabilidad que corresponde al menos a 0,002 centímetros cúbicos
de oxígeno que entran en la botella por día y conserva las
propiedades barrera en nivel aceptable incluso si sufre una
deformación correspondiente a un incremento de volumen superior al
5%.
Claims (17)
1. Revestimiento de barrera al gas dispuesto
sobre un sustrato polimérico, comprendiendo el dicho revestimiento
una capa barrera con base en óxido de silicio, que está recubierta
de una capa protectora de carbono amorfo hidrogenado,
caracterizado porque la capa barrera presenta un espesor
comprendido entre 8 y 20 nanómetros y porque la capa protectora
presenta un espesor inferior a 20 nanómetros.
2. Revestimiento según la reivindicación 1,
caracterizado porque la capa barrera está compuesta
esencialmente de óxido de silicio de fórmula SiOx donde x está
comprendido entre 1.5 y 2.3.
3. Revestimiento según una cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la capa
protectora presenta un espesor inferior a 10 nanómetros.
4. revestimiento según una cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la capa
barrera es obtenida por depósito por plasma a baja presión de un
compuesto organosilícico en presencia de un exceso de oxígeno.
5. Revestimiento según una cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la capa
protectora es obtenida por depósito por plasma a baja presión de un
compuesto hidrocarbonado.
6. Revestimiento según una cualquiera de las
reivindicaciones precedentes, caracterizado porque, entre el
sustrato y la capa barrera, está depositada una capa de
interfaz.
7. Revestimiento según la reivindicación 6,
caracterizado porque la capa de interfaz es obtenida por
depósito por plasma a baja presión de un compuesto organosilícico en
ausencia de oxígeno adicional.
8. Revestimiento según la reivindicación 7,
caracterizado porque la capa de interfaz es obtenida por
depósito por plasma a baja presión de un compuesto organosilícico en
presencia de nitrógeno.
9. Recipiente en material polimérico,
caracterizado porque está recubierto, sobre al menos una de
sus caras, de un revestimiento barrera conforme a una cualquiera de
las reivindicaciones precedentes.
10. Recipiente según la reivindicación 9,
caracterizado porque está revestido de un revestimiento
barrera sobre su cara interna.
11. Recipiente según una de las reivindicaciones
9 ó 10, caracterizado porque se trata de una botella de
tereftalato de polietileno.
12. Procedimiento que emplea un plasma a presión
reducida para depositar un revestimiento barrera sobre un sustrato
polímero por tratar, del tipo en el cual el plasma es obtenido por
ionización parcial, bajo la acción de un campo electromagnético de
un fluido reactivo inyectado bajo presión reducida en una zona de
tratamiento,
Caracterizado porque comprende la menos
una etapa que consiste en depositar una capa barrera con base en
óxido de silicio que presenta un espesor comprendido entre 8 y 20
nanómetros y e porque comprende una etapa ulterior que consiste en
depositar por plasma a baja presión sobre la capa barrera, una capa
protectora, que presenta un espesor inferior a 20 nanómetros, de
carbono amorfo hidrogenado.
13. Procedimiento según la reivindicación 12,
caracterizado porque la capa protectora es obtenida por
depósito por plasma a baja presión de un compuesto
hidrocarbonado.
14. Procedimiento según la reivindicación 13,
caracterizado porque el compuesto hidrocarbonado es
acetileno.
15. Procedimiento según una cualquiera de las
reivindicaciones 12 a 14, caracterizado porque la capa
barrera es obtenida por depósito por plasma a baja presión de un
compuesto organosilícico en presencia de un exceso de oxígeno.
16. procedimiento según una cualquiera de las
reivindicaciones 12 a 15, caracterizado porque comprende una
etapa previa que consiste en depositar una capa de interfaz entre el
sustrato y la capa barrera.
17. Procedimiento según la reivindicación 16,
caracterizado porque la capa de interfaz es obtenida llevando
al estado de plasma una mezcla que comprende la menos un compuesto
organosilícico y un compuesto nitrogenado.
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