ES2288210T3 - Dispositivo optico de guias de ondas con interferencias multimodo. - Google Patents

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ES2288210T3 ES03706675T ES03706675T ES2288210T3 ES 2288210 T3 ES2288210 T3 ES 2288210T3 ES 03706675 T ES03706675 T ES 03706675T ES 03706675 T ES03706675 T ES 03706675T ES 2288210 T3 ES2288210 T3 ES 2288210T3
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Abstract

Un dispositivo (90) de interferencia multimodo, que comprende una región (32) de guías de ondas multimodo de núcleo hueco, ópticamente acoplada al menos a una guía de ondas (30) de entrada de núcleo hueco, donde las superficies internas de dichas guías de ondas de núcleo hueco llevan un recubrimiento reflectante (92) y caracterizado porque las superficies opuestas que forman la sección transversal rectangular interna de la región de guías de ondas multimodo de núcleo hueco tienen sustancialmente iguales índices de refracción efectivos y porque las superficies contiguas que forman la región de guías de ondas multimodo de núcleo hueco de sección transversal interna rectangular, tienen diferentes índices de refracción efectivos.

Description

Dispositivo óptico de guías de ondas con interferencias multimodo.
Esta invención está relacionada con dispositivos ópticos de guías de ondas con interferencias multimodo (MMI).
El documento US5410625 describe un dispositivo de interferencia multimodo (MMI) para repartir y recombinar el haz. El dispositivo comprende una primera guía de ondas de acoplamiento y dos o más segundas guías de ondas de acoplamiento, que están conectadas a una región central de guías de ondas multimodo. Las guías de onda de acoplamiento funcionan solamente en modo fundamental, y las características físicas de las regiones de guías de ondas de acoplamiento y multimodo se seleccionan de forma tal que la dispersión modal, dentro de la región central de la guía de ondas multimodo, proporciona un solo haz de entrada de luz en la primera guía de ondas de acoplamiento para repartirse en dos o más segundas guías de ondas de acoplamiento. El dispositivo puede funcionar también a la inversa como un combinador de haces.
Se conocen también variaciones y mejoras de los dispositivos MMI básicos del documento US5410625. El documento US5379354 describe cómo puede utilizarse la variación de la situación de la guía de entrada para obtener un repartidor de caminos múltiples que proporcione la división de la radiación de entrada, en haces de salida que tengan intensidades diferentes. En el documento US5675603 se ha mostrado también el uso de dispositivos MMI para formar cavidades láser. Se han utilizado también diversas combinaciones de dispositivos repartidores y recombinadores para proporcionar una capacidad de encaminamiento óptico, véase, por ejemplo, el documento US5428698.
Son conocidos los dispositivos de guías de ondas MMI de núcleo sólido, en los cuales se forman las guías de ondas de acoplamiento y multimodo a partir de crestas de material semiconductor, tal como el Arseniuro de Galio (GaAs), que sobresalen de un substrato. Los dispositivos de guías de ondas MMI de núcleo sólido se fabrican, típicamente, a partir de capas de GaAs. Una desventaja de los materiales de núcleo sólido es la limitada densidad de potencia total que pueden transmitir antes de que ocurran daños en el material de núcleo sólido.
Se conocen también los dispositivos MMI, en los cuales las guías de ondas de acoplamiento y multimodo se forman como cavidades huecas (es decir, cavidades de aire), dentro de los substratos de material dieléctrico sólido, tal como la alúmina. El material de substrato dieléctrico se selecciona de manera que tenga un índice de refracción inferior al del núcleo de aire en una longitud de onda particular de funcionamiento del dispositivo. Los dispositivos dieléctricos de núcleo hueco se fabrican, típicamente, mediante un proceso de ingeniería de precisión (por ejemplo, de homogeneización) y son típicamente de tamaño físicamente mayor que sus contrapartidas de núcleo sólido. El control preciso de las dimensiones de tales dispositivos, que es importante para obtener un rendimiento óptimo, puede demostrar que también es un reto también.
Es un objeto de esta invención proporcionar un dispositivo óptico alternativo MMI de guías de onda.
De acuerdo con un primer aspecto de la presente invención, un dispositivo de interferencia multimodo (MMI) comprende una región rectangular de guías de onda de núcleo hueco multimodo, ópticamente acoplada al menos a una guía de ondas de entrada de núcleo hueco, caracterizada porque las superficies internas de las guías de onda de núcleo hueco llevan un revestimiento reflectante y donde las superficies opuestas, que forman la sección transversal rectangular interna de la región de guía de ondas multimodo de núcleo hueco, tienen esencialmente índices efectivos de refracción iguales, y las superficies contiguas, que forman la sección transversal rectangular interna de la región de guía de ondas multimodo de núcleo hueco, tienen índices efectivos de refracción diferentes.
Los dispositivos de la invención pueden configurarse para que tengan pérdidas ópticas reducidas cuando guían la luz de polarización lineal conocida. Es preferible seleccionar las dimensiones (es decir, la anchura, la longitud y la profundidad) de la región de guía de onda multimodo de núcleo hueco de manera que proporcionen la re-formación de imágenes (es decir, generar una o más imágenes de un haz de entrada) del campo óptico transportado de dicha al menos una guía de ondas de entrada de núcleo hueco. Los dispositivos MMI de núcleo hueco de la presente invención pueden hacerse funcionar como combinadores de haz, repartidores de haz, divisores de intensidad de haces con caminos múltiples, etc.
Una ventaja de la presente invención es que las estructuras de guías de ondas de núcleo hueco (es decir, el substrato que define la estructura de las guías de ondas de núcleo hueco), sobre las cuales está situado el revestimiento reflectante, puede estar formado a partir de cualquier material. Esto es una ventaja sobre los dispositivos MMI de núcleo hueco de la técnica anterior, que son fabricados a partir de materiales específicos (tales como la alúmina) para asegurar que las pérdidas ópticas se hacen mínimas. La presente invención permite pues fabricar guías de ondas utilizando una gran variedad de materiales y procesos que no había sido posible pensar anteriormente por los expertos en la técnica. En particular, esta invención proporciona la oportunidad de fabricar dispositivos de guía de ondas de núcleo hueco físicamente pequeños, utilizando técnicas de micro-fabricación de alta precisión; las restricciones en el tamaño mínimo del dispositivo de núcleo hueco que fueron impuestas por el uso de técnicas tradicionales de ingeniería de precisión han sido así superadas.
Debe observarse también que las guías de ondas de núcleo hueco pueden ser fabricadas de una diversidad de maneras. Las guías de ondas pueden estar formadas en piezas unitarias de material, pueden estar formadas a partir de piezas independientes de material (tales como una base y una tapa) o pueden estar formadas a partir de una pluralidad de piezas de material diferentes (por ejemplo, secciones independientes de material que, cuando se ponen juntas, definen las regiones de guías de onda del modo fundamental y del multimodo requeridos).
Las guías de onda de núcleo hueco de la presente invención permiten el funcionamiento del dispositivo con altos niveles de potencia óptica. Esto es una ventaja sobre las guías de onda de núcleo sólido de la técnica anterior, en cuanto que la densidad de potencia óptica máxima está limitada por las propiedades físicas del material que forma el núcleo sólido.
Ventajosamente, el revestimiento reflectante comprende una capa de material con un índice de refracción inferior al del núcleo de la guía de ondas dentro de la banda operativa de longitudes de onda. La capa de material con un índice de refracción inferior al del núcleo de guías de onda huecas genera una reflexión total interna (TIR) de la luz dentro del dispositivo MMI, proporcionando así un dispositivo de núcleo hueco que tiene asociados niveles bajos de pérdida óptica.
Debe observarse que cuando se fabrican las estructuras de guías de ondas ópticas de núcleo hueco, el núcleo hueco se llena probablemente de aire. En vista de esto, el índice de refracción del núcleo se supone así que es el del aire a presión y temperatura atmosféricas (es decir, n=1). Sin embargo, esto no debe ser considerado en absoluto como limitativo del alcance de la invención. El núcleo hueco puede contener cualquier fluido (por ejemplo un gas inerte, tal como el nitrógeno) o puede ser el vacío. El término núcleo hueco significa simplemente un núcleo que carece de cualquier material sólido. Además, el término reflexión total interna (TIR) debe considerarse en este punto como que incluye una reflexión total interna atenuada (ATIR).
En un modo de realización adicional, la capa de material con índice de refracción bajo, transportado en la superficie interna de las guías de onda de núcleo hueco, es un metal; por ejemplo oro, plata o cobre.
Las propiedades del oro, la plata o el cobre hacen por tanto a estos materiales particularmente adecuados para su inclusión en dispositivos MMI para que funcionen en la banda de longitudes de onda de las telecomunicaciones (es decir, para ser utilizados con longitudes de onda centradas alrededor de 1,55 \mum).
Los metales presentarán un índice de refracción adecuadamente bajo en una gama de longitudes de onda que está gobernada por las propiedades físicas del metal; los libros de texto estándar tales como "el manual de constantes ópticas" de E. D. Palik, Academic Press, Londres, 1998, proporcionan datos precisos sobre los índices de refracción dependientes de la longitud de onda de diversos materiales. En particular, el oro tiene un índice de refracción inferior al del aire para longitudes de onda que están dentro de la gama de alrededor de 1400 nm hasta 1600 nm. El cobre presenta un índice de refracción inferior a la unidad en una gama de longitudes de onda que están dentro de la gama de 560 nm a 2200 nm, mientras que la plata tiene propiedades similares del índice de refracción en una gama de longitudes de onda de 320 nm a 2480 nm.
La capa de metal puede ser depositada utilizando una diversidad de técnicas conocidas para los expertos en la técnica. Estas técnicas incluyen la pulverización, la evaporación, la deposición química del vapor (CVD) y el chapado (eléctrico o no eléctrico). Las técnicas de CVD y de chapado permiten depositar capa de metal sin variaciones del espesor que dependan de la dirección. Las técnicas de chapado permiten también emprender el proceso por lotes.
Una persona experta reconocería que las capas de adhesión y/o las capas de difusión de barreras pueden ser depositadas en la guía de ondas de núcleo hueco antes de depositar la capa de metal. Por ejemplo, puede proporcionarse una capa de cromo o titanio como capa de adhesión, antes de la deposición del oro. También puede depositarse una capa de barrera de difusión, tal como el platino, en la capa de adhesión, antes de la deposición del oro. Alternativamente, podría utilizarse una capa de barrera de adhesión y difusión combinadas (tal como el nitruro de titanio o una aleación de titanio y tungsteno o un aislante, tal como el óxido de silicio).
Convenientemente, el revestimiento reflectante puede comprender también una o más capas de material dieléctrico. El material dieléctrico puede ser depositado por CVD o pulverización. Alternativamente, puede formarse una capa de dieléctrico por reacción química, con una capa de metal depositado. Una capa depositada de plata podría reaccionar químicamente con un haluro para producir una capa superficial delgada de haluro de plata. Por ejemplo, podría formarse un recubrimiento de ioduro de plata (AgI) sobre la superficie de plata exponiéndola a I_{2} en forma de una solución de ioduro potásico (KI).
En otras palabras, el recubrimiento reflectante podría proporcionarse con una pila de todo dieléctricos, o bien de metal-dieléctrico. Una persona experta en la técnica reconocería que el espesor óptico de la capa o capas de dieléctrico ofrece los efectos de interferencia requeridos y determina por tanto las propiedades reflectantes del recubrimiento. Las propiedades reflectantes del recubrimiento pueden depender también, en cierta medida, de las propiedades del material en el cual se forman las guías de ondas de núcleo hueco.
El dispositivo puede ser configurado, ventajosamente, de manera que funcione en la gama de longitudes de onda de 0,1 \mum y 20,0 \mum y, más preferiblemente, en las bandas de infrarrojo de 3-5 \mum o 10-14 \mum. Ventajosamente, el dispositivo funciona con radiación entre 1,4 \mum y 1,6 \mum en longitudes de onda.
Convenientemente, la al menos una guía de ondas de entrada de núcleo hueco es una guía de ondas de modo fundamental. Alternativamente, la al menos una guía de ondas de entrada de núcleo hueco es una guía de ondas multimodo. Como se describe con más detalle a continuación, puede utilizarse una guía de ondas de modo fundamental o multimodo para acoplar la radiación hacia el interior o el exterior de la región de guías de ondas multimodo de núcleo hueco.
Preferiblemente, la al menos una guía de ondas de entrada de núcleo hueco comprende una fibra óptica de núcleo hueco. En otras palabras, puede disponerse una fibra óptica de núcleo hueco para acoplar directamente la radiación hacia la región de la guía de ondas multimodo.
Ventajosamente, el dispositivo comprende adicionalmente una fibra óptica que está directamente acoplada ópticamente a la región de guías de onda multimodo de núcleo hueco. La fibra óptica puede comprender un núcleo hueco o sólido.
En ejemplos no cubiertos por las reivindicaciones, la región de guías de ondas multimodo de núcleo hueco puede tener una sección transversal esencialmente circular, y el diámetro y longitud de la región de guías de onda multimodo de núcleo hueco se seleccionan de manera que proporcionen una re-formación de imágenes del campo óptico de entrada transportado por dicha al menos una guía de ondas de entrada de núcleo hueco. Debe observarse que el reparto del haz no es posible con tal región multimodo circular, sino que solamente si observan efectos de re-formación de imágenes.
En un modo de realización adicional, la capa de material transportado sobre una superficie interna de las guías de ondas de núcleo hueco es Carburo de Silicio. Como se ha descrito anteriormente, la capa adicional de material con índice de refracción bajo puede seleccionarse de manera que proporcione un funcionamiento MMI eficiente en cualquier longitud de onda requerida. El Carburo de Silicio tiene un índice de refracción de 0,06 a 10,6 \mum, haciendo particularmente adecuado a tal material para su inclusión en dispositivos MMI que funcionen en tal longitud de onda.
Convenientemente, las guías de ondas de núcleo hueco están formadas en material semiconductor; por ejemplo silicio o materiales semiconductores III-V, tal como el GaAs, el Ingaes, el AlGaAs o el InSb. El material semiconductor puede ser proporcionado en forma de oblea. Ventajosamente, las guías de ondas de núcleo hueco se forman utilizando técnicas de micro-fabricación de semiconductores. Preferiblemente, tales técnicas de micro-fabricación proporcionan guías de ondas de modo fundamental, que tiene secciones transversales de menos de 3 mm o, más preferiblemente, menos de 1 mm.
Una persona experta en la técnica reconocería que las técnicas de micro-fabricación implican típicamente un paso de litografía, seguido de un paso de ataque químico para definir el diseño en el material del substrato o de una capa sobre él. El paso de litografía puede comprender la fotolitografía, la litografía por rayos X o la litografía por haz de electrones. El paso de ataque químico puede ser realizado utilizando la molturación por haz de iones, un ataque químico, un ataque químico de plasma seco o un ataque químico seco profundo (denominado también de silicio profundo). Preferiblemente, se utilizan técnicas de Ataque químico Profundo por Iones reactivos (DRIE).
Las guías de ondas formadas utilizando técnicas de micro-fabricación de este tipo proporcionan guías de ondas de núcleo hueco que son significativamente menores en tamaño que las guías de ondas dieléctricas huecas de la técnica anterior. Las técnicas de micro-fabricación de este tipo son compatibles también con diversas técnicas de deposición por capas, tales como la pulverización, el chapado eléctrico, el CVD u otras técnicas reactivas basadas en la Química.
En un modo de realización adicional, las guías de ondas de núcleo hueco están formadas a partir de plástico o polímero. Por ejemplo, las guías de ondas de núcleo hueco podrían formarse utilizando un proceso litográfico sobre un recubrimiento de polímero por "revolución continua" (por ejemplo SU8, disponible por Microchem Corporation).
Los dispositivos de guías de ondas de plástico pueden ser fabricados por técnicas que incluyen el grabado en caliente o el moldeo por inyección. La técnica implica la formación de una matriz. La matriz puede ser formada en material semiconductor, tal como el silicio, utilizando un ataque químico seco profundo. Alternativamente, la matriz puede estar formada por deposición eléctrica de capas utilizando la técnica de LIGA o de UV LIGA. Una vez formada la matriz, las guías de onda de núcleo hueco puede formarse en un substrato de plástico por estampación (es decir, por prensado) o por estampación en caliente. Las guías de ondas de plástico hueco así formadas pueden ser recubiertas después con un recubrimiento reflectante.
En un modo de realización adicional, las guías de ondas de núcleo hueco se forman a partir de vidrio, tal como el cuarzo, sílice, etc.
Convenientemente, el núcleo hueco del dispositivo comprende un líquido o un gas, tal como el aire.
Puede utilizarse también ventajosamente un medio gaseoso de ganancia óptica para proporcionar la amplificación de la luz dentro de las guías de ondas de núcleo hueco. En particular, el uso de tal medio gaseoso de ganancia en la región multimodo de núcleo hueco, permite un alto grado de amplificación. Por ejemplo, el medio gaseoso de ganancia podría ser una descarga de gas formada en una mezcla de CO_{2}N_{2} y He. Esto proporcionaría una amplificación para la radiación de 10,6 \mum.
De acuerdo con un segundo aspecto de la invención, un amplificador óptico comprende un repartidor de haz de 1 a N caminos, un amplificador óptico de elementos múltiples, y un recombinador de haces conectado en serie óptica, actuando el amplificador óptico sobre al menos una de las salidas del repartidor de haces de 1 a N caminos, caracterizado porque al menos uno, bien el repartidor de haces de 1 a N caminos o bien el recombinador de haces, comprende un dispositivo de interferencia multimodo de núcleo hueco de acuerdo con el primer aspecto de la invención.
En otras palabras, un amplificador óptico incorpora un dispositivo MMI de acuerdo con el primer aspecto de la invención. El uso de tal dispositivo MMI posibilita que el amplificador proporcione cantidades grandes de potencia óptica. Esto es ventajoso sobre los amplificadores de la técnica anterior fabricados a partir de guías de ondas de núcleo sólido, en los que la densidad de potencia óptica máxima está limitada por las propiedades físicas del material que forma el núcleo. Es por tanto posible un reparto-amplificación-recombinación de orden superior, permitiendo así la producción de haces de salida de alta intensidad, que no podían conseguirse anteriormente.
Convenientemente, el repartidor de haces de 1 a N y el recombinador de haces, comprenden ambos dispositivos de interferencia multimodo de núcleo hueco, de acuerdo con el primer aspecto de la invención. Alternativamente, el repartidor de haces de 1 a N comprende un dispositivo repartidor MMI de núcleo sólido.
En un modo de realización adicional, el amplificador óptico comprende además medios de compensación de fase para ajustar las fases relativas de los haces amplificados, antes de la recombinación de haces en el recombinador de haces. Los medios de compensación de fases, que pueden comprender moduladores de GaAs o espejos deformables, etc., permiten controlar las fases relativa de los haces que entran en el recombinador. Asegurando que los haces que entran en el dispositivo recombinador tienen compensaciones de fase apropiadas, se incrementará la eficiencia del proceso de recombinación y se posibilitará que la región de recombinación sea más corta en longitud (especialmente en dispositivos de reparto/recombinación de orden superior).
De acuerdo con un tercer aspecto de la presente invención, un resonador comprende un reflector parcial, unos medios repartidores/recombinadores, un amplificador óptico de múltiples elementos y un reflector, estando configurados el reflector parcial, los medios repartidores/recombinadores, el amplificador óptico de múltiples elementos y el reflector de forma tal que los medios repartidores/recombinadores reparten un solo haz en N haces, donde N es mayor o igual a 2, cada uno de los N haces son amplificados por el amplificador óptico de múltiples elementos, reflejado por el reflector y redirigido para que pase a través del amplificador de múltiples elementos, siendo recombinados después los N haces por los medios repartidores/recombinadores para formar un solo haz, saliendo una parte de ese haz único del resonador a través del reflector parcial, caracterizado porque los medios repartidores/recombinadores son un dispositivo de interferencia multimodo de núcleo hueco, de acuerdo con el primer aspecto de la presente invención.
El resonador es efectivamente un amplificador plegado sobre sí mismo, y proporciona la capacidad de funcionamiento en una alta potencia óptica con niveles bajos de pérdida óptica.
Se describirá ahora la invención, solamente a modo de ejemplo, con referencia a los dibujos que se acompañan, en los cuales:
La figura 1 ilustra un dispositivo repartidor MMI de núcleo hueco de la técnica anterior y el perfil de campo eléctrico transversal de dicho dispositivo;
La figura 2 ilustra un dispositivo repartidor MMI de núcleo sólido de la técnica anterior;
La figura 3 muestra un dispositivo de guía de ondas MMI, útil para comprender la presente invención;
La figura 4 muestra una comparación de datos experimentales grabados desde un dispositivo MMI recubierto y un dispositivo MMI de núcleo hueco sin recubrir;
La figura 5 muestra un circuito óptico amplificador y resonador que incorpora dispositivos repartidores/recombina-
dores MMI de dos vías, de acuerdo con la presente invención;
La figura 6 muestra un circuito óptico amplificador y resonador que incorpora dispositivos repartidores/recombina-
dores MMI de cuatro vías, de acuerdo con la presente invención;
La figura 7 muestra una configuración alternativa de un amplificador que incorpora dispositivos repartidores/re-
combinadores MMI, de acuerdo con la presente invención; y
La figura 8 muestra un circuito amplificador óptico híbrido que incorpora dispositivos repartidores MMI de núcleo sólido y un recombinador MMI, de acuerdo con la presente invención.
Haciendo referencia a la figura 1(a), se muestra una vista en perspectiva de un repartidor MMI 23 de haces de guías de ondas de núcleo hueco de dos vías de la técnica anterior. El repartidor MMI 23 de haces comprende una capa 24 de substrato, una capa 26 de guías de ondas y una capa 28 de cubierta. La capa 26 de guías de ondas define una estructura de guías de ondas de núcleo hueco que tiene una guía de ondas 30 de entrada, una región 32 de guías de ondas multimodo y dos guías de onda 34 y 36 de salida.
La región 32 de guías de ondas multimodo de núcleo hueco es rectangular, siendo l la longitud y W la anchura. La guía de ondas 30 de entrada tiene su puerto situado centralmente en la región 32 de guías de ondas multimodo, y las guías de ondas 34 y 36 están situadas con los centros de sus puertos separados a través de la región 32 de guías de ondas multimodo. La guía de ondas 30 de entrada y las guías de ondas 34 y 36 de salida están configuradas de manera que admiten solamente la propagación del modo fundamental.
Durante el funcionamiento, el modo fundamental admitido por la guía de ondas 30 de entrada es llevado a la región central 32 de guías de ondas multimodo. La longitud (l) y la anchura (w) de la región 32 de guías de ondas multimodo se seleccionan de manera que la interferencia multimodo a lo largo de su longitud genera una división igual de la intensidad del haz de entrada, que está acoplado con las guías de onda 34 y 36 de salida. De esta manera, un solo haz de entrada de radiación puede ser repartido en dos haces de salida. También es posible hacer funcionar el dispositivo a la inversa para combinar dos haces.
Haciendo referencia a la figura 1(b), se ilustra el principio básico subyacente en la interferencia multimodo que proporciona el reparto del haz. La figura 1(b) ilustra los perfiles de intensidad transversal para la radiación electromagnética de longitud de onda \lambda en trece posiciones igualmente espaciadas a lo largo de la región rectangular de guías de ondas multimodo de longitud L y anchura W, donde L=W^{2}/\lambda. Se supone que la entrada de radiación incidente (es decir, el modo representado por la primera curva 56 de intensidad transversal) es un modo funda-
mental.
Puede observarse en la figura 1(b) que puede utilizarse un dispositivo de longitud de onda inferior a L para efectuar la función de reparto del haz. En el caso de un repartidor de haces de dos vías, del tipo descrito en la figura 1(a), se requiere un dispositivo de longitud L/2(=1). De forma similar, pueden proporcionarse repartidores de tres vías o de cuatro vías si son de longitud L/3 y L/4 respectivamente. En otras palabras, puede obtenerse un reparto de N vías con un dispositivo de longitud L_{N}=W^{2}/N\lambda. En el documento US 5410625 se ofrece una explicación más completa del funcionamiento y diseño de dispositivos repartidores MMI.
Los expertos en la técnica han construido, hasta la fecha, estructuras de guías de ondas de núcleo hueco utilizando materiales de substrato dieléctrico, que tienen un índice de refracción inferior al del aire (es decir, n<1) en una particular longitud de onda de funcionamiento. En particular, se han utilizado substratos de alúmina porque tiene un índice de refracción, para la luz de 10,5 \mum de longitud de onda, inferior al del aire. Esto asegura que la luz que se propaga a través del núcleo hueco sufrirá una TIR en el interfaz entre el aire y el substrato.
Una desventaja de utilizar alúmina, y otros materiales dieléctricos, es que tales materiales se configuran típicamente par formar dispositivos MMI de núcleo hueco utilizando técnicas de ingeniería de precisión (por ejemplo, molturación o aserrado). Estas técnicas de fabricación limitan el tamaño mínimo del dispositivo de núcleo hueco que puede crearse manteniendo las tolerancias requeridas para el funcionamiento del dispositivo MMI. Por ejemplo, las técnicas típicas de molturación permiten definir estructuras con una tolerancia de no menos de 50 \mum en guías de ondas de una anchura típica de no menos de 1 mm de anchura.
Los materiales alternativos que pueden ser utilizados para fabricar dispositivos de núcleo hueco de un tamaño físico menor, no proporcionan niveles de reflexión suficientes en el interfaz aire-substrato, y se introducen pérdidas ópticas significativas que surgen de la reflexión Fresnel de la luz en el interfaz entre el núcleo hueco y el material circundante. La pérdida óptica asociada con la reflexión Fresnel en dispositivos MMI, que es exagerada en dispositivos de tamaño menor, ha conducido a los expertos en la técnica a descartar el uso de substratos de núcleo hueco para fabricar dispositivos MMI de pequeño tamaño. Se ha hecho por tanto un esfuerzo en la iniciativa de tamaños menores de los dispositivos, para fabricar dispositivos de guías de ondas MMI de núcleo sólido.
Haciendo referencia a la figura 2, se ilustra una estructura 60 de guías de ondas MMI de núcleo sólido de cuatro vías. La estructura 60 de guías de ondas MMI de núcleo sólido consiste en una capa 62 de substrato de GaAs semi-aislante, una capa inferior 64 de revestimiento, una capa 66 de núcleo de GaAs y una capa superior 68 de revestimiento/tapa.
Una guía de ondas 70 de entrada tiene su puerto de manera centrada en una región 80 de guías de ondas multimodo de anchura W y longitud l', y se disponen también cuatro guías de ondas (72, 74, 76 y 78) de salida. Las guías de ondas de entrada y de salida están configuradas de manea que solamente admiten la propagación en modo fundamental. La longitud (l') de la región 80 de guías de ondas multimodo es L/4 (donde L = W^{2}/\lambda) para proporcionar un reparto en cuatro vías.
El índice de refracción del núcleo de GaAs es alrededor de 3,5, mientras que el aire circundante tiene un índice de refracción de alrededor de 1. Se obtiene así la reflexión total interna (TIR) en el interfaz entre el material de GaAs y el aire circundante. La TIR que tiene lugar en el interfaz entre el material de GaAs y el aire proporciona una capacidad de reflexión superficial sustancialmente mayor que el que se encuentra en el dispositivo de núcleo hueco. La eficiencia óptica global de los dispositivos de núcleo sólido de este tipo es por tanto significativamente mayor que la de los equivalentes de núcleo hueco.
Una desventaja de los dispositivos repartidores MMI de núcleo sólido es que solamente puede propagarse una cantidad limitada de potencia óptica en el núcleo sólido antes de que ocurran daños al material que forma el núcleo. Las capacidades de utilización de potencia de los dispositivos MMI de núcleo sólido están por tanto limitadas; esto pone una limitación en el uso de tales dispositivos en aplicaciones de alta potencia, tales como los amplificadores ópticos, etc.
Haciendo referencia a la figura 3, se ilustra una vista en perspectiva de un repartidor MMI 90 de guías de ondas de núcleo hueco de dos vías, útil para comprender la presente invención; los elementos similares a los descritos en las figuras precedentes tienen referencias numéricas similares.
El repartidor MMI 90 de haces comprende un substrato 88 y una tapa 86 del substrato. El substrato 88 y la tapa 86 del substrato definen una estructura de guías de ondas de núcleo hueco que tiene una guía de ondas 30 de entrada, una región 32 de guías de ondas multimodo y dos guías de ondas 34 y 36 de salida. Hay dispuesta una capa 92 de oro (indicada con las marcas rayadas de la figura 3) sobre las superficies internas del substrato 88 y la tapa 86 del substrato que definen la estructura de guías de ondas de núcleo hueco. La capa 92 de oro debe ser suficientemente gruesa para asegurar que tiene lugar una ATIR. Una persona experta en la técnica reconocería que también pueden disponerse una capa de estimulación de la adhesión y/o una capa de barrera de difusión (no ilustradas) entre la capa 92 de oro y el substrato.
Aparte de cualquier alteración en la longitud y la anchura de la cavidad originada por la adición de la capa de metal de oro, la capa 92 de oro no afecta al diseño del dispositivo MMI. La guía de ondas 30 de entrada, la región 32 de guías de ondas multimodo y las dos guías de ondas 34 y 36 de salida se diseñan utilizando los mismos criterios utilizados para los dispositivos MMI de núcleo hueco de la técnica anterior del tipo descrito con referencia a la figura 1.
La presencia de la capa 92 de oro proporciona una ATIR dentro del dispositivo de núcleo hueco para la luz con longitud de onda dentro de la banda de longitudes de onda de las telecomunicaciones (es decir, para longitudes de onda alrededor de 1,55 \mum). En estas longitudes de onda de las telecomunicaciones, el oro tiene las propiedades de índice de refracción requeridas de n<1 y de bajos niveles de absorción.
Aunque se ha descrito anteriormente una capa 92 de oro, una persona experta en la técnica reconocería que cualquier material con índice de refracción inferior al del aire (o lo que esté contenido en la cavidad) en las longitudes de onda a las cuales ha de funcionar la guía de ondas, podría ser depositado sobre las superficies que definen la guía de ondas de núcleo hueco. Los índices de refracción de los distintos materiales pueden encontrarse en diversas publicaciones, tales como "el manual de constantes ópticas", de E. D. Palik, Academic Press, Londres, 1998. Los metales tienen típicamente un índice de refracción inferior al del aire, en una gama dada de longitudes de onda; la gama de longitudes de onda en particular depende de las propiedades físicas del metal. El bajo índice de refracción de los metales en una longitud de onda en particular, viene acompañado generalmente con un máximo de absorción a través de una gama similar de longitudes de onda. Por tanto, debe seleccionarse un material, preferiblemente, con un índice de refracción inferior al del aire y también con una baja absorción en la longitud o longitudes de onda de funcionamiento del dispositivo.
Una persona experta reconocería que, en lugar de utilizar una sola capa con bajo índice de refracción, se pueden disponer múltiples reflectores de capas. Por ejemplo, las pilas dieléctricas de capas múltiples o pilas de metal-dieléctricos podrían ser recubiertas sobre el substrato 88 y/o la tapa 86 del substrato.
Un material adecuado para el substrato 88 y la tapa 86 del substrato es el silicio; el silicio puede ser atacado químicamente con un alto grado de precisión utilizando técnicas de micro-fabricación del tipo conocido por los expertos en la técnica. Cualquier material que pueda formarse con la geometría física requerida podría ser utilizado para fabricar el dispositivo MMI. Sin embargo, el uso de semiconductores micro-fabricados es particularmente ventajoso porque permite hacer los dispositivos significativamente más pequeños en tamaño que las alternativas de ingeniería de precisión; los procesos de micro-fabricación pueden proporcionar una precisión por debajo de 1 \mum. La micro-fabricación permite también formar múltiples estructuras en paralelo sobre el substrato, a diferencia de las técnicas de ingeniería de precisión en las cuales las estructuras de guías de ondas se forman en serie desplazando una herramienta de corte a través de la superficie del substrato.
Idealmente, el substrato 88 y la tapa 86 del substrato deberían ser fabricados a partir de un material adecuado para el recubrimiento con un material de bajo índice de refracción. Una persona experta en la técnica apreciaría cómo puede conseguirse la deposición de capas de oro sobre el silicio, utilizando técnicas de deposición de metales, tal como la pulverización, evaporación, CVD o chapado. Una persona experta apreciaría también que la tapa podría ser unida al substrato a través de técnicas tales como la unión eutéctica del oro-silicio o una capa intermedia.
Haciendo referencia a la figura 4, se muestran los datos experimentales que ilustran las propiedades de transmisión de dispositivos MMI de dos vías.
Se construyeron repartidores de haces MMI de guías de ondas de núcleo hueco de dos vías, que tienen una anchura (W) de la región multimodo de 250 \mum y anchuras de guías de ondas de modo fundamental de 50 \mum. Los dispositivos fueron fabricados utilizando diversas longitudes (l) de la región multimodo, y con y sin un recubrimiento de metal de cobre aplicado a la superficie interna de la estructura de guía de ondas de núcleo hueco, utilizando una capa de adhesión de níquel.
La primera curva 100 muestra la transmisión total de luz a través de repartidores MMI de núcleo hueco de dos vías, mientras que la segunda curva 102 muestra la transmisión de luz a través de repartidores MMI de núcleo hueco de dos vías con un recubrimiento de metal de cobre aplicado a sus superficies internas. Es evidente, a partir de los datos experimentales, que la aplicación de una capa de material de cobre a la superficie interna del repartidor de haces de núcleo hueco casi duplicará la eficiencia de transmisión del dispositivo. Esto hace que el dispositivo sea una alternativa práctica a los dispositivos de núcleo sólido.
Haciendo referencia a la figura 5, se ilustran esquemáticamente varias aplicaciones en las cuales pueden emplearse los dispositivos MMI repartidores/combinadores de dos vías, de acuerdo con la presente invención.
La figura 5a muestra un amplificador 110. El amplificador 110 comprende una etapa repartidora 112, un amplificador 114 de una serie de diodos y una etapa combinadora 116.
La etapa repartidora 112 comprende un primer repartidor MMI 118 de dos vías y dos repartidores MMI secundarios 120 y 122 de dos vías. Cada uno de los repartidores MMI 118, 120 y 122 de dos vías comprende una sola guía de ondas 124 de entrada, dos guías de ondas 126 de salida y una región central multimodo 128. Las entradas de los repartidores secundarios MMI de dos vías están conectadas a las salidas del primer repartidor MMI 118 de dos vías.
El amplificador 114 de serie de diodos comprende 4 elementos de amplificación independientes (130a, b, c, d) que están ópticamente conectados entre las cuatro salidas de la etapa repartidora 112 y las cuatro entradas de la etapa combinadora 116. Las series de diodos láser de este tipo son bien conocidas para los expertos en la técnica.
La etapa combinadora 116 comprende una pareja de combinadores MMI 132 y 134 de dos vías, y un segundo combinador MMI 136. Cada uno de los combinadores MMI 132, 134 y 136 de dos vías comprende una pareja de guías de ondas 138 de entrada, una sola guía de ondas 140 de salida y una región multimodo central 128. Las salidas de las parejas de combinadores MMI 132 y 134 de dos vías están conectadas a las entradas del segundo combinador MMI 136.
En funcionamiento, la etapa repartidora 112 divide un haz 142 de luz incidente en cuatro haces; cada uno de ellos con igual intensidad. El amplificador 114 de serie de diodos de cuatro elementos amplifica entonces cada uno de los cuatro haces, antes de ser recombinados en la etapa combinadora 116. Resulta así un haz 144 de salida amplificada resultante.
Haciendo referencia a la figura 5b, se ilustra una estructura 150 de resonador. El resonador 150 es efectivamente un amplificador del tipo descrito con referencia a la figura 5a, plegado sobre sí mismo.
El resonador 150 comprende una sola etapa MMI 152 que tiene un primer repartidor/combinador MMI 154 de dos vías y dos repartidores/combinadores secundarios MMI 156 y 158 de dos vías. Cada repartidor combinador MMI 154, 156 y 158 tiene una primera guía de ondas 160, dos segundas guías de ondas 162 y una región multimodo 128. Las dos segundas guías de ondas del primer repartidor/combinador MMI 154 de dos vías están ópticamente conectadas a las primeras guías de ondas de los dos repartidores/combinadores MMI secundarios 156 y 158 de dos vías. El resonador comprende también un espejo 164 totalmente reflectante y un espejo 166 parcialmente reflectante y un amplificador 114 de serie de diodos de cuatro elementos.
En funcionamiento, la etapa MMI 152 realiza ambas funciones de repartición y combinación, y el resonador proporciona amplificación de luz. El espejo 166 parcialmente reflectante permite extraer una cierta cantidad de la luz como un haz 168 de salida.
Aunque el amplificador y los resonadores descritos con referencia a la figura 5 podrían ser fabricados utilizando repartidores/combinadores MMI conocidos, es preferible utilizar el dispositivo MMI del tipo descrito con referencia a las figuras 3 y 4. El uso de guías de ondas de núcleo hueco sin el recubrimiento de índice de refracción bajo, aumentaría las pérdidas acumuladas asociadas con cada repartidor/combinador MMI del sistema, reduciendo así la amplificación de luz del amplificador 114 de serie de diodos. Además, si se utilizasen los repartidores/combinadores MMI de núcleo sólido (por ejemplo, de GaAs) de la técnica anterior, las densidades de potencia asociadas con la etapa de recombinación podrían originar una degradación significativa del material de núcleo sólido. La presente invención proporciona pues amplificadores ópticos y resonadores que tienen capacidad de utilización de altas potencias.
Haciendo referencia a la figura 6, se describe un ejemplo adicional de cómo pueden emplearse ventajosamente los dispositivos MMI de núcleo hueco, de acuerdo con la presente invención.
La figura 6a muestra un amplificador de 1-a-4-a-1 vías. El amplificador comprende un primer repartidor MMI 180 de cuatro vías que tiene una primera guía de ondas 182, una región 184 multimodo y cuatro segundas guías de ondas 186. También se dispone un amplificador 114 de serie de diodos de cuatro elementos, junto con un segundo recombinador MMI 190 de cuatro vías.
En funcionamiento, la luz incidente 192 está acoplada a la primera guía de ondas 182 del primer repartidor MMI 180 de cuatro vías. El primer repartidor MMI 180 de cuatro vías reparte por igual la luz entre sus cuatro segundas guías de ondas 186, y hace pasar la luz al amplificador 114 de serie de diodos de cuatro elementos.
La luz que emerge desde cada una de las cuatro segundas guías de ondas del primer repartidor MMI 180 es amplificada por cada elemento del amplificador 114 de serie de diodos de cuatro elementos, antes de entrar en las segundas guías de ondas del segundo recombinador MMI 190 de cuatro vías. El segundo recombinador MMI 190 de cuatro vías recombina entonces los cuatro haces de luz amplificada para formar un solo haz 194, y amplificado, de salida.
Sin embargo, y a diferencia de los repartidores de dos vías descritos anteriormente, es necesario considerar las fases de los cuatro haces de luz que entran en el recombinador MMI 190. Tales consideraciones de fase solamente se requieren cuando los dispositivos MMI se han diseñado para repartir y recombinar tres o más haces (es decir, cuando N\geq3), utilizando las longitudes más cortas posibles de la región multimodo.
Como se ha descrito anteriormente con referencia a la figura 2, puede obtenerse un reparto de N vías con la longitud de la región multimodo más corta cuando el dispositivo MMI tiene una región multimodo de anchura W y longitud L_{N}=W^{2}/N\lambda. Debe observarse que la longitud de onda \lambda es la longitud de onda de la luz en la región multimodo (es decir, la longitud de onda de la luz en el espacio libre multiplicada por el índice de refracción del material del núcleo).
En términos de inclinación (p) de los ejes de los elementos de la serie, la longitud (l) de la guía multimodo para un reparto de N vías puede escribirse como:
(1)l_{N} = \frac{(Np)^{2}}{\lambda}
donde p es la inclinación de las segundas guías de ondas (por ejemplo, la inclinación de las cuatro guías de ondas 186 del repartidor MMI 180) y p=W/N. Puede observarse a partir de la ecuación (1) que la longitud (l) de la región de la guía multimodo se corresponde en una escala lineal con el orden del reparto (es decir, N) para una inclinación fija.
El resultado del proceso de reparto simétrico en guías de ondas multimodo que obedezcan a las normas de diseño geométrico descrito anteriormente, es que se producen N campos de modo fundamental que tienen igual amplitud. Sin embargo, las fases de los campos resultantes no son iguales, y se rigen por la relación:
(2)\phi_{n} = \left\{\frac{1}{2N} + \frac{N+1}{4} + \frac{n}{N} (n-N-1) \right\}\pi
En el caso de un repartidor de cuatro vías (es decir, N=4), las fases relativas de los 4 campos de salida son por tanto \frac{3}{8}\pi, -\frac{1}{8}\pi, -\frac{1}{8}\pi, y \frac{3}{8}\pi, respectivamente.
Con el fin de recombinar eficientemente 4 haces utilizando un recombinador de cuatro vías, las fases de los campos que entran en la región de guías de ondas multimodo tienen que adoptar valores que son la conjugada de fase exacta de las generadas por el proceso de reparto. En otras palabras, las fases de los cuatro campos de entrada en la región multimodo del recombinador MMI 190 deben ser -\frac{3}{8}\pi, \frac{1}{8}\pi, \frac{1}{8}\pi, y -\frac{3}{8}\pi, respectivamente, para una recombinación eficaz.
Como consecuencia de lo anterior, es ventajoso introducir compensaciones de fase entre el repartidor MMI 180 y el recombinador MMI 190, lo que permite satisfacer estas condiciones de fase. En términos generales, las compensaciones de fase requeridas entre un repartido de 1-a-N vías y un recombinador de N-a-1 vías vienen dadas por:
(3)\phi_{n} = -2 \left\{\frac{1}{2N} + \frac{N+1}{4} + \frac{n}{N} (n-N-1) \right\}\pi
Para establecer las compensaciones de fase requeridas en el amplificador de 1-a-4-a-1 vías de la figura 6(a), se disponen los medios 196 de compensación de fase en cada una de las cuatro segundas guías de ondas 186 del recombinador MMI 190. Los medios 196 de compensación de fase comprenden modificaciones de las longitudes físicas de las guías que alimentan al recombinador MMI 190.
Los expertos en la técnica conocen también numerosas alternativas técnicas para producir las compensaciones de fase requeridas. Por ejemplo, podría alterarse la corriente en cada elemento del amplificador 114 de serie de diodos. Alternativamente, podría alterarse la longitud del camino óptico dentro del amplificador 114 de serie de diodos, o podría modificarse el índice de refracción efectivo de una sección de la guía de ondas o del amplificador 114 de serie de diodos, para proporcionar el desplazamiento de fase necesario.
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La figura 6b ilustra un resonador que consiste en un solo repartidor/recombinador MMI 200 de cuatro vías y un amplificador 114 de serie de diodos de cuatro elementos. El repartidor/recombinador MMI 200 de cuatro vías tiene una región multimodo 184, una primera guía de ondas 182 y cuatro segundas guías de ondas 186. Se disponen medios 204 de compensación de fase en cada una de las cuatro segundas guías de ondas 186. El resonador comprende también un espejo 164 totalmente reflectante y un espejo 166 parcialmente reflectante.
El resonador es efectivamente un amplificador plegado sobre sí mismo, con el resultado de que un doble paso a través del repartidor/recombinador MMI 200 de cuatro vías da como resultado una amplificación de la luz. Como la luz pasa a través de los medios 204 de compensación de fase dos veces durante cada doble paso a través del dispositivo, las compensaciones de fase proporcionadas por los medios 204 de compensación por los medios 204 de compensación de fase es la mitad de la dada por la ecuación (3) anterior para un dispositivo amplificador. El espejo 166 parcialmente reflectante permite que se extraiga una cierta cantidad de la luz como haz 202 de salida.
De nuevo, los repartidores/recombinadores MMI de núcleo hueco del tipo descrito con referencia a las figuras 3 y 4, son ventajosos porque proporcionan la capacidad de manejar potencias ópticas altas con bajos niveles de atenuación.
Haciendo referencia a la figura 7, se ofrece un modo de realización alternativo del amplificador descrito con referencia a la figura 6(a). El amplificador comprende un repartidor MMI 210 de 7 vías, un chip 212 de serie de diodos de 7 elementos y un recombinador MMI 214 de 7 vías. El repartidor MMI 210 de 7 vías tiene una guía de ondas 216 de entrada y una región 218 multimodo. El combinador MMI 214 de 7 vías tiene una guía de ondas 220 de salida y una región 218 multimodo.
Las regiones 218 multimodo de ambos, el repartidor MMI 210 y el combinador MMI 214, están directamente acoplados ópticamente a cada lado del chip 212 de serie de diodos de 7 elementos. Las dimensiones de la región 218 multimodo del repartidor MMI 210 son tales que un modo fundamental incidente que entre en esa región desde la guía de ondas 216 de entrada, es repartido en 7 haces de igual intensidad en el interfaz 222 con el chip 212 de serie de diodos. Los 7 haces son amplificados después por el chip 212 de serie de diodos, antes de entrar en el recombinador MMI 214, cuando se recombinan para formar un solo haz que sale del dispositivo a través de la guía de ondas 220 de salida. En este dispositivo, se proporciona cualquier compensación de fase necesaria en la región del chip de serie de diodos.
Al igual que los dispositivos amplificador y resonador descritos con referencia a la figura 6, el dispositivo amplificador integrado de la figura 7 comprende, ventajosamente, un repartidor MMI 210 y/o un recombinador MMI 214 del tipo descrito con referencia a las figuras 3 y 4.
Haciendo referencia a la figura 8, se ilustra un amplificador híbrido. El amplificador híbrido comprende un repartidor MMI 230 de núcleo sólido, seis medios 232 de desplazamiento de fase, una serie 234 amplificadora de diodos que aumenta gradualmente y un combinador MMI 236 de núcleo hueco.
El repartidor MMI 230 de núcleo sólido se fabrica con GaAs y tiene una sola guía de ondas 238 de entrada, una región multimodo 240 y seis guías de ondas 242 de salida. La anchura (w_{1}) y la longitud (l_{1}) de la región multimodo 240 se seleccionan de forma tal que un haz 241 de entrada, acoplado a la guía de ondas 238 de entrada, se reparte en 6 guías de ondas 242 de salida.
Cada una de las 6 guías de ondas 242 de salida se despliega en abanico a unos medios 232 de desplazamiento de fase. Los medios 232 de desplazamiento de fase comprenden moduladores electro-ópticos, fabricados también con GaAs, que imponen un desplazamiento de fase al haz óptico al aplicarle una tensión adecuada. Los desplazamientos de fase aplicados a cada haz para asegurar una recombinación eficiente se rigen por la ecuación (3) anterior. Los medios 232 de desplazamiento de fase compensan también los errores de fase introducidos por el propio proceso de despliegue en abanico. Los errores de fase que se introducen durante el proceso de fabricación, tal como un error de hendidura, las inconsistencias en las propiedades de la guía de ondas, pueden ser compensadas con los medios 232 de desplazamiento de fase.
Debe observarse que además de que se necesita conseguir las compensaciones de fase apropiadas para una recombinación eficiente, los haces deben ser también iguales en amplitud. La corrección de igualación de amplitud puede conseguirse de una diversidad de formas, que son conocidas para los expertos en la técnica. Por ejemplo, podría colocarse un atenuador variable de Mach-Zehnder (no ilustrado) en cada una de las guías de ondas 242 de salida, antes de los medios 232 de desplazamiento de fase.
Los haces con desplazamiento de fase que salen de los medios 232 de desplazamiento de fase, están acoplados a una serie amplificadora 234 de diodos que aumenta gradualmente, que amplifican individualmente cada uno de los 6 haces. Un amplificador de aumento gradual adecuado para esta tarea está descrito en el artículo de F Wilson y otros colaboradores, en Electronics Letters, del 7 de Junio de 1999, Vol. 35, núm. 1.
Una vez amplificados, los 6 haces ópticos quedan acoplados directamente en la región multimodo 244 del recombinador MMI 236 de núcleo hueco. Para asegurar que las reflexiones sean mínimas en el interfaz entre los elementos sólidos de la serie amplificadora 234 de aumento gradual de diodos, y la región multimodo 244 de núcleo hueco, se disponen recubrimientos antirreflectantes 246.
La anchura (w_{2}) y la longitud (l_{2}) de la región multimodo 244 se seleccionan de forma tal que los seis haces amplificados que entran en esa región se recombinan y el haz amplificado 247 de salida sale del dispositivo a través de la guía de ondas 248 de salida. Debe observarse que las dimensiones del repartidor MMI 230 de núcleo sólido y el recombinador MMI 236 de núcleo hueco son diferentes, debido a la diferencia en el índice de refracción del GaAs y el aire (aproximadamente 3,5 en comparación con 1,0, respectivamente); esto hace que el repartidor MMI 230 de núcleo sólido sea físicamente menor en tamaño que el recombinador MMI 236 de núcleo hueco.
Aunque se ha descrito un amplificador de 1-a-6-a-1 anteriormente, una persona experta en la técnica reconocería que es posible un grado mucho más alto de repartición y recombinación. A medida que la cantidad de potencia que requiere la combinación óptica aumenta, la capacidad de manejo de potencia del recombinador debe aumentar consecuentemente.
En un amplificador híbrido del tipo descrito en la figura 8, los dispositivos MMI de núcleo sólido se utilizan para repartir el haz de radiación incidente, ya que tales dispositivos son típicamente más compactos que los equivalentes de núcleo hueco y proporcionarán un reparto eficiente de un haz incidente de baja potencia. Sin embargo, cuando se recombinan las señales amplificadas, los dispositivos de núcleo sólido serían incapaces de manejar el incremento de potencia óptica sin que ocurran daños al material del núcleo sólido. El uso de un recombinador MMI del tipo descrito con referencia a las figuras 3 y 4, permite una eficiente recombinación de los haces de alta intensidad sin la posibilidad de daños al núcleo del dispositivo recombinador.
Los dispositivos MMI descritos anteriormente proporcionan un reparto en una dirección (por ejemplo, la horizontal). Sin embargo, es posible proporcionar también un reparto en una segunda dimensión (por ejemplo, la vertical), como se describe con referencia a las figuras 17 y 18 del documento US 5.410.625. De esta manera, un solo haz de entrada puede ser repartido en M x N haces. El reparto bidimensional puede considerarse como un reparto de N vías en una primera dimensión (por ejemplo, la horizontal) y un reparto de M vías en una segunda dimensión (por ejemplo, la vertical).
Para el caso de un campo simétrico alimentado en una guía de ondas rectangular que admita la propagación multimodo en dos dimensiones, los repartos en M vías y N vías pueden venir dados por:
(4a)L^{sim}_{W1_{N}} = \frac{pW_{1}^{2}}{\lambda} + \frac{W_{1}^{2}}{M\lambda}
(4b)L^{sim}_{W2_{N}} = \frac{qW_{2}^{2}}{\lambda} + \frac{W_{2}^{2}}{N\lambda}
donde W_{1} es la anchura de la guía, W_{2} es la profundidad de la guía, p y q son enteros y \lambda es la longitud de onda de la luz que se propaga. Por tanto, seleccionando pW_{1} y qW_{2} de forma que L^{sim}_{W1_{N}} = L^{sim}_{W2_{N}}, se proporcionará un campo de M x N.
Para el caso de un campo asimétrico alimentado en una guía rectangular que admita la propagación multimodo en dos dimensiones, los repartos en M vías y N vías pueden venir dados por:
(5a)L^{asim}_{W1_{N}} = \frac{8pW_{1}^{2}}{\lambda} + \frac{4W_{1}^{2}}{M\lambda}
(5b)L^{asim}_{W2_{N}} = \frac{8qW_{2}^{2}}{\lambda} + \frac{4W_{2}^{2}}{N\lambda}
donde W_{1} es la anchura de la guía, W_{2} es la profundidad de la guía, p y q son enteros y \lambda es la longitud de onda de la luz que se propaga. Por tanto, seleccionando pW_{1} y qW_{2} de forma que L^{asim}_{W1_{N}} = L^{asim}_{W2_{N}}, se proporcionará un campo de M x N. Más aún, alimentar un modo fundamental en una región de guías de ondas multimodo es análogo a introducir un campo multimodo.

Claims (24)

1. Un dispositivo (90) de interferencia multimodo, que comprende una región (32) de guías de ondas multimodo de núcleo hueco, ópticamente acoplada al menos a una guía de ondas (30) de entrada de núcleo hueco, donde las superficies internas de dichas guías de ondas de núcleo hueco llevan un recubrimiento reflectante (92) y caracterizado porque las superficies opuestas que forman la sección transversal rectangular interna de la región de guías de ondas multimodo de núcleo hueco tienen sustancialmente iguales índices de refracción efectivos y porque las superficies contiguas que forman la región de guías de ondas multimodo de núcleo hueco de sección transversal interna rectangular, tienen diferentes índices de refracción efectivos.
2. Un dispositivo como se reivindica en la reivindicación 1, en el que el recubrimiento reflectante comprende al menos una capa de material que tiene un índice de refracción inferior al del núcleo de la guía de ondas, dentro de la banda de longitudes de onda de funcionamiento.
3. Un dispositivo como se reivindica en la reivindicación 2, en el que al menos una de las al menos una capa de material que lleva la superficie interna de las guías de ondas de núcleo hueco es un metal.
4. Un dispositivo como se reivindica en la reivindicación 3, en el que el metal es cualquiera entre el oro, la plata o el cobre.
5. Un dispositivo como se reivindica en cualquier reivindicación precedente, en el que el recubrimiento reflectante comprende una o más capas de material dieléctrico.
6. Un dispositivo como se reivindica en cualquier reivindicación precedente, con un tamaño tal que funciona con la radiación entre 1,4 \mum y 1,6 \mum de longitud de onda.
7. Un dispositivo como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que al menos una guía de onda de entrada de núcleo hueco es una guía de ondas de modo fundamental.
8. Un dispositivo como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 1 a 6, en el que al menos una guía de ondas de entrada de núcleo hueco es una guía de ondas multimodo.
9. Un dispositivo según la reivindicación 9, en el que las dimensiones de la región de guías de ondas multimodo de núcleo hueco se seleccionan de forma que proporcionen una re-formación de imágenes del campo óptico de entrada transportado por dicha al menos una guía de ondas de entrada de núcleo hueco.
10. Un dispositivo como se reivindica en cualquier reivindicación precedente, en el que las guías de ondas huecas del dispositivo de interferencia multimodo se forman con material semiconductor.
11. Un dispositivo como se reivindica en la reivindicación 10, en el que el material semiconductor comprende el silicio.
12. Un dispositivo como se reivindica en la reivindicación 10 o la reivindicación 11, en el que las guías de ondas de núcleo hueco se forman utilizando técnicas de micro-fabricación de semiconductores.
13. Un dispositivo según la reivindicación 12, en el que la técnica de micro-fabricación de semiconductores en el Ataque químico Profundo por Iones Reactivos.
14. Un dispositivo como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 1 a 9, en el que las guías de ondas de núcleo hueco se forman en una capa de plástico o polímero.
15. Un dispositivo como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 1 a 9, en el que las guías de ondas de núcleo hueco se forman con vidrio.
16. Un dispositivo como se reivindica en cualquier reivindicación precedente, en el que las guías de ondas de núcleo hueco comprenden gas.
17. Un dispositivo como se reivindica en la reivindicación 16, en el que el gas es aire.
18. Un dispositivo como se reivindica en la reivindicación 16, en el que el gas es un medio de ganancia óptica.
19. Un dispositivo como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 1 a 15, en el que el núcleo hueco comprende un líquido.
20. Un amplificador óptico (110; 180, 114, 190; 210, 212, 214; 230, 232, 234, 236) que comprende un repartidor (112; 180; 210; 230) de haces de 1-a-N vías, un amplificador óptico (114; 221; 234) de múltiples elementos, y un recombinador (116; 190; 214; 236) de haces conectado en serie óptica, actuando el amplificador óptico sobre al menos una de las salidas del repartidor de haces de 1-a-N vías, caracterizado porque el al menos uno entre el repartidor de haces de 1-a-N vías y el recombinador de haces, comprende un dispositivo de interferencia multimodo de núcleo hueco, como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 1-19.
21. Un amplificador óptico como se reivindica en la reivindicación 20, en el que el repartidor de haces de 1-a-N y el recombinador de haces comprenden ambos dispositivos de interferencia multimodo de núcleo hueco como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 1-19.
22. Un amplificador óptico, como se reivindica en la reivindicación 20, en el que el repartidor de haces de 1-a-N comprende un dispositivo repartidor de interferencia multimodo de núcleo sólido.
23. Un amplificador óptico como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 20 a 22 y que comprende además medios (196; 212; 232) de compensación de fase para ajustar las fases relativas de los haces amplificados, antes de la recombinación de haces en el recombinador de haces.
24. Un resonador que comprende:
un reflector parcial (166);
unos medios (152; 200) repartidores/recombinadores
un amplificador óptico (114) de elementos múltiples, y
un reflector (164),
estando configurados el reflector parcial, los medios repartidores/recombinadores, el amplificador óptico de elementos múltiples y el reflector, de manera que los medios repartidores/recombinadores reparten un solo haz en N haces, donde N es mayor o igual a 2, cada uno de los N haces es amplificado por el amplificador óptico de elementos múltiples, reflejado por el reflector y redirigido para que vuelva a pasar a través del amplificador de elementos múltiples, siendo recombinados después los N haces por los medios repartidores/recombinadores para formar un solo haz, saliendo del resonador una parte del haz único a través del reflector parcial,
caracterizado porque los medios repartidores/recombinadores son un dispositivo de interferencia multimodo de núcleo hueco, como se reivindica en cualquiera de las reivindicaciones 1-19.
ES03706675T 2002-01-29 2003-01-29 Dispositivo optico de guias de ondas con interferencias multimodo. Expired - Lifetime ES2288210T3 (es)

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GBGB0201950.3A GB0201950D0 (en) 2002-01-29 2002-01-29 Multimode interference optical waveguide device
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