ES2290713T3 - Rueda de corte para vidrio. - Google Patents

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ES2290713T3 ES04733316T ES04733316T ES2290713T3 ES 2290713 T3 ES2290713 T3 ES 2290713T3 ES 04733316 T ES04733316 T ES 04733316T ES 04733316 T ES04733316 T ES 04733316T ES 2290713 T3 ES2290713 T3 ES 2290713T3
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Bernhard Hotger
Klaus Stefan Klimek
Manfred Vollbracht
Gerhard Ruschoff
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Abstract

Rueda de corte para vidrio de dimensiones habituales hecha con metal duro, presentando ésta una forma anular con un orificio central y superficies laterales externas adyacentes al orificio y un filo de corte que se extiende en círculo sobre su periferia con aristas de corte afiladas en forma de cuña para formar un flanco de corte y que presentan estrías de rectificación, estando al menos los flancos de corte del filo pulidos hasta una anchura de estría media inferior a 1 µm y aplicándose un recubrimiento de capa fina compuesto al menos de un metal duro nanoestructurado sobre los flancos de corte pulidos y las aristas de corte.

Description

Rueda de corte para vidrio.
El presente invento hace referencia a una rueda de corte para vidrio fabricada en metal duro sinterizado, en particular para su utilización en un cabezal de corte perteneciente a una máquina cortadora de vidrio. Asimismo, el presente invento hace referencia a un método para la fabricación de dicha rueda de corte para vidrio.
Las ruedas de corte para vidrio de metal sinterizado, por ejemplo de carburo de wolframio, poseen forma anular y presentan un orificio central así como superficies laterales exteriores junto al orificio y un filo cortante con superficies o aristas de corte que se extienden en forma de cuña desde las superficies laterales hasta formar un lado de corte. El grosor de las ruedas de corte, los diámetros del orificio y el ángulo de cuña del filo de corte dependen de la utilización a la que se destine la rueda de corte.
En esencia, lo que define una buena calidad de corte es la concentricidad entre el diámetro interior y el diámetro exterior del anillo de la rueda de corte para vidrio. Esto se consigue, por ejemplo, mediante un rectificado lo más fino posible del orificio. Asimismo, la rugosidad de la superficie de la rueda de corte puede perjudicar la calidad de corte; por tanto, las ruedas de corte de alta calidad poseen superficies laterales y, en su caso, superficies de corte rectificadas, adaptando el grado de rugosidad a la función destinada. En un rectificado de estas características generalmente se obtienen rugosidades de 1,0 \mum. Un rectificado aún más fino puede proporcionar rugosidades inferiores
a 1,0 \mum.
A pesar de la elevada dureza del material de la rueda de corte, su función de corte de vidrio la expone a un rápido desgaste, sobre todo en la zona de corte, lo cual se traduce en una reducción de la calidad de corte. La rueda de corte para vidrio debe sustituirse prematuramente si se desean evitar roturas innecesarias del vidrio u obtener lados de rotura del vidrio inservibles. La sustitución requiere el paro de la máquina cortadora de vidrio y tiempos de sustitución elevados.
La patente JP-A-10.72.224 publica una rueda de corte para vidrio hecha de carburo de wolframio sinterizado cuyo lado de corte esta recubierto de carbono tipo diamante (DLC). La capa de DLC se crea mediante deposición química activada por plasma (PACVD) y tiene un grosor aproximado de 2 \mum.
El inconveniente fundamental de las ruedas de corte para vidrio está ligado con el material. A pesar de la dureza de los materiales, normalmente una rueda de corte con una forma determinada, por ejemplo en lo que respecta al grosor del anillo, el ángulo de corte, la aspereza de rectificado o pulido, no puede emplearse de manera universal para el corte de distintos tipos o grosores de vidrio. Al contrario, deben utilizarse muchas clases distintas de ruedas de corte por ejemplo con distintas formas, diámetros y grosores, las cuales están concebidas en cuanto a su forma para distintos tipos de vidrio, como vidrio flotado, vidrio laminado de seguridad, vidrio estratificado o similares. La sustitución de la rueda de corte al cambiar de tipo de vidrio produce el mismo gasto de tiempo que la sustitución por desgaste.
La finalidad del presente invento consiste en crear una rueda de corte para vidrio que con una forma idéntica pueda utilizarse universalmente con distintos tipos de vidrio y que garantice un período útil elevado, o que experimente un desgaste reducido durante el corte, y que además proporcione una mejor calidad de los cantos de rotura.
Este objetivo se soluciona mediante las características de la reivindicación 1 y de la reivindicación 32. En las reivindicaciones subordinadas a éstas, es decir, de la 2 a la 30 y de la 33 a la 55, se presentan otros desarrollos ventajosos del invento. En la reivindicación 31 se define una utilización según el presente invento.
El invento prevé que la rueda de corte para vidrio esté recubierta al menos por la superficie superior de corte con materiales duros denominados nanoeestructurado por medio de un procedimiento de aplicación de película delgada. Por materiales duros nanoestructurados se entienden aquellos materiales cuyas estructuras características son del orden de algunos nanómetros, en general de entre 1 y 10 nm. Para la finalidad del invento pueden aplicarse procedimientos tales como la deposición física en fase de vapor (PVD o Physical Vapour Deposition) o el procedimiento CVD asistido por plasma (PACVD o Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition) que pueden llevarse a cabo a temperaturas relativamente bajas.
La técnica de recubrimiento de herramientas metálicas mediante PVD y PACVD ya es conocida.
Por ejemplo, se informa de estos procedimientos, en particular el procedimiento de PACVD en K.-T. Rei, A. Gebauer, J. Wöhle, Vakuum in der Praxis N.º 4 (1884), págs. 259-265, donde se mencionan procedimientos de capa simple y de capa múltiple.
En la patente WO 00/56946A1 se describen recubrimientos de capa simple, de capa simple y múltiples componentes y de capa en degradado para herramientas metálicas. Entre otras, se aplica un recubrimiento con una capa en degradado de Ti-B-N con un recubrimiento de sustrato de TiN, disminuyendo la concentración de Ti y aumentando la concentración de B y, en su caso, también la concentración de N hacia el exterior.
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A partir de la patente DE-OS 1959690 se conoce cómo liberar de la capa de sinterización la superficie superior de piezas de metal duro destinadas al recubrimiento para su mecanización con arranque de virutas o sin éste por medio de rectificado, cepillado o abrasión.
Las ruedas de corte para vidrio son herramientas conocidas con dimensiones reducidas, por ejemplo, con diámetros de entre 3 y 12 mm y grosores de entre 1 y 4 mm. En lo que respecta a la formulación del objetivo del presente invento se ha comprobado que el recubrimiento con una capa delgada de ruedas de corte existentes en el mercado tanto no rectificadas como rectificadas de la forma habitual o pulidas empeora drásticamente la calidad provocando cantos inservibles y roturas demasiado frecuentes. Este hecho es lo que ha originado que, a pesar de que haga tiempo que se conocen los procedimientos de recubrimiento con capa fina, por lo menos desde 1971 (DE-OS 1959690), no existan en el mercado ruedas de corte para vidrio recubiertas con capa fina.
El presente invento ha hallado una manera sorprendentemente simple de fabricar una rueda de corte para vidrio recubierta con capa fina, la cual proporciona un salto cualitativo al poder utilizarse de manera universal y poder ofrecer calidades de arista mucho mejores, reduciéndose al mismo tiempo el desgaste de las ruedas de corte para vidrio.
El invento ha descubierto que no depende de la rugosidad de las estrías de rectificado o pulido sino de la anchura de dichas estrías y que el recubrimiento con capa delgada sólo es efectivo cuando se aplica sobre un filo de corte pulido o afilado finamente y formado por la arista de corte y los flancos de corte. Gracias a ello se descubrió de forma sorprendente que podía conseguirse un resultado positivo útil solo cuando la anchura de las estrías de rectificado o pulido se reducían de media a menos de 1,0 \mum. Preferentemente, la anchura de las estrías se reduce de media a menos de 0,5 \mum y en particular a una medida entre 0,3 \mum y 0,1 \mum. Estas anchuras de estría, junto con un procedimiento de recubrimiento con capa delgada por PVD o PACVD, proporcionan las propiedades deseadas. Las ruedas de corte para vidrio no recubiertas con el mismo ancho de estrías, sin embargo, no producen ninguna mejora destacable en la calidad de corte.
Según una forma de realización concreta del invento, la formación del filo de corte pulido con el ancho de estrías reducido según el invento se lleva a cabo antes del recubrimiento cortando vidrio con la rueda de corte no recubierta, en particular en una máquina cortadora, hasta que la superficie del filo de corte tenga un pretratamiento óptimo en lo que se refiere a la anchura de las estrías. La cantidad de tiempo y el tipo de cristal, así como la presión y la velocidad con la que debe realizarse este corte de vidrio o este ajuste preliminar, pueden calcularse empíricamente de forma sencilla.
En este tipo de pulido a presión relativamente elevada en una máquina cortadora de vidrio, los cantos de las estrías se redondean y se alisan ligeramente de forma visible y además, la rebaba y las rugosidades que sobresalen de la superficie se achatan o incluso se aplanan. Una superficie de estas características estará preparada de forma óptima para la aplicación de una capa fina de material duro con el procedimiento seleccionado según el presente invento.
De forma oportuna, las cargas ejercidas sobre la rueda de corte para vidrio durante el ajuste preliminar se situarán entre 10 kg y 30 kg, preferentemente entre 15 kg y 25 kg.
Siempre y cuando el pulido de preparación de los lados de corte para la aplicación de la capa delgada no se haya realizado por corte de vidrio, es ventajoso aplicar procedimientos de pulido que puedan llevarse a cabo con las mismas cargas y valores de presión.
Las personas expertas en la materia ya conocen procedimientos y dispositivos para calcular el valor medio de la profundidad de la rugosidad de las estrías. Resultan útiles los procedimientos de manipulación mecánicos y ópticos así como los procedimientos de interpretación de imágenes microscópicas, como por ejemplo la interpretación de imágenes captadas por microscopía eléctrica de barrido (MEB).
La forma más sencilla de determinar un ancho de estrías lo bastante reducido para la finalidad del invento consiste en utilizar un procedimiento óptico de comparación con patrones de anchura de superficies predeterminadas de filos de ruedas de corte para vidrio que garanticen unas propiedades óptimas según los cálculos empíricos.
La imagen 1 muestra un filo pulido de una rueda de corte para vidrio no recubierta disponible en el mercado y la imagen 2, el filo de corte de una rueda de corte para vidrio pretratada por ajuste según el presente invento. Las imágenes 1 y 2 representan capturas de MEB ampliadas 3.000 veces. En la imagen 1 pueden verse claramente mayor cantidad de estrías y estrías más anchas con recorrido diagonal en la imagen y más puntos defectuosos que en la imagen 2.
En la imagen 2 se señalan con las flechas 1, 2 y 3 las estrías de igual anchura que pueden utilizarse para interpretar y calcular un valor medio de la anchura de las estrías.
La utilización de ruedas de corte no recubiertas según las imágenes 1 y 2 produce calidades de corte similares, aunque la rueda de la imagen 2 presenta visiblemente menos rugosidades. Sólo el recubrimiento con un material metálico duro aplicado por un procedimiento PVD o PACVD ofrece la solución al problema señalado.
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Según una forma de realización del invento se aplica mediante procedimientos PACVD, al menos sobre el filo de la rueda de corte para vidrio, un sistema de capas de una capa de material duro hecha de un metal de transición, en particular del grupo IV ó V de la tabla periódica. Preferentemente, se forman recubrimientos de un grosor entre 1 \mum y 4 \mum, en particular entre 1,5 \mum y 3 \mum. Se prefieren los sistemas de capas de nitruros, boruros y carburos de estos metales, por ejemplo MN; MBN; o sistemas de capas MB_{2}, donde M corresponde preferentemente a los metales Ti, Zr, Hf, Nb, Ta.
El recubrimiento puede constar de una sola capa con un único sistema de capas, por ejemplo MB_{2}, o un sistema multicapa como TiN - TiCN - TiC; TiN - TiCN - TiN; TiN - TiBN - TiB_{2}.
Un recubrimiento especialmente efectivo aplicado según el procedimiento PACVD consiste en un recubrimiento en degradado, en particular una composición MN-MBN-MB_{2} de los metales de transición mencionados, prefiriéndose especialmente un recubrimiento en degradado que presente una zona de TiN a los lados de la superficie de corte que se transforme en una zona de TiBN sin un límite conciso y ésta a su vez pase a ser, de nuevo sin límite claro, en esencia una zona compuesta de fase estable de TiB_{2}. En dicha estructura, la zona de TiN es de, por ejemplo, 180 nm - 220 nm, preferentemente entre 180 nm y 200 nm; la zona intermedia de TiBN es de entre 45 nm y 55 nm, preferentemente entre 48 nm y 52 nm, y la zona exterior de TiB es de 1 \mum a 3 \mum, en particular entre 1,5 \mum y 2,5 \mum.
Para la ejecución del procedimiento se utilizan como precursores preferentemente: precursor metálico: MCl_{4} (M = Ti, Zr, Hf), MCl_{5} (M = Ta, Nb); precursor de boro: BCl_{3}, B_{2}H_{6}, B_{3}N_{3}H_{6}, BF_{3}; precursor de titanio: Ti(NR_{2})_{4}, (R = CH_{3}, C_{2}H_{5}).
Resulta útil llevar a cabo el procedimiento PACVD para recubrir el filo de la rueda de corte para vidrio a temperaturas comprendidas entre 450ºC y 700ºC, en particular entre 500ºC y 680ºC. Se prefiere el denominado procedimiento CC, es decir, el procedimiento PACVD ejecutado con tensión continua o plasma de corriente continua, el cual se lleva a cabo con plasma de corriente continua pulsado, por ejemplo, unipolar, aunque preferentemente bipolar.
Al utilizar el procedimiento PVD, se aplican en particular los sistemas de capa simple, por ejemplo, con un grosor comprendido entre 1 \mum y 3 \mum, por ejemplo, de TiN; TiBN; TiB_{2}; TiAIN o CrN. En este caso se prefiere también la formación de recubrimientos de capas en degradado y la utilización de los mismos precursores que en el procedimiento PACVD. De igual modo resulta útil aplicar sistemas de capas múltiples que presentan preferentemente las mismas secuencias de capas que se han señalado como útiles para el procedimiento PACVD durante la descripción de dicho procedimiento PACVD.
Como procedimiento PVD se prefiere emplear el procedimiento de pulverización catódica, el cual se lleva a cabo preferentemente a temperaturas comprendidas entre los 180ºC y los 300ºC, en particular entre los 200ºC y los 220ºC.
La figura 1 muestra un ejemplo de composición de una capa en degradado preferente, en el cual sobre la ordenada se representa el porcentaje atómico y sobre la abscisa la profundidad de la capa en nm. Se observa que a 0 nm de profundidad, o lo que es lo mismo, en la superficie exterior del recubrimiento sólo hay titanio y boro, lo cual en esencia señala la existencia de la fase de TiB_{2}, cuya proporción disminuye considerablemente tras una zona de unos 50 nm de grosor. En la zona situada entre los 50 nm y los 120 nm de grosor existe nitrógeno, lo que indica esencialmente la presencia de la fase de TiBN. Finalmente sobre la superficie del filo de corte se halla únicamente una zona muy fina de TiN. La zona de TiN garantiza una adherencia muy elevada sobre la superficie de metal duro pulido de la rueda de corte para vidrio en comparación con otros materiales duros utilizables, por lo cual en el marco del invento se emplean en particular sistemas de capas que presentan TiN en contacto con la rueda de corte, de tal modo que el sistema de zonas en degradado con la zona TiN en contacto con la rueda de corte se adhiere firmemente a ésta última y la capa en degradado con su zona externa de boro y titanio garantiza un desgaste reducido, una elevada calidad de corte y una gran versatilidad de uso de la rueda de corte con distintos tipos y grosores de vidrio.

Claims (55)

1. Rueda de corte para vidrio de dimensiones habituales hecha con metal duro, presentando ésta una forma anular con un orificio central y superficies laterales externas adyacentes al orificio y un filo de corte que se extiende en círculo sobre su periferia con aristas de corte afiladas en forma de cuña para formar un flanco de corte y que presentan estrías de rectificación, estando al menos los flancos de corte del filo pulidos hasta una anchura de estría media inferior a 1 \mum y aplicándose un recubrimiento de capa fina compuesto al menos de un metal duro nanoestructurado sobre los flancos de corte pulidos y las aristas de corte.
2. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 1 caracterizada por el hecho de que la arista de corte del filo de corte también está pulida hasta una anchura de estría inferior a 1 \mum.
3. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 1 y/o 2 caracterizada por el hecho de que los flancos de corte y, en su caso, también las aristas de corte están pulidas por corte de vidrio con la rueda de corte para vidrio.
4. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores caracterizada por el hecho de que la rueda de corte para vidrio está compuesta de metal duro sinterizado.
5. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 4 caracterizada por el hecho de que la rueda de corte para vidrio está compuesta de carburo de wolframio.
6. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores caracterizada por el hecho de que la anchura media de las estrías de pulido es inferior a 0,5 \mum.
7. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 6 caracterizada por el hecho de que la anchura media de las estrías de pulido es inferior a 0,3 \mum.
8. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 7 caracterizada por una anchura de las estrías de pulido comprendida entre 0,3 \mum y 0,1 \mum.
9. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores caracterizada por el hecho de que los flancos y las aristas de corte están alisados.
10. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores caracterizada por el hecho de que las aristas de las estrías están redondeadas o abiseladas.
11. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores caracterizada por el hecho de que el recubrimiento se aplica mediante un procedimiento PVD o PACVD.
12. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores caracterizada por el hecho de que el grosor de capa del recubrimiento está comprendido entre 1 \mum y 4 \mum.
13. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 12 caracterizada por el hecho de que el grosor de capa del recubrimiento está comprendido entre 1 \mum y 3 \mum.
14. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores caracterizada por el hecho de que el recubrimiento presenta al menos un material duro formado por un metal de transición (M) del grupo IV ó V de la tabla periódica de elementos.
15. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 14 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento presenta al menos un nitruro y/o un boruro y/o un carburo.
16. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 15 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento presenta un sistema de capas MN y/o MBN y/o MB_{2}.
17. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 16 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento es un recubrimiento por PACVD.
18. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 16 y/o 17 caracterizada por el hecho de que M son los metales Ti, Zr, Hf, Nb y Ta.
19. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones de la 16 a la 18 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento es un recubrimiento de capa simple.
20. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 19 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento es una capa de MB_{2}.
21. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones de la 16 a la 18 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento es un sistema de capas múltiples.
22. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 21 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento es una capa múltiple TiN-TiCN-TiC o TiN-TiCN-TiN o TiN-TiBN-TiB_{2}.
23. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones de las 16 a la 18 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento es un recubrimiento en degradado.
24. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 23 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento es un recubrimiento en degradado MN-MBN-MB2.
25. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 24 caracterizada por el hecho de que M son preferentemente los metales Ti, Zr, Hf, Nb y Ta.
26. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones de la 23 a la 25 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento en degradado consta de una zona de TiN en contacto con los flancos de corte, una zona intermedia de TiBN y una zona externa de TiB.
27. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 26 caracterizada por el hecho de que la zona externa de TiB es una zona de TiB_{2}.
28. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 26 y/o 27 caracterizada por el hecho de que la zona de TiN presenta un grosor comprendido entre 180 nm y 220 nm, la zona de TiBN un grosor comprendido entre 45 nm y 55 nm y la zona de TiB_{2} un grosor comprendido entre 1 \mum y 3 \mum.
29. Rueda de corte para vidrio según la reivindicación 28 caracterizada por el hecho de que la zona de TiN presenta un grosor comprendido entre 190 nm y 200 nm, la zona de TiBN un grosor comprendido entre 48 nm y 52 nm y la zona de TiB_{2} un grosor comprendido entre 1,5 \mum y 2,5 \mum.
30. Rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones de la 11 a la 19 caracterizada por el hecho de que el recubrimiento por PVD en forma de sistema de capa simple presenta el recubrimiento TiN o TiBN o TiB_{2} o TiAlN o CrN.
31. Utilización de una rueda de corte para vidrio según una o varias de las reivindicaciones anteriores en un cabezal de corte de una máquina cortadora de vidrio.
32. Procedimiento para la fabricación de una rueda de corte para vidrio según una o cualquiera de las reivindicaciones de la 1 a la 30 caracterizado por el hecho de que las estrías del filo de corte de una rueda de corte para vidrio hecha de metal duro rectificado se reducen a una anchura de estría media inferior a 1 \mum mediante pulido y seguidamente se recubre el filo de corte con un material metálico duro mediante un procedimiento de PVD o PACVD.
33. Procedimiento según la reivindicación 32 caracterizado por el hecho de que las estrías de los flancos de corte se reducen a una anchura de estría inferior a 0,5 \mum.
34. Procedimiento según la reivindicación 32 caracterizado por el hecho de que las estrías del filo de corte se reducen a una anchura comprendida entre 0,3 \mum y 0,1 \mum.
35. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 34 caracterizado por el hecho de que la reducción se lleva a cabo mediante el uso de presión.
36. Procedimiento según la reivindicación 35 caracterizado por el hecho de que la reducción se lleva a cabo con cargas sobre la rueda de corte que van de los 10 kg a los 30 kg.
37. Procedimiento según la reivindicación 36 caracterizado por el hecho de que la reducción se lleva a cabo con cargas sobre la rueda de corte que van de los 15 kg a los 25 kg.
38. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 35 a la 37 caracterizado por el hecho de que la reducción se lleva a cabo mediante corte de vidrio con la rueda de corte para vidrio en una máquina cortadora de vidrio.
39. Procedimiento según la reivindicación 38 caracterizado por el hecho de que durante la reducción en la máquina cortadora de vidrio se emplea lubricante para corte.
40. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 36 caracterizado por el hecho de que el recubrimiento tiene un grosor de hasta 4 \mum.
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41. Procedimiento según la reivindicación 40 caracterizado por el hecho de que el recubrimiento tiene un grosor de hasta 3 \mum.
42. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 41 caracterizado por el hecho de que se aplica nitruro y/o boruro y/o carburo de los metales Ti, Zr, Hf, Nb, Ta.
43. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 42 caracterizado por el hecho de que se aplican capas simples.
44. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 42 caracterizado por el hecho de que se aplican sistemas de capas múltiples.
45. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 42 caracterizado por el hecho de que se aplican capas en degradado.
46. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 45 caracterizado por el hecho de que se utilizan como precursores: precursor metálico: MCl_{4} (M = Ti, Zr, Hf), MCl_{5} (M = Ta, Nb); precursor de boro: BCl_{3}, B_{2}H_{6}, B_{3}N_{3}H_{4}, BF_{3}; precursor de titanio: Ti(NR_{2})_{4}, (R = CH_{3}, C_{2}H_{5}).
47. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 46 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PACVD se lleva a cabo a temperaturas comprendidas entre los 450ºC y los 700ºC.
48. Procedimiento según la reivindicación 47 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PACVD se lleva a cabo a temperaturas comprendidas entre los 500ºC y los 680ºC.
49. Procedimiento según una o varias de las reivindicaciones de la 32 a la 48 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PACVD se lleva a cabo como procedimiento CC.
50. Procedimiento según la reivindicación 49 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PACVD se realiza como procedimiento pulsado.
51. Procedimiento según la reivindicación 50 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PACVD se lleva a cabo como procedimiento unipolar.
52. Procedimiento según la reivindicación 50 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PACVD se lleva a cabo como procedimiento bipolar.
53. Procedimiento según una o varias reivindicaciones de la 32 a la 46 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PVD se lleva a cabo a temperaturas comprendidas entre los 180ºC y los 300ºC.
54. Procedimiento según la reivindicación 53 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PVD se lleva a cabo a temperaturas comprendidas entre los 200ºC y los 220ºC.
55. Procedimiento según la reivindicación 53 y/o 54 caracterizado por el hecho de que el procedimiento de PVD se lleva a cabo como procedimiento de pulverización catódica.
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