ES2332867T3 - Dispositivo piezoelectrico para accionar un elemento operativo asociado. - Google Patents
Dispositivo piezoelectrico para accionar un elemento operativo asociado. Download PDFInfo
- Publication number
- ES2332867T3 ES2332867T3 ES00202385T ES00202385T ES2332867T3 ES 2332867 T3 ES2332867 T3 ES 2332867T3 ES 00202385 T ES00202385 T ES 00202385T ES 00202385 T ES00202385 T ES 00202385T ES 2332867 T3 ES2332867 T3 ES 2332867T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- piezoelectric
- structural element
- piezoelectric device
- structural
- operatively coupled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Surgical Instruments (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
Dispositivo piezoeléctrico (100) para accionar un elemento operativo (7) operativamente asociado, comprendiendo: - un primer elemento estructural (1) que se mueve según la acción de una tensión o fuerzas (2) aplicados sobre el mismo, y primeros medios piezoeléctricos (3) que son operativamente acoplados a dicho primer elemento estructural para deformar y producir una señal eléctrica en respuesta a su movimiento; - segundos medios piezoeléctricos (4) operativamente acoplados a un segundo elemento estructural (5); y - medios de conducción (6) para acoplar eléctricamente dichos primeros medios piezoeléctricos a dichos segundos medios piezoeléctricos; los segundos medios piezoeléctricos recibiendo dicha señal eléctrica y deformándose para determinar un movimiento del segundo elemento estructural y el accionamiento consecuente de dicho elemento operativo.
Description
Dispositivo piezoeléctrico para accionar un
elemento operativo asociado.
La presente invención se refiere a un
dispositivo piezoeléctrico para accionar un elemento operativo
operativamente asociado.
Es bien conocido en la técnica el uso de
dispositivos de control que son concebidos para controlar el
funcionamiento de sistemas técnicos a los que son acoplados, tales
como redes eléctricas o hidráulicas, plantas, máquinas operativas,
aparatos o componentes etcétera, y para prevenir, o al menos para
minimizar, problemas técnicos que pueden ocurrir durante su
servicio y puedan afectar sus rendimientos, producir averías o
incluso roturas.
Estos dispositivos de control están básicamente
compuestos por tres partes: una primera parte que comprende un
sensor que verifica uno o más parámetros, que son indicativos del
funcionamiento apropiado del sistema, y señales de emisiones que
representan los valores de los parámetros controlados; una segunda
parte que comprende un circuito de control que procesa las señales
recibidas del sensor, comparándolos con valores umbrales
predeterminados y, si es necesario, emitir un comando operativo;
una tercera parte comprendiendo medios de accionamiento que, en
base al comando operativo enviado por el circuito de control,
interviene operativamente en el sistema. Por ejemplo, estas
intervenciones pueden suponer la desconexión de algunas partes de
una red eléctrica, interrupción encendido/apagado de aparatos o
componentes, abertura/cierre de conductos, accionamiento de cadenas
cinemáticas, etcétera.
En el presente estado de la técnica, los
dispositivos conocidos, aunque son bastante satisfactorios en las
aplicaciones, siguen presentando algunas desventajas e
inconvenientes.
En particular, uno de los aspectos más críticos
de los dispositivos conocidos reside en el hecho de que el circuito
de control introduce retrasos de tiempo significantes en la
transmisión de señales del sensor al medio de accionamiento. Estos
retrasos de tiempo tienen un impacto negativo en la prontitud de las
operaciones, causan intervenciones tardías y definitivamente
reducen la calidad y eficacia de los propios dispositivos. Además,
el circuito de control, que generalmente comprende varios
componentes electrónicos y/o eléctricos, puede ser constructivamente
sofisticado y caro de por sí, y necesita una fuente de alimentación
específica aumentando con ello los costes de diseño y de
producción.
Además, también los medios de accionamiento
suelen tener una estructura grande y compleja en comparación con
los sensores, pueden requerir el uso de componentes voluminosos y
pesados dependiendo de las aplicaciones, y son económicamente caros;
además, en muchos casos, tanto los sensores como los medios de
accionamiento necesitan una fuente de alimentación específica.
Por último, otra desventaja de los dispositivos
conocidos que no debería pasarse por alto consiste en el hecho de
que, en caso de transmisiones de larga distancia entre el sensor y
el medio de accionamiento, y debido a que la potencia requerida
para su funcionamiento es significante, las señales transmitidas
pueden ser muy atenuadas o incluso perderse; de forma alternativa,
para reducir la atenuación de las señales es preciso aumentar la
energía suministrada al dispositivo.
El objetivo principal de la presente invención
es proporcionar un dispositivo para accionar un elemento operativo
operativamente asociado que permita superar los inconvenientes y
desventajas de la técnica anterior, y en particular, para reducir
drásticamente el retraso de tiempo en la transmisión de señales del
sensor al medio de accionamiento.
US 4 363 991 expone una configuración de un
sensor piezoeléctrico y accionador proporcionado en un elemento
estructural común y en conexión eléctrica entre sí.
El sensor proporciona retroacción al accionador
sobre las fuerzas que actúan en el elemento estructural que son
minimizadas deformando el elemento estructural con el accionador
piezoeléctrico.
Dentro del campo de este objetivo, un objeto de
la presente invención es proporcionar un dispositivo para accionar
un elemento operativo operativamente asociado, cuyas intervenciones
operativas sean más rápidas y mejores en comparación con aquellos
de los dispositivos de la técnica anterior.
Otro objeto de la presente invención es
proporcionar un dispositivo para accionar un elemento operativo
operativamente asociado, que permita prevenir, o al menos
minimizar, la atenuación de las señales transmitidas, incluso en
caso de transmisiones de larga distancia.
Otro objeto de la presente invención es
proporcionar un dispositivo para accionar un elemento operativo
operativamente asociado, que permita reducir la cantidad de energía
requerida para su funcionamiento y en consecuencia para eliminar o
al menos reducir el uso de otra fuente de energía específica.
Otro objeto más de la presente invención es
proporcionar un dispositivo para accionar un elemento operativo
operativamente asociado que tenga una estructura simplificada en
comparación con los dispositivos de la técnica anterior, que permita
evitar el uso de componentes voluminosos y pesados y reducir costes
de diseño y de producción.
Otro objeto de la presente invención es
proporcionar un dispositivo para accionar un elemento operativo
operativamente asociado que sea altamente fiable, relativamente
fácil de producir y a costes competitivos.
Este objetivo, estos objetos y otros que se
deducirán más adelante son conseguidos por un dispositivo
piezoeléctrico para accionar un elemento operativo operativamente
asociado, caracterizado por el hecho de que comprende:
- -
- un primer elemento estructural que se mueve bajo la acción de una tensión o fuerzas aplicadas sobre el mismo, y primeros medios piezoeléctricos que son operativamente acoplados a dicho primer elemento estructural para deformar y producir una señal eléctrica en respuesta a su movimiento;
- -
- segundos medios piezoeléctricos operativamente acoplados a un segundo elemento estructural; y
- -
- medios conductores para acoplar eléctricamente dichos primeros medios piezoeléctricos a dichos segundos medios piezoeléctricos; los segundos medios piezoeléctricos recibiendo dicha señal eléctrica y deformándose para determinar un movimiento del segundo elemento estructural y el accionamiento consecuente de dicho elemento operativo.
El dispositivo según la invención permite evitar
completamente el uso de un circuito de control; como resultado, el
retraso de tiempo en la transmisión de señales del sensor, que está
constituido por el acoplamiento del primer elemento estructural
-primeros medios piezoeléctricos, al medio de accionamiento, que
están representados por el acoplamiento del segundo elemento
estructural- segundos medios piezoeléctricos, es drásticamente
reducido.
Se deducirán otras características y ventajas de
la presente invención de la siguiente descripción de las formas de
realización preferidas aunque no exclusivas ilustradas sólo a modo
de ejemplo no limitativo con el dibujo anexo de la Figura 1 que
esquemáticamente muestra una vista lateral de una forma de
realización posible del dispositivo según la invención.
Con referencia a la Figura 1, el dispositivo
piezoeléctrico según la invención, indicado por la referencia
numérica 100, comprende un primer elemento estructural 1 que se
mueve bajo la acción de una tensión o fuerzas 2 aplicados sobre el
mismo; como está ilustrado en la Figura 1, el primer elemento
estructural 1 puede estar constituido por una lámina fina metálica,
mientras que la tensión o fuerzas 2 pueden ser debidas a diferentes
causas. Por ejemplo, la tensión 2 podría ser una tensión mecánica,
provocada por ejemplo por un fluido que ejerce una presión en la
lámina 1, o una tensión térmica que causa su deformación térmica;
las fuerzas pueden ser debidas a una acción mecánica ejercida en el
elemento 1 por un operador, etcétera.
Los primeros medios piezoeléctricos 3 son
operativamente acoplados al primer elemento estructural 1 para
deformar y producir una señal eléctrica en respuesta a su
deformación; en particular, para maximizar la cantidad de energía
que puede ser extraída de la deformación del elemento 1 y
transformada en energía eléctrica, los primeros medios
piezoeléctricos comprenden un material piezoeléctrico de alta
ganancia energética. Preferiblemente dichos primeros medios
piezoeléctricos 3 comprenden al menos un estrato de un material
cerámico piezoeléctrico en una configuración bimorfa, tal como un
compuesto piezoeléctrico de zirconato titanato de bario o de plomo
(PZT) que es fijado en al menos una parte de una superficie de la
lámina 1.
El dispositivo piezoeléctrico 100 comprende
segundos medios piezoeléctricos 4 que son operativamente acoplados
a un segundo elemento estructural 5; preferiblemente, el segundo
elemento estructural 5 está constituido por una lámina biestable
metálica; según las aplicaciones y/o necesidades específicas,
también el primer elemento estructural 1 puede ser formado por una
lámina biestable metálica.
Según una forma de realización preferida,
también los segundos medios piezoeléctricos 4 comprenden al menos
un estrato de un material cerámico piezoeléctrico en una
configuración bimorfa, tal como un compuesto piezoeléctrico de
plomo zirconato titanato de plomo (PZT) o bario, que está fijado en
al menos una parte de una superficie de la
lámina 5.
lámina 5.
La fijación de los estratos 3 y 4 a las
superficies correspondientes de las láminas 1 y 5 puede ser
realizada por cualquier técnica adecuada, por ejemplo por encolado
con materiales adhesivos, tal como resinas epoxi.
De forma alternativa, y dependiendo de las
aplicaciones, los primeros y los segundos medios piezoeléctricos 3
y 4 pueden comprender uno o más estratos de un material
piezoeléctrico de cristal inorgánico, tal como cuarzo y titanato de
bario, o de un material piezoeléctrico de polímero orgánico, tal
como polivinilideno fluoruro (PVDF), fluoruro de polivinilo o
cloruro de polivinilo, que exhiben propiedades piezoeléctricas
cuando son adecuadamente tratados. Por ejemplo, los materiales
piezoeléctricos de polímero orgánico, gracias al hecho de que pueden
ser fácilmente formados en películas finas, podrían ser
ventajosamente usados cuando el dispositivo deba tener una
flexibilidad estructural.
Además, según varias y extremadamente flexibles
soluciones, los estratos de material piezoeléctrico pueden ser
fijados al elemento estructural correspondiente en muchas
configuraciones diferentes; por ejemplo, es posible usar sólo un
estrato de material que esté unido a una parte del elemento
estructural, o una pluralidad de piezas que son colocadas al lado
de o están dispuestas en una configuración de conexión intermedia, o
una pluralidad de estratos que son apilados. Estas configuraciones
pueden ser también realizadas en superficies diferentes de los
elementos estructurales; por ejemplo, en caso de las láminas 1 y 5,
es posible proporcionar dos estratos de material piezoeléctrico
cada uno de los cuales es fijado a una cara correspondiente de las
láminas metálicas con la lámina interpuesta en medio. Además,
algunos estratos de diferentes materiales piezoeléctricos pueden ser
usados simultánea o intercambiablemente.
El dispositivo 100 está provisto de medios de
conducción 6 que acoplan eléctricamente los primeros medios
piezoeléctricos 3 a los segundos medios piezoeléctricos 4; según
una forma de realización preferida y con una solución que es
funcionalmente eficaz, estructuralmente simple y económicamente
barata, los medios de conducción 6 están constituidos por una
pareja de cables de conducción 6 cuyos extremos son fijados a los
primeros medios piezoeléctricos 3 y a los segundos medios
piezoeléctricos 4, respectivamente.
De esta manera, en presencia de una tensión o
fuerzas 2 que actúan en la primera lámina 1 y causan su movimiento,
los primeros medios piezoeléctricos 3 se deforman y producen una
señal eléctrica; esta señal eléctrica es suministrada, mediante los
cables de conducción 6, a los segundos medios piezoeléctricos 4 que,
sucesivamente, se deforman para determinar un movimiento de la
segunda lámina 5 y el accionamiento consecuente de un elemento
operativo 7 operativamente acoplado. Este elemento operativo 7
puede ser por ejemplo un elemento de una cadena cinemática, un
contacto eléctrico, un rayo láser cuyo trayecto, siguiendo el
movimiento de la lámina 5, es cambiado para determinar una
operación posterior, un elemento que desvía el flujo de un fluido,
etcétera.
En particular, si la segunda lámina 5 es una
lámina biestable, se mueve de una primera posición de equilibrio
estable, representada con una línea continua en la Figura 1, a una
segunda posición de equilibrio estable, indicada en la Figura 1 con
una línea discontinua; también el primer elemento estructural puede
moverse de la misma manera, si está constituido por una lámina
biestable. De esta manera, la energía emitida por la lámina 5 es
superior a la energía de activación proporcionada por los cables 6;
además, las operaciones de accionamiento pueden ser repetidas de
forma precisa y el restablecimiento del dispositivo es exacto.
En la práctica se ha observado que el
dispositivo según la invención consigue completamente el objetivo y
los objetos propuestos ofreciendo muchas ventajas significantes en
comparación con los dispositivos de la técnica anterior; de hecho,
en el dispositivo según la invención se evita el uso de un circuito
de control y el retraso de tiempo para transmitir señales se reduce
drásticamente de la parte de detección a la de accionamiento. Como
consecuencia, el dispositivo 100 está caracterizado por tiempos de
respuesta muy breves que son mucho más cortos que los de los
dispositivos de la técnica anterior a menos que usen un circuito de
control electrónico adecuado. De hecho se ha descubierto que el
tiempo de respuesta puede ser menos de 3 milisegundos; el tiempo de
respuesta es definido como el tiempo que transcurre desde que se
aplica la tensión o fuerza 2 en el primer elemento estructural 1
hasta que el segundo elemento 5 acciona el elemento operativo
7.
Además, los cables de conducción 6 constituyen
un circuito eléctrico sustancialmente pasivo, es decir un circuito
que no incluye ningún componente activo que requiera una fuente de
alimentación específica; además, también el sensor y los
componentes del accionador, que están formados por el acoplamiento
del primer elemento estructural -primeros medios piezoeléctricos y
segundo elemento estructural- segundos medios piezoeléctricos,
respectivamente, no requieren ninguna fuente de alimentación
específica. De esta manera, la energía requerida para el
funcionamiento de todo el dispositivo es baja y la atenuación de
las señales transmitidas se reduce significativamente, incluso en
caso de transmisiones de larga distancia; además, el sensor y los
medios de accionamiento están basados en el mismo tipo de
componentes, con un número reducido de elementos y según una
solución constructiva que es simple y eficaz, permitiendo así
reducir los costes de producción y facilitar las fases de
diseño.
Otra ventaja que no debería pasarse por alto
reside en el hecho de que el dispositivo según la invención,
gracias a su estructura, es conveniente para ser usado en una gama
amplia de aplicaciones, tal como dispositivos de interrupción de
corriente, válvulas, dispositivos de control remoto, sistemas de
automatización, etcétera. En caso de dispositivos de interrupción
de corriente o válvulas por ejemplo, las láminas 1 y 5 podrían ser
simplemente fijadas por sus extremidades a la caja del dispositivo
de interrupción de corriente o a una pared de la válvula.
Además, diseñando de manera adecuada los
primeros y los segundos elementos estructurales, y la configuración
de los medios piezoeléctricos asociados con ellos, es posible
sintonizar de forma precisa el umbral de referencia en el que debe
intervenir el dispositivo.
\vskip1.000000\baselineskip
Esta lista de documentos citados por el
solicitante ha sido recopilada exclusivamente para la información
del lector y no forma parte del documento de patente europea. La
misma ha sido confeccionada con la mayor diligencia; la OEP sin
embargo no asume responsabilidad alguna por eventuales errores u
omisiones.
\bullet US 4363991 A [0009]
Claims (12)
1. Dispositivo piezoeléctrico (100) para
accionar un elemento operativo (7) operativamente asociado,
comprendiendo:
- -
- un primer elemento estructural (1) que se mueve según la acción de una tensión o fuerzas (2) aplicados sobre el mismo, y primeros medios piezoeléctricos (3) que son operativamente acoplados a dicho primer elemento estructural para deformar y producir una señal eléctrica en respuesta a su movimiento;
- -
- segundos medios piezoeléctricos (4) operativamente acoplados a un segundo elemento estructural (5); y
- -
- medios de conducción (6) para acoplar eléctricamente dichos primeros medios piezoeléctricos a dichos segundos medios piezoeléctricos; los segundos medios piezoeléctricos recibiendo dicha señal eléctrica y deformándose para determinar un movimiento del segundo elemento estructural y el accionamiento consecuente de dicho elemento operativo.
2. Dispositivo piezoeléctrico según la
reivindicación 1 caracterizado por el hecho de que dicho
segundo elemento estructural es un elemento biestable movible de
una primera posición de equilibrio estable a una segunda posición de
equilibrio estable.
3. Dispositivo piezoeléctrico según una o más
de las reivindicaciones precedentes caracterizado por el
hecho de que dichos medios de conducción comprenden un circuito
eléctrico sustancialmente pasivo.
4. Dispositivo piezoeléctrico según la
reivindicación 3 caracterizado por el hecho de que dicho
circuito eléctrico pasivo comprende dos cables eléctricos cuyos
extremos son fijados a los primeros medios piezoeléctricos y a los
segundos medios piezoeléctricos.
5. Dispositivo piezoeléctrico según una o más
de las reivindicaciones precedentes caracterizado por el
hecho de que dicho primeros medios piezoeléctricos comprenden al
menos un estrato de material piezoeléctrico fijado al primer
elemento estructural.
6. Dispositivo piezoeléctrico según una o más
de las reivindicaciones precedentes caracterizado por el
hecho de que dichos segundos medios piezoeléctricos comprenden al
menos un estrato de material piezoeléctrico fijado al segundo
elemento estructural.
7. Dispositivo piezoeléctrico según las
reivindicaciones 5 y 6 caracterizado por el hecho de que
dicho al menos un estrato de material piezoeléctrico comprende un
material piezoeléctrico cerámico o un material piezoeléctrico de
cristal inorgánico o un material piezoeléctrico de polímero
orgánico.
8. Dispositivo piezoeléctrico según la
reivindicación 6 caracterizado por el hecho de que dichos
primeros medios piezoeléctricos comprenden un material
piezoeléctrico de alta ganancia energética.
9. Dispositivo piezoeléctrico según una o más
de las reivindicaciones precedentes caracterizado por el
hecho de que el tiempo de respuesta, definido como el tiempo que
transcurre desde que se aplica la tensión en el primer elemento
estructural y hasta que el segundo elemento acciona el elemento
operativo, es inferior a 3 ms.
10. Dispositivo piezoeléctrico según una o más
de las reivindicaciones precedentes caracterizado por el
hecho de que dicho primer elemento estructural es un elemento
biestable movible de una primera posición de equilibrio estable a
una segunda posición de equilibrio estable.
11. Dispositivo de interrupción de corriente
caracterizado por el hecho de que comprende un dispositivo
piezoeléctrico según una o más de las reivindicaciones
precedentes.
12. Válvula para abrir/cerrar una tubería
operativamente acoplada a ésta, caracterizada por el hecho
de que comprende un dispositivo piezoeléctrico según una o más de
las reivindicaciones de 1 a 10.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP00202385A EP1170808B1 (en) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | Piezoelectric device for actuating an operating element associated thereto |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2332867T3 true ES2332867T3 (es) | 2010-02-15 |
Family
ID=8171762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES00202385T Expired - Lifetime ES2332867T3 (es) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | Dispositivo piezoelectrico para accionar un elemento operativo asociado. |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1170808B1 (es) |
| AT (1) | ATE444569T1 (es) |
| DE (1) | DE60043056D1 (es) |
| ES (1) | ES2332867T3 (es) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT412365B (de) * | 2002-06-18 | 2005-01-25 | Hygrama Ag | Ventil |
| AT412366B (de) | 2002-10-15 | 2005-01-25 | Hygrama Ag | Ventil |
| CN101447748B (zh) * | 2008-09-12 | 2011-06-15 | 吉林大学 | 压电自供电式低功耗遥控器 |
| CN101425763B (zh) * | 2008-12-11 | 2011-12-28 | 吉林大学深圳研究院 | 一种压电式无电池遥控器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4363991A (en) * | 1980-12-24 | 1982-12-14 | Seymour Edelman | Drag modification piezoelectric panels |
| US4849668A (en) * | 1987-05-19 | 1989-07-18 | Massachusetts Institute Of Technology | Embedded piezoelectric structure and control |
-
2000
- 2000-07-07 AT AT00202385T patent/ATE444569T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-07-07 EP EP00202385A patent/EP1170808B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-07-07 ES ES00202385T patent/ES2332867T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2000-07-07 DE DE60043056T patent/DE60043056D1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1170808B1 (en) | 2009-09-30 |
| DE60043056D1 (de) | 2009-11-12 |
| ATE444569T1 (de) | 2009-10-15 |
| EP1170808A1 (en) | 2002-01-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6999221B1 (en) | Bimorphic polymeric photomechanical actuator | |
| US6807332B1 (en) | Piezoelectric actuated optical switch | |
| US6512322B1 (en) | Longitudinal piezoelectric latching relay | |
| US6864620B2 (en) | Matrix type actuator | |
| US20030044106A1 (en) | Mems element having perpendicular portion formed from substrate | |
| ES2332867T3 (es) | Dispositivo piezoelectrico para accionar un elemento operativo asociado. | |
| CN105659013B (zh) | 微阀装置和微阀装置的制造方法 | |
| WO2001053874A1 (en) | Mechanical optical switch and method for manufacturing the same | |
| EP2422125A1 (de) | Thermopneumatischer aktor und verfahren zum herstellen eines solchen | |
| TW583701B (en) | A longitudinal piezoelectric optical latching relay | |
| US6898342B2 (en) | Fiber-aligning optical switch | |
| US7224883B2 (en) | Actuator and latching systems and methods | |
| KR102413742B1 (ko) | 변위증폭구조를 이용한 초소형 광학용 미러의 팁틸트 메커니즘 | |
| JP4813061B2 (ja) | 光スイッチ | |
| KR20040103977A (ko) | 마이크로 압전 액추에이터 및 그 제조 방법 | |
| WO2017017907A1 (ja) | 圧電駆動装置、ロボット、及び圧電駆動装置の駆動方法 | |
| JP2005203750A (ja) | 圧電体薄膜装置および圧電体薄膜装置の駆動方法 | |
| US6927529B2 (en) | Solid slug longitudinal piezoelectric latching relay | |
| US20050025412A1 (en) | Optical switch | |
| KR20070101511A (ko) | 초소형 압전 리니어 모터 | |
| US8447148B1 (en) | Latching micro optical switch | |
| US10649158B2 (en) | Alignment of single and multi-mode optical fibers using piezoelectric actuators | |
| EP1263059B1 (en) | Matrix actuator | |
| US6741767B2 (en) | Piezoelectric optical relay | |
| US20200064555A1 (en) | Piezoelectrically actuated mirrors for optical communications |