ES2369972T3 - Dispositivo y procedimiento para recubrir una superficie. - Google Patents
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Abstract
Dispositivo para recubrir una superficie de un artículo con las siguientes características: una unidad (2) para proporcionar un líquido que presenta reactivos necesarios para el recubrimiento; una unidad (3) de transporte, que está configurada para provocar un movimiento relativo entre una superficie que debe recubrirse del artículo (4) y el líquido, mientras la superficie que debe recubrirse del artículo está en contacto con el líquido, de modo que la superficie que debe recubrirse permanece en contacto con el líquido durante un tiempo predeterminado, para provocar un recubrimiento de la misma, estando además configurada la unidad (3) de transporte para provocar el movimiento relativo tangencialmente a la superficie que debe recubrirse, de manera continua y sin invertir el sentido (5) de movimiento; una unidad (30; 80) de calentamiento, que está configurada para calentar la superficie que debe recubrirse, mientras la superficie que debe recubrirse del artículo está en contacto con el líquido, hasta una temperatura a la que tiene lugar una reacción de los reactivos mediante los que se provoca el recubrimiento; estando configurada la unidad (30; 80) de calentamiento para calentar un cilindro (3) de transporte rotatorio de la unidad de transporte, que está dispuesto en el lado del artículo (4) opuesto al líquido, para provocar el movimiento relativo; y estando diseñado el dispositivo para recubrir por un lado un artículo (4) en forma de banda.
Description
Dispositivo y procedimiento para recubrir una
superficie.
Los ejemplos de realización de la presente
invención tratan de un dispositivo y de un procedimiento para
recubrir una superficie de un artículo.
Recubrimientos de materiales se realizan con
frecuencia por ejemplo en el sector de la generación y
estructuración de semiconductores. A este respecto es necesario, a
menudo, poder ajustar de la manera más homogénea posible un grosor
de capa por toda el área de la superficie que debe recubrirse. En el
caso de elementos que están presentes como piezas individuales puede
tener lugar un recubrimiento de manera sencilla, cuando se sumerge,
por ejemplo, una oblea, una lámina o una luna de vidrio o un
artículo que debe recubrirse en su totalidad en un volumen adecuado
para el recubrimiento, que está lleno al menos parcialmente con el
material de recubrimiento, o se pone en contacto por un lado o por
ambos lados con el mismo. El propio recubrimiento puede acelerarse o
desencadenarse a este respecto mediante diferentes mecanismos. Así,
es concebible, por ejemplo, no añadir un producto químico activador
hasta que la superficie que debe recubrirse ya está en contacto con
el material de recubrimiento. Los productos químicos, cuyo tiempo de
reacción es corto, es decir que reaccionan rápidamente, pueden no
mezclarse entre sí por ejemplo hasta que estén en el propio volumen
de reacción o mezclarse entre sí directamente antes de introducirlos
en el mismo o no mezclarse entre sí hasta que estén sobre la
superficie del artículo que debe recubrirse.
En algunos sectores de la técnica de
recubrimiento y de la técnica de los semiconductores es necesario
además recubrir grandes superficies relacionadas. Éste puede ser el
caso, por ejemplo, en los sustratos flexibles, tal como pueden
utilizarse entre otros en la fabricación de semiconductores
orgánicos. También en el campo de la técnica solar, en el que los
elevados costes de producción de las células solares superan a
menudo los beneficios que pueden conseguirse, puede ser deseable
poner a disposición una tecnología que posibilite el recubrimiento
de láminas, sustratos en forma de banda o láminas metálicas, de modo
que en poco tiempo puedan recubrirse grandes áreas, para conseguir
así una reducción significativa de los costes de producción.
La solicitud de patente británica 1206106
muestra un dispositivo para recubrir material en forma de banda, en
el que el material se guía a través de cilindros de transporte en un
líquido.
La solicitud estadounidense 5.795.625 trata,
como estado de la técnica más próximo, también de un dispositivo
para recubrir telas con un líquido. El material que debe recubrirse
se guía por medio de un rodillo a través de un tanque de inmersión,
que se llena a través de un conducto con el líquido usado para el
recubrimiento. Por debajo del tanque se encuentra un volumen de
almacenamiento para agua, que puede usarse para mantener el líquido
usado para el recubrimiento a una temperatura constante.
La solicitud estadounidense 3.762.190 trata de
un dispositivo para tratar materiales de cuero, que se guían por
medio de cilindros de transporte a través de un baño de líquido. A
este respecto el cuero se encuentra completamente en el baño de
líquido y se pone así en contacto por ambos lados con el material
usado para el recubrimiento. El líquido puede calentarse.
La solicitud de patente europea 0038084 propone
enfriar una lámina que debe recubrirse tras el recubrimiento, para
evitar en el recubrimiento posibles pliegues provocados por el
calor.
La solicitud de patente europea 0608192 A1
propone calentar un líquido usado para la galvanización (zinc) hasta
una temperatura de 400 - 500º.
La solicitud estadounidense 3.863.600 propone
templar la disolución de recubrimiento usada para recubrir una
superficie de un material en forma de banda en un circuito
externo.
Existe por consiguiente la necesidad de
desarrollar conceptos alternativos y más eficaces para recubrir la
superficie de un artículo.
En los ejemplos de realización de la presente
invención se posibilita recubrir una superficie de un artículo,
usando una unidad de transporte que pone en contacto la superficie
que debe recubrirse del artículo con un líquido, que presenta los
reactivos necesarios para el recubrimiento, y pasa por la
superficie. Mediante variaciones de los parámetros de funcionamiento
de la unidad de transporte, tal como por ejemplo el avance por
unidad de tiempo, puede conseguirse que la superficie que debe
recubrirse permanezca en contacto con el líquido durante un tiempo
predeterminado, para provocar un recubrimiento de la misma.
Mediante la variación de los parámetros de
reacción, tal como por ejemplo la temperatura y la concentración de
los reactivos, puede variarse libremente la velocidad de reacción y,
en combinación con ello, mediante la variación del tiempo de
contacto entre el material y el líquido, el grosor de capa del
recubrimiento. La variación del tiempo de contacto puede conseguirse
a este respecto en algunos ejemplos de realización de unidades de
transporte mediante un sencillo ajuste de los parámetros de
funcionamiento de las mismas.
En los ejemplos de realización de la invención,
la unidad de transporte hace pasar adicionalmente el artículo por el
líquido de manera continua y sin invertir el sentido de movimiento o
lo conduce a través de un volumen de líquido, de modo que es posible
realizar de manera continua y sin interrupción el recubrimiento de
artículos o materiales alargados, por ejemplo en forma de banda.
En otros ejemplos de realización o sistemas de
recubrimiento, estos materiales se ponen a disposición o se
desenrollan desde un cilindro de almacenamiento, para, tras el
recubrimiento por medio de la unidad de transporte o tras el paso
por la unidad de transporte, recibirse y enrollarse sobre un
cilindro de retirada. Esto posibilita recubrir de manera eficaz y
sin interrupción grandes áreas de material en forma de tira.
Ejemplos de realización adicionales presentan
una unidad de secado, para secar el artículo recubierto, de modo que
el líquido del recubrimiento esté completamente seco antes de
retirar el artículo recubierto o enrollarlo en un cilindro de
retirada, de modo que la calidad del recubrimiento no se deteriore
tras la propia operación de recubrimiento por posibles influencias
mecánicas. Los ejemplos de realización de la invención presentan una
unidad de calentamiento, para calentar la superficie del artículo
que debe recubrirse y/o el líquido con eventuales reactivos
químicos, de modo que se posibilite una reacción endotérmica o para
variar la velocidad de reacción. Esto permite, por ejemplo, no
posibilitar una reacción química que desencadene el recubrimiento o
forme el material de recubrimiento hasta que esté en contacto
directo con la superficie o aumentar una velocidad de reacción de
tal manera que se logre el grosor de capa que debe conseguirse
mediante el recubrimiento con una unidad de transporte dada, es
decir con una velocidad de avance o velocidad relativa dada entre la
superficie del artículo y el líquido.
En algunos ejemplos de realización se guía el
artículo que debe transportarse por medio de un rodillo cilíndrico a
través de un baño de líquido, estando el rodillo calentado. A este
respecto puede seleccionarse la geometría de la unidad de transporte
de tal manera que el artículo se recubra o bien según la invención
por un lado o bien, no según la invención, por ambos lados, es decir
que entre en contacto por tanto con el líquido por un lado o por
ambos lados. En otros ejemplos de realización, la unidad de
transporte está dotada de medios de sellado que posibilitan
delimitar espacialmente la zona de superficie del artículo que se
pone en contacto con el líquido. Puede tratarse, por ejemplo, de
labios de sellado, que en el borde de un material en forma de banda
sellan el material con respecto al líquido, de modo que sólo en una
zona central, centrada alrededor del eje de simetría de la banda, se
produce el recubrimiento del material o del artículo.
En algunos ejemplos de realización adicionales
de la invención, los cilindros de transporte, que guían el artículo
tras el recubrimiento o tras la unidad de transporte, están
construidos de tal manera que generan una película de agua sobre la
superficie del cilindro de transporte, de modo que el material de
recubrimiento eventualmente aún no completamente secado o endurecido
no se separa, mediante el cilindro de transporte, de la superficie
del artículo que debe recubrirse ni se daña el recubrimiento. El
flujo de agua puede usarse en algunos ejemplos de realización además
para lavar impurezas eventualmente existentes de la superficie del
artículo recubierto y a este respecto posibilitar eventualmente al
mismo tiempo un transporte sin contacto.
Algunos ejemplos de realización de la invención
se explican más detalladamente a continuación, haciendo referencia a
las figuras adjuntas. Muestran:
la figura 1 un ejemplo de realización de un
dispositivo para recubrir una superficie de un artículo;
la figura 2 un ejemplo de realización adicional
de un dispositivo para recubrir una superficie;
la figura 3 un ejemplo de realización adicional
de un dispositivo para recubrir una superficie con circuito de
reciclado;
las figuras 4a-4c un ejemplo de
realización para el recubrimiento por un lado de una zona de
superficie delimitada de un artículo en forma de banda;
las figuras 5a, 5b un ejemplo de realización, no
según la invención, para recubrir una superficie con avance lineal
del artículo que debe transportarse;
la figura 6 un ejemplo de realización, no según
la invención, de un dispositivo para recubrir una superficie con
avance lineal;
la figura 7 un ejemplo de realización, no según
la invención, con avance lineal y posibilidad de calentamiento;
la figura 8 un ejemplo de realización, no según
la invención, con avance lineal y medios de sellado para delimitar
la zona de superficie recubierta;
la figura 9 un ejemplo de realización, no según
la invención, con avance lineal;
la figura 10 un ejemplo de realización, no según
la invención, con avance lineal para el recubrimiento por ambos
lados de un artículo;
la figura 11 un ejemplo de realización, no según
la invención, para el recubrimiento por ambos lados;
la figura 12 un ejemplo de realización de un
procedimiento según la invención para recubrir una superficie de un
artículo;
la figura 13 un ejemplo de realización de un
sistema según la invención para recubrir un artículo en forma de
tira; y
las figuras 14a, b un ejemplo de realización, no
según la invención, con un artículo en forma de banda que debe
recubrirse.
La figura 1 muestra un ejemplo de realización de
un dispositivo para recubrir una superficie de un artículo, que es
adecuado para recubrir material en forma de tira.
En la figura 1 se representa esquemáticamente el
dispositivo en una vista en corte. El dispositivo 1 presenta a este
respecto una unidad 3 de transporte, para poner en contacto la
superficie que debe recubrirse de un artículo 4 (por ejemplo de una
banda de material) con un líquido y guiarla por el líquido. El
dispositivo comprende además un recipiente 2, el que se encuentra el
líquido proporcionado, y un cilindro 3 de transporte, por medio del
cual se guía el artículo que debe recubrirse por el líquido dentro
del recipiente 2. En el caso mostrado en la figura 1, el artículo 4
que debe recubrirse es en forma de banda, es decir que tiene en un
sentido 5 de transporte una extensión geométrica que supera
ampliamente la extensión de la banda en perpendicular al sentido de
transporte (la anchura de la banda). El artículo 4 que debe
recubrirse puede obtenerse a este respecto por ejemplo desde un
cilindro por medio de una desbobinadora y suministrarse a la unidad
3 de transporte, encontrándose la superficie que debe recubrirse (el
lado de artículo) en el lado opuesto al cilindro 3 de transporte.
Mediante una rotación del cilindro 3 de transporte (la unidad de
transporte) se hace pasar el artículo 4 por el líquido, o se
transporta a través del volumen de líquido, que se encuentra dentro
del recipiente 2.
Por consiguiente la unidad 3 de transporte mueve
de manera continua el artículo 4 que debe recubrirse tangencialmente
a la superficie que debe recubrirse (el lado de artículo), sin que
tenga lugar una inversión del sentido de movimiento. Esto tiene la
ventaja de que el material puede recubrirse sin interrumpir el
avance del artículo, de modo que se posibilita por ejemplo un
recubrimiento de cilindro a cilindro de materiales en forma de banda
o flexibles tales como por ejemplo láminas o bandas metálicas.
En el caso mostrado en la figura 1 se transporta
el artículo en el sentido 5 de transporte, de modo que éste puede
suministrarse por ejemplo a una bobinadora posterior, que recibe el
artículo recubierto y lo enrolla en forma de cilindro. En el ejemplo
de realización de la figura 1, a la unidad 1 de transporte le sigue
además un primer cilindro 6 de desvío y un segundo cilindro 8 de
desvío, que sirven para guiar el artículo en forma de banda. En
algunos ejemplos de realización el primer y/o el segundo cilindro 6
u 8 de desvío puede estar configurado para proporcionar una película
de agua sobre la superficie del cilindro. Esto puede producirse, por
ejemplo, porque el cilindro de guiado presenta una perforación
central, hacia la que se conduce agua con una presión
predeterminada, de modo que ésta fluye a través de un gran número de
perforaciones radiales en el cilindro 6 de guiado sobre el perímetro
externo del cilindro 6 de guiado y allí forma entre el artículo 4
que debe transportarse y el cilindro 6 de guiado una película de
agua, que impide que la superficie que debe recubrirse del artículo
pueda entrar en contacto mecánico directo con partes metálicas o
sólidas del cilindro 6 de guiado. Esto tiene la ventaja de que,
incluso cuando aún no ha tenido lugar completamente una reacción
química o una reacción de recubrimiento o un endurecimiento del
líquido o del material usado para el recubrimiento, puede evitarse
un deterioro cualitativo del recubrimiento por el contacto mecánico
con cuerpos sólidos o
rígidos.
rígidos.
A este respecto debe observarse que el
recubrimiento de láminas o metales o materiales en forma de banda
similares por medio del ejemplo de realización mostrado en la figura
1 es posible tanto según la invención por un lado como no según la
invención por dos lados, según si el artículo 4 está apoyado de
manera hermética a los fluidos sobre el cilindro 3 de transporte, o
si entre el artículo 4 en forma de banda y el cilindro 3 de
transporte se han adoptado medidas de sellado que impidan que el
líquido pueda llegar también al lado opuesto al lado que debe
recubrirse (el lado de artículo) del material. Con respecto a las
propiedades de material del artículo que debe recubrirse no hay
limitaciones. Así, una lámina que debe recubrirse o un material en
forma de banda puede estar compuesto, por ejemplo, de plástico, de
material magnético o no magnético.
En el caso de un recubrimiento por un lado, en
algunos ejemplos de realización, el primer cilindro 6 de guiado está
configurado para generar una película de agua sobre su superficie,
de modo que no se dañe el lado de artículo recubierto de la
superficie. Si el material o el artículo 4 se recubre, no según la
invención, por ambos lados, en algunos ejemplos de realización el
segundo cilindro 8 de guiado puede estar también configurado para
guiar el artículo o el material sobre una película de agua.
En algunos ejemplos de realización se ajusta la
velocidad de avance o la velocidad con la que se mueve el artículo
al pasar por el líquido, de tal manera que se obtenga el grosor de
recubrimiento deseado. Esto puede tener lugar tanto mediante un
diseñado fijado previamente como mediante una regulación, de modo
que, por ejemplo si se establece tras el recubrimiento que el grosor
de capa es demasiado reducido, pueda reducirse la velocidad del
transporte. En algunos ejemplos de realización se desplaza o se hace
circular el líquido a contracorriente con respecto al artículo que
debe recubrirse, es decir por tanto en contra del sentido de
movimiento del artículo. En este caso se garantiza que el medio sea
siempre nuevo en el punto de contacto.
Mediante la variación de la velocidad se varía
por tanto el tiempo predeterminado, en el que el líquido entra en
contacto con la superficie que debe recubrirse del artículo. En
algunos ejemplos de realización adicionales, o bien el cilindro 3 de
transporte o bien el líquido o el recipiente 2, o ambas unidades
mencionadas anteriormente, pueden haberse calentado, de modo que se
aumenta la velocidad de reacción de un producto químico que se usa
para el recubrimiento, o se posibilita una reacción endotérmica.
Un ajuste adecuado de la temperatura o de la
velocidad de transporte permite seleccionar los grosores de capa
alcanzables o ajustar de manera adecuada la velocidad de
recubrimiento. Un ejemplo del calentamiento según la invención del
cilindro 3 de transporte se muestra en la figura 1 abajo en una
vista en perspectiva de un cilindro 3 de transporte, que está
configurado en forma de un rodillo hueco, a través de cuyo interior
puede fluir un líquido usado para el calentamiento. Puede tratarse,
por ejemplo, de un aceite o también de agua, usándose en algunos
ejemplos de realización un líquido con alta capacidad térmica, para
garantizar un calentamiento uniforme.
Siempre que para el recubrimiento o la reacción
química, que debe tener lugar en la superficie del artículo que debe
recubrirse, no pueda superarse una velocidad relativa máxima entre
el artículo que debe recubrirse y el líquido, dado que las
partículas usadas para el recubrimiento de lo contrario, por
ejemplo, ya no podrían adherirse a la superficie, puede variarse con
una velocidad de rotación constante el perímetro del cilindro 3 de
transporte, o puede reducirse la velocidad de rotación con un
perímetro constante. Para garantizar un buen intercambio del
líquido, en algunos ejemplos de realización el líquido se desplazará
en contra del sentido de rotación.
Además de las medidas de calentamiento descritas
anteriormente, el cilindro 3 de transporte también puede calentarse
eléctricamente en algunos ejemplos de realización. Además el
cilindro o el artículo también puede calentarse por medio de
radiación, por ejemplo por medio de radiación infrarroja. El
material del cilindro 3 de transporte puede variarse según el
artículo que deba transportarse o la capacidad térmica deseada. Por
ejemplo pueden usarse metales o aleaciones metálicas, vidrios o
sustancias cristalinas.
Tal como ya se mencionó anteriormente, mediante
el ajuste adecuado del diámetro del tambor o cilindro y de la
velocidad de rotación puede adaptarse el sistema a las condiciones
marginales dadas en cada caso. Esto también resulta satisfactorio en
los ejemplos de realización no según la invención, cuando el tambor
no gira, sino que únicamente sirve para definir el trayecto del
artículo. Éste puede ser por ejemplo el caso, cuando el artículo se
desliza por encima del tambor 3 o flota sobre éste sobre un lecho de
aire o líquido.
Si está predefinida por ejemplo una velocidad
relativa máxima entre el artículo que debe recubrirse y el líquido
de 1 mm/s y la duración de recubrimiento total debe ascender a 7
minutos, puede estimarse el diámetro del tambor tal como sigue. A
este respecto se parte como hipótesis de trabajo de que el nivel de
líquido dentro del recipiente 2 se selecciona de tal manera que el
40% del perímetro del cilindro 3 de transporte se encuentra dentro
del líquido. Suponiendo una velocidad relativa de 1 mm/s y 7 minutos
de duración del recubrimiento se obtiene un trayecto que ha de
recorrerse dentro del líquido de 420 mm. Además, a partir de la
velocidad tangencial de 1 mm/s y del diámetro del tambor que se
calcula tal como sigue, se obtiene directamente la frecuencia de
rotación del mismo. El perímetro del tambor que se encuentra dentro
del líquido debe ascender a 420 mm. Dado que para el radio r del
tambor se
cumple:
cumple:
y además el 40% del perímetro
corresponde a 420 mm (de lo que resulta que el perímetro completo
tiene una longitud de 1.050 mm), se obtiene que el radio necesario
del cilindro 3 de transporte
es:
Un tambor con un diámetro de 334 mm cumple por
tanto las condiciones requeridas inicialmente, girando éste con una
frecuencia que viene dada directamente por la velocidad relativa
máxima de 1 mm/s y el radio del tambor.
Si se requiere una velocidad relativa de 2 mm/s
con una duración del recubrimiento de 7 minutos, mediante la
aplicación de las consideraciones anteriores se obtendría un tambor
con el doble de diámetro, es decir con d = 668 mm. Con una velocidad
relativa de este tipo resultaría una velocidad relativa de 120
mm/min. Por tanto dentro del líquido o en contacto con el líquido en
7 minutos de tiempo de recubrimiento se recorren 840 mm de trayecto,
lo que puede conseguirse por medio de un tambor con las dimensiones
anteriores.
La figura 2 muestra un ejemplo de realización
adicional de un dispositivo para recubrir una superficie,
mostrándose adicionalmente de manera esquemática una mezcladora 10,
que suministra a la unidad para proporcionar el líquido (es decir al
recipiente 2) en una posición 12 de entrada el líquido o los
productos químicos. En una posición 14 de salida, que está
configurada en forma de un rebosadero, el líquido abandona el
recipiente 2, para acumularse en un depósito 16 de recogida. El
líquido dentro del depósito 16 de recogida puede tratarse a este
respecto, según una alternativa, como producto de desecho o, tal
como se expone más detalladamente más adelante, suministrarse a una
recirculación.
La mezcladora 10 puede almacenar por ejemplo un
líquido, compuesto por varios reactivos, en un estado ya mezclado
previamente, para suministrarlo con una cantidad o velocidad de
dosificación predeterminada a la admisión, es decir a la posición 12
de entrada. En otros ejemplos de realización, en los que no se desea
una reacción de los reactivos en el líquido que tenga lugar
posiblemente de manera prematura, la mezcladora 10 puede almacenar
los reactivos individuales por separado y no mezclarlos hasta justo
antes del suministro a la posición 12 de entrada. El mezclado en
principio también puede tener lugar dentro del recipiente 2, de modo
que en ejemplos de realización adicionales la mezcladora 10
suministra los reactivos individuales por separado a la posición de
entrada. Si debe recubrirse, por ejemplo, una lámina o un material
en forma de banda con CdS, ZnS o materiales alternativos (tampones),
tal como se desea en la producción de células solares de capa fina,
los siguientes reactivos pueden estar contenidos en el líquido:
CdSO_{4}, THS y NH_{3}. Éstos reaccionan químicamente por encima
de una temperatura de reacción, de modo que sobre la superficie del
artículo 4 precipita una capa de CdS. Para los componentes químicos
mencionados esta temperatura de reacción asciende a 53ºC.
Para impedir una reacción prematura y por
consiguiente un consumo de productos químicos innecesario, estos
productos químicos pueden almacenarse por separado, pudiendo tener
lugar el almacenamiento entonces tanto por encima de la temperatura
de reacción de 53ºC como por debajo de la misma. Si se realiza el
almacenamiento por debajo de la temperatura de reacción, en algunos
ejemplos de realización los reactivos también pueden estar ya
mezclados. También pueden almacenarse partes ya mezcladas
previamente, por ejemplo CdSO_{4} y NH_{3}, pudiendo tener lugar
su almacenamiento en frío o en caliente, siempre que el THS se añada
y dosifique por separado.
Según la invención, tal como se describió
anteriormente, el cilindro 3 de transporte se ha calentado
adicionalmente para provocar una reacción en particular en la
superficie del cilindro de transporte. Esto puede conducir a una
reducción del consumo de productos químicos, cuando en el volumen
restante no tiene lugar una reacción de los productos químicos o
sólo con una velocidad reducida, dado que la temperatura de reacción
únicamente se supera en el entorno directo del cilindro.
En el fragmento ampliado mostrado en la figura 2
se representa de nuevo esquemáticamente la posibilidad de la
dosificación individual, en la que los diferentes productos químicos
(en el ejemplo ilustrado THS, CdSO_{4} y NH_{3}) se almacenan
individualmente y se suministran a la posición 12 de entrada.
Tal como puede observarse en el fragmento
ampliado, los productos químicos se almacenan individualmente y se
añaden al recipiente a través de métodos de dosificación adecuados
en la posición 12 de entrada. El desplazamiento de los productos
químicos o líquidos puede realizarse por ejemplo por medio de bombas
de dosificación o de rueda de paletas. Alternativamente el tanque
también puede estar a presión, de modo que por medio la apertura y
el cierre sincronizados de una válvula tenga lugar un desplazamiento
dosificado. En el trayecto de desplazamiento o antes de la posición
12 de entrada puede estar dispuesta además una mezcladora, que
mezcla los componentes individuales, por ejemplo por influencia de
la gravedad. Alternativamente el suministro de productos químicos
puede regularse por medio de un flotador, que determina la cantidad
del líquido extraído del depósito de almacenamiento, de modo que
éste en principio también puede extraerse por influencia de la
gravedad, siempre que se regule una válvula mediante el nivel del
flotador.
Debido al reducido consumo de productos químicos
puede calentarse también el producto químico en el propio
intersticio justo tras la entrada en el intersticio (del reactor),
hasta la temperatura de proceso.
En el ejemplo de realización mostrado en la
figura 2, el recipiente 2 está conformado de tal manera que presenta
una superficie interna, que está enfrentada a la superficie que debe
recubrirse del artículo 4 y cuyo contorno está adaptado al contorno
de la superficie que debe recubrirse. En el caso representado el
contorno interno del recipiente 2 es por tanto en forma de arco
circular, de modo que entre el cilindro 3 de transporte y la pared
interna del recipiente se crea un intersticio de anchura constante.
Una anchura reducida de este intersticio conduce a que únicamente
tenga que mantenerse una cantidad reducida de productos químicos
mezclados. Esto conduce a que el desecho, que es proporcional al
volumen del producto químico ya mezclado, pueda minimizarse. Además
el reducido volumen de líquido puede calentarse fácilmente, de modo
que dado el caso únicamente es necesario un calentamiento del
cilindro 3 de transporte. El volumen en el que tiene lugar la
reacción química, se denomina también en general reactor. Si se
minimiza el volumen del reactor lo máximo posible, esto conduce por
tanto, en resumen, a que únicamente tenga lugar un reducido consumo
de medios, enfriándose adicionalmente el medio sólo un poco, de modo
que en el intersticio puede tener lugar de manera eficaz la reacción
en el reactor (la reacción intersticial).
La figura 3 muestra un ejemplo de realización
adicional de un dispositivo para recubrir una superficie, en el que
la reacción o el recubrimiento tiene lugar en un intersticio 20
entre el artículo 4 que debe recubrirse y un contorno del recipiente
2. Los componentes esbozados restantes del dispositivo ya se
comentaron mediante los ejemplos de realización anteriores, de modo
que los elementos con los mismos números de referencia no se
explican a continuación por motivos de eficiencia. El ejemplo de
realización mostrado en la figura 3 se diferencia del ejemplo de
realización descrito en la figura 2 porque éste presenta una unidad
30 de calentamiento compuesta por varios elementos
30a-30d de calentamiento, para calentar el
recipiente 2, y para garantizar que se caliente el líquido o la
mezcla de reactivos hasta una temperatura a la que pueda tener lugar
la reacción química deseada para el recubrimiento. La figura 3
presenta además una unidad 40, dispuesta entre la posición 14 de
salida y la posición 12 de entrada, para hacer circular el líquido,
con el fin de reutilizar el líquido que sale de la posición 14 de
salida, es decir del rebosadero, al menos en parte.
La unidad 40 para hacer circular el líquido
presenta una unidad 42 de enfriamiento y una unidad 44 de filtrado,
que están dispuestas secuencialmente una detrás de otra a lo largo
de un sentido 46 de realimentación. La unidad de enfriamiento sirve
para enfriar la mezcla de productos químicos o reactivos, para
llevarla de nuevo por debajo de una temperatura necesaria para la
reacción, de modo que durante la recirculación no tenga lugar ningún
consumo de productos químicos. El material que ya ha reaccionado,
por ejemplo cristalizado, se retira por medio del filtro 40 del
flujo de líquido o productos químicos reciclado o recirculado.
Por consiguiente es posible, además de minimizar
el consumo de productos químicos mediante una reducción del volumen
del reactor, reducir el consumo total de productos químicos o
líquido, volviendo a tratar y reutilizando el líquido. En el ejemplo
de realización descrito en la figura 3 puede enfriarse y
recircularse de manera permanente, en algunos ejemplos de
realización, el producto químico o el líquido. En caso de que haya
componentes cristalinos o sólidos en la mezcla de líquido
recirculada (por ejemplo CdS) puede purificarse el líquido con una
centrífuga, para precipitar los coloides/las partículas de CdS.
Naturalmente, de manera alternativa al ejemplo de realización
mostrado en la figura 3, el calentamiento del reactor también puede
tener lugar desde dentro, pudiendo estar integrados los elementos
30a- 30d de calentamiento por ejemplo también en el recipiente 2.
Según la invención adicionalmente, tal como se describe en los
ejemplos de realización anteriores, el cilindro 3 de transporte se
ha calentado.
Las figuras 4a-4c muestran en
diferentes vistas un ejemplo de realización de la presente
invención, en el que la zona de superficie del artículo 4, que se
pone en contacto con el líquido, está delimitada, al estar previstos
elementos 64 de sellado que separan el líquido de la zona de
superficie del artículo 4 que no debe ponerse en contacto con el
mismo. A este respecto la figura 4a muestra una vista del ejemplo de
realización, que se representa en la figura 4b en una vista en
perspectiva. En la figura 4c se representa además un fragmento
ampliado, que permite reconocer los mecanismos de sellado, por medio
de los cuales se delimita la zona de superficie que se pone en
contacto con el líquido.
El ejemplo de realización mostrado en las
figuras 4a-4c se basa a este respecto en los
ejemplos de realización ya comentados mediante las figuras
anteriores, de modo que en la explicación siguiente sólo se comentan
las modificaciones con respecto a estos ejemplos de realización. El
artículo 4 que debe recubrirse en la figura 4 se transporta o se
mueve de tal manera que presenta una zona 50 central así como una
zona 52 de borde, poniéndose en contacto con el líquido únicamente
la zona 50 central. Por consiguiente la zona 50 central es la zona
de superficie del artículo 4 que se recubre. El líquido se encuentra
en el recipiente 2, dentro del cual discurre el cilindro 3 de
transporte. Para garantizar que el líquido únicamente entra en
contacto con el artículo 4 en la zona 50 central está previsto un
sellado, para sellar el artículo 4 o la lámina 4 con respecto al
recipiente 2.
En la vista, representada en la figura 4 desde
un punto 56 de vista, del ejemplo de realización de la figura 4b
puede observarse que los sellados colocados en las posiciones 60a y
60b de sellado dividen el artículo 4 o la lámina 4 que debe
recubrirse en la zona 50 central y la zona 52 de borde. En la zona
50 central se pone en contacto el líquido con la superficie del
artículo 4, mientras que en la zona 52 de borde no se pone en
contacto la superficie del artículo con el líquido o la mezcla de
productos químicos. En el fragmento ampliado de la zona 62 enmarcada
en la figura 4a, que se representa en la figura 4c, se muestra a
modo de ejemplo una posible forma del sellado.
A este respecto, entre el artículo 4 que
discurre sobre el cilindro 3 de transporte y el volumen interno del
recipiente 2, una de cuyas paredes laterales se representa
esquemáticamente, está dispuesto un medio 64 de sellado, que impide
una salida libre del líquido desde el interior del recipiente 2. El
sellado puede realizarse a este respecto por ejemplo por medio de
una junta labial de materiales flexibles, tales como por ejemplo
caucho, CPDM o silicona. Alternativamente a esto el sellado también
puede tener lugar con cualquier otro medio de sellado, por ejemplo
por medio de un flujo de aire comprimido, cuya velocidad de flujo
sea tan grande que pueda evitarse una salida de grandes cantidades
de líquido. En ejemplos de realización alternativos, el huelgo, es
decir la distancia entre el cilindro de transporte y el recipiente
2, puede realizarse de manera tan exacta que, cuando está presente
la lámina, se obtiene una anchura de intersticio tan reducida que se
impide casi completamente una salida de líquido. El líquido que aún
así sale puede recogerse por ejemplo en un rebosadero 66, para
suministrarlo eventualmente a un reciclado. Ejemplos de realización
adicionales pueden usar un anillo deslizante o una junta de anillo
deslizante de plástico o materiales similares. En caso de usarse
plástico puede lavarse y limpiarse todo el dispositivo con
materiales que contienen ácido, tal como por ejemplo con HCl.
Los ejemplos mostrados en las figuras 5a y 5b no
son ejemplos de realización de la invención y muestran en cada caso
dispositivos para recubrir una superficie con avance lineal, en los
que el artículo 4 se mueve prácticamente de manera lisa o plana con
respeto al líquido, de modo que también pueden recubrirse por uno o
dos lados materiales no flexibles o materiales con una flexibilidad
reducida. En el caso del ejemplo de realización mostrado
esquemáticamente en la figura 5a en una vista en corte, la unidad de
transporte presenta un cilindro 3 de transporte, sobre el que
discurre el artículo 4 que debe recubrirse y que difiere de una
geometría de rodillo ideal y tiene en sus zonas 70a, 70b de borde
externas un diámetro creciente. De este modo el cilindro 3 de
transporte guía el material en forma de canalón. El cilindro 3 de
transporte se encuentra, en el ejemplo de realización mostrado en la
figura 5a, parcialmente dentro de un volumen 72 de calentamiento,
que puede calentarse con un método de calentamiento adecuado (por
ejemplo con aire caliente o radiación (infrarroja). La superficie
que debe recubrirse o el lado de artículo del artículo 4 está
opuesto al cilindro 3 de transporte y se pone en contacto en una
zona 50 central con el líquido o la mezcla de productos químicos y
se mueve por medio del cilindro 3 de transporte rotatorio con
respecto al mismo o se hace pasar por el mismo. El ejemplo de
realización mostrado en la figura 5a es adecuado para el
recubrimiento por un lado de un artículo o de un material en forma
de banda, pudiendo añadirse o mezclarse los productos químicos o el
líquido tal como se ha descrito en uno los ejemplos de realización
anteriores. El ejemplo de realización presenta además medios 74a y
74b de sellado, para delimitar la zona de superficie del artículo 4,
que se pone en contacto con el líquido. Así, se pone en contacto con
el líquido, en el ejemplo de realización mostrado en la figura 5a,
únicamente la zona 50 central.
En algunos ejemplos de realización alternativos
todos los aparatos está además inclinados respecto al eje 82, de
modo que bajo la influencia de la gravedad el líquido corre o fluye
sobre la superficie que debe recubrirse en la zona 50 central por la
superficie, de modo que tanto el líquido como el artículo 4 se
mueven. Para conseguir una velocidad de flujo constante del líquido
o de los productos químicos, puede usarse opcionalmente un deflector
84 de flujo, que esté dispuesto dentro de la unidad para
proporcionar el líquido, es decir dentro del volumen delimitado por
los medios 74a y 74b de sellado.
A este respecto, según los requisitos de los
aparatos, la dirección de flujo del líquido puede ser, por ejemplo,
paralela o antiparalela al sentido de avance o al sentido de
movimiento del artículo o de la lámina 4.
La figura 5b muestra en una vista en perspectiva
una posible implementación de la unidad 3 de transporte de la figura
5a. En el ejemplo mostrado ésta está compuesta por dos cilindros 86a
y 86b, que rotan en un sentido 88 de rotación, y por consiguiente
mueven el artículo en un sentido 90 de transporte, de modo que éste
puede recubrirse cuando, dentro del canalón formado por la forma de
los cilindros 86a y 86b de transporte, se encuentra el líquido usado
para el recubrimiento o la mezcla de productos químicos usada para
el recubrimiento. Adicionalmente, el transporte puede facilitare por
medio de un lecho de aire y/o adicionalmente implementarse un
calentamiento cuando deba calentarse el aire.
La figura 6, que no muestra un ejemplo de
realización de la invención, muestra un ejemplo con avance lineal
del artículo 4, que se guía por medio de dos cilindros 102 y 104 de
guiado por un tramo 108 de proceso, que sirve para proporcionar el
líquido, dentro del cual se encuentra por tanto el líquido usado
para el recubrimiento. En la posición 12 de entrada se introducen
los productos químicos o el líquido, que abandonan de nuevo la
unidad 108 en la posición 14 de salida, es decir en una salida.
En la vista en corte mostrada en la figura 6 con
avance lineal puede variarse un ángulo 112 (\alpha) entre la
horizontal y los aparatos o la zona de proceso, para variar una
velocidad relativa entre el líquido o la mezcla de productos
químicos y el artículo que debe recubrirse. A este respecto en el
lado 12 de entrada puede estar prevista una medida de sellado, para
evitar una salida involuntaria de los productos químicos en contra
del sentido de movimiento del artículo que debe moverse. Esto puede
conseguirse por ejemplo por medio de una cuchilla de aire o por
medio de juntas flexibles. Dentro del tramo 108 de proceso, el
artículo 4 que debe transportarse puede soportarse por ejemplo sobre
una placa 113 caliente ("hot plate") o guiarse mediante
ésta, de modo que el artículo puede calentarse adicionalmente. En
algunos ejemplos de realización se calienta la placa caliente. Esto
puede conseguirse por ejemplo mediante un líquido calentado que
circula en canales 114 en la placa 113 caliente. En ejemplos de
realización adicionales un gas fluye a través de perforaciones de la
placa caliente en el lado inferior del artículo 4 que debe guiarse,
de modo que éste se guía sobre un colchón de aire de manera flotante
por el tramo 108 de proceso. En algunos ejemplos de realización el
tramo de proceso o la disposición mostrada en la figura 6 únicamente
puede rotar en el sentido del ángulo 112. En ejemplos de realización
adicionales el tramo 108 de proceso puede moverse en todas las
direcciones espaciales, de modo que con un control adecuado se
genera un movimiento de basculación, que garantiza la distribución
uniforme de los productos químicos sobre la superficie del artículo
que debe recubrirse. Con ello puede mejorarse en particular la
homogeneidad del recubrimiento. En ejemplos de realización
adicionales están dispuestas unidades de mezclado adicionales, que
garantizan que la mezcla de productos químicos permanezca mezclada
homogéneamente de manera permanente, de modo que resulte un
recubrimiento uniforme. En algunos ejemplos de realización de la
presente invención esto se consigue mediante uno o varios emisores
de ultrasonidos, que irradian una señal de ultrasonidos al líquido,
de modo que se intensifica el movimiento de las moléculas dentro del
líquido y de este modo se mejora la homogeneidad de mezclado.
Alternativa y/o adicionalmente, tal como ya se
explicó mediante algunos ejemplos de realización comentados
anteriormente, la mezcla de productos químicos o el líquido pueden
renovarse o regenerarse permanentemente. Esto requiere un
intercambio del líquido sobre la superficie del artículo que debe
transportarse. Con este propósito puede guiarse el líquido o bien en
el sentido de transporte del artículo o bien en contra del sentido
de transporte del artículo.
Al igual que en el resto de ejemplos de
realización, es deseable que los materiales que se usan para formar
los elementos constructivos que se encuentran en contacto directo
con el artículo que debe transportarse, sean resistentes al uso de
los productos químicos y a las temperaturas que se producen. Por
tanto, los materiales pueden seleccionarse prácticamente de manera
libre y adaptarse a las temperaturas de proceso y a los productos
químicos usados. Por ejemplo, los materiales dentro del tramo 108 de
proceso o del tambor 3 de transporte de los ejemplos de realización
anteriores pueden estar compuestos de cristal de cuarzo o acero
inoxidable. Otros materiales de trabajo posibles son plásticos y
metales o aleaciones metálicas. Es
\hbox{ventajoso que éstos
puedan limpiarse por medio de un ácido, sin destruirlos.}
La figura 7 muestra un corte a través del
dispositivo mostrado en la figura 6 a lo largo de un plano 110 de
corte. El material o artículo que debe recubrirse se pone en
contacto en una zona 50 central con un líquido que fluye sobre el
artículo 4, impidiendo unos medios 74a y 74b de sellado que una
fracción significativa del líquido pueda abandonar la zona 50
central. En algunos ejemplos de realización se genera un lecho de
aire entre una denominada placa 114 caliente y el artículo, sobre el
que se transporta el artículo. En ejemplos de realización
adicionales se calienta la placa 114 caliente que se encuentra en el
flujo de aire, que está dotada de perforaciones y está hecha de un
material macizo, de modo que se calienta el aire de la placa 114
caliente y mediante las perforaciones se posibilita además que entre
la placa 114 caliente y el artículo 4 se forme una película de aire.
Mediante el uso de la placa 114 caliente puede impedirse también una
deformación por flexión del artículo 4 y puede garantizarse que la
temperatura sea prácticamente constante, cuando se usa un material
para la placa caliente que tiene una alta capacidad térmica. Un
líquido que sale o una mezcla de productos químicos que sale
posiblemente a través de los medios 74a y 74b de sellado puede
recogerse por medio de un tanque 116 de rebosamiento y eventualmente
reciclarse.
La figura 8 muestra un ejemplo de realización no
según la invención con guiado lineal del artículo 4, en el que los
medios 74a y 74b de sellado están configurados de manera que el
efecto de sellado se consigue mediante un flujo de aire. Con este
propósito, tal como se muestra en la figura 8, las paredes laterales
que delimitan el volumen de líquido pueden estar dotadas de
perforaciones 120 para aire, a través de las que puede fluir el aire
o cualquier otra mezcla de gases que se pueda usarse para el
sellado. La velocidad de flujo del aire debe seleccionarse de manera
adecuada, de modo que ésta posibilite impedir una salida del líquido
o de los productos químicos en los bordes de los elementos 74a y 74b
de sellado. Para calentar el artículo 4 o el material que debe
recubrirse puede usarse además una placa caliente, sobre la que, tal
como se representa esquemáticamente en la figura 9, puede discurrir
una cinta transportadora, que a su vez garantiza el transporte del
artículo 4 que debe recubrirse, es decir forma la unidad de
transporte.
La figura 9 muestra un ejemplo de realización no
según la invención de una cinta transportadora de este tipo, en la
que en el interior se encuentra una placa 134 caliente calentada por
ejemplo por medio de un líquido a través de canales 132 de líquido.
Entre la placa 134 caliente y el artículo 4 que debe transportarse,
que en el presente caso está presente en forma de un material en
forma de banda, se encuentra un lecho de aire, por medio del cual el
artículo 4 tanto se calienta como se protege frente al daño mecánico
y se presiona con una presión suficiente contra los medios 74a y 74b
de sellado.
Las figuras 10 y 11 muestran ejemplos de
realización no según la invención, por medio de los cuales se
posibilita un recubrimiento por ambos lados de un artículo 4,
delimitándose la superficie recubierta en cada caso mediante medios
74a y 74b de sellado adecuados, de modo que la unidad de transporte
pone en contacto la superficie que debe recubrirse con el líquido
únicamente en una zona 50 central.
En el ejemplo de realización mostrado en la
figura 10, el artículo o el material 4 en forma de banda se mueve en
un sentido 140 de movimiento con respecto al recipiente 2, dentro
del cual se encuentra el líquido. A este respecto, el artículo 4 que
debe recubrirse se guía mecánicamente por labios de sellado o medios
74a y 74b de sellado así como se obtura con respecto al recipiente
2, de modo que un líquido que se encuentra en la zona 50 central o
un líquido introducido en el mismo para recubrir esta zona no pueda
salir, de modo que en cada uno de los dos lados de superficie que
deben recubrirse se recubre o se pone en contacto con el líquido
únicamente una zona de superficie limitada, concretamente la zona 50
central.
El caso mostrado en la figura 11 corresponde
principalmente al ejemplo de realización comentado en la figura 10,
siendo en este caso también el sentido 140 de movimiento paralelo a
la dirección longitudinal del artículo o del material. Sin embargo,
el trayecto de desplazamiento no es liso, sino curvado, de modo que
puede no producirse un sellado del propio recipiente 2, dado que el
artículo a lo largo del sentido 140 de desplazamiento se sumerge en
primer lugar en el volumen de líquido que se encuentra dentro del
recipiente 2 y, debido al trayecto de desplazamiento curvado, se
aleja de nuevo de éste.
Esto posibilita, sin medidas de sellado
complejas, recubrir por ambos lados materiales que presentan la
flexibilidad necesaria para el trayecto de desplazamiento
curvado.
La figura 11 muestra además emisores 142a, 142b
y 142c de ultrasonidos opcionales, que se encuentran dentro del
volumen 2 de proceso y que están acoplados con éste, de tal manera
que estas potencias de ultrasonidos pueden irradiar el líquido. Esto
sirve para mejorar la homogeneidad del mezclado de los componentes
individuales del líquido, lo que conduce en general a un
recubrimiento más homogéneo del artículo o de la lámina.
El artículo 4 que debe recubrirse se guía
lateralmente en el caso mostrado en la figura 11 por carriles 144a y
144b guía, para poder respetar el trayecto de desplazamiento.
Naturalmente en la figura 11 también es posible
un recubrimiento por un lado de un artículo, siempre que los
carriles 144a y 144b guía presenten las medidas de sellado ya
descritas anteriormente, de modo que un líquido pueda encontrarse
por ejemplo sólo por encima del artículo 4 que debe recubrirse, y
sólo se recubra el lado superior del artículo 4.
La figura 12 muestra un ejemplo de realización
para un procedimiento para recubrir una superficie de un
artículo.
En primer lugar, en una etapa 200 de provisión
se proporciona un líquido que presenta los reactivos necesarios para
el recubrimiento. En una etapa 202 de avance se pone en contacto con
el líquido una superficie que debe recubrirse del artículo y se hace
pasar por el mismo, de modo que la superficie que debe recubrirse
permanece en contacto con el líquido durante un tiempo
determinado.
Mediante el paso por el mismo, o el movimiento
relativo con respecto al artículo o material que debe recubrirse se
garantiza que pueda tener lugar un recubrimiento continuo, también
cuando deban recubrirse materiales que tengan una extensión muy
grande en una dirección lateral, es decir que sean por ejemplo en
forma de banda.
En un procedimiento alternativo y no según la
invención representado igualmente mediante la figura 12, tras la
etapa 200 de provisión se hace pasar el líquido, en una etapa 204,
por el artículo fijo. Esto puede usarse por ejemplo para recubrir,
en un funcionamiento diferenciado, materiales discontinuos, tales
como por ejemplo placas de plástico o sustratos de vidrio o
similares.
La figura 13 muestra un ejemplo de realización
de un sistema para recubrir un artículo en forma de tira. El sistema
representado esquemáticamente en la figura 13 comprende un
dispositivo 1 para recubrir una superficie, que puede corresponder a
uno de los ejemplos de realización anteriores comentados
ampliamente, y que es adecuado para recubrir una superficie de un
artículo 4. El sistema presenta además un cilindro 150 de
almacenamiento, que sirve para almacenar el artículo que debe
recubrirse y proporcionar el artículo a la unidad de transporte del
dispositivo 1 para recubrir un artículo. Además, el sistema presenta
un cilindro 152 de retirada, para recibir el artículo recubierto
desde la unidad de transporte y para almacenar el artículo
recubierto. Dado que los ejemplos de realización según la invención
de los dispositivos para recubrir una superficie de un artículo
permiten pasar el artículo de manera continua por el líquido con el
que debe realizarse el recubrimiento, con el sistema mostrado en la
figura 13 es posible recubrir materiales de "cilindro a
cilindro", por tanto recubrirlos de manera continua, sin tener
que dividir el material en piezas diferenciadas. Esto aumenta la
eficacia del recubrimiento y reduce significativamente los costes de
recubrimiento.
Tal como se representa en la figura 13, a este
respecto es favorable realizar un enrollado y desenrollado del
artículo que debe recubrirse sobre el cilindro 150 de almacenamiento
o sobre el cilindro 152 de retirada de tal manera que el lado que
debe recubrirse del artículo 4 (el lado de artículo) esté orientado
hacia fuera en cada caso sobre los diámetros de los cilindros. De
este modo se gana tiempo adicional para el secado del producto
químico en la superficie del lado 4 de artículo, cuando éste se
enrolla en el cilindro 152 de retirada. Adicionalmente se evita que
el lado de artículo, es decir el lado que debe recubrirse, pueda
entrar en contacto con otros cilindros de guiado o de desvío, cuando
se usa una geometría tal como se muestra en la figura 13.
En ejemplos de realización adicionales de la
invención están previstos posibles cilindros de desvío adicionales.
Siempre que los cilindros de desvío toquen el lado de artículo,
éstos disponen en algunos ejemplos de realización o bien de un
dispositivo para proporcionar una película de líquido sobre la
superficie del cilindro de desvío o bien para generar un colchón de
aire sobre el que pueda flotar el artículo. Así se evita, incluso
cuando resulta necesario un desvío en la dirección del lado de
artículo por motivos técnicos, que la lámina recubierta o el
artículo recubierto se deteriore cualitativamente.
Las figuras 14a y 14b no muestran un ejemplo de
realización de la invención. Tal como ya se comentó mediante las
figuras 1 a 4, se guía el artículo 4 que debe recubrirse alrededor
de un cuerpo 202 en forma de cilindro o alrededor de un segmento 204
de arco circular. Alternativamente al caso comentado en las figuras
1 a 4, en el que el tambor, alrededor del cual se guía el artículo
4, rota, en los ejemplos de realización mostrados en las figuras 14a
y 14b además es posible que el tambor o el segmento 204 de arco
circular esté dispuesto de manera rígida. Los componentes restantes
corresponden a los componentes ya comentados en las figuras 1 a 4,
de modo que puede prescindirse de un nuevo comentario de estas
partes en este momento.
Dicho de otro modo, en los ejemplos de
realización mostrados en las figuras 14a y 14b únicamente se mueve
el artículo 4 que debe recubrirse, el tambor 202 o el segmento 204
de arco circular sirve únicamente para definir el trayecto. En
algunos ejemplos de realización, para garantizar un movimiento
relativo sin rozamiento del artículo 4 que debe recubrirse con
respecto al tambor 202 o con respecto al segmento 204 de arco
circular, tanto el tambor 202 como el segmento 204 de arco circular
están dotados de perforaciones, que posibilitan la salida de un gas
que se encuentran con sobrepresión en el tambor 202 o el segmento
204 de arco circular o de un líquido que se encuentra dentro de los
componentes, de modo que el artículo 4 que debe recubrirse pueda
deslizarse sobre una película de líquido o gas. Como gas puede
usarse a este respecto por ejemplo N2 o aire comprimido. Si se
calienta además el gas o el aire comprimido, puede aumentarse la
velocidad de proceso en la superficie del artículo 4 que debe
recubrirse o puede posibilitarse ahora un proceso, en caso de que
éste sea endotérmico. Dicho de otro modo, el gas actúa por un lado
como medio de transporte y por otro como protección o protector de
lado posterior para la superficie del artículo 4 que debe recubrirse
opuesta al líquido. De este modo se hace posible un recubrimiento
por un lado sin exceso en los bordes, cuando la presión del aire es
tan grande que éste impide en los bordes del artículo 4 que debe
recubrirse, que llegue líquido entre el lado posterior del artículo
que debe recubrirse y el tambor 202 del segmento 204 de arco
circular. Las geometrías mostradas en las figuras 14a y 14b para
guiar el artículo 4 que debe recubrirse son únicamente a modo de
ejemplo. En ejemplos de realización adicionales se usan por tanto
diferentes geometrías del elemento que define el trayecto (del
tambor 202 del segmento 204 de arco circular o de la forma de
realización alternativa). En particular son concebibles elementos
con una curvatura no constante, tal como por ejemplo elipsoide o
similar. También en estos ejemplos de realización es ventajoso que
el material, a partir del cual está formado el tambor, sea
resistente a la temperatura y/o al ácido, de modo que los aparatos
puedan limpiarse fácilmente por medio de ácido, o que en el caso de
una temperatura de proceso permanente no experimenten ningún daño.
Tal como ya se comentó anteriormente en este caso se consideran, por
ejemplo, cristal de cuarzo o PTFE como materiales, sin que estos
ejemplos deban entenderse como una lista excluyente.
Aunque en los ejemplos de realización anteriores
se recubrieron principalmente láminas o sustratos flexibles, la
aplicación del concepto descrito no se limita a tales materiales.
Más bien pueden recubrirse, en particular con los ejemplos de
realización con avance lineal, también materiales no flexibles,
tales como por ejemplo sustratos de vidrio, sustratos
semiconductores u otros sustratos mono o policristalinos y
materiales similares.
En la medida en que un secado rápido o un secado
completo del recubrimiento antes del enrollado o procesamiento
adicional del artículo recubierto no pueda conseguirse sin medidas
externas, ejemplos de realización adicionales pueden presentar
adicionalmente una unidad de secado, por medio de la cual se seca el
recubrimiento sobre la superficie del artículo que debe recubrirse,
antes de procesarlo adicionalmente.
Las geometrías, comentadas mediante los ejemplos
de realización anteriores, de los dispositivos en cuestión deben
entenderse únicamente a modo de ejemplo y pueden adaptarse de
cualquier manera a las circunstancias, siempre que se garantice que
el artículo que debe recubrirse pase por el líquido o se mueva con
respecto al líquido.
Adicionalmente, cuando se usan cilindros de
desvío con una película de agua o carros de vacío o componentes con
colchones de aire, puede desviarse prácticamente de cualquier manera
un artículo o banda que debe transportarse sin tocar el
recubrimiento. Si los cilindros se desvían hacia delante o se
presionan con una fuerza predeterminada contra el artículo que debe
transportarse, puede mantenerse además la tensión de banda necesaria
para un transporte sin pliegues de un material en forma de
banda.
Claims (15)
1. Dispositivo para recubrir una superficie de
un artículo con las siguientes características:
una unidad (2) para proporcionar un líquido que
presenta reactivos necesarios para el recubrimiento;
una unidad (3) de transporte, que está
configurada para provocar un movimiento relativo entre una
superficie que debe recubrirse del artículo (4) y el líquido,
mientras la superficie que debe recubrirse del artículo está en
contacto con el líquido, de modo que la superficie que debe
recubrirse permanece en contacto con el líquido durante un tiempo
predeterminado, para provocar un recubrimiento de la misma, estando
además configurada la unidad (3) de transporte para provocar el
movimiento relativo tangencialmente a la superficie que debe
recubrirse, de manera continua y sin invertir el sentido (5) de
movimiento;
una unidad (30; 80) de calentamiento, que está
configurada para calentar la superficie que debe recubrirse,
mientras la superficie que debe recubrirse del artículo está en
contacto con el líquido, hasta una temperatura a la que tiene lugar
una reacción de los reactivos mediante los que se provoca el
recubrimiento;
estando configurada la unidad (30; 80) de
calentamiento
para calentar un cilindro (3) de transporte
rotatorio de la unidad de transporte, que está dispuesto en el lado
del artículo (4) opuesto al líquido, para provocar el movimiento
relativo; y
estando diseñado el dispositivo para recubrir
por un lado un artículo (4) en forma de banda.
2. Dispositivo según la reivindicación 1, que
presenta además medios (60a, 60b; 74a, 74b) de sellado, que están
diseñados para delimitar la zona (50) de superficie del artículo que
se pone en contacto con el líquido.
3. Dispositivo según la reivindicación 2, en el
que los medios (60a, 60b; 74a, 74b) de sellado presentan una junta
labial, una junta de anillo deslizante o una junta de aire
comprimido.
4. Dispositivo según una de las reivindicaciones
anteriores, en el que la unidad para proporcionar un líquido
presenta además una unidad de mezclado, para mejorar la homogeneidad
del recubrimiento del artículo y/o presenta una unidad para renovar
y/o tratar y/o hacer circular el líquido (40).
5. Dispositivo según una de las reivindicaciones
1 a 4, en el que la unidad para proporcionar el líquido presenta un
recipiente (2) con una superficie interna, que está enfrentada a la
superficie que debe recubrirse del artículo (4) y cuya forma está
adaptada a la forma de la superficie que debe recubrirse del
artículo (4).
6. Dispositivo según una de las reivindicaciones
anteriores, en el que la unidad de transporte está configurada para,
en un lado del artículo opuesto al líquido, guiarlo sobre una capa
de transporte de un gas o de un líquido.
7. Dispositivo según una de las reivindicaciones
1 a 6, en el que la unidad (2) para proporcionar el líquido presenta
una posición (12) de entrada y una posición (14) de salida alejada
de la posición (12) de entrada para el líquido, estando configurada
la unidad (3) de transporte para transportar el artículo (4) desde
la posición (14) de salida del líquido hasta la posición (12) de
entrada a través de la unidad para proporcionar el líquido.
8. Dispositivo según una de las reivindicaciones
1 a 7, que presenta un cilindro (6) de guiado, que está configurado
para proporcionar una película de agua sobre una superficie del
mismo, para guiar una superficie recubierta del artículo (4).
9. Dispositivo según una de las reivindicaciones
1 a 8, en el que la unidad de transporte está diseñada para mover el
artículo (4) con una velocidad constante, mientras la superficie que
debe recubrirse está en contacto con el líquido.
10. Dispositivo según una de las
reivindicaciones 1 a 9, que presenta además una unidad de secado,
para secar un artículo (4) recubierto, de modo que se seca un
recubrimiento de la superficie que debe recubrirse.
11. Procedimiento para recubrir por un lado una
superficie de un artículo en forma de banda con las siguientes
etapas:
proporcionar un líquido que presenta reactivos
necesarios para el recubrimiento; y
poner en contacto el artículo y el líquido y
generar un movimiento relativo entre una superficie que debe
recubrirse del artículo (4) y el líquido, mientras la superficie que
debe recubrirse del artículo está en contacto con el líquido, de
modo que la superficie que debe recubrirse permanece en contacto con
el líquido durante un tiempo predeterminado, para provocar un
recubrimiento de la misma, provocándose el movimiento relativo
tangencialmente a la superficie que debe recubrirse, de manera
continua y sin invertir el sentido (5) de movimiento; y
mientras la superficie que debe recubrirse del
artículo está en contacto con el líquido, calentar la superficie que
debe recubrirse hasta una temperatura a la que tiene lugar una
reacción de los reactivos mediante los que se provoca el
recubrimiento, calentando un cilindro (3) de transporte rotatorio,
que está dispuesto en el lado del artículo (4) opuesto al líquido,
para provocar el movimiento relativo.
12. Procedimiento según la reivindicación 11, en
el que se mueve el artículo con una velocidad constante, mientras la
superficie que debe recubrirse está en contacto con el líquido.
13. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 11 ó 12, que presenta además una delimitación de la
zona de superficie del artículo que se pone en contacto con el
líquido.
14. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 11 a 13, en el que el artículo es una lámina de
plástico o una lámina metálica, y en el que la superficie del
artículo se recubre con CdS.
15. Sistema para recubrir un artículo en forma
de tira con las siguientes características:
un dispositivo (1) para recubrir una superficie
de un artículo según una de las reivindicaciones 1 a 10;
un cilindro (150) de almacenamiento para
almacenar el artículo (4) que debe recubrirse y para proporcionar el
artículo (4) para la unidad (3) de transporte; y
un cilindro (152) de retirada para recibir el
artículo recubierto procedente de la unidad (3) de transporte y para
almacenar el artículo recubierto.
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| CN105642499B (zh) * | 2016-04-07 | 2018-07-31 | 安徽艾普智能装备有限公司 | 一种在汽车零件制造领域应用的连杆浸油机 |
| JP6873015B2 (ja) * | 2017-09-22 | 2021-05-19 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 塗工装置および塗工方法 |
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| WO2019111036A1 (en) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | Annexair Inc. | Composite panel, composite material, impregnator and method for manufacturing a composite panel |
| JP2018101798A (ja) * | 2018-02-13 | 2018-06-28 | 株式会社ニコン | 湿式処理方法 |
| CN110258830A (zh) * | 2019-07-21 | 2019-09-20 | 河南金拇指防水科技股份有限公司 | 浸没粘接胶的防水卷材铺设装置 |
| CN112176767A (zh) * | 2020-09-11 | 2021-01-05 | 全利机械股份有限公司 | 纤维制品的液体涂布机台 |
| CN115970978B (zh) * | 2022-11-29 | 2023-07-25 | 浙江福羊羊新材料科技有限公司 | 一种家具用三聚氰胺板生产浸胶设备及其使用方法 |
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Family Cites Families (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1805730A (en) * | 1925-07-13 | 1931-05-19 | Weinheim Emil | Means for impregating and coating flexible materials |
| US2170140A (en) * | 1936-08-19 | 1939-08-22 | Chambon Corp | Process of applying material to a sheet or web |
| GB809749A (en) * | 1956-05-28 | 1959-03-04 | British Cellophane Ltd | Improvements in or relating to the production of moisture-proof sheet wrapping materials |
| US3245334A (en) * | 1962-08-27 | 1966-04-12 | Du Pont | Noncontacting sealing method and apparatus |
| DE1546815A1 (de) * | 1964-07-09 | 1969-10-23 | Adox Du Pont Fotowerke | Verfahren und Vorrichtungen zum Aufbringen von schichtbildenden Loesungen und Dispersionen,insbesondere von fotografischen Emulsionen,auf Traegerbahnen |
| US3273535A (en) * | 1964-10-06 | 1966-09-20 | Rice Barton Corp | Trailing-blade-coater including adjustable drag-blade |
| US3429741A (en) * | 1965-06-11 | 1969-02-25 | Eastman Kodak Co | Method of coating using a bead coater |
| JPS4917853B1 (es) * | 1965-11-16 | 1974-05-04 | ||
| GB1206106A (en) * | 1966-09-02 | 1970-09-23 | English Clays Lovering Pochin | Improvements in or relating to the coating of sheet material |
| US3461843A (en) * | 1967-11-21 | 1969-08-19 | Stanford Research Inst | Toner application apparatus |
| AT306912B (de) * | 1968-08-26 | 1973-04-25 | Staub & Co A G | Verfahren und Maschine zur Behandlung von Haut- oder Lederstücken |
| GB1410785A (en) * | 1972-05-03 | 1975-10-22 | Agfa Gevaert | Adjustable coating pan |
| AT328049B (de) * | 1972-06-26 | 1976-02-25 | Thermotex Ges M B H & Co Kg | Verfahren zum steuern des uberziehens von isolierstoffbahnen mit einer elektrisch leitenden kunststoffdispersion |
| GB1450046A (en) * | 1972-09-29 | 1976-09-22 | British Steel Corp | Laminates |
| US3901188A (en) * | 1974-01-23 | 1975-08-26 | Dietmar C H Eberlein | Electrostatic liquid developing apparatus |
| FR2259649A1 (en) * | 1974-02-05 | 1975-08-29 | Commissariat Energie Atomique | Spreading device for forming thin films - esp. of soluble or fusible dielectric substances |
| US4116162A (en) * | 1977-08-31 | 1978-09-26 | Hoechst Aktiengesellschaft | Coating device |
| DE2917943C3 (de) * | 1979-05-04 | 1982-04-08 | Beiersdorf Ag, 2000 Hamburg | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Kunststoff-Folien- und Gewebebahnen mit einer Klebstoffmasse |
| EP0037844A1 (de) * | 1980-04-16 | 1981-10-21 | Erich Pagendarm | Verfahren und Vorrichtung zum Wärmeaustausch einer Bahn mit einer sie führenden, bewegten Fläche |
| US5319422A (en) * | 1989-09-05 | 1994-06-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Liquid electrophotographic developing device and method thereof |
| US5069158A (en) * | 1990-03-27 | 1991-12-03 | Italimpianti Of America, Inc. | Hydrostatic bearing support of strip |
| US5298288A (en) * | 1991-02-14 | 1994-03-29 | Microelectronics And Computer Technology Corporation | Coating a heat curable liquid dielectric on a substrate |
| FR2700779B1 (fr) * | 1993-01-22 | 1995-03-10 | Lorraine Laminage | Procédé pour l'épuration d'un bain de revêtement de produits métallurgiques par un alliage métallique, et installation pour la mise en Óoeuvrer de ce procédé. |
| EP0877713B1 (en) * | 1996-01-29 | 2005-02-16 | Electrochemicals Inc. | Ultrasonic mixing of through hole treating compositions |
| US5795625A (en) * | 1996-07-16 | 1998-08-18 | Eastman Kodak Company | Coating solution distribution apparatus |
| JPH1133506A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-09 | Tadahiro Omi | 流体処理装置及び洗浄処理システム |
| US6428851B1 (en) * | 2000-03-01 | 2002-08-06 | Bethlehem Steel Corporation | Method for continuous thermal deposition of a coating on a substrate |
| US6482264B1 (en) * | 2000-10-26 | 2002-11-19 | General Electric Company | Systems and methods for fabrication of coating libraries |
| JP4953182B2 (ja) * | 2001-08-27 | 2012-06-13 | 大王製紙株式会社 | Ｓａｐ分散スラリーのコーティング装置およびシート状吸収体の製造方法 |
| US6773752B2 (en) * | 2002-10-30 | 2004-08-10 | Feng Shern Enterprise Co., Ltd. | Method for making synthetic leather |
| DE102005054191B3 (de) * | 2005-11-14 | 2007-01-04 | Maschinenfabrik Herbert Meyer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von Flächen in strukturierter Form mit granulatförmigem Material |
| DE102006007446B3 (de) * | 2006-02-17 | 2007-08-02 | Stangl Semiconductor Equipment Ag | Vorrichtung und Verfahren zum gleichmäßigen Beschichten von Substraten |
| DE102008007570A1 (de) * | 2007-11-07 | 2009-05-20 | Stangl Semiconductor Equipment Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung einer Oberfläche |
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