ES2390333A1 - Portamuestras para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío y dispositivo para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío que incorpora dicho portamuestras. - Google Patents

Portamuestras para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío y dispositivo para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío que incorpora dicho portamuestras. Download PDF

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ES2390333A1 ES201030188A ES201030188A ES2390333A1 ES 2390333 A1 ES2390333 A1 ES 2390333A1 ES 201030188 A ES201030188 A ES 201030188A ES 201030188 A ES201030188 A ES 201030188A ES 2390333 A1 ES2390333 A1 ES 2390333A1
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Abstract

Portamuestras para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío y dispositivo para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío que incorpora dicho portamuestras.Permite recubrimiento multicapa de varios sustratos sin interrumpir las condiciones de vacío, temperatura y presión del procedimiento, seleccionando para cada sustrato el número de capas y el material de recubrimiento. El portamuestras (1) comprende una placa (2) con canales (3) que alojan los substratos y que comprenden tapas (9) deslizables en ranuras (13) para cubrir o descubrir los sustratos actuando sobre unos pivotes (11) fijados a cada canal (3). El dispositivo (15) incluye una campana (5) que aloja el portamuestras (1), y unas varillas (14) con un extremo exterior a la campana con un mango (20) y un extremo interior con un empujador (21) que acciona los pivotes (11). En la campana (5) existe un carrusel (17) con navecillas (16) donde se ubican los materiales para el recubrimiento, seleccionándose cada uno de ellos en cada paso del procedimiento.

Description

5
PORTAMUESTRAS PARA RECUBRIMIENTO MUL TICAPA POR EVAPORACIÓN EN VACÍO Y DISPOSITIVO PARA RECUBRIMIENTO MULTICAPA POR EVAPORACIÓN EN VACÍO QUE INCORPORA DICHO PORTAMUESTRAS DESCRIPCIÓN
OBJETO DE LA INVENCIÓN
1 o
La presente invención se puede incluir en el campo técnico de la producción de recubrimientos de alta calidad, en particular, en el campo de la investigación para obtención de materiales con recubrimientos multicapa por medio de evaporación en vacío.
15
El objeto de la presente invención trata de un portamuestras para efectuar recubrimientos multicapa por evaporación en vacío, así como un dispositivo para efectuar tales recubrimientos multicapa por evaporación en vacío que incorpora dicho portamuestras.
2 o
ANTECEDENTES DE LA INVENCIÓN
2 5 3 o
En la producción de sistemas de recubrimientos de alta calidad, es esencial tener un control del proceso de deposición. En el caso particular de recubrimientos multicapa, resulta interesante obtener en la misma operación muestras de distinto número de capas de materiales distintos obtenidas en las mismas condiciones de crecimiento, con el fin de poder investigar sobre la manera en que se depositan las sucesivas capas de material. Este requisito es fundamental para determinar los problemas existentes entre las interfases en función del número de capas y de la naturaleza del material depositado y, por consiguiente, resulta condición necesaria para el estudio de los problemas entre las fronteras de los diferentes materiales y para poder determinar la adecuada conexión entre las diferentes capas.
A modo de ejemplo, la casa Edwards es una conocida empresa dedicada
a la tecnología de vacío que desarrolla productos empleados en el recubrimiento
por deposición de vapor en vacío. Así, por ejemplo, el sistema Auto 306 de
Edwards constituye una herramienta de investigación a este respecto que utiliza
5
un sistema de vacío de alta calidad. El referido sistema Auto 306 es una unidad
compacta dotada de pantalla táctil que presenta una campana de vidrio
adaptada para contener en condiciones de vacío un portamuestras sobre el que
se produce el recubrimiento multicapa de un sustrato por medio de deposición
en vacío mediante evaporación térmica.
10
En este tipo de aparatos, el portamuestras gira en torno a su eje central
vertical mientras un compuesto sólido, una capa del cual se desea depositar
sobre un sustrato dispuesto en el portamuestras en el interior de la campana, es
evaporado en el interior de dicha campana. El material a evaporar se encuentra
15
depositado en una navecilla de un metal refractario, tal como por ejemplo
tungsteno ó molibdeno, cuyos extremos están conectados a dos electrodos entre
los que se aplica una tensión. Un carrusel donde se pueden alojar distintas
navecillas, cada una de las cuales contiene un compuesto que se desea
depositar, se puede girar desde fuera para poder colocar la navecilla adecuada
2 o
de forma selectiva entre los electrodos.
Las limitaciones del mencionado equipo, así como del resto de los
equipos de esta y otras casas empleados para este fin, consisten en la
imposibilidad de realizar con dichos equipos el recubrimiento multicapa
2 5
simultáneo de varios sustratos con diferentes materiales y número de capas en
las mismas condiciones de recubrimiento (presión, temperatura, etc.), de manera
que se posibilite el estudio del mecanismo de deposición, bajo las mismas
condiciones de recubrimiento, de capas de diferentes materiales sobre diferentes
sustratos, variando tanto los materiales como el número de capas, de unos
3 o
sustratos a otros.
DESCRIPCIÓN DE LA INVENCIÓN
5
La presente invención resuelve el inconveniente mencionado por medio de, según un primer aspecto, un portamuestras que permite la deposición simultánea en vacío, sobre diferentes sustratos, de varias capas de número y materiales variables de unos sustratos a otros, por el método de evaporación térmica y, según un segundo aspecto, por medio de un dispositivo que incorpora dicho portamuestras.
10 15
El portamuestras según el primer aspecto de la invención comprende una placa de un material apto para mantenerse física y químicamente estable de manera suficiente ante las condiciones de presión y temperatura, así como ante la presencia de reactivos, propios de procedimientos de deposición multicapa por evaporación térmica mencionados anteriormente. A modo de ejemplo explicativo y no limitativo, el portamuestras está fabricado preferentemente en aluminio o acero inoxidable.
2 o
Cualquier material susceptible de ser depositado mediante el método descrito puede ser depositado empleando el portamuestras de la invención. A modo de ejemplo no limitativo, se mencionan metal 1metal (Cu /Al, Cu/Au, Ag/Pt, etc.), así como multicapas reflectantes ó antirreflectantes, sulfuro de zinc 1 fluoruro de magnesio (ZnS 1MgF2) o sulfuro de antimonio 1fluoruro de magnesio (Sb3S2 1MgF2).
25
El portamuestras está adaptado para ser empleado en el interior de una campana en un dispositivo de recubrimiento por evaporación térmica de prestaciones similares al mencionado Edwards Auto 360, tal como se ha descrito anteriormente.
30
La placa comprende en una de las superficies una pluralidad de canales que parten en su extremo exterior desde el contorno exterior de dicho portamuestras y presentan un extremo interior cerrado. Dichos canales están
adaptados para que en ellos repose un sustrato sobre el que depositar
posteriormente el número de capas prescrito de los compuestos seleccionados.
La existencia de varios canales permite efectuar simultáneamente
(entendiéndose como tal "a lo largo del mismo procedimiento de recubrimiento")
5
la deposición de capas de recubrimiento sobre más de un sustrato.
La placa presenta preferentemente una forma circular. Esta forma
circular, si bien no es esencial para la definición del portamuestras, facilita la
construcción del dispositivo de recubrimiento, en particular, de la campana,
1 o
puesto que dicho portamuestras está dotado, como se ha mencionado
anteriormente de un giro en torno a su eje central vertical respecto de la
campana, con el fin de facilitar la distribución uniforme del recubrimiento en los
diferentes sustratos.
15
Con el fin de aprovechar de manera óptima la simetría cilíndrica dada por
la configuración circular del portamuestras, los diferentes canales se disponen
preferentemente de alguna manera regular y simétrica sobre la superficie del
portamuestras.
20
Los canales definen en su intersección con la placa una superficie inferior
y una superficie lateral. En la superficie inferior se deposita el sustrato que se
desea recubrir, en una posición sustancialmente cercana al extremo interior del
canal, sujeto a la superficie inferior. El portamuestras incorpora unas tapas
adaptadas para cubrir selectivamente al menos la zona cercana al extremo
2 5
interior de cada uno de los canales, permitiendo aislar discriminadamente el
sustrato y evitar la deposición del compuesto seleccionado sobre ese sustrato.
Las tapas son deslizables respecto de los canales de manera guiada y
presentan unos medios de desplazamiento de dichas tapas, accionables desde
el exterior de la campana, para selectivamente tapar o destapar parcial o
3 o
totalmente a voluntad el sustrato, sin necesidad de interrumpir las condiciones de
presión, temperatura y vacío del interior de la campana en el caso de que se
desee que unos sustratos sean recubiertos por diferentes materiales de
recubrimiento o en diferente número de capas.
Según una realización preferida de la invención, los medios de
desplazamiento comprenden sendos pivotes que sobresalen de cada tapa y que
5
están conectados a unos medios de accionamiento exteriores a la campana
desde los cuales se permite la apertura ó cierre individualizados de las tapas de
cada canal. Asimismo, según una realización preferida de la invención, los
medios de desplazamiento comprenden sendas ranuras dispuestas en la
superficie lateral de los canales, por el interior de las cuales se desplazan de
1 o
forma guiada las tapas.
Constituye un segundo objeto de la invención un dispositivo para
recubrimiento multicapa de sustratos mediante evaporación en vacío que emplea
el portamuestras descrito anteriormente, el cual permite obtener en el mismo
15
procedimiento de recubrimiento (es decir, sin alterar las condiciones de presión,
temperatura) una pluralidad de sustratos recubiertos de manera multicapa por
diferentes compuestos, donde el número de capas de recubrimiento de cada
sustrato, el orden de dichas capas y la naturaleza de los compuestos de
recubrimiento pueden variar de un sustrato a otro.
20
Dicho dispositivo de recubrimiento según la invención comprende, como
se ha adelantado previamente, una campana, en el interior de la cual se aloja el
portamuestras descrito anteriormente. La campana estará sometida a
condiciones de presión, temperatura y vacío adecuadas para efectuar
2 5
recubrimientos multicapa por deposición mediante evaporación térmica. Dicha
campana comprende una carcasa transparente, así como una cubierta en su
parte superior.
El recubrimiento consiste en evaporar el material de recubrimiento desde
3 o
el estado sólido, calentándolo a la temperatura adecuada y condensar dicho
material de recubrimiento después sobre un substrato formando una película.
Para calentar el material de recubrimiento, el método más común es colocar
dicho material de recubrimiento en una navecilla generalmente de tungsteno o
molibdeno, dispuesto entre dos electrodos para calentar eléctricamente
aplicando entre los extremos una tensión procedente de una fuente que posee el
equipo.. También se pueden utilizar en otros casos en lugar de navecillas,
5
filamentos del material refractario (tungsteno) enrollados (cestillas) que alojan en
su interior el material a evaporar por ejemplo en forma de hilo (Au ó Pt).
Puesto que el recubrimiento es multicapa con compuestos de
recubrimiento diferentes, es necesario que el dispositivo de la invención
1 o
incorpore un carrusel que aloja una pluralidad de dichas navecillas y se puede
girar desde fuera.
Durante el procedimiento de recubrimiento se puede elegir y conectar una
u otra de las navecillas para la evaporación del material alojado en ellas. El
15
proceso comprende: a) se conecta una navecilla y se evapora el material
suficiente para que la película adquiera el espesor adecuado. Se para la
evaporación de ése material y, b) se gira el carrusel para conectar otra navecilla
con otro material. Se sigue el mismo procedimiento anterior. Así sucesivamente.
En el proceso antes de empezar cada evaporación, se abre o se cierra el canal
2 o
correspondiente por medio del deslizamiento de la tapa. Según una realización
preferida de la invención, el carrusel está unido por medio de un sistema de
engrane a una rueda exterior a dicha campana, de modo que el giro manual de
la rueda produce a su vez el giro del carrusel, permitiendo ubicar en contacto con
los electrodos la navecilla que contiene el material seleccionado en cada
2 5
operación de recubrimiento.
Como se ha explicado anteriormente, el dispositivo comprende unos
medios de desplazamiento de las tapas del portamuestras, accionables desde el
exterior de la campana, para selectivamente tapar o destapar parcial o
3 o
totalmente a voluntad el sustrato, sin necesidad de interrumpir las condiciones de
presión, temperatura y vacío del interior de la campana. Asimismo, tal como se
ha mencionado anteriormente, la invención comprende unos medios de
accionamiento por medio de los cuales se acciona el movimiento de las tapas.
Según una realización preferida de la invención, los medios de
accionamiento comprenden unas varillas conectadas a los pivotes de las tapas,
5
de modo que el accionamiento de las varillas provoca el desplazamiento de las
tapas. La placa incorpora sendos topes para evitar que se desprendan las tapas
accidentalmente.
Tal como se ha comentado anteriormente, la invención permite la
1 o
obtención de multicapas con diferente número de capas de diferentes materiales
obtenidos en el mismo proceso, en las mismas condiciones de presión,
temperatura, etc. Para el caso de recubrimiento óptico, se obtienen multicapas
con características antirreflectantes o reflectantes de alta calidad.
15
La invención destaca adicionalmente porque permite investigar cómo se
van depositando sucesivamente las diferentes capas de una multicapa. Los
problemas en las interfases son diferentes según el número de capas y los
materiales utilizados. En el caso de capas policristalinas, por ejemplo, pueden
surgir muchos problemas entre las fronteras de grano de los diferentes
2 o
materiales. La invención permite estudiar la adecuada conexión entre las capas
para que su aplicación sea óptima.
La invención también puede ser empleada en la obtención de multirredes
epitaxiales que se pueden hacer crecer, por ejemplo, mediante haces
2 5
moleculares (MBE, Molecular Beam Epitaxy, Epitaxi a de Haces Moleculares). En
este caso, al depositar las monocapas cristalinas, la conexión entre los
parámetros de red de los distintos materiales hace que aparezcan a veces
problemas de dislocaciones. La invención ayuda a determinar el criterio de
formación de tales dislocaciones en función del número de capas.
30
Otra característica positiva adicional de la invención es que permite la
mejora del estudio del crecimiento de las capas de compuestos depositados,
apreciándose la manera en que dichos compuestos encajan entre sí y la manera en que se forman las intercapas.
5 1 o
DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS Para complementar la descripción que se está realizando y con objeto de ayudar a una mejor comprensión de las características de la invención, de acuerdo con un ejemplo preferente de realización práctica de la misma, se acompaña como parte integrante de dicha descripción, un juego de dibujos en donde con carácter ilustrativo y no limitativo, se ha representado lo siguiente:
Figura invención.
1.Muestra una vista en perspectiva del portamuestras de la
15
Figura 2.-Muestra una vista en perspectiva del portamuestras unido al vástago y al árbol por medio de un tornillo.
Figura 3.-Muestra una vista en perspectiva de la cubierta de la campana.
20
Figura 4.-Muestra una vista en perspectiva del dispositivo de la invención.
REALIZACIONES PREFERENTES DE LA INVENCIÓN
2 5
A continuación se procede a la descripción detallada, con ayuda de las figuras adjuntas, de sendos ejemplos de realización según dos aspectos de la invención.
PRIMERA REALIZACIÓN: PORTAMUESTRAS
3 o
En esta primera realización preferente de la invención se describe, con ayuda de la figura 1, un portamuestras (1) para recubrimiento multicapa selectivo de una pluralidad de sustratos por medio de evaporación al vacío de diversos
materiales de recubrimiento, todo ello en el mismo procedimiento de
recubrimiento.
El portamuestras (1) de la invención comprende una placa (2) cilíndrica,
5
de aluminio o acero inoxidable, que está dotada de una pluralidad de canales (3)
dispuestos en una cara de la placa (2). Los canales (3) presentan un extremo
exterior (23) abierto dispuesto en el borde de la placa (2) y un extremo interior
(24) cerrado. Sobre cada uno de los canales (3) puede reposar un sustrato que
recibirá posteriormente un número determinado de capas de recubrimiento de
1 o
los materiales prescritos.
Los sustratos ubicados en cada uno de los canales (3) pueden ser o no
idénticos, así como estar recubiertos por el mismo número o distinto de capas de
los mismos o distintos materiales de recubrimiento y en la misma o distinta
15
secuencia.
Los canales (3) definen en su intersección con la placa (2) una superficie
inferior (7) y una superficie lateral (8). En la superficie inferior (7) está depositado
el sustrato que se desea recubrir, disponiéndose dicho sustrato en una posición
2 o
cercana al extremo interior (24) de los canales (3). El sustrato se sujeta a la
superficie inferior (7) por medio de una plaquita metálica (12) atornillada a la
superficie inferior (7). El portamuestras (1) incorpora unas tapas (9) adaptadas
para cubrir selectivamente la zona cercana al extremo interior (24) de cada uno
de los canales (3), permitiendo aislar o mostrar discriminadamente el sustrato y
2 5
evitar o permitir la deposición de un material sobre el sustrato. Las tapas (9) son
deslizables respecto de los canales (3) de manera guiada en el interior de unas
ranuras (13) dispuestas en la superficie lateral (8) de los canales (3). Por medio
de dichas ranuras (13) las tapas (9) deslizan, accionadas desde el exterior,
permitiéndose tapar o destapar total o parcialmente de manera selectiva el
3 o
sustrato, sin necesidad de interrumpir las condiciones de presión, temperatura y
vacío del procedimiento de recubrimiento.
SEGUNDA REALIZACIÓN: DISPOSITIVO DE RECUBRIMIENTO
En esta segunda realización preferente de la invención se describe un
dispositivo (15) (ver figuras 3 y 4) de recubrimiento multicapa selectivo por
5
evaporación al vacío de una pluralidad de sustratos en el mismo procedimiento,
dicho dispositivo (15) incorpora el portamuestras (1) descrito anteriormente.
Dicho dispositivo (15) permite obtener en el mismo procedimiento de
recubrimiento (es decir, sin alterar las condiciones de presión, temperatura y
vacío) una pluralidad de sustratos recubiertos de manera multicapa por
1 o
diferentes materiales, donde el número de capas de recubrimiento de cada
sustrato, el orden de dichas capas y la naturaleza de los materiales de
recubrimiento pueden variar de un sustrato a otro.
La figura 4 muestra que el dispositivo (15) según la invención comprende
15
una campana (5), en el interior de la cual está alojado el portamuestras (1)
descrito antes. La campana (5) comprende una carcasa (25) transparente y una
cubierta (18). La campana (5) está adaptada para soportar condiciones de vacío,
temperatura y presión propias de los procedimientos de recubrimiento a los que
se refiere la invención.
20
El dispositivo (15) comprende adicionalmente un carrusel (17) dotado de
navecillas (16). Los materiales de recubrimiento se disponen en estado sólido en
el interior de las navecillas (16). Por medio de una fuente (no representada) de la
que está dotado el dispositivo (15) se aplica una tensión entre los electrodos a
2 5
los que está conectada la navecilla (1 6) produciendo el calentamiento de ésta y
la vaporización de los materiales de recubrimiento contenidos en ella, para
depositarse sobre los sustratos por condensación.
El empleo de un carrusel (17) dotado de varias navecillas (16) permite
3 o
seleccionar uno de los materiales de recubrimiento alojado en una de las
navecillas (16) y proceder a cubrir los sustratos seleccionados a voluntad.
Posteriormente, sin necesidad de modificar las condiciones en el interior de la
5
campana (5), se selecciona otro material alojado en el interior de otra navecilla (16) mediante giro del carrusel (17) desde el exterior. Antes se ha vuelto a seleccionar el conjunto de sustratos que van a ser recubiertos. El procedimiento continúa hasta que cada uno de los sustratos ha sido recubierto con el número de capas de los materiales de recubrimiento deseados.
1 o
La selección de la navecilla (16) activa en cada paso del recubrimiento se produce por medio del accionamiento de una rueda (4) exterior a la campana (5), que está conectada por medio de engranajes (no representados) al carrusel (17). Mediante el accionamiento de la rueda (4), el carrusel (17) gira hasta que la navecilla (16) seleccionada está en contacto con los electrodos.
15 2 o
Tal como se ha adelantado anteriormente, la invención comprende unos canales (3) para la ubicación de los sustratos, dotados de unas tapas (9) deslizables en el interior de sendas ranuras (13). El deslizamiento de las tapas (9) se lleva a cabo a través de unos pivotes (11) fijados a las tapas (9). En concreto, tal como se muestra en la figura 3, a través de la cubierta (18) de la campana (5) se encuentran unas varillas (14), uno de cuyos extremos sobresale de la cubierta (18) a modo de mango (20), mientras que el otro extremo comprende un empujador (21) adaptado para, mediante giro de la varilla (14) por accionamiento del mango (20), desplazar los pivotes (11 ), lo que permite abrir y cerrar las tapas (9). La placa (2) incorpora sendos topes (1 O) que evitan el deslizamiento accidental de las tapas (9) fuera de los canales (3).
2 5
El dispositivo (15) de la invención comprende adicionalmente un motor (26) (ver figura 3) que se emplea para hacer girar el portamuestras (1) ubicado en el interior de la campana (5) respecto de dicha campana (5) en torno a un eje vertical.
30
Con este objeto, el portamuestras (1) incorpora adicionalmente un vástago (6) de giro para accionar el giro del portamuestras a través del motor, mediante fijación del vástago (6) al árbol (19) de salida del motor (26) empleando

un tornillo (22), tal como se aprecia en las figuras 2 y 3. Mediante liberación del tornillo (22) se permite el accionamiento manual del vástago (6) del portamuestras, con lo cual se facilita el acceso a los pivotes (11) por parte de la varilla (14).

Claims (4)

  1. REIVINDICACIONES
    1.-Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de al menos un sustrato, que comprende una placa (2), caracterizado porque 5 adicionalmente comprende:
    -
    una pluralidad de canales (3) dispuestos en una de las superficies de la placa, que comprenden un extremo exterior (23) abierto en el contorno exterior de la placa (2), adaptados dichos canales (3) para alojar los sustratos a recubrir; y
    1 o -sendas tapas (9) adaptadas para cubrir al menos parcialmente cada uno de los canales (3), permitiendo dejar a cubierto o a descubierto discriminadamente los sustratos y evitar o permitir la deposición de un compuesto seleccionado sobre al menos parte de cada sustrato, donde las tapas
    (9) son deslizables respecto de la placa (2) de manera guiada y poseen unos
    15 medios de desplazamiento (11, 13) de dichas tapas (9), dichos medios de desplazamiento (11, 13) accionables desde el exterior, para selectivamente tapar
    o destapar parcial o totalmente a voluntad los sustratos, permitiendo obtener simultáneamente recubrimientos diferentes sobre los diferentes sustratos sin necesidad de interrumpir las condiciones de presión, temperatura y vacío del
    2 o procedimiento de recubrimiento.
  2. 2.-Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de acuerdo con la reivindicación 1 , caracterizado porque la placa (2) está fabricada en un material seleccionado entre aluminio y acero inoxidable.
    25 3.-Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de acuerdo con la reivindicación 1 , caracterizado porque la placa (2) es de forma circular.
    30 4.-Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de acuerdo con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de desplazamiento (11, 13) comprenden sendos pivotes (11) que sobresalen de
    cada tapa (9) y que están conectados a unos medios de accionamiento (14, 20,
    21) exteriores desde los cuales se permite el accionamiento individualizado de
    las tapas (9) de cada canal (3).
    5
    5.-Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío
    de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 1 y 4, caracterizado
    porque los medios de desplazamiento (11, 13) comprenden adicionalmente
    sendas ranuras (13) dispuestas en la superficie lateral (8) de los canales (3), que
    permiten el desplazamiento guiado de las tapas (9) por el interior de dichas
    1 o
    ranuras (13).
  3. 6.Dispositivo (15) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío
    que comprende:
    -una campana (5); y
    15
    -un carrusel (17) dotado de navecillas (16) en las cuales se encuentran
    dispuestos una pluralidad de compuestos de recubrimiento, donde el carrusel
    (17) permite la selección consecutiva de uno de los compuestos para su
    depósito por evaporación en el interior de la campana (5);
    caracterizado porque comprende adicionalmente el portamuestras (1) descrito en
    2 o
    las reivindicaciones 1 a 5, dispuesto dicho portamuestras (1) en el interior de la
    campana (5) y estando, dotado dicho portamuestras (1) de un movimiento de
    giro relativo a la campana (5) respecto a un eje vertical.
  4. 7.Dispositivo (15) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de
    2 5
    acuerdo con la reivindicación 6, caracterizado porque la campana (5) comprende
    una cubierta superior (18), donde los medios de accionamiento (14, 20, 21)
    comprenden sendas varillas (14), uno de cuyos extremos sobresale de la
    cubierta (18) a modo de mango (20), mientras que el otro extremo comprende un
    empujador (21) adaptado para, mediante giro de la varilla (18) por accionamiento
    3 o
    del mango (20), desplazar los pivotes (11 ), permitiendo la apertura y cierre de las
    tapas (9), cubriendo o descubriendo parcial o totalmente los sustratos a voluntad.
ES201030188A 2010-02-10 2010-02-10 Portamuestras para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío y dispositivo para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío que incorpora dicho portamuestras. Active ES2390333B1 (es)

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4879458A (en) * 1985-08-15 1989-11-07 R. J. Brunfeldt Company, Inc. Automatic sample system for mass spectrometer
DE19701505A1 (de) * 1996-01-19 1997-07-24 Hitachi Ltd Vorrichtung zum Analysieren einer Vielzahl von Analysesubstanzen
US5902548A (en) * 1996-07-03 1999-05-11 Beckman Instruments, Inc. Automatic chemistry analyzer
WO1999057561A2 (en) * 1998-05-01 1999-11-11 Gen-Probe Incorporated Automated diagnostic analyzer and method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4879458A (en) * 1985-08-15 1989-11-07 R. J. Brunfeldt Company, Inc. Automatic sample system for mass spectrometer
DE19701505A1 (de) * 1996-01-19 1997-07-24 Hitachi Ltd Vorrichtung zum Analysieren einer Vielzahl von Analysesubstanzen
US5902548A (en) * 1996-07-03 1999-05-11 Beckman Instruments, Inc. Automatic chemistry analyzer
WO1999057561A2 (en) * 1998-05-01 1999-11-11 Gen-Probe Incorporated Automated diagnostic analyzer and method

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