ES2399322T3 - Sumidero de aspiración de partículas finas y dispositivo de ablación láser de una capa superfcial de una pared que comprende dicho sumidero - Google Patents
Sumidero de aspiración de partículas finas y dispositivo de ablación láser de una capa superfcial de una pared que comprende dicho sumidero Download PDFInfo
- Publication number
- ES2399322T3 ES2399322T3 ES09804192T ES09804192T ES2399322T3 ES 2399322 T3 ES2399322 T3 ES 2399322T3 ES 09804192 T ES09804192 T ES 09804192T ES 09804192 T ES09804192 T ES 09804192T ES 2399322 T3 ES2399322 T3 ES 2399322T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- sump
- window
- base
- fine particles
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
- B08B7/0042—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B15/04—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area from a small area, e.g. a tool
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B17/00—Methods preventing fouling
- B08B17/02—Preventing deposition of fouling or of dust
- B08B17/06—Preventing deposition of fouling or of dust by giving articles subject to fouling a special shape or arrangement
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/142—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
- B23K26/1476—Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/34—Coated articles ; Surface treated articles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
Sumidero de aspiración de partículas finas que comprende - una embocadura (3b) destinada a estar dispuesta en la proximidad de una pared (2); - una base (3a) que comprende una ventana (3) adecuada para dejar pasar un haz láser (6); - una parte intermedia (5a) entre la embocadura (3b) y la base (3a); - una salida de aspiración (5) dispuesta en la parte intermedia (5a) del sumidero (1) destinada a aspirar laspartículas finas; - una pluralidad de entradas (110) de aire dispuesta al nivel de la base (3a), adecuada para crear, enfuncionamiento, una corriente de aire al nivel de la base (3a) del sumidero (1) impidiendo el depósito departículas finas en la ventana (3);
Description
Sumidero de aspiración de partículas finas y dispositivo de ablación láser de una capa superficial de una pared que comprende dicho sumidero.
La invención se refiere a un sumidero de aspiración de partículas finas, utilizado en particular en un dispositivo para la ablación láser de una capa superficial de una pared tal como un revestimiento mural de pintura, por ejemplo en una instalación nuclear.
La descontaminación y el saneamiento de las instalaciones nucleares que han quedado obsoletas o que han llegado a su límite de edad se han convertido en una prioridad para la industria nuclear. Se intenta limpiar las partes contaminadas de estas instalaciones, evitando producir desechos también contaminantes y procurando minimizar los efluentes de limpieza.
Una solución conocida para efectuar la descontaminación de instalaciones nucleares consiste en utilizar la ablación láser.
El documento EP 0 823 292 A describe un sumidero de aspiración de partículas finas según el preámbulo de la reivindicación 1.
El documento FR 2 887 161 describe un dispositivo de ablación láser para realizar la ablación de una capa de pintura mural que se debe descontaminar, por ejemplo en una instalación nuclear. En la figura 1 se representa un dispositivo de este tipo.
Un dispositivo de este tipo comprende un bastidor 10 en el que está montado por lo menos una fuente láser 4b, un deflector 4 óptico montado aguas abajo de la fuente láser 4b para recibir los haces láser 6. El deflector 4 óptico comprende en su salida un cabezal 4a de deflexión que comprende una lente de enfoque 4c para enfocar los haces láser 6 sobre una capa 2 que se debe ablacionar.
La ablación láser consiste en retirar una capa de espesor reducido del material contaminante que se debe retirar, mediante la interacción de los haces láser pulsados enfocados procedente de la fuente láser 4b con este material. Durante el impacto del láser, el material se desconcha y se crean unas partículas de dimensiones muy variadas, presentando las más finas una dimensión característica muy inferior al micrómetro. Se crean asimismo unas partículas mucho más gruesas que pueden alcanzar algunos cientos de micrómetros.
Al estar contaminadas las partículas, para evitar que se propaguen a la atmósfera está previsto un sumidero 1 que comprende:
- -
- una embocadura 3b que se aplica en la proximidad de la pared 2;
- -
- una base 3a frente a la embocadura 3b;
- -
- una parte intermedia 5a convergente entre la embocadura 3b y la base 3a; y
- -
- una salida de aspiración 5 dispuesta en la parte intermedia 5a del sumidero 1 para aspirar las partículas.
El sumidero 1 está aplicado en la proximidad de la pared 2 tal como se ilustra en la figura 1 y aspira el aire atmosférico exterior 8. Este aire 8, después de haber entrado en el sumidero, se carga con partículas producidas por el láser y este aire 9, cargado con partículas, se evacua a través de la salida de aspiración 5a.
Por otro lado, con el fin de evitar que se depositen partículas sobre el deflector óptico o la lente de enfoque, está prevista una ventana 3 que está dispuesta sobre la base 3a y que está fijada por ejemplo por medio de tornillos 7. Una ventana 3 de este tipo está tratada en superficie para dejar pasar un haz láser 6 con el menor número de pérdidas posible.
No obstante, un problema es que se pueden depositar unas partículas en la ventana e impedir una transmisión correcta del haz láser necesario para la ablación.
Estas partículas, además, por el contacto con el haz láser, pueden degradar el tratamiento de superficie de la ventana.
Presentación de la invención
La invención permite evitar que se depositen partículas en la ventana.
Así, según un primer aspecto, la invención se refiere a un sumidero de aspiración de partículas finas según la reivindicación 1.
El sumidero de la invención podrá presentar además, facultativamente, por lo menos una de las características siguientes:
- -
- comprende un elemento convergente, dispuesto al nivel de la entrada de aire, adecuado para hacer que el aire penetre en el sumidero tangencialmente a la ventana y después que fluya en el sumidero desde la ventana hacia la embocadura según una dirección perpendicular a la ventana;
- -
- el elemento convergente comprende una pared con una sección en forma de “S”;
- -
- las entradas de aire son unas aberturas longitudinales y/o circulares
- -
- la parte intermedia entre la embocadura y la base es convergente.
Asimismo, según un segundo aspecto, la invención se refiere a un dispositivo de ablación láser de una capa superficial de una pared según la reivindicación 7 que comprende un sumidero de aspiración de partículas finas según la reivindicación 1.
Otras características y ventajas de la invención se pondrán de manifiesto además en la descripción siguiente, que es meramente ilustrativa y no limitativa, y debe leerse con respecto a las figuras adjuntas en las que, además de la figura 1 ya comentada:
- -
- la figura 2 ilustra una vista detallada de la base de un sumidero;
- -
- las figuras 3a y 3b ilustran dos implementaciones posibles de un elemento convergente en un sumidero;
- -
- las figuras 4a y 4b ilustran la colocación de una aleta móvil en el sumidero según la invención; y
- -
- la figura 5 ilustra un perfil de flujo de aire en un sumidero.
Un sumidero de aspiración de partículas finas comprende, tal como se representa en la figura 1,
- -
- una embocadura 3b destinada a estar dispuesta en la proximidad de una pared 2;
- -
- una base 3a que comprende una ventana 3 adecuada para dejar pasar un haz láser 6;
- -
- una parte intermedia 5a convergente entre la embocadura 3b y la base 3a;
- -
- una salida de aspiración 5 dispuesta en la parte intermedia 5a del sumidero 1 destinada a aspirar las partículas finas.
El sumidero 1 se utiliza ventajosamente, aunque no de manera limitativa, en un dispositivo de ablación láser de una capa superficial de la pared tal como se presenta en la figura 1.
En la figura 2 se ilustra una vista detallada de la base 3a del sumidero 1 de aspiración de partículas finas.
La base 3a comprende por lo menos una entrada de aire 110, de modo que, en funcionamiento, y durante la aspiración efectuada por la salida de aspiración 5, se crea una corriente de aire al nivel de la base 3a, yendo la corriente de aire desde la entrada 110 hacia la salida 5. Esta corriente de aire impide al máximo el depósito de partículas finas en la ventana 3, ya que las partículas finas procedentes de la ablación son arrastradas por la corriente de aire.
El sumidero 1 comprende preferentemente varias entradas de aire 110 que están dispuestas por todo el contorno de la base 3a del sumidero 1, con el fin de mejorar aún más la eficacia del sumidero y garantizar que salga del sumidero el mayor número de partículas por la salida de aspiración 5.
Estas entradas de aire 110 son por ejemplo unas aberturas 11a, 11b y 11c longitudinales y/o circulares, de pequeña dimensión o de pequeño diámetro (por ejemplo del orden de 2 mm), para limitar por ejemplo la entrada de polvo del exterior en el sumidero (véase la figura 2 por ejemplo).
Con el fin de limpiar la ventana 3 en el caso en el que por lo menos una partícula se hubiera depositado no obstante en la ventana o con el fin de crear una cortina de aire que pueda cubrir toda la ventana 3 para impedir aún más dicho depósito, el sumidero 1 comprende además un elemento 12 convergente dispuesto al nivel de las entradas de
aire 110, por el contorno interno de la base 3a. El elemento 12 convergente se extiende desde la parte 5a intermedia hacia la ventana 3, formando una salida de aire 15 interna y periférica hacia la ventana 3. La salida 15 presenta por ejemplo una altura del orden de 5 mm.
Este elemento convergente 12 puede presentar una sección en forma de “S” (figura 3a), aunque son posibles otras formas, como por ejemplo una pared dispuesta perpendicularmente (figura 3b) u oblicuamente a la ventana 3.
En las figuras 3a y 3b se representa la disposición del elemento convergente 12 al nivel de las entradas de aire 110.
El elemento convergente 12 forma con las entradas 110, y aguas arriba de la salida 15, una cámara de tranquilización en la que se reduce la velocidad del aire. Gracias al elemento convergente 12, el aire penetra por las aberturas 11a, 11b, 11c, que pueden ser numerosas con el fin de maximizar la entrada de aire, y se homogeniza el flujo de aire en la cámara de tranquilización.
Debido a la aspiración por la salida 5, el flujo de aire, una vez homogenizado, se acelera al nivel de la salida 15 entre la ventana 3 y el elemento convergente 12, para formar, gracias a un flujo de aire centrípeto, una cortina 16 de aire que cubre así toda la ventana 3 (como se muestra en la figura 5).
Teniendo en cuenta la disposición del elemento convergente 12 y la salida 15, el flujo de aire es tangencial a la ventana 3 al nivel de la salida 15 periférica, y normal a la ventana 3 en su centro. El flujo del aire al nivel de la ventana 3 es por tanto casi axisimétrico, tal como se representa en la figura 5.
El flujo de aire según este perfil permite empujar cualquier partícula que penetre en el sumidero 1 por la embocadura 3b, empujándola hacia la salida de aspiración 5.
En efecto, cualquier partícula fina que entre en el flujo de aire tangencial centrípeto de la figura 5 no tiene tiempo de depositarse en la ventana 3, y se hace pasar al flujo normal a la ventana 3, cuyo caudal se evacua al nivel de la salida 5.
Cualquier partícula que se encuentre en el flujo normal es empujada por el flujo.
Con el fin de precisar algunos órdenes de magnitud, se puede dar a la salida 15 un grosor de 5 mm, según un cuadrado de 150 mm de lado.
Si la velocidad del aire en la sección de la salida 15 es de 4 m/s, el caudal de aire que pasa por la salida 15 es de 12 l/s.
El diámetro ϕ del flujo normal es de 62 mm aproximadamente.
El tiempo de permanencia medio del aire en el flujo tangencial centrípeto de aire es de 0,01125 segundos. Dicho flujo centrípeto impide el depósito de una partícula cuya velocidad de caída es de 0,4 m/s, lo cual corresponde a unas partículas esféricas cuya densidad aparente es de 2000 kg/m3 y el diámetro de 80 micrómetros.
Se debe observar que, con el fin de tener en cuenta un punto del flujo (situado en el eje AA’ del sumidero 1 visible en las figuras 2 y 5), punto en el que la velocidad del flujo del aire es nula (no es posible por tanto limpiar una partícula que se encuentra en este punto en la ventana), se dispone una aleta 14, móvil entre una posición abierta y una posición cerrada, al nivel de una parte de las entradas 110 de aire del sumidero 1 (véanse las figuras 4a y 4b).
De manera más precisa, la aleta 14 está dispuesta de manera que obtura o limita por lo menos parcialmente las entradas de aire 11a, 11b, 11c, a través de la salida 15, por ejemplo de manera intermitente, para destruir, por lo menos temporalmente, el carácter axisimétrico del flujo. Así, el flujo ya no presenta una velocidad nula al nivel del punto. Por tanto, en el caso en el que una partícula llegase al nivel de este punto, esta última será empujada hacia la salida 5 del sumidero 1.
La apertura y el cierre de la aleta 14 se podrían realizar por medio de un pequeño motor.
Ventajosamente, la aleta 14 no es totalmente estanca, para mantener un flujo en su nivel y evitar el depósito de partículas en la ventana 3. Así, se deja un juego 16 de algunos milímetros, por ejemplo 2 mm incluso cuando la aleta está en posición cerrada.
En consecuencia, además del hecho de que las partículas son empujadas lejos de la ventana 3, es posible limpiar la ventana 3 en el punto de manera intermitente.
Así, se garantiza que no haya ninguna partícula en la ventana sin tener que utilizar un dispositivo adicional que debería estar dispuesto en el trayecto del haz láser.
Claims (6)
- REIVINDICACIONES1. Sumidero de aspiración de partículas finas que comprende5 -una embocadura (3b) destinada a estar dispuesta en la proximidad de una pared (2);
- -
- una base (3a) que comprende una ventana (3) adecuada para dejar pasar un haz láser (6);
- -
- una parte intermedia (5a) entre la embocadura (3b) y la base (3a); 10
- -
- una salida de aspiración (5) dispuesta en la parte intermedia (5a) del sumidero (1) destinada a aspirar las partículas finas;
- -
- una pluralidad de entradas (110) de aire dispuesta al nivel de la base (3a), adecuada para crear, en
15 funcionamiento, una corriente de aire al nivel de la base (3a) del sumidero (1) impidiendo el depósito de partículas finas en la ventana (3);estando el sumidero caracterizado porque comprende una aleta (14) móvil destinada a obturar por lo menos parcialmente algunas entradas de aire. - 2. Sumidero según la reivindicación 1, que comprende un elemento convergente (12), dispuesto al nivel de la entrada (110) de aire, adecuado para hacer que el aire penetre en el sumidero tangencialmente a la ventana (3) y después hacer que fluya en el sumidero (1) a partir de la ventana (3) hacia la embocadura (3b) según una dirección perpendicular a la ventana (3).
- 3. Sumidero según la reivindicación 2, en el que el elemento convergente (12) comprende una pared con una sección en forma de “S”.
- 4. Sumidero según una de las reivindicaciones 1 a 3, que comprende varias entradas (110) de aire dispuestas 30 sobre un contorno de la base (3a) del sumidero.
- 5. Sumidero según una de las reivindicaciones 1 a 4, en el que las entradas de aire (110) son unas aberturas longitudinales y/o circulares.35 6. Sumidero según una de las reivindicaciones anteriores, en el que la parte intermedia (5a) entre la embocadura (3b) y la base (3a) es convergente.
- 7. Dispositivo de ablación láser de una capa superficial de una pared que comprende por lo menos una fuente láserde ablación, caracterizado porque comprende un sumidero de aspiración de partículas finas según una de las 40 reivindicaciones anteriores.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0859052 | 2008-12-23 | ||
| FR0859052A FR2940154B1 (fr) | 2008-12-23 | 2008-12-23 | Avaloir d'aspiration de particules fines et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi comprenant un tel avaloir |
| PCT/EP2009/067655 WO2010072720A1 (fr) | 2008-12-23 | 2009-12-21 | Avaloir d'aspiration de particules fines et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi comprenant un tel avaloir |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2399322T3 true ES2399322T3 (es) | 2013-03-27 |
Family
ID=41051039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES09804192T Active ES2399322T3 (es) | 2008-12-23 | 2009-12-21 | Sumidero de aspiración de partículas finas y dispositivo de ablación láser de una capa superfcial de una pared que comprende dicho sumidero |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8905743B2 (es) |
| EP (1) | EP2379237B1 (es) |
| JP (1) | JP5511843B2 (es) |
| CA (1) | CA2747266C (es) |
| DK (1) | DK2379237T5 (es) |
| ES (1) | ES2399322T3 (es) |
| FR (1) | FR2940154B1 (es) |
| PL (1) | PL2379237T3 (es) |
| WO (1) | WO2010072720A1 (es) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWM417976U (en) * | 2011-07-13 | 2011-12-11 | Chun-Hao Li | Laser machining table |
| US10307803B2 (en) * | 2016-07-20 | 2019-06-04 | The United States Of America As Represented By Secretary Of The Navy | Transmission window cleanliness for directed energy devices |
| CN111136381B (zh) * | 2020-01-17 | 2022-02-15 | 济南邦德激光股份有限公司 | 一种激光切割机的除尘方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4277131A (en) * | 1980-01-29 | 1981-07-07 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The United States Environmental Protection Agency | Antifouling window assembly |
| FR2752325B1 (fr) * | 1996-08-06 | 1998-10-09 | Cogema | Procede et dispositif de depouissierage de pastilles de combustible nucleaire au moyen d'un faisceau laser |
| US6576871B1 (en) * | 2000-04-03 | 2003-06-10 | Rexam Ab | Method and device for dust protection in a laser processing apparatus |
| JP4055353B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2008-03-05 | 松下電器産業株式会社 | 光加工装置 |
| US6693255B2 (en) * | 2001-03-22 | 2004-02-17 | R. F. Envirotech, Inc. | Laser ablation cleaning |
| US6890080B2 (en) * | 2002-01-25 | 2005-05-10 | Ircon, Inc. | Air purge system for optical sensor |
| DE10305258A1 (de) * | 2002-02-08 | 2003-08-21 | Creo Inc | Verfahren und Vorrichtung zum Schutz von optischen Elementen |
| KR100985744B1 (ko) * | 2002-03-14 | 2010-10-06 | 히다치 조센 가부시키가이샤 | 레이저 가공기에 있어서의 광학부품으로의 부착오염방지방법 및 장치 |
| GB2414954B (en) * | 2004-06-11 | 2008-02-06 | Exitech Ltd | Process and apparatus for ablation |
| FR2887161B1 (fr) | 2005-06-20 | 2007-09-07 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi, telle q'un revetement de peinture dans une installation nucleaire |
-
2008
- 2008-12-23 FR FR0859052A patent/FR2940154B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-12-21 PL PL09804192T patent/PL2379237T3/pl unknown
- 2009-12-21 CA CA2747266A patent/CA2747266C/fr not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-21 DK DK09804192.4T patent/DK2379237T5/da active
- 2009-12-21 WO PCT/EP2009/067655 patent/WO2010072720A1/fr not_active Ceased
- 2009-12-21 EP EP09804192A patent/EP2379237B1/fr active Active
- 2009-12-21 JP JP2011542803A patent/JP5511843B2/ja active Active
- 2009-12-21 US US13/141,767 patent/US8905743B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-21 ES ES09804192T patent/ES2399322T3/es active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DK2379237T3 (da) | 2013-02-25 |
| CA2747266A1 (fr) | 2010-07-01 |
| EP2379237B1 (fr) | 2012-11-28 |
| JP2012513300A (ja) | 2012-06-14 |
| US8905743B2 (en) | 2014-12-09 |
| FR2940154A1 (fr) | 2010-06-25 |
| EP2379237A1 (fr) | 2011-10-26 |
| JP5511843B2 (ja) | 2014-06-04 |
| CA2747266C (fr) | 2013-09-10 |
| FR2940154B1 (fr) | 2011-02-25 |
| US20120076881A1 (en) | 2012-03-29 |
| WO2010072720A1 (fr) | 2010-07-01 |
| PL2379237T3 (pl) | 2013-04-30 |
| DK2379237T5 (da) | 2013-03-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100890295B1 (ko) | 애블레이션을 위한 방법 및 장치 | |
| KR100277114B1 (ko) | 기판처리장치 | |
| CN106466757B (zh) | 激光加工装置 | |
| JP6004675B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| ES2399322T3 (es) | Sumidero de aspiración de partículas finas y dispositivo de ablación láser de una capa superfcial de una pared que comprende dicho sumidero | |
| WO2003026363A8 (en) | Discharge source with gas curtain for protecting optics from particles | |
| JP5063239B2 (ja) | レーザ加工用集塵装置 | |
| JP6659746B2 (ja) | 保護ウインドの汚れを抑制するレーザ加工ヘッド | |
| TWI695750B (zh) | 雷射處理裝置整流裝置以及雷射處理裝置 | |
| KR20140045874A (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 장치의 흡인로의 세정 방법 | |
| KR101876445B1 (ko) | 레이저 가공용 워크 테이블 및 이를 이용한 레이저 가공 장치 | |
| KR101306278B1 (ko) | 밀폐 스크린 도어장치 | |
| CN109093863A (zh) | 切削装置 | |
| JP4933348B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| ES2395706T3 (es) | Boca de sumidero de aspiración de partículas finas y dispositivo de ablación láser de una capa superficial de una pared que comprende dicho sumidero | |
| CN105478416B (zh) | 激光清洗的气帘防护装置和防护方法 | |
| CN113325669B (zh) | 光刻系统与在光刻系统中产生层流的设备 | |
| CN205463447U (zh) | 激光清洗的气帘防护装置 | |
| JP6602007B2 (ja) | レーザ照射装置及び表面処理方法 | |
| JP5808182B2 (ja) | レーザー加工装置用のノズルクリーナ | |
| KR102808087B1 (ko) | 레이저 가공용 흄 및 파티클 석션장치 | |
| KR102375586B1 (ko) | 열선에 의한 모재 표면의 손상을 방지하는 레이저 건식 세정 장치 | |
| JP2017006923A (ja) | 洗浄ブロー装置及びブロー装置 | |
| CN121733066A (zh) | 一种光路保护结构及激光加工装置 | |
| WO2024133076A1 (en) | Apparatus and method for producing a three-dimensional work piece comprising a flow trap |