ES2947332T3 - Interferómetro Fabry-Perot insensible a la fuerza - Google Patents

Abstract

Un etalón de Fabry-Perot está provisto de un primer y segundo espejos parcialmente reflectantes (12, 14) unidos a un espaciador cúbico (16). El espaciador (16) tiene un orificio cilíndrico (18) a través de su centro y los espejos (12, 14) están unidos, en el eje, a los extremos opuestos de este orificio (18). Cuatro elementos de soporte (22-28) están dispuestos simétricamente con respecto al eje en una configuración tetraédrica y constriñen el espaciador cúbico (16) en todos los grados de libertad. El espaciador cúbico (16) está aplanado en sus vértices, lo que da como resultado una distorsión modificada del espaciador (16) bajo la acción de una fuerza de compresión que actúa a través de los soportes. Esta estructura de etalon proporciona insensibilidad a las fuerzas de inercia debido a la aceleración en los seis grados de libertad (tres lineales y tres rotacionales) simultáneamente con insensibilidad a las fuerzas diferenciales. (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal)

Description

DESCRIPCIÓN

Interferómetro Fabry-Perot insensible a la fuerza

La presente invención se refiere a un interferómetro de Fabry-Perot y en particular a un conjunto que es insensible a los efectos de las fuerzas a las que puede someterse el interferómetro durante su uso, en particular a las fuerzas inerciales y diferenciales.

El documento US 6,276,806 B1 describe un micro-elatón y métodos asociados.

Los interferómetros de Fabry-Perot, o interferómetros, se usan en una variedad de aplicaciones, como filtros de interferencia, redes de telecomunicaciones, medidores de ondas ópticas, resonadores láser, para espectrometría de absorción láser, así como en aplicaciones astronómicas y espaciales, además de muchos otros usos. En muchas aplicaciones, el interferómetro debe tener una estructura que sea físicamente sólida y estable, para soportar las fuerzas a las que puede someterse el interferómetro durante el uso, causadas por la aceleración, los cambios de temperatura y muchos otros efectos. Si se cambia la estructura del interferómetro, por ejemplo, si se altera la distancia entre los espejos del interferómetro o se varía su orientación relativa, esto tiene un impacto adverso sobre el funcionamiento del interferómetro, lo que puede resultar en la generación de señales erróneas o control erróneo que se basa en el desempeño del interferómetro.

La presente invención busca proporcionar una estructura de interferómetro de Fabry-Perot que sea insensible o sustancialmente insensible a las fuerzas a las que puede someterse el interferómetro en la práctica. En la modalidad preferida, el interferómetro de Fabry-Perot se diseña de manera que su longitud, y por lo tanto su frecuencia, es sustancialmente insensible a las fuerzas inerciales debidas a la aceleración en los seis grados de libertad (tres lineales y tres rotacionales) mientras que al mismo tiempo es sustancialmente insensible a las fuerzas diferenciales aplicadas al interferómetro.

De acuerdo con un aspecto de la presente invención, se proporciona un interferómetro de Fabry-Perot como en la reivindicación 1.

Esta estructura de elemento espaciador proporciona insensibilidad a las fuerzas diferenciales aplicadas al interferómetro.

Esta disposición de los elementos de soporte puede dar al interferómetro insensibilidad a las fuerzas inerciales debidas a la aceleración en los seis grados de libertad (tres lineales y tres rotacionales). Cuando se combina con un elemento espaciador cuboidal como se enseña en la presente descripción, el interferómetro es simultáneamente insensible a las fuerzas inerciales y diferenciales. Se considera que estas características proporcionan un interferómetro con características significativamente mejores que las de los conjuntos de interferómetro conocidos.

En los soportes se aplica una fuerza de compresión dirigida hacia el centro de la cavidad.

Se proporcionan cuatro elementos de soporte en el elemento espaciador, dispuestos en forma de tetraedro.

Preferentemente, los elementos de soporte incluyen esferas de sujeción. Ventajosamente, generalmente el elemento espaciador cuboidal se proporciona con superficies de contacto aplanadas en la ubicación de las esferas de sujeción. El elemento espaciador se forma preferentemente de vidrio de expansión ultrabaja y los elementos de espejo primero y segundo se proporcionan preferentemente sobre sustratos hechos de sílice.

En una modalidad, el interferómetro incluye un anillo, preferentemente de sílice, entre cada uno de dichos espejos y su extremo aplanado asociado del elemento espaciador. Los anillos ayudan a hacer que el conjunto de interferómetro sea sustancialmente insensible a la temperatura.

También se describe en la presente descripción un interferómetro de Fabry-Perot que incluye el primer y segundo espejos parciales separados entre sí por un elemento espaciador en forma de cubo, una cavidad óptica que se extiende entre el primer y segundo espejos parciales y que tiene un eje óptico, y una pluralidad de elementos de soporte para soportar el elemento espaciador y que se ubican en el elemento espaciador simétricamente alrededor del eje óptico de la cavidad.

Esta estructura de soporte hace que el interferómetro sea sustancialmente insensible a las fuerzas inerciales debidas a la aceleración en los seis grados de libertad (lineal y rotacional).

Las modalidades de la presente invención se describen más abajo, a manera de ejemplo solamente, con referencia a los dibujos acompañantes, en los cuales:

Las Figuras 1 a 3 muestran, respectivamente, una vista en alzado frontal, una vista en planta y una vista en perspectiva de una modalidad preferida de interferómetro proporcionado de un espaciador cuboidal y que es insensible a las fuerzas inerciales y diferenciales;

La Figura 4 muestra una vista en sección transversal del interferómetro de las Figuras 1 a 3 en uso, mostrándose esto en forma esquemática;

Las Figuras 5 y 6 son, respectivamente, vistas en perspectiva y en alzado frontal de un modelo de elementos finitos para una geometría que representa un espaciador espaciador cuboidal truncado, como se proporciona en la modalidad preferida de interferómetro enseñada en la presente descripción, que muestra el desplazamiento axial bajo la acción de una fuerza de compresión aplicada en cuatro elementos de soporte proporcionados tetraédricamente alrededor del cubo;

La Figura 7 muestra los 12 grados de libertad que se restringen, teniendo en cuenta las fuerzas de fricción que actúan en el soporte. Las direcciones de las fuerzas que actúan en los puntos de soporte se muestran para cada grado de libertad;

La Figura 8 muestra los grados de libertad correspondientes a la rotación pura y la deformación formados a partir de combinaciones de las rotaciones aproximadas que se muestran en la Figura 7.

Las Figuras 9 y 10 son vistas en sección transversal de modalidades de uno de los puntos de soporte del interferómetro de las Figuras 1 a 4;

Las Figuras 11a y b son respectivamente vistas en perspectiva y en alzado lateral de otra modalidad de interferómetro que es sustancialmente insensible a la fuerza y la temperatura; y

La Figura 11c es una vista en sección transversal que muestra un modelo de expansión térmica de elementos finitos.

Con referencia a las Figuras 1 a 4, el interferómetro 10 de la modalidad preferida se forma por un par de espejos parcialmente reflectantes 12, 14 unidos a un espaciador cuboidal 16 con vértices truncados 25. Las Figuras 1 y 2 son, respectivamente, proyecciones en el yz y xy planos respectivamente; mientras que la Figura 3 muestra la geometría del interferómetro cúbico en una vista en perspectiva soportado en cuatro puntos en una configuración tetraédrica. La Figura 4 es una sección transversal por el plano z = 0. En las Figuras 1 a 3, los círculos sólidos (abiertos) indican las posiciones de los soportes 22, 24, 26, 28 que son visibles en (oscurecidos por) la proyección.

El espaciador 16 tiene en esta modalidad tres orificios cilíndricos 18 que se extienden ortogonalmente entre sí y pasan a través del punto central del cubo hacia los puntos centrales de sus respectivas caras. Uno de los orificios se oscurece por el espejo 12 en la Figura 3, pero es visible en la vista en sección transversal, Figura 4. Los espejos 12, 14 se unen, en el eje, a los extremos opuestos de uno de los orificios 18. El orificio 18 proporciona un vacío 20 en el elemento espaciador que permite la propagación de la luz entre los espejos.

En una modalidad, los espejos se unen a los extremos opuestos de los tres orificios para formar tres cavidades ortogonales.

En la modalidad preferida, el espaciador 16 está hecho de ULE y tiene una dimensión de borde de 50 mm. Los dos espejos 12, 14 son espejos de sílice fundida y están en contacto óptico en extremos opuestos del orificio 18 que se encuentra a lo largo del eje x . Los vértices del cubo se truncan (como muestra el número de referencia 25) a una profundidad de 6,7 mm formando ocho superficies planas normales a las diagonales del cuerpo del cubo. Los espejos 12, 14 tienen las siguientes dimensiones: diámetro exterior = 12,7 mm; espesor = 4,0 mm; radio de curvatura de la superficie cóncava = 500 mm; diámetro interior del anillo de contacto = 8,5 mm. Debe apreciarse que estas dimensiones son ilustrativas y no necesariamente únicas.

Así, los espejos 12 y 14 son típicamente curvos, preferentemente curvados esféricamente. Se forma una cavidad óptica entre las superficies internas de los espejos 12, 14 y las frecuencias de los modos de la cavidad óptica vienen dadas por

donde c es la velocidad de la luz, / es la distancia entre los puntos en los centros de las dos superficies del espejo y N es un número entero. Así, la frecuencia de un modo de cavidad se define por la longitud de la cavidad.

Se apreciará que la longitud del modo óptico soportado por la cavidad formada por los dos espejos 12, 14 se puede aproximar a la distancia entre los centros de las superficies de los espejos.

En la modalidad preferida, cuatro soportes 22, 24, 26, 28 dispuestos en una configuración tetraédrica restringen el espaciador cuboidal 16 en todos los grados de libertad (como se describe con más detalle a continuación) y el eje óptico se coloca simétricamente con respecto a estos soportes. En las Figuras 1 a 3, los círculos sólidos (abiertos) indican las posiciones de los soportes 22, 24, 26, 28 que son visibles en (oscurecidos por) la proyección.

Otras modalidades pueden incluir ocho soportes, cada uno proporcionado en un bisel o cuña de esquina respectiva del espaciador 16.

Una fuerza de inercia debida a la aceleración que actúa sobre el interferómetro 10 hará que este sufra una deformación elástica. Sin embargo, debido al alto grado de simetría, la longitud y, por lo tanto, la frecuencia del modo de cavidad es sustancialmente insensible a las fuerzas inerciales debidas a la aceleración en todos los grados de libertad (lineal y rotacional).

Queda una sensibilidad de segundo orden: que debido a la fuerza de inercia que surge de la rotación uniforme (fuerza centrífuga), utilizando el análisis de elementos finitos, la sensibilidad fraccional se calcula en -5,3 (+7,6) x 10-12 s2 para la rotación sobre el eje óptico (sobre ejes perpendiculares al eje óptico).

Más concretamente, una fuerza de inercia que actúa sobre el interferómetro 10 hace que éste sufra una deformación elástica y los puntos en los centros de los espejos 12, 14, que definen la longitud de la cavidad óptica, se desplacen. La longitud de la cavidad modificada es entonces:

donde u, v y w son los desplazamientos en el x, y y dirección z respectivamente en los dos centros de los espejos, indicados por los subíndices 1 y 2. El cambio fraccionario en longitud o frecuencia viene dado por:

Para la disposición simétrica que se muestra en las Figuras 1 a 4, la Tabla 1 a continuación proporciona los desplazamientos bajo las seis posibles fuerzas inerciales debido a la aceleración que puede actuar sobre el interferómetro 10 y los cambios de longitud correspondientes y fraccionarios. Las cantidades a-e denotan desplazamientos y se utilizan para mostrar las simetrías presentes. La columna, N//, usa el término inicial en la expansión de Taylor de /'. Al describir la dirección de la fuerza de inercia que actúa sobre el interferómetro 10, se utilizan los siguientes términos: axial - a lo largo de x; transversal - a lo largo y, z; balanceo - rotación sobre x; cabeceo - rotación sobre y; guiñada - rotación sobre z. Debido a la simetría, las dos direcciones transversales son idénticas y el cabeceo y la guiñada son idénticos. Los términos entre paréntesis (T^x, T^y, etc.) son las etiquetas dadas a los grados de libertad como se muestran en las Figuras 7 y 8.

Tabla 1

La fuerza axial y el balanceo no provocan ningún cambio de longitud. La fuerza transversal, el cabeceo y el balanceo dan como resultado desplazamientos transversales iguales y opuestos en cualquier extremo del eje. El cambio de longitud fraccional es proporcional al cuadrado de este desplazamiento transversal. Los tamaños de c y e dependen de las propiedades del material y las dimensiones absolutas del interferómetro. Para un interferómetro hecho de ULE (vidrio de expansión ultrabaja; módulo de Young, 67,6 GPa; relación de Poisson, 0,17; densidad, 2,21 g/cm3) con una longitud de borde de 50 mm, radio de perforación de 5 mm, radio de espejo de 6,35 mm, espesor del espejo de 4 mm y truncamiento en los vértices del cubo a una profundidad de 6,7 mm, un modelo de elementos finitos da una sensibilidad fraccionaria a la aceleración (transversal) del orden de 10-18/ms-2 y una sensibilidad fraccionaria a la aceleración angular (cabeceo/guiñada) del orden de 10-19/s-2.

Para constreñir el interferómetro 10, se aplica una fuerza de compresión, dirigida hacia el centro de la cavidad, en los soportes 22, 24, 26, 28 y nuevamente esto da como resultado una deformación elástica. En general, esto provoca un cambio en la longitud y la frecuencia del modo de la cavidad y entonces uno es sensible a los cambios en esta fuerza aplicada. Para proporcionar insensibilidad frente a tal deformación, el espaciador cuboidal 16 se trunca en sus vértices, dando como resultado una estructura en la que la longitud del modo de cavidad se hace sustancialmente insensible a la compresión mientras conserva su insensibilidad a la fuerza de inercia. El principio se ilustra en las Figuras 5 y 6 descritas a continuación.

Las Figuras 1 a 4 muestran la geometría del interferómetro 10 con su espaciador cuboidal 16 soportado en cuatro puntos 22, 24, 26, 28 en una configuración tetraédrica. Los soportes 22, 24, 26, 28 se centran en los cuatro planos de vértice que tienen vectores normales (1,1,1), (1,-1,-1), (-1,1,-1) y (-1,-1,1) y los centros de contacto forman los vértices de un tetraedro. Esta es la disposición más simétrica para los cuatro vértices de un tetraedro con respecto al eje, lo que proporciona una restricción suficiente y simétrica en tres dimensiones y siendo iguales las fuerzas que actúan sobre los cuatro puntos 22, 24, 26, 28.

Para un cubo con una dimensión de borde de 50 mm, las dimensiones son preferentemente las siguientes: radio del agujero, 5 mm; radio del espejo, 6,35 mm; espesor del espejo, 4 mm; vértices del cubo truncados a una profundidad de 6,7 mm.

Con referencia ahora a las Figuras 5 y 6, estas representan, respectivamente, vistas en perspectiva y en alzado frontal de un modelo de elementos finitos de una geometría representativa de un elemento espaciador cúbico truncado. Presentan desplazamiento axial por aplicación de una fuerza de compresión, dirigida hacia el centro de la cavidad, en los puntos de soporte 22, 24, 26, 28. Las zonas 36 indican zonas de desplazamiento axial positivo; zonas 38 indican zonas de desplazamiento axial negativo; mientras que las zonas 40 son zonas con desplazamiento axial cero. La escala de colores en las zonas 38 se trunca de modo que, en los soportes, donde el desplazamiento es mayor, la trama está ausente y se ve a través del otro lado del cubo. Para la geometría que se muestra, con los vértices cortados a una profundidad de 6,7 mm, los desplazamientos axiales y el cambio de longitud en el eje son cero. Por lo tanto, el interferómetro 10 es insensible a las fuerzas inerciales debidas a la aceleración en los seis grados de libertad mientras que, al mismo tiempo, es sustancialmente insensible a una fuerza de compresión dirigida hacia el centro de la cavidad.

En una realización práctica, las fuerzas de fricción actúan en los soportes y esto significa que la cavidad está, de hecho, restringida en 12 grados de libertad: seis correspondientes al movimiento de cuerpo rígido que surge de las fuerzas inerciales y seis correspondientes a la deformación que surge de las fuerzas diferenciales. Para deformaciones en las que los soportes se fuerzan uno hacia el otro en cualquiera de las direcciones definidas por los bordes del cubo, el cambio de longitud en el eje se anula en virtud de la geometría truncada. Para deformaciones donde dos soportes se fuerzan uno hacia el otro y dos se fuerzan a alejarse uno del otro, los desplazamientos axiales en los centros de los espejos son cero o se anulan y no hay cambio de longitud neta en el eje. Por tanto, la cavidad es insensible a las fuerzas diferenciales en todos los grados de libertad.

La Figura 7 muestra las direcciones en las que actúan las fuerzas en los cuatro puntos de soporte para los 12 grados de libertad que se restringen por el apoyo cuando se incluyen los efectos de las fuerzas de fricción. Los seis grados de libertad que corresponden aproximadamente a la rotación se pueden combinar para dar rotaciones puras o deformaciones que se muestran en la Figura 8. Los grados de libertad de traslación y rotación se activan por fuerzas inerciales. Los grados de libertad deformación se activan por fuerzas diferenciales.

La Tabla 2 a continuación proporciona los desplazamientos para los seis grados de libertad correspondientes a las fuerzas diferenciales que pueden actuar sobre el interferómetro 10 y los cambios de longitud fraccionarios correspondientes. Las cantidades f-i denotan desplazamientos y se utilizan para mostrar las simetrías presentes. La columna, N//, usa el término principal en la expansión de Taylor de l'. Los términos entre paréntesis (Di, D2, etc.) son las etiquetas dadas a los grados de libertad como se muestran en las Figuras 7 y 8.

Tabla 2

_{______}

En general, las deformaciones, D1-D3, dan como resultado desplazamientos axiales iguales y opuestos en cualquier extremo del eje y el cambio de longitud fraccional es proporcional a este desplazamiento. Sin embargo, para la geometría mostrada en las Figuras 5 y 6, para la cual los desplazamientos axiales son cero bajo la acción de una fuerza de compresión que actúa hacia el centro de la cavidad, los desplazamientos bajo deformaciones, D1-D3, también son cero. Las deformaciones, D1-D3, resultar en ningún cambio de longitud.

La compresión es, de hecho, un caso especial de fuerza diferencial y es igual a la suma de las deformaciones que actúan a lo largo de los tres ejes ortogonales: =Di+D2+D3. Por lo tanto, como el desplazamiento axial es cero para las deformaciones, D1-D3, para la geometría particular mostrada en las Figuras 5 y 6, el desplazamiento axial bajo la acción de una fuerza de compresión que actúa hacia el centro de la cavidad también es cero.

En una modalidad en la que se forman tres cavidades ortogonales mediante la unión de espejos a los extremos opuestos de los tres orificios, se puede encontrar una profundidad de corte en los vértices para la cual las tres cavidades son simultáneamente insensibles a las fuerzas inerciales, debido a la aceleración y las fuerzas diferenciales, en todos los grados de libertad.

Con referencia ahora a la Figura 9, se muestra una modalidad preferida de soporte para el interferómetro 10 que se enseña en la presente descripción. Como se describió anteriormente, el interferómetro 10 se proporciona preferentemente de cuatro soportes del tipo que se muestra en la Figura 9. Cada soporte 22, 24, 26, 28 incluye una esfera 41 mantenida en posición por una carcasa cónica 42 que se presiona por una fijación (no mostrada) para aplicar presión sobre la esfera 41 en una dirección hacia el punto central del interferómetro 10, en el punto central del espaciador 16.

Con referencia a la Figura 10, se muestra una modalidad del soporte en el que cada soporte consta de una semiesfera fijada a un poste que se presiona por una fijación (no mostrada) para aplicar presión sobre la esfera 41 en una dirección hacia el punto central del interferómetro 10, en el punto central del espaciador 16.

El espaciador cuboidal 16 se pule hasta quedar plano para tener una zona plana 46 en la ubicación de cada esfera 41, en un plano normal a la diagonal del cuerpo centrada en el punto de contacto. Esta disposición restringe tanto el desplazamiento como la rotación.

Los soportes 22, 24, 26, 28 restringen el movimiento en los seis grados de libertad (desplazamiento y rotación). El interferómetro 10 se monta así sobre cuatro esferas 41 retenidas dentro de carcasas cónicas fijas 42 y estas hacen contacto con el espaciador 16 en el centro de las áreas pulidas. Se aplica una fuerza de compresión dirigida hacia el centro de la cavidad 44 en todos los soportes 22, 24, 26, 28 que limitan el desplazamiento.

Con referencia ahora a la Figura 11, se muestra otra modalidad del interferómetro cuboidal 100 que es sustancialmente insensible a la fuerza, así como a la temperatura. Los sustratos de los espejos (12, 14) están hechos preferentemente de sílice para garantizar un ruido térmico bajo, mientras que el espaciador 16 está hecho preferentemente de vidrio de expansión ultrabaja (ULE) para la estabilidad térmica. La expansión de los espejos 12, 14 se compensa con la adición de un anillo de sílice, como se muestra en la Figura 11. El diseño es tal que el cero en el coeficiente efectivo de expansión térmica del compuesto ULE-silica interferómetro 100 no cambia con respecto al ULE y se puede seleccionar para que esté a 20 °C o a alguna otra temperatura conveniente.

La Figura 11c muestra un modelo de elementos finitos de expansión térmica del compuesto ULE-interferómetro de sílice a 20 °C. La expansión de los espejos 12, 14 se compensa con la adición del anillo de sílice 50. La zona 54 indica el desplazamiento alejándose del plano medio de la cavidad. La zona central 58 prácticamente no presenta desplazamiento y se produce desplazamiento cero en el plano medio y en las superficies del espejo.

En las Figuras 11a y 11b, la geometría del interferómetro se modifica para compensar la expansión térmica del espejo de sílice fundido. Se muestra una cuarta parte de la geometría completa para revelar el montaje del espejo. Los componentes ULE y de sílice fundida se etiquetan con U y S respectivamente. El espejo es reentrante y su expansión se compensa con la inserción de un anillo de sílice fundido, conectado al espejo a través de un anillo de ULE. El anillo de sílice fundida tiene un espesor de 4,4 mm y radios exterior e interior de 20 y 7,5 mm respectivamente. El anillo ULE tiene un espesor de 6,4 mm y radios exterior e interior de 10,05 y 3,5 mm respectivamente. Los vértices del cubo se pulen a una profundidad de 8,5 mm. La Figura 11c muestra la deformación del interferómetro bajo la acción de una etapa de cambio de temperatura. Se muestra una octava parte de la geometría. El desplazamiento axial en el centro del espejo es cero.

Las modalidades descritas anteriormente proporcionan una estructura de interferómetro que es estable cuando se fija, para soportar fuerzas inerciales y que, por lo tanto, es sustancialmente insensible a las fuerzas inerciales debidas a la aceleración en todos los grados de libertad (lineal y rotacional) así como a las fuerzas diferenciales. El interferómetro también es estable a las variaciones de temperatura.

Debe apreciarse que los materiales utilizados en las modalidades preferidas y las dimensiones y proporciones de los diversos elementos descritos en las modalidades preferidas pueden variar, es decir, no es necesario que sean los mismos que los proporcionados en relación con las modalidades preferidas descritas anteriormente.

Claims (11)

REIVINDICACIONES

1. Un interferómetro de Fabry-Perot que incluye el primer y segundo espejos parciales (12, 14) separados entre sí por un elemento espaciador (16) en forma de cubo, cuyo elemento espaciador (16) se proporciona con lados que proporcionan soporte, respectivamente, para el primer y segundo espejo; una cavidad óptica (20) que se extiende entre el primer y segundo espejos parciales y que tiene un eje óptico; una pluralidad de elementos de soporte (22, 24, 26, 28) para soportar el elemento espaciador (16) y se ubican simétricamente alrededor del eje óptico de la cavidad (20); siendo truncados los vértices (25) del elemento espaciador;

en donde dicha cavidad (20) se proporciona por un orificio (18) dentro del elemento espaciador;

en donde se aplica una fuerza de compresión dirigida hacia el centro de la cavidad en los soportes (22, 24, 26, 28);

incluyendo el interferómetro cuatro elementos de soporte (22, 24, 26, 28) posicionados tetraédricamente alrededor del elemento espaciador (16) y centrados en planos de vértice.

2. Un interferómetro de acuerdo con la reivindicación 1, en donde se proporcionan tres orificios (18) en el elemento espaciador (16), extendiéndose los orificios ortogonalmente entre sí a través de un punto central del elemento espaciador (16) y al centro de las respectivas caras del elemento espaciador.

3. Un interferómetro de acuerdo con la reivindicación 2, en donde el o cada orificio (18) es cilíndrico.

4. Un interferómetro de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, que incluye ocho soportes, cada uno provisto en un respectivo bisel o cuña de esquina del elemento espaciador.

5. Un interferómetro de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde los elementos de soporte (22, 24, 26, 28) incluyen esferas de sujeción.

6. Un interferómetro de acuerdo con la reivindicación 5, en donde el elemento espaciador (16) se proporciona con superficies de contacto aplanadas en la ubicación de las esferas de sujeción.

7. Un interferómetro de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde el primer y segundo espejos (12, 14) son curvos.

8. Un interferómetro de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde el primero y el segundo elementos de espejo (12, 14) se proporcionan sobre sustratos hechos de sílice.

9. Un interferómetro de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, que incluye un anillo (50) entre cada uno de dichos espejos y su lado asociado del elemento espaciador.

10. Un interferómetro de acuerdo con la reivindicación 9, en donde los anillos (50) están hechos de sílice.

11. Un interferómetro de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, que incluye seis espejos en contacto con el espaciador para formar tres cavidades ortogonales.