FR1016752A - Dispositif optique à contraste de phase variable et coloré - Google Patents

Dispositif optique à contraste de phase variable et coloré

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    • G02B21/08—Condensers
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0599361A1 (fr) * 1992-10-30 1994-06-01 International Business Machines Corporation Procédé d'inspection de masques à décalage de phase par accroissement de l'erreur de phase

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0599361A1 (fr) * 1992-10-30 1994-06-01 International Business Machines Corporation Procédé d'inspection de masques à décalage de phase par accroissement de l'erreur de phase
US5446540A (en) * 1992-10-30 1995-08-29 International Business Machines Corporation Method of inspecting phase shift masks employing phase-error enhancing

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