FR1037636A - Procédé et dispositif pour faire fonctionner des postes de pompage à vide poussécomportant des pompes à vide primaire et à vide poussé - Google Patents

Procédé et dispositif pour faire fonctionner des postes de pompage à vide poussécomportant des pompes à vide primaire et à vide poussé

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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00—Diffusion pumps
    • F04F9/04—Diffusion pumps in combination with fore pumps, e.g. use of isolating valves

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1253404B (de) * 1962-03-26 1967-11-02 Varian Associates Hochvakuum-Pumpvorrichtung
DE1503708B1 (de) * 1965-10-27 1970-11-26 Alcatel Sa Vakuumpumpanlage
FR2233879A5 (fr) * 1973-06-15 1975-01-10 British Oxygen Co Ltd

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