FR1038563A - Objectif électrostatique à électrode centrale épaisse - Google Patents

Objectif électrostatique à électrode centrale épaisse

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112985228A (zh) * 2021-02-05 2021-06-18 西安应用光学研究所 一种快速定心的光学元件中心厚度精密测量仪
CN112985228B (zh) * 2021-02-05 2024-02-27 西安应用光学研究所 一种快速定心的光学元件中心厚度精密测量仪

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