FR1246170A - Procédé de fabrication d'un halogénure de silicium purifié - Google Patents

Procédé de fabrication d'un halogénure de silicium purifié

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    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08—Compounds containing halogen

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