FR1324635A - Procédé et appareil pour fabriquer des conducteurs électriques par modification de la composition d'une matière de support - Google Patents

Procédé et appareil pour fabriquer des conducteurs électriques par modification de la composition d'une matière de support

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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H—ELECTRICITY
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