FR1355121A - Procédé et appareil pour impression photo-lumineuse - Google Patents

Procédé et appareil pour impression photo-lumineuse

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0124064A1 (fr) * 1983-04-29 1984-11-07 Siemens Aktiengesellschaft Procédé d'électroformage de pièces planes à structure conique sans symétrie de rotation

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0124064A1 (fr) * 1983-04-29 1984-11-07 Siemens Aktiengesellschaft Procédé d'électroformage de pièces planes à structure conique sans symétrie de rotation

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