FR1437252A - Dispositif pour la mesure de basses pressions de gaz - Google Patents

Dispositif pour la mesure de basses pressions de gaz

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Ruediger Wilberg
Horst-Guido Mueller
Guenter Mehlig
Wolfgang Hofmann
Peter Engelmann
Herbert Thorandt
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Hochvakuum Dresden VEB
Original Assignee
Hochvakuum Dresden VEB
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/02Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
    • H01J41/04Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00Vacuum gauges

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