FR1464644A - Procédé pour produire des régions monocristallines séparées dans un circuit intégré - Google Patents

Procédé pour produire des régions monocristallines séparées dans un circuit intégré

Info

Publication number
FR1464644A
FR1464644A FR29022A FR29022A FR1464644A FR 1464644 A FR1464644 A FR 1464644A FR 29022 A FR29022 A FR 29022A FR 29022 A FR29022 A FR 29022A FR 1464644 A FR1464644 A FR 1464644A
Authority
FR
France
Prior art keywords
integrated circuit
single crystal
crystal regions
regions separated
producing single
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
FR29022A
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Juergen Schuetze
Klaus Hennings
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Telefunken Patentverwertungs GmbH
Original Assignee
Telefunken Patentverwertungs GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Telefunken Patentverwertungs GmbH filed Critical Telefunken Patentverwertungs GmbH
Priority to FR29022A priority Critical patent/FR1464644A/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR1464644A publication Critical patent/FR1464644A/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W10/00Isolation regions in semiconductor bodies between components of integrated devices
    • H10W10/01Manufacture or treatment
    • H10W10/011Manufacture or treatment of isolation regions comprising dielectric materials
    • H10W10/019Manufacture or treatment of isolation regions comprising dielectric materials using epitaxial passivated integrated circuit [EPIC] processes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/02Local etching
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W10/00Isolation regions in semiconductor bodies between components of integrated devices
    • H10W10/10Isolation regions comprising dielectric materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
FR29022A 1964-10-14 1965-08-20 Procédé pour produire des régions monocristallines séparées dans un circuit intégré Expired FR1464644A (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR29022A FR1464644A (fr) 1964-10-14 1965-08-20 Procédé pour produire des régions monocristallines séparées dans un circuit intégré

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DET0027193 1964-10-14
FR29022A FR1464644A (fr) 1964-10-14 1965-08-20 Procédé pour produire des régions monocristallines séparées dans un circuit intégré

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR1464644A true FR1464644A (fr) 1967-01-06

Family

ID=25999943

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR29022A Expired FR1464644A (fr) 1964-10-14 1965-08-20 Procédé pour produire des régions monocristallines séparées dans un circuit intégré

Country Status (1)

Country Link
FR (1) FR1464644A (fr)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR1473933A (fr) Interconnexions pour circuits intégrés
FR1457032A (fr) Procédé pour former des semiconducteurs et structures réalisées par ce procédé
FR1509408A (fr) Procédé pour obtenir des circuits intégrés isolés
FR1506109A (fr) Procédé pour fabriquer des circuits intégrés
AT289310B (de) Stranggießverfahren
FR1527690A (fr) Procédé et solution pour le polissage électrolytique
FR1464644A (fr) Procédé pour produire des régions monocristallines séparées dans un circuit intégré
BE752548A (fr) Support pour cristal semiconducteur
SE382392B (sv) Kristalliseringsanordning for kontinuerlig kristallbildning
FR1456332A (fr) Moules réutilisables pour métaux
FR1400107A (fr) Procédé pour fabriquer du p-di-isopropylbenzène
SU499948A1 (ru) Кристализатор дл непрерывной разливки металлов
FR1419723A (fr) Procédé pour développer des monocristaux de grenat synthétique
FR1537803A (fr) Procédé pour fabriquer des acylaminophénolalcanols
CH477033A (fr) Raquetterie pour pièce d'horlogerie
AT266046B (de) Vorrichtung zum Kristallisieren von Lösungen durch Abkühlen
FR92488E (fr) Procédé pour fabriquer des nouvelles 2-amino-halogéno-benzylamines
FR1515687A (fr) Procédé pour isoler des élastomères
FR1398456A (fr) Présentoir notamment pour montre-bracelet
FR1451936A (fr) Procédé de dopage pour cristal semi-conducteur
FR1444394A (fr) Filtre perfectionné pour liquide
CH472910A (de) Kristallziehapparatur
FR1542742A (fr) Dispositif pour tirage de cristaux
FR1371074A (fr) Rehausse pour lingotière
FR1366029A (fr) Dispositif pour l'amélioration des échappements d'horlogerie