FR1483391A - Procédé et appareil pour former des dépôts sous vide poussé - Google Patents

Procédé et appareil pour former des dépôts sous vide poussé

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
    • H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching for evaporating or etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2218652A1 (fr) * 1973-02-20 1974-09-13 Thomson Csf
FR2472619A1 (fr) * 1979-12-18 1981-07-03 Ulvac Corp Appareil de revetement par pulverisation sous vide
DE3511141A1 (de) * 1985-03-27 1986-10-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ionenstrahl-materialbearbeitungsanlage mit neutralisationseinrichtung

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