FR3083880B1 - Elément d’interféromètre de Fabry-Pérot et son procédé de fabrication - Google Patents

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Abstract

TITRE : Elément d’interféromètre de Fabry-Pérot et son procédé de fabrication Elément comprenant un substrat de support (TS) ayant un orifice de passage (NA), avec un nombre d’ouverture, un premier (SP1) et un second élément de miroir (SP2) superposés écartés sur le substrat de support (TS) couvrant l’orifice (NA) comportant un miroir diélectrique de Bragg, avec deux couches de miroir, planes, parallèles (LS1, LS2) à fort indice de réfraction séparées par une couche de miroir (LSP) à faible indice de réfraction. Le premier (SP1) et le second élément (SP2) ont une zone extérieure (AB) à l’orifice (NA) sans contact mécanique avec le substrat, et une zone de suspension (AufB) latéralement à l’extérieur (AB) et en contact mécanique avec le substrat (TS). La zone extérieure (AB) et/ou la zone de suspension (AufB) ont une matière avec un autre état de contrainte que les couches (LS1, LS2) dans la zone de l’orifice de passage (NA). Figure 1
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