FR3130080A1 - Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage - Google Patents

Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage Download PDF

Info

Publication number
FR3130080A1
FR3130080A1 FR2113174A FR2113174A FR3130080A1 FR 3130080 A1 FR3130080 A1 FR 3130080A1 FR 2113174 A FR2113174 A FR 2113174A FR 2113174 A FR2113174 A FR 2113174A FR 3130080 A1 FR3130080 A1 FR 3130080A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
process according
manufacturing process
metal core
bath
acid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR2113174A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3130080B1 (fr
Inventor
Emile De Rijk
Mathieu Billod
Philippe Blanc
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Swissto12 SA
Original Assignee
Swissto12 SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to FR2113174A priority Critical patent/FR3130080B1/fr
Application filed by Swissto12 SA filed Critical Swissto12 SA
Priority to CA3239423A priority patent/CA3239423A1/fr
Priority to US18/717,844 priority patent/US20250030145A1/en
Priority to PCT/IB2022/061877 priority patent/WO2023105436A1/fr
Priority to EP22822682.5A priority patent/EP4445446A1/fr
Priority to IL313362A priority patent/IL313362A/en
Priority to KR1020247020196A priority patent/KR20240118098A/ko
Priority to CN202280080431.6A priority patent/CN118355559A/zh
Priority to JP2024532792A priority patent/JP2025500757A/ja
Publication of FR3130080A1 publication Critical patent/FR3130080A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3130080B1 publication Critical patent/FR3130080B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P11/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
    • H01P11/001Manufacturing waveguides or transmission lines of the waveguide type
    • H01P11/002Manufacturing hollow waveguides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/20Direct sintering or melting
    • B22F10/28Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/60Treatment of workpieces or articles after build-up
    • B22F10/62Treatment of workpieces or articles after build-up by chemical means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/80Data acquisition or data processing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F5/00Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product
    • B22F5/10Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product of articles with cavities or holes, not otherwise provided for in the preceding subgroups
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00Processes of additive manufacturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y40/00Auxiliary operations or equipment, e.g. for material handling
    • B33Y40/20Post-treatment, e.g. curing, coating or polishing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y50/00Data acquisition or data processing for additive manufacturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y80/00Products made by additive manufacturing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F3/00Brightening metals by chemical means
    • C23F3/02Light metals
    • C23F3/03Light metals with acidic solutions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F3/00Brightening metals by chemical means
    • C23F3/04Heavy metals
    • C23F3/06Heavy metals with acidic solutions
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P3/00Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
    • H01P3/12Hollow waveguides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/60Treatment of workpieces or articles after build-up
    • B22F10/68Cleaning or washing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2301/00Metallic composition of the powder or its coating
    • B22F2301/05Light metals
    • B22F2301/052Aluminium
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2998/00Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
    • B22F2998/10Processes characterised by the sequence of their steps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25Process efficiency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Waveguides (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

L’invention porte sur un procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes (1) comportant une étape consistant à réaliser, par fabrication additive, une âme métallique (2) semi-finie comportant des parois latérales (20) possédant des surfaces externes (21) et internes (22), les surfaces internes (22) définissant une ouverture interne (5) de guide d’ondes. Le procédé de fabrication comporte un outre une étape de polissage chimique de l’âme métallique (2) afin de réduire l’épaisseur desdites parois latérales (20) afin d’obtenir le dispositif à guide d’ondes. L’invention comporte également sur un dispositif (1) à guide d’ondes obtenu selon le procédé susvisé. Figure à publier avec l’abrégé : Figure 1

Description

Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage
La présente invention concerne un procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage et un guide d’onde fabriqué selon ce procédé.
Etat de la technique
Les signaux radiofréquence (RF) peuvent se propager soit dans un espace, soit dans des dispositifs guide d’ondes. Ces dispositifs guide d’ondes sont utilisés pour canaliser les signaux RF ou pour les manipuler dans le domaine spatial ou fréquentiel.
La présente invention concerne en particulier les dispositifs RF passifs qui permettent de propager et de manipuler des signaux radiofréquences sans utiliser de composants électroniques actifs. Les dispositifs à guides d’onde passifs peuvent être répartis en trois catégories distinctes :
  • Les dispositifs basés sur le guidage d’ondes à l’intérieur de canaux métalliques creux, couramment appelés guides d’ondes.
  • Les dispositifs basés sur le guidage d’ondes à l’intérieur de substrats diélectriques.
  • Les dispositifs basés sur le guidage d’ondes au moyen d’ondes de surface sur des substrats métalliques tels que des circuits imprimés PCB, des microstrips, etc.
La présente invention concerne en particulier la fabrication de dispositifs à guide d’ondes selon la première catégorie ci-dessus, collectivement désignée par la suite comme dispositifs à guides d’ondes. Des exemples de tels dispositifs incluent des guides d’ondes en tant que tels, des filtres, des antennes, des polariseurs, des convertisseurs de mode, etc. Ils peuvent être utilisés pour le routage de signal, le filtrage fréquentiel, la séparation ou recombinaison de signaux, l’émission ou la réception de signaux dans ou depuis l’espace libre, etc.
Les guides d’ondes conventionnels sont constitués par des dispositifs creux, dont la forme et les proportions déterminent les caractéristiques de propagation pour une longueur d’onde donnée du signal électromagnétique. Les guides d’ondes classiques utilisés pour les signaux radiofréquence ont des ouvertures internes de section rectangulaire ou circulaire. Ils permettent de propager des modes électromagnétiques correspondant à différentes distributions de champ électromagnétique le long de leur section.
La fabrication de guides d’ondes avec des sections complexes est difficile et coûteuse. Afin d’y remédier, la demande de brevet US2012/0084968 propose de réaliser des guides d’ondes par impression 3D. A cet effet, une âme en plastique non conducteur est imprimée par une méthode additive puis recouverte d’un placage métallique par immersion. Les surfaces internes du guide d’ondes doivent en effet être conductrices électriquement pour opérer. L’utilisation d’une âme non conductrice permet d’une part de réduire le poids et le coût du dispositif et, d’autre part, de mettre en œuvre des méthodes d’impression 3D adaptées aux polymères ou aux céramiques et permettant de produire des pièces de haute précision avec une faible rugosité de paroi. Les pièces décrites dans ce document ont des formes complexes et comprennent d’une part un canal pour la propagation de l’onde, et d’autre part des trous de fixation sur un pied du guide d’onde, afin de le fixer à un autre élément.
Différentes techniques d’impression 3D existent parmi lesquels l’impression 3D par fusion sélectif par laser (SLM). Il s’agit d’un procédé de fusion sélective sur lit de poudre dans lequel un laser est utilisé pour fusionner de fines particules de métal. Suivant le tracé déterminé par ordinateur, il va fondre les particules métalliques jusqu’à ce qu’elles fusionnent entre elles. Un système d’étalement de la poudre va ensuite appliquer une nouvelle couche de poudre. Le laser va dessiner la strate suivante. Ces étapes vont s’enchaîner jusqu’à l’impression totale de l’objet.
Bien que l’impression SLM permet d’imprimer une épaisseur de couche variant de 0,02mm à 0,10mm sur l’axe Z, la résolution sur les axes X et Y dépend du diamètre du faisceau du laser de la machine. Les machines SLM standards travaillent avec des lasers de diamètre 0,080mm et 0,1mm. Le bain de fusion autour du faisceau laser pour de l’aluminium a un diamètre d’environ 0,250mm. Il faut idéalement 2 vecteurs au minimum pour fabriquer une paroi du guide d’ondes d’où une épaisseur minimale de 0,5mm.
Les pièces en métal obtenues par ce procédé peuvent avoir, selon la forme désirée, des épaisseurs de couches allant bien au-delà de la résolution en Z de la machine qui sont imposées par les contraintes susvisées. Cela a un impact direct sur le poids des pièces produites.
L’impression 3D par frittage sélectif par laser (SLS) est aussi connue, notamment pour l’impression de plastique. Elle présente cependant les mêmes problèmes de résolution liée au diamètre du faisceau laser notamment.
Bref résumé de l’invention
Un but de la présente invention est par conséquent de proposer un procédé de fabrication additive du type SLM permettant de produire un dispositif à guide d’ondes plus léger.
En particulier, un but de la présente invention est de permettre la fabrication d’un dispositif à guide d’ondes métallique ou plastique qui présentent une épaisseur inférieure à 0,5mm sur n’importe quelle portion du dispositif, et de préférence inférieure à 0,3mm, voire inférieure à 0,2mm.
Selon l’invention, ces buts sont atteints notamment au moyen d’un procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes comportant une étape consistant à réaliser, par fabrication additive, une âme métallique ou plastique semi-finie. L’âme semi-finie comporte des parois latérales possédant des surfaces externes et internes. Les surfaces internes définissent un canal de guide d’ondes. Le procédé de fabrication comporte un outre une étape de polissage chimique de l’âme métallique afin de réduire, de préférence uniformément, l’épaisseur desdites parois latérales afin d’obtenir le dispositif à guide d’ondes.
Dans une forme d’exécution, l’âme est métallique est réalisée par fabrication additive par fusion laser sur lit de poudre afin d’obtenir une âme métallique semi-finie dont l’épaisseur des parois latérales est égale ou inférieure à 0,5mm.
Dans une forme d’exécution, l’ouverture interne de guide d’ondes de l’âme métallique semi-finie comporte une section transversale de forme oblongue, hexagonale, pentagonale, ovoïde ou circulaire.
Dans une forme d’exécution, l’épaisseur desdites parois latérales est inférieure à 0,3mm, voire inférieure à 0,2mm après l’étape de polissage chimique.
Dans une forme d’exécution, le procédé de fabrication comporte en outre en étape consistant à générer un modèle numérique de l’âme métallique. Le modèle numérique est calculé afin d’optimiser la forme de l’âme métallique semi-finie en fonction de l’épaisseur à ôter par polissage chimique.
Dans une forme d’exécution, l’étape de polissage chimique consiste à immerger l’âme métallique semi-finie dans un bain acide. Le bain acide peut comporter un mélange de deux acides. Par exemple le bain acide peut comporter de l’acide orthophosphorique et de l’acide sulfurique, pour obtenir par exemple un brillantage.
Dans une forme d’exécution, l’étape de polissage chimique consiste à immerger l’âme métallique semi-finie dans un bain basique, pour effectuer par exemple un satinage. Le bain basique pourra comporter une solution caustique et avoir un pH supérieur à 11,5.
Dans une forme d’exécution, une étape d’immersion de l’âme métallique dans un bain acide de désoxydation à la suite de l’immersion dans ledit bain basique, afin de supprimer les résidus oxydés à la surface des pièces.
Dans une forme d’exécution, le procédé pourra comporter une étape d’immersion de l’âme métallique dans un bain acide, par exemple un bain contenant de l’acide nitrique et du bi-fluorure d’ammonium, avec un pH de préférence inférieur à 2.
Dans une forme d’exécution, le procédé pourra comporter une étape d’immersion de l’âme métallique dans un bain d’acide chauffé avec application d’ultrasons pour la nettoyer.
Dans une forme d’exécution, la densité du bain se situe dans une plage comprise entre 1,5 g/cm3et 2 g/cm3, de préférence aux environs de 1,7 g/cm3.
Dans une forme d’exécution, la température de traitement du bain acide se situe entre 70°C et 120°C.
Dans une forme d’exécution, le bain acide comporte en outre de l’aluminium dissous à une concentration comprise entre 20 et 50 g/l, de préférence entre 25 et 45 g/l.
Un autre aspect de l’invention porte sur un dispositif à guide d’ondes comportant une âme métallique comportant des parois latérales possédant des surfaces externes et internes. Les surfaces internes définissent un canal de guide d’ondes. L’épaisseur desdites parois latérales est inférieure à 0,3mm, voire inférieure à 0,2mm.
Brève description des figures
Des exemples de mise en œuvre de l’invention sont indiqués dans la description illustrée par les figures annexées dans lesquelles :
illustre une vue en perspective d’un dispositif à guide d’ondes avec une ouverture interne ou canal, obtenu par un procédé SLM selon une forme de réalisation ;
illustre une vue similaire à la après une étape de polissage selon une forme de réalisation ;
illustre une vue schématique d’une portion d’un dispositif à guide d’ondes plongé dans une bain de brillantage afin de niveler la rugosité microscopique en surface de l’aluminium.
Exemple(s) de mode de réalisation de l’invention
Le dispositif à guide d’onde 1 selon les figures 1 et 2, comporte une âme en métal 2, par exemple en aluminium, titane ou acier.
L’âme 2 est fabriquée par fabrication additive, de préférence par stéréolithographie, par fusion laser sélective (« selective laser melting ») ou par « selective laser sintering » (SLS). L’épaisseur des parois de l’âme est par exemple d’au moins 0,5 mm.
La forme de l’âme peut être déterminée par un fichier informatique stocké dans un support de données informatique.
Cette âme 2 délimite une ouverture interne 5 formant un canal destiné au guidage d’ondes. L’âme 2 présente par conséquent une surface interne 22 et une surface externe 21 définissant l’ouverture interne 5 qui est par exemple de section transversale de forme oblongue.
Un bain 25 de polissage chimique fonctionne en nivelant la rugosité microscopique en surface de l’aluminium 30. Le polissage est un process qui permet de diminuer la rugosité de l’aluminium et lui permet de mieux réfléchir la lumière (spécularité). Pour cela, on nivelle les pics et vallées à la surface de l’aluminium 30 comme on peut le voir à la . Le polissage s’effectue par trempage des pièces dans un bain, sous agitation permanente.
Le bain peut être constitué par un mélange de 2 acides. Des additifs permettent d’obtenir un polissage homogène de la surface en termes de rugosité et d’épaisseur. Pour permettre un parfait lissage de surface de l’aluminium, l’attaque chimique doit être plus rapide sur les pics que dans les vallées. Quand l’aluminium est plongé dans un bain composé des 2 acides précédemment cités, l’acide sulfurique réagit avec l’aluminium pour former un film mince d’oxyde d’aluminium 40. Ce film est simultanément dissous par l’acide orthophosphorique. Ces réactions se produisent plus rapidement au niveau des pics que des vallées parce que le bain est très visqueux et qu’il y a moins de mouvements et d’agitation des fluides dans les vallées que sur les pics.
Les paramètres principaux du bain de polissage sont les suivants : Bain constitué de deux acides (par exemple orthophosphorique et sulfurique) ; Densité du bain : 1,7 g/cm3 environ ; Températures de traitement : 80 – 110 °C ; Temps de trempage : 15 sec à 10 min ; Concentration en Alu dissous dans le bain (pour un meilleur démarrage et une bonne réactivité chimique) = de 25 à 45 g/l.
Dans un autre mode de réalisation, le polissage peut mettre en œuvre un mélange basique, pour effectuer par exemple un satinage. Le procédé comporte l’immersion du guide d’onde semi-fini dans une solution en la présence de sels d'acides organiques et inorganiques, d'alcalis et de composés hydroxyles organiques polyfonctionnels. La solution peut comporter par exemple :
  • Solution caustique : 70-90 g/l
  • Matière active de satinage : 5-10 g/l
  • Aluminium dissous : 10 g/l
Le pH de la solution est de préférence supérieur à 11,5.
Dans le cas d’un guide d’onde en aluminium ou en alliage d’aluminium, la pièce ainsi satinée avec le bain précédent peut être immergée dans un bain de désoxydation, afin de supprimer les résidus oxydés à la surface des pièces après le satinage, et d'éliminer la couche d'oxyde d'aluminium à la surface des pièces. Le bain de désoxydation peut être un bain acide, par exemple un bain contenant de l’acide nitrique, avec un pH de préférence inférieur à 2.
La pièce ainsi satinée peut en outre être blanchie par immersion dans un bain acide, par exemple un bain contenant de l’acide nitrique et du bi-fluorure d’ammonium, avec un pH de préférence inférieur à 2. Ce blanchissage peut notamment être appliqué à un guide d’onde en aluminium ou en alliage d’aluminium.
La pièce ainsi satinée peut en outre être immergé dans un bain d’acide, par exemple concentré à 10%, par exemple avec un pH inférieur à 3, avec application d’ultrasons pour la nettoyer. Dans un mode opératoire, les pièces peuvent être plongées dans une solution avec une température de 60 à 65 °C, avec des ultrasons appliqués pendant une durée comprise entre 2 et 30 minutes, suivie d’une séquence de 30 min à 1h00 de trempage sans ultrasons, avec une température maintenue à 60 °C. Ces séquences doivent être répétées 5 fois pour obtenir un bon nettoyage. Après chaque séquence d'ultrasons, la solution acide est éliminée et remplacée par une solution fraîche, permettant une activité chimique et ultrasonique efficace.
Le bain permet par conséquent de diminuer l’épaisseur des parois 20 de l’âme 2 de sorte à ce que cette épaisseur entre les surfaces externes 21 de l’âme 2 et les surfaces internes de l’âme 2 définissant l’ouverture interne (canal) 5 soit réduite à 0,3mm, voire inférieure à 0,2mm après l’étape de polissage chimique.
Ceci a pour avantage de réduire le poids des dispositifs à guide d’ondes.
L’invention concerne aussi un dispositif à guide d’ondes obtenu selon l’une des modes de réalisation ci-dessus et comportant une âme métallique 2 comportant des parois latérales 20 possédant des surfaces externes 21 et internes 22, les surfaces internes 22 définissant une ouverture interne 5 de guide d’ondes, dans lequel l’épaisseur desdites parois latérales 20 est inférieure à 0,3mm, voire inférieure à 0,2mm.

Claims (17)

  1. Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes (1) comportant une étape consistant à réaliser, par fabrication additive, une âme métallique (2) semi-finie comportant des parois latérales (20) possédant des surfaces externes (21) et internes (22), les surfaces internes (22) définissant une ouverture interne (5) de guide d’ondes,caractérisé en ce quele procédé de fabrication comporte un outre une étape de polissage chimique de l’âme métallique (2) afin de réduire l’épaisseur desdites parois latérales (20) afin d’obtenir le dispositif à guide d’ondes.
  2. Procédé de fabrication selon la revendication 1, caractérisé en ce que l’âme métallique (2) est réalisée par fabrication additive par fusion laser sur lit de poudre (SLM) afin d’obtenir une âme métallique (2) semi-finie dont l’épaisseur des parois latérales (20) est égale ou inférieure à 0,5mm.
  3. Procédé de fabrication selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l’ouverture interne (5) de guide d’ondes de l’âme métallique (2) semi-finie comporte une section transversale de forme oblongue, pentagonale, hexagonale, ovoïde ou circulaire.
  4. Procédé de fabrication selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l’épaisseur desdites parois latérales (20) est inférieure à 0,3mm, voire inférieure à 0,2mm après l’étape de polissage chimique.
  5. Procédé de fabrication selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comporte en outre en étape consistant à générer un modèle numérique de l’âme métallique (2), ledit modèle numérique étant calculé afin d’optimiser la forme de l’âme métallique semi-finie en fonction de l’épaisseur à ôter par polissage chimique.
  6. Procédé de fabrication selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en que l’étape de polissage chimique comporte une immersion de l’âme métallique (2) semi-finie dans un bain acide.
  7. Procédé de fabrication selon la revendication 6, ledit bain acide comportant un mélange de deux acides.
  8. Procédé de fabrication selon la revendication 7, ledit bain acide comportant de l’acide orthophosphorique et de l’acide sulfurique.
  9. Procédé de fabrication selon la revendication précédente, caractérisé en que la densité du bain se situe dans une plage comprise entre 1,5 g/cm3et 2 g/cm3, de préférence aux environs de 1,7 g/cm3.
  10. Procédé de fabrication selon l’une des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que la température de traitement du bain acide se situe entre 70°C et 120°C.
  11. Procédé de fabrication selon l’une des revendications 6 à 10, caractérisé en ce que le bain acide comporte en outre de l’aluminium dissous à une concentration comprise entre 20 et 50 g/l, de préférence entre 25 et 45 g/l.
  12. Procédé de fabrication selon l’une des revendications 1 à 5, caractérisé en que l’étape de polissage chimique comporte une immersion de l’âme métallique (2) semi-finie dans un bain basique.
  13. Procédé de fabrication selon la revendication 12, ledit bain basique comportant une solution caustique et ayant un pH supérieur à 11,5.
  14. Procédé de fabrication selon l’une des revendications 12 ou 13, comprenant une étape d’immersion de l’âme métallique dans un bain acide de désoxydation à la suite de l’immersion dans ledit bain basique, afin de supprimer les résidus oxydés à la surface des pièces.
  15. Procédé de fabrication selon l’une des revendications 12 à 14, comprenant une étape d’immersion de l’âme métallique dans un bain acide, par exemple un bain contenant de l’acide nitrique et du bi-fluorure d’ammonium, avec un pH de préférence inférieur à 2.
  16. Procédé de fabrication selon l’une des revendications 6 à 15, comprenant une étape d’immersion de l’âme métallique dans un bain d’acide chauffé avec application d’ultrasons pour la nettoyer.
  17. Dispositif (1) à guide d’ondes obtenu selon l’une des revendications précédentes, comportant une âme métallique (2) comportant des parois latérales (20) possédant des surfaces externes (21) et internes (22), les surfaces internes (22) définissant une ouverture interne (5) de guide d’ondes,caractérisé en ce quel’épaisseur desdites parois latérales (20) est inférieure à 0,3mm, voire inférieure à 0,2mm.
FR2113174A 2021-12-08 2021-12-08 Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage Active FR3130080B1 (fr)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR2113174A FR3130080B1 (fr) 2021-12-08 2021-12-08 Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage
US18/717,844 US20250030145A1 (en) 2021-12-08 2022-12-07 Method for manufacturing a waveguide device by additive manufacturing and polishing
PCT/IB2022/061877 WO2023105436A1 (fr) 2021-12-08 2022-12-07 Procédé de fabrication d'un dispositif à guide d'ondes par fabrication additive et par polissage
EP22822682.5A EP4445446A1 (fr) 2021-12-08 2022-12-07 Procédé de fabrication d'un dispositif à guide d'ondes par fabrication additive et par polissage
CA3239423A CA3239423A1 (fr) 2021-12-08 2022-12-07 Procede de fabrication d'un dispositif a guide d'ondes par fabrication additive et par polissage
IL313362A IL313362A (en) 2021-12-08 2022-12-07 Manufacturing process of a waveguide device using additive manufacturing and polishing
KR1020247020196A KR20240118098A (ko) 2021-12-08 2022-12-07 적층 제조 및 연마에 의한 도파관 장치의 제조 공정
CN202280080431.6A CN118355559A (zh) 2021-12-08 2022-12-07 通过增材制造和抛光的波导器件的制造方法
JP2024532792A JP2025500757A (ja) 2021-12-08 2022-12-07 付加製造及び研磨による導波路装置の製造プロセス

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR2113174A FR3130080B1 (fr) 2021-12-08 2021-12-08 Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage
FR2113174 2021-12-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3130080A1 true FR3130080A1 (fr) 2023-06-09
FR3130080B1 FR3130080B1 (fr) 2024-05-10

Family

ID=81326147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR2113174A Active FR3130080B1 (fr) 2021-12-08 2021-12-08 Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20250030145A1 (fr)
EP (1) EP4445446A1 (fr)
JP (1) JP2025500757A (fr)
KR (1) KR20240118098A (fr)
CN (1) CN118355559A (fr)
CA (1) CA3239423A1 (fr)
FR (1) FR3130080B1 (fr)
IL (1) IL313362A (fr)
WO (1) WO2023105436A1 (fr)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN121440079A (zh) * 2025-09-22 2026-01-30 嘉麟精密光学(上海)有限公司 一种v/w波段低损耗金属波导及其制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120084968A1 (en) 2010-09-29 2012-04-12 Jayesh Nath Systems and methods for manufacturing passive waveguide components
CN106757039B (zh) * 2017-02-23 2019-03-26 浙江大学 一种铝氧化抛光液及其制备方法
GB2575365A (en) * 2018-07-05 2020-01-08 South West Metal Finishing Ltd Process

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1110789A (ja) * 1997-06-23 1999-01-19 Hitachi Chem Co Ltd 異物の除去された金属はく張積層板の製造方法
JP2019196503A (ja) * 2018-05-07 2019-11-14 パナソニックIpマネジメント株式会社 電解用電極及びそれを備えた電気機器

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120084968A1 (en) 2010-09-29 2012-04-12 Jayesh Nath Systems and methods for manufacturing passive waveguide components
CN106757039B (zh) * 2017-02-23 2019-03-26 浙江大学 一种铝氧化抛光液及其制备方法
GB2575365A (en) * 2018-07-05 2020-01-08 South West Metal Finishing Ltd Process

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ALI USMAN ET AL: "Internal surface roughness enhancement of parts made by laser powder-bed fusion additive manufacturing", VACUUM, PERGAMON PRESS, GB, vol. 177, 22 April 2020 (2020-04-22), XP086158599, ISSN: 0042-207X, [retrieved on 20200422], DOI: 10.1016/J.VACUUM.2020.109314 *
LORENTE J A ET AL: "Single part microwave filters made from selective laser melting", MICROWAVE CONFERENCE, 2009. EUMC 2009. EUROPEAN, IEEE, PISCATAWAY, NJ, USA, 29 September 2009 (2009-09-29), pages 1421 - 1424, XP031669976, ISBN: 978-1-4244-4748-0 *
PETRONILO MARTIN-IGLESIAS ET AL: "Additive Manufacturing for RF Passive Hardware", 46TH EUROPEAN MICROWAVE CONFERENCE, 4-6 OCTOBER 2016, LONDON, UK, 3 October 2016 (2016-10-03) - 6 October 2016 (2016-10-06), pages 1 - 174, XP055532431, Retrieved from the Internet <URL:https://intranet.birmingham.ac.uk/eps/documents/public/emuw2/WM03.pdf> [retrieved on 20181210] *

Also Published As

Publication number Publication date
CN118355559A (zh) 2024-07-16
US20250030145A1 (en) 2025-01-23
FR3130080B1 (fr) 2024-05-10
CA3239423A1 (fr) 2023-06-15
IL313362A (en) 2024-08-01
EP4445446A1 (fr) 2024-10-16
KR20240118098A (ko) 2024-08-02
WO2023105436A1 (fr) 2023-06-15
JP2025500757A (ja) 2025-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3424103B1 (fr) Procédé de fabrication additive d&#39;un guide d&#39;onde ainsi que dispositifs à guide d&#39;onde fabriqués selon ce procédé
EP3465815B1 (fr) Guide d&#39;ondes comprenant une couche conductrice épaisse
EP3939115B1 (fr) Procédé de fabrication d&#39;un dispositif à guide d&#39;ondes par fabrication additive et électrodéposition, et produit semi-fini
FR3130080A1 (fr) Procédé de fabrication d’un dispositif à guide d’ondes par fabrication additive et par polissage
EP3503283B1 (fr) Dispositif radiofréquence passif, et procédé de fabrication
JP3873883B2 (ja) 金属被覆された光ファイバの製造方法
EP4169118A1 (fr) Dispositif à guide d&#39;ondes flexible et procédé de fabrication d&#39;un tel dispositif
FR2766654A1 (fr) Procede de fabrication d&#39;une carte de circuit imprime
WO2024189515A1 (fr) Procédé d&#39;adaptation de la réponse en fréquence d&#39;un dispositif radiofréquence
EP0091352B1 (fr) Procédé de fabrication d&#39;un guide d&#39;onde pour émetteur-récepteur d&#39;ondes électro-magnétiques, et guide d&#39;onde obtenu par ce procédé
FR2751795A1 (fr) Cavite microlaser et microlaser a selection de mode, et procedes de fabrication
WO2021224074A1 (fr) Procede de fabrication d&#39;un guide d&#39;onde et guide d&#39;onde fabrique via le procede
EP0129453B1 (fr) Procédé de fabrication d&#39;une ligne coaxiale à grande résistance thermique
JP2003215375A (ja) 屈折率制御型レーザ描画導波路の製造方法
FR2567687A1 (fr) Laser a semi-conducteur
JPH07124775A (ja) 微細加工方法
JP2004323892A (ja) Ag膜の形成方法
JP2022139923A (ja) ワークの製造方法
FR3057677A1 (fr) Procede de fabrication d&#39;un guide d&#39;onde
JP2005208512A (ja) 光学素子の製造方法及び光学素子
HK1204149B (en) Seal ring and process for producing seal ring
HK1204149A1 (en) Seal ring and process for producing seal ring

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20230609

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5