FR3132946B1 - Procede de realisation d’un detecteur elementaire pour un capteur infrarouge, detecteur elementaire et capteur infrarouge associes - Google Patents

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Abstract

L’invention concerne un procédé de réalisation d’au moins un détecteur élémentaire (10a) d’un rayonnement infrarouge, chaque détecteur élémentaire (10a) comprenant au moins deux micro-bolomètres (11) associés chacun à un filtre distinct (21a-21c) d’une fenêtre optique (13), le procédé comprenant les étapes suivantes :– réalisation des micro-bolomètres (11) sur un substrat d’embase (12) ;– gravure d’au moins une partie d’une face interne (16) de la fenêtre optique (13) pour définir deux niveaux de profondeurs distincts : un niveau de liaison (NL) et un niveau cavité (NC) ;– structuration d’un ensemble de réseaux périodiques de diffraction spécifiques (21a-21c) avec des propriétés de filtration distinctes en termes de longueurs d’onde dans le niveau cavité ;– report du niveau de liaison de la fenêtre optique sur des zones de support (25) du substrat d’embase ; et– collage direct de type SAB du niveau de liaison sur le substrat d’embase. Figure pour l’abrégé : Fig 4
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