FR3142546B1 - Dispositif de détection d’un rayonnement électromagnétique et procédé de fabrication - Google Patents

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Abstract

Titre : Dispositif de détection d’un rayonnement électromagnétique et procédé de fabrication L’invention porte sur un dispositif (1) de détection d’un rayonnement électromagnétique, comprenant au moins un détecteur disposé au sein d’une cavité (2) formée par une structure d’encapsulation, ladite structure d’encapsulation comprenant des piliers d’ancrage (21) dont l’un au moins est relié à l’au moins un détecteur, et des piliers de support (22) surmontant lesdits piliers d’ancrage (21). Avantageusement, les piliers de support (22) présentent une portion (220) s’étendant sur au moins un flanc (210) des piliers d’ancrage (21). L’invention porte également sur un procédé de fabrication d’un tel dispositif (1). Figure pour l’abrégé : Fig.9A
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