FR3156277A1

FR3156277A1 - Transducteur piézoélectrique en niobate de lithium

Info

Publication number: FR3156277A1
Application number: FR2313586A
Authority: FR
Inventors: Frédéric NAVACCHIA
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA; Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 2023-12-05
Filing date: 2023-12-05
Publication date: 2025-06-06
Also published as: WO2025119796A1

Abstract

L’invention concerne un procédé de fabrication d’un transducteur piézoélectrique (1) comprenant une électrode avant (10a), une électrode arrière (10b) et une céramique piézoélectrique (50) en niobate de lithium. Le procédé comporte : une étape (a) de dépôt sur chaque face opposée de la céramique (50) d’une couche primaire d’accrochage (40a, 40b) métallique; une étape (b) de dépôt sur chaque électrode (10a, 10b) d’une couche de compliance (20a, 20b) en un matériau conducteur électrique avec Tfusion > 700°C et δrupture > 20% ; une étape (c) de placement d’un feuillard (30a, 30b) à base d’un alliage d’Ag-Cu sur chaque couche primaire d’accrochage (40a, 40b) ; une étape (d) de formation d’un assemblage (60) par empilement dans cet ordre des éléments (10a, 20a, 30a, 40a, 50, 40b, 30b, 20b, 10b) ; une étape (e) de brasage de l’assemblage (60) en compression dans un four à plus de 450°C sous atmosphère non-oxydante. Figure 1

Description

Transducteur piézoélectrique en niobate de lithium

La présente invention se situe dans le domaine des traducteurs (ou transducteurs) ultrasonores haute température (TUSHT) qui sont utilisés notamment pour le contrôle non destructif de structures par ultrasons. De tels traducteurs permettent de suivre la résistance au vieillissement et l’apparition d’éventuels défauts dans des pièces, et sont utilisés également pour des opérations de télémétrie ou de détection d’obstacles dans l’industrie nucléaire caractérisée par des environnements à haute température et/ou haute pression. Par haute température, on entend une température supérieure à 200°C, par exemple supérieure à 600°C.

LaFIG. 4illustre un dispositif de mesure qui intègre un tel transducteur. Ce dispositif de mesure comprend un boîtier 6 qui contient le transducteur 100. Le transducteur 100 comprend un matériau piézoélectrique interposé entre une électrode avant 10a et une électrode arrière 10b. Chaque électrode (10a, 10b) est reliée à un circuit électrique. L’électrode avant 10a est intégrée dans une ouverture ménagée dans le boîtier 6, de telle sorte que l’électrode avant 10a est intégrée au boîtier 6. Sous l’effet de l’application d’une tension alternative entre les électrodes (10a, 10b), le matériau piézoélectrique génère une onde acoustique W. L’onde acoustique émise W se propage vers un milieu extérieur. Le transducteur 100 fonctionne ainsi selon un mode d’émission mais il peut également fonctionner selon un mode de réception, au cours duquel une onde acoustique se propage depuis le milieu extérieur vers le traducteur. L’onde acoustique reçue entraîne une vibration du convertisseur piézoélectrique, il en résulte l'apparition d’une tension alternative aux bornes des électrodes (10a, 10b). Le transducteur 100 fonctionne ainsi selon un mode de réception. Pour des applications à haute température, le matériau piézoélectrique peut être du phosphate de gallium, du nitrure d'aluminium, du langasite, du titanate de bismuth ou du niobate de lithium, comme décrit dans le brevet FR2977377. Le dispositif de mesure comprend également dans le boîtier 6 une plaque isolant électrique 2 qui recouvre la face externe de l’électrode arrière 10b (c’est-à-dire la face externe du transducteur 100), une pièce de blocage 3 qui recouvre la plaque isolante 2, un tube 4 qui est un isolant électrique et dont l’extrémité inférieure est en contact avec la pièce de blocage 3. Le boîtier 6 comprend également un câble coaxial 5 qui est logé dans le tube 4. Le câble coaxial 5 sort du tube 4 à son extrémité inférieure et traverse la pièce de blocage 3 et la plaque isolante 2, et est en contact avec la face externe de l’électrode arrière 10b. A son autre extrémité, le câble coaxial 5 est branché à une unité de traitement (non représentée) qui analyse la tension du signal provenant du transducteur 100 et transmis par le câble coaxial 5.

Afin d’atteindre les performances du transducteur recherchées dans les conditions de température et de pression d’un réacteur nucléaire, le choix des différents composants du transducteur et leur procédé d’assemblage est essentiel. Le niobate de lithium est un matériau de choix pour la céramique piézoélectrique car c’est un des rares matériaux à conserver son intégrité et ses propriétés au-dessus de 1000°C. Les électrodes avant et arrière sont réalisées en acier inoxydable. Le niobate de lithium est un monocristal (fabriqué par exemple par la méthode Czochralski), avec un module d’Young de 170 Gpa et une dureté Vickers Hv d’environ 600). Son coefficient de dilatation à 25°C est de 15,7.10^-6parallèlement à la variable « c » de la maille.

Le transducteur piézoélectrique 100 décrit dans le brevet FR2977377 est illustré enFIG. 5, qui en détaille la structure. On fabrique le transducteur piézoélectrique 100 en solidarisant une céramique piézoélectrique 150 avec les électrodes (10a, 10b). Cette solidarisation s’effectue par brasage diffusion sous vide. Afin que le brasage soit efficace, il est nécessaire d’insérer, entre chaque électrode et la céramique piézoélectrique, une jonction multicouche. Cette jonction comprend notamment des couches d’accroche et des couches de protection. Dans le brevet FR2977377, on a ainsi une jonction avant 111a entre l’électrode avant 10a et la céramique piézoélectrique 150, et une jonction arrière 111b entre l’électrode arrière 10b et la céramique piézoélectrique 150. La jonction avant 111a et la jonction arrière 111b sont identiques et sont chacune symétriques par rapport à leur plan médian et constituées de huit couches dans l’ordre suivant C1-C2-C3-C4-C4-C3-C2-C1. La couche C1 est une couche d’accroche, les couches C2 et C3 sont des couches de brasure et la couche C4 est une couche de protection. La moitié d’une jonction (111a, 111b) montrant les couches C1, C2, C3, C4 est illustrée en insert enFIG. 5. La couche d’accrochage C1 est en chrome (Cr) ou un alliage nickel-chrome (Ni-Cr), la couche de brasure C2 est en or (Au), la couche de brasure C3 est en indium (In), et la couche de protection C4 est en or.

Ainsi, on connait un procédé de fabrication d’un transducteur piézoélectrique comprenant une électrode avant, une électrode arrière et une céramique piézoélectrique en niobate de lithium présentant une face avant et une face arrière opposée à la face avant.

Il a été constaté lors de la fabrication de transducteurs tels que décrits ci-dessus des taux de rebut élevés. Ces défaillances sont dues au procédé de brasage avec un alliage d’apport Au-In qui se caractérise par un taux de brasage (rapport entre la surface brasée et la surface de la céramique piézoélectrique) faible et/ou par une détérioration partielle ou totale de la céramique piézoélectrique.

Pour ces raisons, on a cherché à réaliser des transducteurs en utilisant des couches de brasure C2 et C3 en alliage d’argent (Ag) et de cuivre (Cu) au lieu d’Au-In. Cependant, on a constaté un endommagement des transducteurs après refroidissement, et en particulier l’apparition de fissures dans le niobate de lithium. Cet endommagement est dû aux contraintes résiduelles générées durant le refroidissement au niveau des interfaces entre les jonctions et la céramique et entre les jonctions et les électrodes.

Description de l’invention

La présente invention vise à remédier à ces inconvénients.

L'invention vise à proposer un procédé de fabrication d’un transducteur piézoélectrique avec une céramique piézoélectrique en niobate de lithium qui permette d’obtenir des transducteurs opérationnels sur une longue durée de vie et dans une large gamme de température, notamment à haute température (supérieure à 200°C, voire jusqu’à 1000°C).

Ce but est atteint grâce au fait que le procédé comporte les étapes suivantes :
(a) On dépose une couche primaire d’accrochage avant métallique sur la face avant et une couche primaire d’accrochage arrière métallique sur la face arrière sans transformation intrinsèque ou surfacique de la céramique ;
(b) On dépose une couche de compliance avant sur une face de l’électrode avant, et une couche de compliance arrière sur une face de l’électrode arrière, le matériau des couches de compliance étant un conducteur électrique et présentant un point de fusion supérieur à 700°C et un allongement à la rupture supérieur à 20%.
(c) On place un feuillard avant sur la couche primaire d’accrochage avant et un feuillard arrière sur la couche primaire d’accrochage arrière, chacun des feuillards étant à base d’un alliage d’argent et de cuivre.
(d) On positionne l’électrode avant de telle sorte que la couche de compliance avant est en contact avec le feuillard avant et on positionne l’électrode arrière de telle sorte que la couche de compliance arrière est en contact avec le feuillard arrière pour former un assemblage selon un axe principal X qui est constitué de la céramique piézoélectrique, des couches primaires d’accrochage, des feuillards, des couches de compliance et des électrodes.
(e) On réalise un brasage fort de l’assemblage dans un four à une température de brasage supérieure à 450°C sous atmosphère non-oxydante.

Grâce à ces dispositions, le transducteur piézoélectrique est plus robuste, plus durable, et présente une meilleure sensibilité, en particulier à plus haute température.

Par exemple, le dépôt à l’étape (a) est réalisé soit par métallisation soit par pulvérisation cathodique.

Par exemple, le matériau des couches primaires d’accrochage est choisi parmi Cr, Ni-Cr, Ti, Ag, Au, Pt.

Par exemple, ce matériau est un alliage Ni-Cr.

Par exemple, le matériau des couches de compliance est du cuivre ou un alliage à base de cuivre.

Par exemple, les feuillards présentent une épaisseur inférieure à 1 mm.

Par exemple, à l’étape (c), l’alliage est binaire à la composition de l’eutectique avec 72% d’argent et 28% de cuivre.

Par exemple, à l’étape (e) on comprime l’assemblage avec une pression qui est inférieure à 10 MPa.

Par exemple, à l’étape (e) le brasage est réalisé sous pression partielle de gaz ou sous vide.

L’invention concerne également un transducteur piézoélectrique comprenant une électrode avant, une électrode arrière et une céramique piézoélectrique en niobate de lithium présentant une face avant et une face arrière opposée à la face avant, tel que le transducteur piézoélectrique comprend les éléments suivants empilés le long d’un axe principal X entre les électrodes : une couche de compliance avant déposée sur une face de l’électrode avant, un feuillard avant, une couche primaire d’accrochage avant métallique déposée sur la face avant sans transformation intrinsèque ou surfacique de la céramique, la céramique piézoélectrique, une couche primaire d’accrochage arrière métallique déposée sur la face arrière sans transformation intrinsèque ou surfacique de la céramique, un feuillard arrière et une couche de compliance arrière déposée sur une face de la électrode arrière, le matériau des couches de compliance étant un conducteur électrique et présentant un point de fusion supérieur à 700°C et un allongement à la rupture supérieur à 20% et chacune des feuillards étant à base d’un alliage d’argent et de cuivre, le transducteur piézoélectrique étant réalisé par brasage fort dans un four à une température de brasage supérieure à 450°C sous atmosphère non-oxydante.

L'invention sera bien comprise et ses avantages apparaîtront mieux, à la lecture de la description détaillée qui suit, de modes de réalisation représentés à titre d'exemples non limitatifs. La description se réfère aux dessins annexés sur lesquels :

FIG. 1LaFIG. 1illustre un transducteur piézoélectrique selon l’invention.

FIG. 2LaFIG. 2est un exemple de cycle de brasage dans le procédé selon l’invention.

FIG. 3LaFIG. 3montre l’intensité d’un signal reçu par un transducteur piézoélectrique selon l’invention et l’intensité d’un signal reçu par un transducteur piézoélectrique de l’art antérieur.

FIG. 4LaFIG. 4, déjà décrite, illustre un dispositif qui intègre un transducteur.

FIG. 5LaFIG. 5illustre un transducteur selon l’art antérieur.

Description détaillée de l’invention

L’invention concerne un procédé de fabrication d’un transducteur piézoélectrique 1 comprenant une électrode avant 10a, une électrode arrière 10b et une céramique piézoélectrique 50 en niobate de lithium présentant une face avant 51a et une face arrière 51b opposée à la face avant 51a. Un tel transducteur piézoélectrique 1 est apte à être utilisé dans un dispositif de mesure tel que décrit ci-dessus, en remplacement du transducteur piézoélectrique 100.

On décrit ci-après les différentes étapes du procédé :

A l’étape (a), on dépose une couche primaire d’accrochage avant 40a métallique sur la face avant 51a et une couche primaire d’accrochage arrière 40b métallique sur la face arrière 51b. La couche primaire d’accrochage (40a, 40b) est nécessaire pour réaliser l’accrochage des feuillards (30a, 30b) (voir ci-après) sur la céramique piézoélectrique 50 lors de l’opération finale de brasage. Le dépôt des couches primaires d’accrochage (40a, 40b) doit être réalisé sans transformation intrinsèque ou surfacique (telle qu’une oxydation, carburation, nitruration) des éléments déposés ou du niobate de lithium, cette transformation étant indésirable car elle modifie les propriétés du niobate de lithium. Par exemple, ce dépôt est réalisé par métallisation ou par pulvérisation cathodique (« sputtering »). Par exemple, l’épaisseur de chaque couche primaire d’accrochage (40a, 40b) est comprise entre 10 nm et 100 nm (10^-9m).

A l’étape (b), on dépose une couche de compliance avant 20a sur une face 11a de l’électrode avant 10a, et une couche de compliance arrière 20a sur une face 11b de l’électrode arrière 10b. Les couches de compliance (20a, 20b) sont constituées d’un matériau, par exemple métallique, bon conducteur de l’électricité, avec une température de fusion supérieure à 700°C et idéalement supérieur à 1000°C. Ce matériau est apte à adhérer de manière intime au matériau de l’électrode (10a, 10b) et sans fissuration. L’électrode avant 10a et l’électrode arrière 10b sont par exemple en acier inoxydable, par exemple en 304L. Le matériau de la couche de compliance (20a, 20b) présente une ductilité suffisante pour absorber les contraintes thermiques et/ou mécaniques générées durant le brasage. Ainsi, ce matériau présente un allongement à la rupture supérieur à 20%. Avantageusement ce matériau est du cuivre ou un alliage à base de cuivre. Par exemple, cet alliage est du cuivre avec une pureté supérieure à 99%, par exemple supérieure à 99,9%.

Avantageusement, le dépôt des couches de compliance (20a, 20b) est réalisé sans transformation intrinsèque ou surfacique du matériau de ces couches (20a, 20b). Par exemple, l’épaisseur de chaque couche de compliance (20a, 20b) est comprise entre 20 µm et 300 µm.

Les couches de compliance (20a, 20b) ont une double fonction : assurer lors de l’opération finale de brasage le rôle de matériau de diffusion avec le métal des feuillards (30a, 30b) (voir ci-après) durant le cycle thermique et également assurer le rôle de matériau de compliance pour absorber les contraintes thermiques et mécaniques pendant l’opération de brasage.

A l’étape (c), on place un feuillard avant 30a sur la couche primaire d’accrochage avant 40a et un feuillard arrière 30b sur la couche primaire d’accrochage arrière 40b. Les feuillards (30a, 30b) sont à base d’un alliage d’argent-et de cuivre.

Les feuillards (30a, 30b) comprennent un alliage d’argent et de cuivre. Par exemple, cet alliage est un alliage binaire Ag-Cu, par exemple un alliage eutectique avec 72% d’Ag et 28% de Cu. Alternativement, cet alliage est ternaire Ag-Cu-M1 où M1 est un autre métal. Alternativement, cet alliage est quaternaire Ag-Cu-M1-M2 où M2 est encore un autre métal. Cet alliage est l’alliage de brasure.

Les feuillards (30a, 30b) présentent une épaisseur inférieure à 1 mm. Avantageusement, l’épaisseur est comprise entre 10 µm et 100 µm, par exemple égale à 50 µm.

A l’étape (d), on positionne l’électrode avant 10a de telle sorte que la couche de compliance avant 20a est en contact avec le feuillard avant 30a et on positionne l’électrode arrière 10b de telle sorte que la couche de compliance arrière 20b est en contact avec le feuillard arrière 30b pour former un assemblage 60 symétrique qui est constitué de la céramique piézoélectrique 50, des couches primaires d’accrochage (40a, 40b), des feuillards (30a, 30b), des couches de compliance (20a, 20b) et des électrodes (10a, 10b).

L’axe principal X est perpendiculaire aux première 51a et seconde 51b faces et traverse perpendiculairement la céramique piézoélectrique 50, les couches primaires d’accrochage (40a, 40b), les feuillards (30a, 30b) et les couches de compliance (20a, 20b).

A l’étape (e), dans le cas où l’axe principal X est vertical, chaque élément (couches, feuillards, céramique) situé entre les électrodes (10a, 10b) est soumis à une compression selon cet axe principal X qui est due au poids du ou des éléments situés au-dessus de cet élément, le cas échéant. En option, on comprime l’assemblage selon l’axe principal X avec une pression inférieure à 10 MPa afin d’éviter un écoulement de la brasure durant la fabrication du capteur.

A l’étape (e), on réalise un brasage fort de l’assemblage 60 dans un four à une température de brasage Tb supérieure à 450°C sous atmosphère non-oxydante et avec compression de l’assemblage 60 selon l’axe principal X. On chauffe l’assemblage 60 à une vitesse de chauffage qui est par exemple relativement faible (quelques degrés par minute) avec un ou plusieurs paliers d’homogénéisation jusqu’à une température de brasage Tb qui est supérieure à la température L de liquidus de l’alliage de brasure. Puis on maintient cette température de brasage Tb pendant une durée minimale afin de permettre le mouillage et la diffusion entre les différents matériaux. L’atmosphère du four durant le brasage est non-oxydante. Par exemple, le four est rempli d’un mélange gazeux, par exemple d’un gaz neutre tel que l’argon. Avantageusement, l’intérieur du four est sous pression partielle, voire sous vide. A une température donnée, la pression totale d'un mélange gazeux est égale à la somme des pressions partielles exercées par chacun des gaz composant le mélange. LaFIG. 1illustre un transducteur piézoélectrique (1) obtenu avec ce procédé, en coupe selon l’axe principal X.

LaFIG. 2montre un exemple d’un cycle thermique durant le brasage de l’étape (e), dans le cas d’un alliage des feuillards (30a, 30b) qui est un eutectique binaire (72% Ag, 28% Cu). L’axe des abscisses est le temps t, l’axe des ordonnées est la température T. La phase de chauffage comporte un palier d’homogénéisation à une température P sensiblement égale à 200°C. La température de liquidus L est égale à 780°C. On maintient la température de brasage Tb qui est environ égale à 800°C pendant au moins 10 minutes, par exemple de 10 à 15 minutes.

Les essais de contrôle non destructifs d’impédancemétrie et d’échométrie réalisés par les inventeurs montrent que les propriétés acoustiques du spectre fréquentiel pour le transducteur piézoélectrique selon l’invention sont conservées. La comparaison des échogrammes de transducteurs brasés l’un avec une brasure Au-In et l’autre avec la brasure Ag-Cu selon l’invention montre une meilleure sensibilité et résolution axiale du transducteur piézoélectrique selon l’invention, comme l’illustre laFIG. 3. L’intensité du signal reçu par un transducteur piézoélectrique 1 selon l’invention (courbe 1) est supérieure à l’intensité du signal reçu par un transducteur piézoélectrique Au-In de l’art antérieur (courbe 2 en gras).

Avantageusement, on réalise un usinage des différents éléments du transducteur piézoélectrique 1. Par exemple, cet usinage est mécanique à l’aide de machines-outils (tour, fraise, rectifieuse).

Avantageusement, les faces des différentes pièces constitutives de l’assemblage 60 à braser sont polies (par exemple avec une rugosité Ra < 3,2 µm) avant leurs mises en contact. Ainsi, on obtient une meilleure adhérence des pièces. Avantageusement, la planéité de ces faces est inférieure à 0,1 mm.

L’invention concerne également un transducteur piézoélectrique 1 comprenant une électrode avant 10a, une électrode arrière 10b et une céramique piézoélectrique 50 en niobate de lithium présentant une face avant 51a et une face arrière 51b opposée à ladite face avant 51a. Le transducteur piézoélectrique 1 comprend les éléments suivants empilés le long d’un axe principal X entre les électrodes 10a, 10b : une couche de compliance avant 20a déposée sur une face 11a de l’électrode avant 10a, un feuillard avant 30a, une couche primaire d’accrochage avant 40a métallique déposée sur la face avant 51a sans transformation intrinsèque ou surfacique de la céramique 50, la céramique piézoélectrique 50, une couche primaire d’accrochage arrière 40b métallique déposée sur la face arrière 51b sans transformation intrinsèque ou surfacique de la céramique 50, un feuillard arrière 30b et une couche de compliance arrière 20b déposée sur une face 11b de la électrode arrière 10b, le matériau des couches de compliance 20a, 20b étant un conducteur électrique et présentant une température de fusion supérieure à 700°C et un allongement à la rupture supérieur à 20%, et chacun des feuillards 30a, 30b étant en alliage comprenant de l’argent et du cuivre, le transducteur piézoélectrique 1 étant réalisé par brasage fort dans un four à une température de brasage Tb supérieure à 450°C sous atmosphère non-oxydante et, optionnellement, avec compression selon l’axe principal X.

Claims

Procédé de fabrication d’un transducteur piézoélectrique (1) comprenant une électrode avant (10a), une électrode arrière (10b) et une céramique piézoélectrique (50) en niobate de lithium présentant une face avant (51a) et une face arrière (51b) opposée à ladite face avant (51a), ledit procédé étant caractérisé en ce qu’il comporte les étapes suivantes :
(a) On dépose une couche primaire d’accrochage avant (40a) métallique sur ladite face avant (51a) et une couche primaire d’accrochage arrière (40b) métallique sur ladite face arrière (51b) sans transformation intrinsèque ou surfacique de ladite céramique (50).
(b) On dépose une couche de compliance avant (20a) sur une face (11a) de ladite électrode avant (10a), et une couche de compliance arrière (20b) sur une face (11b) de ladite électrode arrière (10b), le matériau desdites couches de compliance (20a, 20b) étant un conducteur électrique et présentant une température de fusion supérieure à 700°C et un allongement à la rupture supérieur à 20%.
(c) On place un feuillard avant (30a) sur ladite couche primaire d’accrochage avant (40a) et un feuillard arrière (30b) sur ladite couche primaire d’accrochage arrière (40b), chacun desdits feuillards (30a, 30b) étant à base d’un alliage d’argent et de cuivre.
(d) On positionne ladite électrode avant (10a) de telle sorte que ladite couche de compliance avant (20a) est en contact avec ledit feuillard avant (30a) et on positionne ladite électrode arrière (10b) de telle sorte que ladite couche de compliance arrière (20b) est en contact avec ledit feuillard arrière (30b) pour former un assemblage (60) selon un axe principal (X) qui est constitué de ladite céramique piézoélectrique (50), desdites couches primaires d’accrochage (40a, 40b), desdits feuillards (30a, 30b), desdites couches de compliance (20a, 20b) et desdites électrodes (10a, 10b).
(e) On réalise un brasage fort dudit assemblage (60) dans un four à une température de brasage (Tb) supérieure à 450°C sous atmosphère non-oxydante.
Procédé selon la revendication 1 tel que le dépôt à l’étape (a) est réalisé soit par métallisation soit par pulvérisation cathodique.
Procédé selon la revendication 1 ou 2 tel que le matériau desdites couches primaires d’accrochage (40a, 40b) est choisi parmi Cr, Ni-Cr, Ti, Ag, Au, Pt.
Procédé selon la revendication 3 tel que le matériau desdites couches primaires d’accrochage (40a, 40b) est un alliage Ni-Cr.
Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 4 tel que le matériau desdites couches de compliance (20a, 20b) est du cuivre ou un alliage à base de cuivre.
Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 5 tel que lesdits feuillards (30a, 30b) présentent une épaisseur inférieure à 1 mm.
Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 6 tel qu’à l’étape (c) l’alliage est binaire à la composition de l’eutectique avec 72% d’argent et 28% de cuivre.
Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 7 tel qu’à l’étape (e) on comprime l’assemblage avec une pression qui est inférieure à 10 MPa.
Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 8 tel qu’à l’étape (e) le brasage est réalisé sous pression partielle de gaz ou sous vide.
Transducteur piézoélectrique (1) comprenant une électrode avant (10a), une électrode arrière (10b) et une céramique piézoélectrique (50) en niobate de lithium présentant une face avant (51a) et une face arrière (51b) opposée à ladite face avant (51a), ledit transducteur piézoélectrique (1) étant caractérisé en ce qu’il comprend les éléments suivants empilés le long d’un axe principal (X) entre lesdites électrodes (10a, 10b) : une couche de compliance avant (20a) déposée sur une face (11a) de ladite électrode avant (10a), un feuillard avant (30a), une couche primaire d’accrochage avant (40a) métallique déposée sur ladite face avant (51a) sans transformation intrinsèque ou surfacique de ladite céramique (50), ladite céramique piézoélectrique (50), une couche primaire d’accrochage arrière (40b) métallique déposée sur ladite face arrière (51b) sans transformation intrinsèque ou surfacique de ladite céramique (50), un feuillard arrière (30b) et une couche de compliance arrière (20b) déposée sur une face (11b) de ladite électrode arrière (10b), le matériau desdites couches de compliance (20a, 20b) étant un conducteur électrique et présentant une température de fusion supérieure à 700°C et un allongement à la rupture supérieur à 20% et chacun desdits feuillards (30a, 30b) étant à base d’un alliage d’argent et de cuivre, ledit transducteur piézoélectrique (1) étant réalisé par brasage fort dans un four à une température de brasage (Tb) supérieure à 450°C sous atmosphère non-oxydante.