FR968943A - Perfectionnements aux dispositifs de pompage à vide élevé - Google Patents

Perfectionnements aux dispositifs de pompage à vide élevé

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
    • H01J41/18—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE971675C (de) * 1955-03-01 1959-03-12 Siemens Ag Anordnung zur Verhuetung des Vordringens von OEldaempfen in den Rezipienten bei mit OEldiffusionspumpen arbeitenden Hochvakuumanlagen
DE1158204B (de) * 1960-03-09 1963-11-28 Balzers Vakuum G M B H Vorrichtung zum Absperren einer Vakuumleitung gegen das Durchstroemen von Daempfen organischer Substanzen
EP0499239A3 (en) * 1991-02-12 1993-03-03 Ebara Corporation Ion pump and vacuum pumping unit using the same
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