GR1008114B - Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου - Google Patents

Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου

Info

Publication number
GR1008114B
GR1008114B GR20130100115A GR20130100115A GR1008114B GR 1008114 B GR1008114 B GR 1008114B GR 20130100115 A GR20130100115 A GR 20130100115A GR 20130100115 A GR20130100115 A GR 20130100115A GR 1008114 B GR1008114 B GR 1008114B
Authority
GR
Greece
Prior art keywords
gas
flow
meter
measuring
pressure
Prior art date
Application number
GR20130100115A
Other languages
English (en)
Inventor
Βασιλειος Ηλια Γραμματικακης
Γεωργιος Αλεξανδρου Γενναδιος
Θεοδωρος Ηλια Αθανασοπουλος
Αναστασιος Ικαρου Πετροπουλος
Original Assignee
Θεων Αισθητηρες Α.Ε.Β.Ε.,
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Θεων Αισθητηρες Α.Ε.Β.Ε., filed Critical Θεων Αισθητηρες Α.Ε.Β.Ε.,
Priority to GR20130100115A priority Critical patent/GR1008114B/el
Publication of GR1008114B publication Critical patent/GR1008114B/el

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/18—Supports or connecting means for meters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/18—Supports or connecting means for meters
    • G01F15/185—Connecting means, e.g. bypass conduits
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
    • G01F5/005—Measuring a proportion of the volume flow by measuring pressure or differential pressure, created by the use of flow constriction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

Η εφεύρεση αναφέρεται σε ένα θερμικό ροόμετρο αερίων που χρησιμοποιείται για την μέτρηση ροής μάζας αερίου σε σωληνώσεις. Το ροόμετρο εγκαθίσταται μεταξύ δύο τμημάτων σωλήνωσης. Το ροόμετρο αποτελείται από ένα μηχανολογικό κέλυφος (1) που κλείνει με καπάκι (2) και στο οποίο η ροή μπορεί να κινηθεί και από τις δύο κατευθύνσεις (3) (4) κατά μήκος της συσκευής. Το ροόμετρο μπορεί να διαθέτει ψηφιακή, αναλογική ή και μικτή έξοδο σήματος. Το ροόμετρο χρησιμοποιεί ένα Μικρο - Ηλεκτρο - Μηχανικό (MEMS) αισθητήριο στοιχείο (9) με διαστάσεις 7.1 mm x 3.1 mm το οποίο και κατασκευάζεται από πυρίτιο με διαδικασίες MOS. Επιπλέον χρησιμοποιεί ένα Μικρο - Ηλεκτρο - Μηχανικό (MEMS) αισθητήριο στοιχείο πίεσης (10) με διαστάσεις 2 x 2 mm το οποίο επίσης κατασκευάζεται από πυρίτιο με επιπεδικές διαδικασίες λιθογραφίας (planar silicon lithographic fabrication process). Το αισθητήριο της ροής λειτουργεί με θερμική αρχή χρησιμοποιώντας θερμαντικές αντιστάσεις (35) (36) και αντιστάσεις αναφοράς (33) (34) τοποθετημένες πάνω σε 2 ξεχωριστές μεμβράνες (32) (40) πυριτίου πάχους 2 μm που παρέχουν θερμική απομόνωση. Οι αντιστάσεις συνδέονται σε κύκλωμα που διατηρεί σταθερή την θερμοκρασία τους και λόγω της συμμετρικότητας των δομών, ροή και προς τις δύο κατευθύνσεις μπορεί να ανιχνευθεί. Η παρουσία των αντιστάσεων αναφοράς (33) (34) επιτρέπει την μέτρηση της θερμοκρασίας του αέριου και την θερμοκρασιακή διόρθωση των μετρήσεων. Η παρουσία του αισθητήριου πίεσης (10) μετατρέπει τις μεταβολές της πίεσης σε μεταβολές χωρητικότητας. Οι τελευταίες μετατρέπονται σε ψηφιακές τιμές από έναν Χωρητικό σε Ψηφιακό Μετατροπέα (ΧΨΜ) (46). Γνωρίζοντας την πίεση και την θερμοκρασία του αέριου καθώς και την ροή όγκου είναι
GR20130100115A 2013-02-28 2013-02-28 Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου GR1008114B (el)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GR20130100115A GR1008114B (el) 2013-02-28 2013-02-28 Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GR20130100115A GR1008114B (el) 2013-02-28 2013-02-28 Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου

Publications (1)

Publication Number Publication Date
GR1008114B true GR1008114B (el) 2014-02-11

Family

ID=48986160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
GR20130100115A GR1008114B (el) 2013-02-28 2013-02-28 Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου

Country Status (1)

Country Link
GR (1) GR1008114B (el)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3869162A1 (en) * 2020-02-24 2021-08-25 Seyonic SA Fluid flow rate measurement device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5911238A (en) * 1996-10-04 1999-06-15 Emerson Electric Co. Thermal mass flowmeter and mass flow controller, flowmetering system and method
US20050183500A1 (en) * 2004-02-19 2005-08-25 Souhei Kanouda Split-flow-type flow sensor device
US20070107511A1 (en) * 2003-09-29 2007-05-17 Manfred Strohrmann Printed-circuit board having a plastic part for accommodating a measuring device
US20090095069A1 (en) * 2006-03-03 2009-04-16 Mann+Hummel Gmbh Arrangement of an Air Mass Meter at a Flow Channel
EP2482043A1 (en) * 2011-01-31 2012-08-01 Honeywell International, Inc. Flow sensor assembly with integral bypass channel

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5911238A (en) * 1996-10-04 1999-06-15 Emerson Electric Co. Thermal mass flowmeter and mass flow controller, flowmetering system and method
US20070107511A1 (en) * 2003-09-29 2007-05-17 Manfred Strohrmann Printed-circuit board having a plastic part for accommodating a measuring device
US20050183500A1 (en) * 2004-02-19 2005-08-25 Souhei Kanouda Split-flow-type flow sensor device
US20090095069A1 (en) * 2006-03-03 2009-04-16 Mann+Hummel Gmbh Arrangement of an Air Mass Meter at a Flow Channel
EP2482043A1 (en) * 2011-01-31 2012-08-01 Honeywell International, Inc. Flow sensor assembly with integral bypass channel

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3869162A1 (en) * 2020-02-24 2021-08-25 Seyonic SA Fluid flow rate measurement device
US11709081B2 (en) 2020-02-24 2023-07-25 Seyonic S.A. Fluid flow rate measurement device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Xu et al. Low-cost temperature-compensated thermoresistive micro calorimetric flow sensor by using 0.35 μm CMOS MEMS technology
RU2015106923A (ru) Определение характеристики текучей среды для многокомпонентной текучей среды с сжимаемыми и несжимаемыми компонентами
CN103808381B (zh) 一种时差式超声波流量计的温度影响消除方法
MX387360B (es) Aparato que determina desfase de cero diferencial en flujómetro de vibración y método relacionado.
MX2010003814A (es) Medidor de flujo vibratorio y metodo para determinar una temperatura de fluido de un material de flujo.
Xu et al. A wireless dual-mode micro thermal flow sensor system with extended flow range by using CMOS-MEMS process
RU2013115749A (ru) Компенсация тепловых напряжений в вибрационном расходомере с изогнутым трубопроводом
MX2011010001A (es) Metodo y aparato para la medicion de la fraccion de masa de agua en mezclas de petroleo-agua.
IN2014CN02037A (el)
WO2013124021A3 (de) Temperaturmessgerät, temperaturmessgerät-set und verfahren zur konfiguration eines mit einem thermoelement betreibbaren temperaturmessgeräts
WO2011083393A3 (en) System for measuring fluid flow velocity
GB2432220A (en) Attitude error self-correction for thermal sensors of mass flow meters and controllers
CN104101392B (zh) 具有改进的线性输出的流量传感器
MX2020009297A (es) Metodo para compensar flujo masico usando densidad conocida.
CN104034378A (zh) 恒流法热式气体质量流量计及其测量方法
CN104990572A (zh) 一种油井专用一体化温、压变送器
GR1008114B (el) Θερμικο ροομετρο αεριων με διορθωση πιεσης και θερμοκρασιας και μεθοδος παραγωγης αυτου
CN104236739A (zh) 一种温湿度传感器
CN104155027A (zh) 一种制动电阻的温度检测装置
CN204007745U (zh) 毕托巴一体化质量流量计
CN203101474U (zh) 一种高压电力系统带电显示检测装置
WO2018105753A3 (ja) センサ基板、風速測定装置および風量測定装置
CN206772487U (zh) 带现场温度补偿的远传压力变送器
CN103162771B (zh) 流体计量装置的标定方法
CN204064363U (zh) 一种用于热式气体质量流量计的传感器电路

Legal Events

Date Code Title Description
PG Patent granted

Effective date: 20140317