ID17727A - Peralatan dan metode untuk menangani lapisan-lapisan bawah dalam tangki cairan - Google Patents

Peralatan dan metode untuk menangani lapisan-lapisan bawah dalam tangki cairan

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ID17727A
ID17727A IDP971343A ID971343A ID17727A ID 17727 A ID17727 A ID 17727A ID P971343 A IDP971343 A ID P971343A ID 971343 A ID971343 A ID 971343A ID 17727 A ID17727 A ID 17727A
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IDP971343A
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Inventor
Dietmar Schonleber
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Steag Micro Tech Gmbh
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
    • H10P72/0406—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H10P72/0411—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H10P72/0416—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing with the semiconductor substrates being dipped in baths or vessels
IDP971343A 1996-04-22 1997-04-22 Peralatan dan metode untuk menangani lapisan-lapisan bawah dalam tangki cairan ID17727A (id)

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