IT1107980B - Perfezionamento nelle maschere per la produzione di dispositivi ad alta risoluzione come i domini magnetici a bolle e procedimento di fabbricazione - Google Patents

Perfezionamento nelle maschere per la produzione di dispositivi ad alta risoluzione come i domini magnetici a bolle e procedimento di fabbricazione

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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/22—Masks or mask blanks for imaging by radiation of 100nm or shorter wavelength, e.g. X-ray masks, extreme ultraviolet [EUV] masks; Preparation thereof

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IT52139/78A 1977-12-02 1978-11-30 Perfezionamento nelle maschere per la produzione di dispositivi ad alta risoluzione come i domini magnetici a bolle e procedimento di fabbricazione IT1107980B (it)

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