IT1214252B - Modulazione dell'esposizione di uno strato di fotoresist in corrispondenza di bordi di aperture con metodi diffrattivi. - Google Patents

Modulazione dell'esposizione di uno strato di fotoresist in corrispondenza di bordi di aperture con metodi diffrattivi.

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IT1214252B
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Laura Bacci
Marco Buraschi
Giorgio De Santi
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Sgs Microelettronica Spa
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