IT8267936A1 - Procedimento per modulare un fascio laser - Google Patents

Procedimento per modulare un fascio laser

Info

Publication number
IT8267936A1
IT8267936A1 ITTO1982A067936A IT6793682A IT8267936A1 IT 8267936 A1 IT8267936 A1 IT 8267936A1 IT TO1982A067936 A ITTO1982A067936 A IT TO1982A067936A IT 6793682 A IT6793682 A IT 6793682A IT 8267936 A1 IT8267936 A1 IT 8267936A1
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
laser beam
notches
holes
perforated
rotating member
Prior art date
Application number
ITTO1982A067936A
Other languages
English (en)
Other versions
IT8267936A0 (it
IT1155569B (it
Original Assignee
Centre De Recherches Metallurgiques Centrum Voor Res In De Metallurgie
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre De Recherches Metallurgiques Centrum Voor Res In De Metallurgie filed Critical Centre De Recherches Metallurgiques Centrum Voor Res In De Metallurgie
Publication of IT8267936A0 publication Critical patent/IT8267936A0/it
Publication of IT8267936A1 publication Critical patent/IT8267936A1/it
Application granted granted Critical
Publication of IT1155569B publication Critical patent/IT1155569B/it

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

DOCUMENTAZIONE
RILEGATA
DESCRIZIONE C 2146/8108 dell'invenzione industriale avente per titolo:
"PROCEDIMENTO PER MODULARE UN FASCIO LASER"
del CENTRE DE RECHERCHES METALLURGIQUES - CENTRUM VOOR RESEARCH
IN DE METALLURGIE, Association sans but lucratif - Vereniging
zonder winstoogmerk, associazione, di nazionalit? belga con sede a Bruxelles (Belgio), 47 Rue Montoyer.
Domanda depositata il ? . ..... _ 679 36 A / 82
t 1 un?
RIASSUNTO
Procedimento per modulare un fascio laser, nel quale un organo
girevole forato, preferibilmente un disco munito di fori o di
intagli, ruota in detto fascio lasciando passare ad intermittenza la totalit? o una parte di detto fascio, in cui si utilizza
un organo girevole forato nel quale le pareti laterali dei fori
o degli intagli di passaggio del fascio laser sono inclinate rispetto all'asse del fascio, in modo da deviare almeno una parte
del fascio, durante la fase di intercettazione di esso, verso
un'altra zona del bersaglio. *77?
La presente invenzione si riferisce ad un procedimento per modulare un f?scio laser. Si conoscono attualmente diversi tipi di
laser di grande potenza. Tuttavia tra i diversi tipi esistenti,
o? solo i laser molecolari a Co presentano una robustezza ed un
2
rendimento sufficienti per permettere la loro applicazione in
dustriale .
Questi laser, la cui potenza pu? raggiungere diverse decine di chilowatt, sono per? studiati per funzionare in modo continuo, .essi non sono quindi utilizzabili- quando si ha bisogno d'un fascio di grande potenza modulato, come ad esempio, per il trat-_ _tamento_superficiale di parti metalliche o per il taglio, ad im-_ pulsi . . . _ _ _ _ _ _ . ? _ _ Inoltre la modulazione di fasci di potenza elevata presenta se-_rii inconvenienti termici e meccanici . Si conoscono,., ben .inteso , _diversi_mezzi_che_permettono di modulare un.fascio, laser. _
_ Un primo mezzo .consisterei far variare, elettricamente la cor-, _ rente . elettrica. d 'eccitazione_del_tubo. emi ttente , .il _tempo_di _ . _ risposta. per?_?_troppo, lungo, e .non.?.possibile , .con questo me zzo, modulare ,il_fascio . oltre le 1.000 variazioni per secondo . . ^Esistono anche .modulatori ottici , per esempio degli specchi vi- _ branti , come pure modulatori elettro-ottici o ottico-acustici . Tuttavia essi non sono sempre uti lizzabi li a causa di serii problemi di dispersione di. calore , quando la potenza del fascio ?. superiore a circa 100 W. Gli specchi vibranti , per esempio, devono essere raffreddati ad acqua, il che implica una massa elevata e limita la frequenza di vibrazione dello specchio , e , di. conseguenza, la frequenza di modulazione dei fasci laser.
_Un altro mezzo conosciuto consiste nell 'utilizzare un disco roj_ _ tante nel fascio e presentante aperture o munito di intagli alla sua periferia, che lasciano passare parzialmente o completa^ mente il fascio laser, il quale ? cos? interrotto con una fre-_
quenza che dipende dalla velocit? di rotazione del disco.
Con questo tipo conosciuto di disco forato, una parte importante dell'energia del fascio laser ? per? inutilizzabile, poich?
essa ? o riflessa, o assorbita dalla parte opaca del disco che
separa le aperture successive. Questo sistema presenta anche un
altro inconveniente grave nel caso in cui_? necessario modulare
ad altissima frequenza dei fasci di grande potenza._ _ _
A titolo d'esempio,.per un fasciodi 20_mm di_diametro corrispon-_
denti ad una potenza di 2 kW che . si desideri modulare in ragion _ ._ _ _ ne di 10.000 impulsi per secondo , per mezzo di un disco munito _ _ di intagli di 20 mm di larghezza separati da spazi opachi di 20 _
mm, la velocit? periferica del di sco deve^ essere largamente su^_ _ _ _ ? periore alla velocit? del suono nell 'aria. _
Il_ richiedente attualmente ha trovato un mezzo che permette da _ _
una parte di utilizzare almeno una parte di questa energia che _ precedentemente era persa e di migliorare cos? in maniera sensi- _
bi le , il bilancio energetico dell 'operazione , e d ' altra parte
di modulare a frequenze che possono essere elevatissime un fa-__ pifrffK) scio laser di grande potenza per mezzo di un disco di interruzione , senza che questo sia sottoposto a velocit? peri feriche
eccessive. _ _
Il procedimento di modulazione di un fascio laser,nel quale un
organo rotativo forato,preferibilmente un disco munito di fori _ o di intagli, gira in detto fascio lasciando passare ad inter-__
mittenza la totalit? od una parte di detto fascio, ? essenzialmente caratterizzato dal fatto che si usa un organo rotativo forato nel quale le pareti laterali dei fori o degli intagli di passaggio del fascio laser sono inclinate rispetto all'asse di. detto fascio, in maniera da deviare almeno una parte di detto fascio, durante la fase d'intercettazione di esso, verso un'altra zona del bersaglio.
In maniera particolarmente vantaggiosa, le pareti laterali di...
^detti fori o intagli, sono sensibilmente parallele fra loro, in modo da spostare la zona d'impatto del fascio deviato sul ber-, saglio, sia in avanti, sia indietro_dalla_ zona trattata dal fa-4 <?>scio non deviato, in modo da assicurare , secondo il senso di
I
spostamento relativo dell^organo_girevole ^forato. e del bersa- _ glio, sia un preriscaldamento sia un rinvenimento di questa zona trattata dal fascio non deviato.
fecondo una variante di messa in opera particolarmente vantaggiosa nel caso della modulazione a^frequenza elevata di un fa-, scio laser di grande potenza, si dispone detto organo rotativo, forato in una zona dove la sezione del fascio ? inferiore alla sua sezione iniziale , preferibilmente in un cono di focalizza-, li ? zione del fascio.
.Secondo una modalit? di messa in opera, se il fascio presenta . normalmente un cono di focalizzazione , per esempio allo scopo _ _ di concentrare l 'energia del fascio su una zona limitata del-_ la superficie di un pezzo, l 'organo girevole .forato sar? vantaggio semente disposto tra la lente di focalizzazione ed il pezzo
da trattare.
Secondo un 'altra modalit? di messa in opera applicabile quando
il fascio non presenta dei coni di focalizzazione , si utilizzer?
van t aggi ps amen te un sistema afocale , cio? un sistema ottico il
cui punto focale ? all 'infinito , che focalizza il fascio , rendendogli poi il suo parallelismo iniziale e si disporr? allora
l 'organo girevole forato in un cono di focalizzazione cos? forcato. _ _ _ _ _
La disposizione dell 'organo girevole forato in una zona dove il
fascio presenta una sezione ridotta permette di diminuire la dimensione delle perforazioni , fori o intagli , e di conseguenza,
d 'aumentare il loro numero _e_di diminuire la velocit? di rota-_
zione dell ?organo girevole forato per ottenere una medesima
^ frequenza di modulazione ..
In questa disposizione , l 'organo girevole forato ? sottoposto
f ad una maggiore densit? d ?energia, grazie alla riduzione della
sezione del fascio laser.
E ' quindi vantaggioso prevedere dei mezzi di protezione per evi
tare il suo danneggiamento da parte del fascio d 'energia. ^ perno au**? Secondo un primo modo di realizzazione , l 'organo girevole forato pu? essere fabbricato in un materiale .che rifletta il fak<'>Uffl?fcWRoganffr scio, in particolare in un materiale buon conduttore dell 'elet-V\ ? tricit?, come il rame , l 'alluminio, l 'acciaio inossidabile o
fo *0 l ' acciaio al carbonio.
Vantaggiosamente, l ' organo girevole forato di materiale riflettente pu? essere provvisto , almeno sulla parte della sua superficie esposta al fascio laser, di un rivestimento metallico ,
per esempio di oro, al fine di aumentare il suo potere riflettente e/o di impedire la sua ossidazione .
Secondo un altro modo di realizzazione dell ? invenzione , l 'organo girevole forato pu? essere costi tuito di un materiale assorbente; preferibilmente solo la parte della sua superfi cie espo-=?
sta al fascio laser e situata fra i fori o intagli successivi ,
sar? costituita o rivestita di un materiale assorbente , per
^ esempio di un ossido metallico.
Per questo scopo si sceglier? favorevolmente un materiale assorbente buon conduttore de l calore , in modo da evitare un riscaldamento troppo localizzato dell 'organo girevole forato .
^ Secondo l 'invenzione , specialmente quando l 'organo girevole forato ? disposto in una zona dove il fascio presenta una sezione
ridotta, per esempio in un cono di fecalizzazione , ? particolarmente vantaggioso dare alle pareti laterali inclinate dei fori
. 0 intagli , un profilo tale che il piano di focalizzazione
. . . . j > del fascio riflesso coincida con il piano della superficie del ? ? . bersaglio al punto d 'impatto di detto fascio ri flesso.
. Secondo un altro modo di messa in opera del procedimento del- .
^ l 'invenzione , ? risultato vantaggioso utilizzare un organo gi-,
_ revole forato nel quale almeno una dimensione , preferibilmente.
. la larghezza, dei. fori o intagli successivi di passaggio del , _ fascio laser e/o delle parti opache situate fra detti fori o
intagli , varia in maniera aleatoria lungo la circonferenza descritta da detti fori o intagli .
Una tale disposizione permette di fare variare , praticamente da
punto a punto , l ' intensit? di trattamento alla quale ? sottopor
sta la superficie del bersaglio .
Il raffreddamento dell ?organo girevole forato sottoposto ad un
fascio laser ? assicurato in primo luogo dal movimento . dell 'origano stesso nell 'aria. Tuttavia pu? essere vantaggioso prevede^
^re un mezzo di raffreddamento supplementare , per esempio una
corrente d'aria trasversale , quando, secondo l 'invenzione , l 'or-<i>gano rotativo forato ? disposto nel cono di focalizzazione del
fascio laser. __ _ _ _ _ _ _ __ _ _
Le figure allegate illustrano schematicamente, a titolo esempli
estivo, un modo di realizzazione dell'invenzione.
La figura 1 rappresenta una vista in pianta di un disco provvisto di una serie di perforazioni le cui pareti laterali, cio?
radiali, sono inclinate rispetto alla superficie superiore del
disco.
La figura 2 mostra una sezione secondo la linea A-A, che fa ve _,r-<r>'-<o QaUZ>* dere l'inclinazione delle pareti laterali 1 delle perforazioni
2 praticate nel disco 3.
Nella figura 2a, il fascio laser 4 attraversa il disco 3 lungo
.la perforazione 2 e arriva a colpire il bersaglio 5 al punto 6,
Nella figura 2b, il disco ed il bersaglio si sono spostati nel^
T
RIVENDICAZIONI
1. Procedimento di modulazione di un fascio laser, nel quale un organo girevole forato, preferibilmente un disco provvisto di fori o di intagli , gira in detto fascio lasciando passare ad intermittenza la totalit? od una parte di detto fascio , caratterizzato dal fatto che si usa un organo girevole forato nel quale le pareti laterali dei fori o degli intagli di passaggio del fascio laser sono inclinate rispetto all 'asse di detto fascio, in modo da deviare almeno una parte di detto fascio, durante la fase di intercettazione di esso, verso un 'altra zona del bersaglio, 2. Procedimento secondo la rivendicazione 1 , caratterizzato dal fatto che le pareti laterali di detti fori o intagli sono sensibilmente parallele fra loro .
3. Procedimento secondo una o l 'altra delle rivendicazioni 1 e 2 , caratterizzato dal fatto che si dispone detto organo girevole forato in una zona dove la sezione del fascio ? inferiore alla sua sezione iniziale .
- 8 i ! t I 4. Procedimento secondo una o l'altra delle rivendicazioni da 1 a 3, caratterizzato dal fatto che si dispone detto organo girevole forato in un cono di focalizzazione di detto fascio.
5. Procedimento secondo una o l'altra delle rivendicazioni da 1 a 3, caratterizzato dal fatto che, se<? >il fascio non presenta dei coni di focalizzazione, si dispone sulla sua_traiettoria un sistema afocale che focalizza il fascio, rendendoglipoi j.1 suo parallelismo iniziale e dal fatto che si dispone detto organo girevole forato nel cono di focalizzazione cos? formato^
6. Procedimento,secondo^una^o,l'altra delle rivendicazioni.da. l a 5,.caratterizzato dal,fatto_che si_utilizza_un_organo.rotativo_forat_o_costituito,..almeno_in.parte,_di_un_materiale_che_ riflette, almeno parzialmente, detto fascio laser.
7. Procedimento.secondo una.o 1.'altra delle .rivendicazioni, da la 6, caratterizzato dal fatto che.si_utilizza ?? organo girevole forato che, almeno,sulla parte della sua superficie esposta a detto fascio, ? provvisto di un rivestimento riflettente, preferibilmente metallico._
8. Procedimento secondo una o l'altra delle rivendicazioni da 1 a 5, caratterizzato dal fatto che si utilizza un organo girevole forato costituito, almeno parzialmente, di un materiale che assorbe, almeno in parte, detto fascio laser.
9. _Procedimento secondo una o l'altra delle rivendicazioni da 1 a 5, caratterizzato dal fatto che si utilizza un organo rotativo forato che, almeno sulla.parte della sua superficie esposta

Claims (1)

  1. ?
    a detto fascio laser e situata fra i fori o intagli successivi, ? provvisto di un rivestimento di un materiale che assorbe detto fascio laser.
    10. Procedimento secondo una o l'altra delle rivendicazioni 3 e 4, e da 6 a 9, caratterizzato dal fatto che, alle pareti laterali inclinate di detti fori o intagli, si da un profilo tale che il piano di focalizzazione del fascio laser riflesso coincida col piano della superficie del bersaglio al punto d?impatto del fascio riflesso.
    ; 11. Procedimento secondo una o l'altra delle rivendicazioni da 1 a 10, caratterizzato dal fatto che si utilizza un organo, [ girevole forato nel quale almeno una dimensione , preferibilmente la larghezza, dei fori o intagli successivi di passaggio del fascio laser, e/o delle parti opache situate fra detti fori o intagli , varia in modo aleatorio lungo la circonferenza descritta da detti fori o intagli .
    12. Procedimento secondo una o l ' altra delle rivendicazioni da 1 a 11, caratterizzato dal fatto che si intensifica il raffreddamente dell 'organo . girevole forato sottoponendolo ad una corrente di fluido refrigerante,
    pteTEO
    ile Roganti
    0*
    M
    <r>0 t
    io - \ (
    i *
IT67936/82A 1981-08-06 1982-07-21 Procedimento per modulare un fascio laser IT1155569B (it)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LU83535A LU83535A1 (fr) 1981-08-06 1981-08-06 Procede pour moduler un faisceau laser

Publications (3)

Publication Number Publication Date
IT8267936A0 IT8267936A0 (it) 1982-07-21
IT8267936A1 true IT8267936A1 (it) 1984-01-21
IT1155569B IT1155569B (it) 1987-01-28

Family

ID=19729706

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
IT67936/82A IT1155569B (it) 1981-08-06 1982-07-21 Procedimento per modulare un fascio laser

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4462660A (it)
JP (1) JPS5834402A (it)
BE (1) BE894042A (it)
CA (1) CA1191371A (it)
DE (1) DE3226811A1 (it)
FR (1) FR2530878B1 (it)
GB (1) GB2108280B (it)
IT (1) IT1155569B (it)
LU (1) LU83535A1 (it)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58163912A (ja) * 1982-03-25 1983-09-28 Amada Co Ltd レーザビーム変調装置
DD234208A3 (de) * 1984-06-08 1986-03-26 Halle Feinmech Werke Veb Anordnung zur externen modulation von ir-laser-strahlung hoher leistung
US4820918A (en) * 1985-06-28 1989-04-11 Canon Kabushiki Kaisha Optical encoder including transparent substrates having formed indicators therein
JPS62230402A (ja) * 1986-03-31 1987-10-09 Kawasaki Steel Corp 塗装用鋼板及びその製造方法
BE1000908A6 (fr) * 1987-09-11 1989-05-16 Centre Rech Metallurgique Dispositif pour moduler un faisceau laser.
JPH0163921U (it) * 1987-10-15 1989-04-25
DE4341578C2 (de) * 1993-12-07 1995-11-09 Goerlitz Waggonbau Gmbh Rotationslaser zur Vermessung der Rechtwinkligkeit von Großbauteilen
CN100491048C (zh) * 2007-05-24 2009-05-27 上海交通大学 分光式激光毛化调制装置
CN110052703A (zh) * 2019-05-23 2019-07-26 桂林电子科技大学 连续激光与超声复合表面微加工系统及方法
CN110814521A (zh) * 2019-06-05 2020-02-21 杭州巨星科技股份有限公司 一种模具钢表面激光毛化试验方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2029348A (en) * 1934-05-16 1936-02-04 John W Van Denburg Headlight system
US4118619A (en) * 1977-08-02 1978-10-03 R. J. Reynolds Tobacco Company Rotary beam chopper and scanning system
GB2022492B (en) * 1978-06-07 1982-06-09 Philip Morris Inc Method and apparatus for perforation of sheet material by laser
FI68547C (fi) * 1978-08-10 1985-10-10 Philip Morris Inc Foerfarande och anordning foer perforering av ett i ett transportplan avancerande skivmaterial medelst ett straolknippe avjusenergi
FR2437008B1 (fr) * 1978-09-20 1985-06-28 Philip Morris Inc Appareil de production de faisceaux lumineux pulses
US4672168A (en) * 1978-10-25 1987-06-09 Coherent, Inc. Apparatus for perforating sheet material
AU532065B2 (en) * 1979-06-08 1983-09-15 Philip Morris Products Inc. Optical perforating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
IT8267936A0 (it) 1982-07-21
LU83535A1 (fr) 1983-06-08
JPS6257010B2 (it) 1987-11-28
JPS5834402A (ja) 1983-02-28
FR2530878A1 (fr) 1984-01-27
BE894042A (fr) 1982-12-01
CA1191371A (en) 1985-08-06
GB2108280A (en) 1983-05-11
IT1155569B (it) 1987-01-28
FR2530878B1 (fr) 1987-05-07
US4462660A (en) 1984-07-31
GB2108280B (en) 1985-02-20
DE3226811A1 (de) 1983-03-24
DE3226811C2 (it) 1991-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4505190B2 (ja) レーザ切断装置
EP1020249B1 (en) Laser beam machining head
JP2010512549A (ja) 露光装置
GB2255199A (en) Optic fibre-laser connector
US20060098700A1 (en) Method and a laser device for producing high optical power density
IT8348306A1 (it) Dispositivo laser a fascio orientabile rapidamente
JP2707143B2 (ja) 薄膜ｅｌ端部発光構造体においてピクセル・アレーを画定する方法
US6037565A (en) Laser illuminator and optical system for disk patterning
JPH0833563B2 (ja) 光波長変換モジュール
JP6779301B2 (ja) レーザ装置、及び極端紫外光生成システム
US4462660A (en) Modulating a laser beam
US4357077A (en) High powered laser window-mirror
JP2008544859A (ja) レーザ溶接システム及び方法
JPH06126477A (ja) レーザ加工装置
JP2001053368A5 (it)
EP0236521B1 (en) Reflection type optical device
JP2000067626A5 (it)
JPS5942504A (ja) 光フアイバ−ケ−ブル
JP2003215518A (ja) 光変調器および光変調方法
US20250234448A1 (en) On-axis type euv light source device with target material supply channel
US20250234446A1 (en) Rotational disk structure for euv light source device
KR20250110110A (ko) 파편 쉴드를 포함하는 쉴드 일체형 회전 디스크 euv 광원 장치
JP2003249706A (ja) レーザ光照射装置
JPH08248196A (ja) 集光ミラー
JPH01309007A (ja) 大電力炭酸ガスレーザ光伝送装置

Legal Events

Date Code Title Description
TA Fee payment date (situation as of event date), data collected since 19931001

Effective date: 19950619