ITMI942309A1

ITMI942309A1 - Insieme di specchi-azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico e metodo per la sua fabbricazione

Info

Publication number: ITMI942309A1
Application number: IT94MI002309A
Authority: IT
Inventors: Yong-Ki Min; Myoung-Jin Kim
Original assignee: Daewoo Electronics Co Ltd
Priority date: 1993-11-16
Filing date: 1994-11-15
Publication date: 1996-05-15
Also published as: US5835293A; CN1047904C; ES2145086T3; DE69423070D1; JP3253304B2; CN1135276A; EP0653657A1; ITMI942309A0; HU220515B1; EP0653657B1; RU2125347C1; AU693139B2; DE69423070T2; HU9601201D0; AU1121595A; JPH09505157A; US6030083A; BR9408054A; CA2176347A1; US5984481A

Abstract

Un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico comprende una matrice attiva, un insieme di M x N strutture di azionamento in pellicola sottile ciascuna che è provvista di una prima ed una seconda parte le quali comprendono almeno uno strato di pellicola sottile di un materiale che induce movimento, una coppia di elettrodi posti sulla sommità e sul fondo dello strato di pellicola sottile che induce movimento, un insieme di M x N elementi di supporto che sono usati per mantenere ciascuna delle strutture di azionamento in posizione montando a sbalzo ciascuna delle strutture di azionamento ed anche per collegare elettricamente ciascuna delle strutture e la matrice attiva, e un insieme di M x N strati a specchio per riflettere fasci di luce che comprendono un primo lato, un secondo lato opposto ed una porzione centrale tra questi, il primo lato ed il secondo lato sono fissati sulla sommità delle prime e seconde parti, così che quando le prime e seconde parti si deformano in risposta ad un segnale elettrico applicato tra i primi ed i secondi elettrodi, la porzione centrale dello specchio si inclina rimanendo piana, in modo da consentire a tutta la porzione centrale di riflettere i fasci di luce.

Description

DESCRIZIONE dell'invenzione industriale

Campo dell'invenzione

La presente invenzione si riferisce ad un sistema di proiezione ottico; e, più particolarmente, ad un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi nel sistema e nel metodo di sua fabbricazione .

Descrizione dell'arte precedente

Tra i vari sistemi di rappresentazione video disponibili nell'arte, è noto un sistema di proiezione ottico che è capace di fornire una visualizzazione di elevata qualità in un'ampia scala. In un tale sistema di proiezione ottico, la luce da una lampada è uniformemente illuminata su un insieme di specchi azionati, per esempio M x N, così che ciascuno degli specchi è accoppiato con ciascuno degli attuatori. Gli attuatori possono essere fatti di un materiale elettrospostabile quale un materiale piezoelettrico o elettrostrittivo che si deforma in risposta ad un campo elettrico ad esso applicato.

Il fascio di luce riflesso da ciascuno degli specchi è incidente su una apertura di un diaframma. Applicando un segnale elettrico a ciascuno degli attuatori, la posizione relativa di ciascuno degli specchi rispetto al fascio di luce incidente viene alterata, determinando di conseguenza una deviazione nel percorso ottico del fascio riflesso di ciascuno degli specchi. Quando viene variato il percorso ottico di ciascuno dei fasci riflessi, viene cambiata la quantità di luce riflessa da ciascuno degli specchi che passa attraverso l'apertura, in questo modo modulando l'intensità del fascio. I fasci modulati attraverso l'apertura vengono trasmessi sullo schermo di proiezione attraverso un dispositivo ottico appropriato quale una lente di proiezione, in questo modo visualizzando su questo una immagine.

In Fig. 1, viene mostrata una vista in sezione trasversale di un insieme a specchio azionato elettrospostabile M x N 10 da usarsi in un sistema di proiezione ottico, discusso in una domanda copendente posseduta comunemente, U.S. N. 08/278,472, intitolata "INSIEME A SPECCHIO AZIONATO ELETTROSPQSTABILE “, comprendente: una matrice attiva 11 che comprende un substrato 12 ed un insieme di M x N transistor su essa; un insieme 13 di M x N attuatori elettrospostabili 30, ciascuno degli attuatori elettrospostabili 30 comprendendo una coppia d1 elementi di azionamento 14, 15, una coppia di elettrodi di spinta 16, 17, ed un elettrodo segnale comune 18; un insieme 19 di M x N cerniere 31, ciascuna delle cerniere 31 accoppiata in ciascuno degli attuatori elettrospostabili 30; un insieme 20 di M x N terminali di collegamento 22, ciascuno dei terminali di collegamento 22 essendo utilizzato per collegare elettricamente ciascuno degli elettrodi segnale 13 con la matrice attiva 11; ed un insieme 21 di M x N specchi 23, ciascuno degli specchi 23 essendo montato sulla sommità di ciascuna delle M x N cerniere 31.

Vi è un certo numero di problemi associati con l’insieme a specchio azionato elettrospostaD i1e descritto in precedenza. Prima di tutto, dal momento che il materiale elettrospostabile che costituisce gli elementi di azionamento è in forma voluminosa, esso degraderà probabilmente dopo un uso esteso, il che intaccherà la prestazione degli specchi azionati nell'insieme. Ulteriormente, dal momento che ciascuno degli specchi azionati non è separato l'uno dall'altro, elettricamente o fisicamente, l'azione di ciascuno specchio azionato è intaccata da quelle degli specchi azionati circostanti.

Nella domanda copendente in precedenza menzionata, comunemente posseduta, viene anche discusso un metodo per la fabbricazione di un tale insieme di M x N specchi azionati elettrospostabili, che utilizza un wafer ceramico avente uno spessore da 30 a 50 pm.

Comunque, vi è spazio per ulterilri miglioramenti rispetto al sopra descritto metodo di fabbricazione di un insieme di M x iN attuatori elettrospostabili. Prima di tutto, è piuttosto difficile ottenere un wafer ceramico avente uno spessore da 30 a 50 pm; e, ulteriormente , una volta che lo spessore del wafer ceramico viene ridotto ad un campo da 30 a 50 μm, le sue proprietà meccaniche sono similmente degradate il che può, a sua volta rendere difficile realizzare il procedimento di fabbricazione.

In aggiunta, esso comporta un certo consumo di tempo, procedimenti fastidiosi e severi da controllare, rendendo difficile ottenere la desiderata riproducibilità, affidabilità e resa; e, inoltre, vi è un limite al suo dimensionamento verso il basso.

Sommario dell'invenzione

E', quindi, uno scopo principale della presente invenzione realizzare un metodo per la fabbricazione di un insieme di M x N specchi azionati, che faccia a meno dell'uso di un wafer ceramico elettrospostabile sottile .

E' un altro scopo della presente invenzione realizzare un metodo nuovo e migliorato per la fabbricazione di un insieme di M x N specchi azionati che impartirà riproducibilità, affidabilità e resa più alte.

E’ un ulteriore scopo della presente invenzione realizzare un insieme di M x N specchi azionati avente una nuova struttura e capace di mantenere una integrità di prestazione dopo un uso intenso.

E' ancora un ulteriore scopo della presente invenzione realizzare un insieme di M x N specchi azionati avente una efficienza ottica migliorata.

Secondo un aspetto della presente invenzione, viene realizzato un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico, l'insieme comprendendo: una matrice attiva comprendente un substrato, un insieme di M x N transistor ed un insieme di M x N terminali di collegamento; un insieme di M x N strutture di azionamento in pellicola sottile, ciascuna delle strutture di azionamento comprendendo una prima ed una seconda parte di azionamento, le prime e le seconde parti di azionamento essendo identicamente strutturate, ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento essendo fornita di una superficie di sommità ed una di fondo, una estremità prossimale ed una distale, ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento avendo almeno uno strato in pellicola sottile di un materiale che induce movimento comprendente una superficie di sommità ed una di fondo ed un primo ed un secondo elettrodo con il primo elettrodo che è collocato sulla superficie di sommità dello strato in pellicola sottile che induce movimento, ed il secondo elettrodo, sulla superficie di fondo dello strato in pellicola sottile che induce movimento, in cui un segnale elettrico applicato attraverso lo strato in pellicola sottile che induce movimento tra il primo ed il secondo elettrodo di ciascuna parte di azionamento determina una deformazione dello strato in pellicola sottile che induce movimento, e pertanto della parte di azionamento; un insieme di M x N elementi di supporto, ciascuno degli elementi di supporto essendo fornito di una superficie di sommità e di una di fondo, in cui ciascuno degli elementi di supporto è usato per mantenere ciascuna delle strutture di azionamento in posizione ed anche per collegare elettricamente ciascuna delle strutture di azionamento con la matrice attiva; ed un insieme di M x N strati a specchio, ciascuno degli strati a specchio comprendendo uno specchio per riflettere fasci di luce ed uno strato di supporto, ciascuno degli strati a specchio ulteriormente comprendendo un primo lato, un secondo lato opposto ed una porzione centrale collocata tra questi, in cui il primo lato ed il secondo lato opposto di ciascuno degli strati a specchio sono fissati rispettivamente sulla sommità delle prime e seconde parti di azionamento di ciascuna delle strutture di azionamento, così che quando le prime e seconde parti di azionamento in ciascuna delle strutture di azionamento si deforma in risposta al segnale elettrico, ia porzione centrale del corrispondente strato a specchio si inclina rimanendo piana, consentendo a tutte le porzioni centrali di riflettere i fasci di luce, il che si risolve in una efficienza ottica aumentata.

Secondo un altro aspetto della presente invenzione, è realizzato un nuovo metodo per la fabbricazione di un insieme di M x N specchi azionati da usarsi in un sistema di proiezione ottico, utilizzando le note tecniche di pellicola sottile, il metodo comprendendo le fasi di: (a) realizzare una matrice attiva avente una superficie di sommità ed una di fondo, la matrice attiva comprendendo un substrato, un insieme di 14 x N transistor e un insieme di M x N terminali di collegamento; (b) formare un primo strato di supporto sulla superficie di sommità della matrice attiva, il primo strato di supporto comprendendo un insieme di M x N piedistalli corrispondenti all'insieme di M x N elementi di supporto nell'insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile ed una prima zona sacrificale; (c) trattare la prima zona sacrificale del primo strato di supporto per essere amovibile; (d) depositare un primo strato di elettrodo in pellicola sottile sul primo strato di supporto; (e) realizzare uno strato in pellicola sottile che induce movimento sul primo strato di elettrodo in pellicola sottile; (f) formare un secondo strato di elettrodo in pellicola sottile sullo strato che induce movimento in pellicola sottile; (g) disegnare il primo strato di elettrodo in pellicola sottile, lo strato che induce movimento in pellicola sottile ed il secondo strato di elettrodo in pellicola sottile in un insieme di M x N strutture di azionamento ed una zona vuota circostante, ciascuna delle strutture di azionamento inoltre comprendendo una prima ed una seconda parte di azionamento; (h) formare un secondo strato sacrificale sulla zona vuota circostante ciascuna delle strutture di azionamento; (i) trattare il secondo strato sacrificale per essere amovibile; (j) disegnare il secondo strato sacrificale in un insieme di M x N elementi sacrificali; (k) depositare un secondo strato di supporto sulla sommità dell'insieme di M x N strutture di azionamento e sul secondo strato sacrificale disegnato nella fase precedente; (1) depositare uno strato che riflette luce sulla sommità del secondo strato di supporto; (m) disegnare lo strato che riflette la luce ed il secondo strato di supporto in un insieme di M x N strati a specchio; e (n) rimuovere le prime zone sacrificali e l'insieme di M x N elementi sacrificali in modo da formare detto insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile.

Breve descrizione dei disegni

I precedenti ed altri scopi e le caratteristi che della presente invenzione diventeranno evidenti dalla seguente descrizione di preferite realizzazioni date insieme con i disegni allegati, in cui:

la Fig. 1 mostra una vista in sezione trasversale di un insieme di M x N specchi azionati elettrospostabili precedentemente discusso;

la Fig 2. rappresenta una vista in sezione trasversale di M x N specchi azionati in pellicola sottile secondo la prima preferita realizzazione della presente invenzione;

la Fig. 3 illustra una vista in sezione trasversale dettagliata dell'insieme a specchio azionato in pellicola sottile dell'invenzione della prima realizzazione, mostrato in Fig. 2;

la Fig. 4 illustra una vista dall'alto di un insieme a specchio azionato in pellicola sottile della invenzione della prima realizzazione, mostrato in Fig. 2;

la Fig. 5 rappresenta una vista prospettica dettagliata dell'insieme a specchio azionato in pellicola sottile della presente invenzione della prima realizzazione, mostrato in Fig. 2;

la Fig. 6 offre un’altra possibile configurazione di strato a specchio per la prima realizzazione;

la Fig. 7 discute una vista in sezione trasversale di uno specchio azionato in pellicola sottile della prima realizzazione in uno stato azionato;

la Fig. 8 realizza una vista in sezione trasversale di uno specchio azionato in pellicola sottile della seconda realizzazione avente una struttura bimorfa ;

la Fig. 9 realizza una vista in sezione trasversale di un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile secondo la terza preferita realizzazione della presente invenzione;

la Fig. 10 illustra una vista in sezione trasversale dettagliata dell'insieme a specchio azionato in pellicola sottile dell'invenzione della terza realizzazione, mostrato in Fig. 9;

la Fig. 11 descrive una vista prospettica dell'insieme a specchio azionato in pellicola sottile dell'invenzione della terza reaiizzazione, mostrato in Fig. 9; e

le Figg. da 12A a 12J riproducono viste in sezione trasversale schematiche che espongono le fasi di fabbricazione per la prima realizzazione secondo la presente invenzione.

Dettagliata descrizione delle preferite realizzazioni Con riferimento ora alle Figg. da 2 a 12, vengono fornite viste in sezione trasversale schematiche dell'insieme inventivo di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico ed il metodo per la sua fabbricazione, in cui M ed N sono numeri interi, secondo preferite realizzazioni della presente invenzione. Dovrebbe essere notato che parti simili che appaiono nelle Figg. da 2 a 12 vengono rappresentate da numeri di riferimento simili.

In Fig. 2, viene illustrata una vista in sezione trasversale di una prima realizzazione di un insieme 50 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 51, comprendente una matrice attiva 52, un insieme 53 di M x N strutture di azionamento in pellicola sottile 54, un insieme 55 di M x N elementi di supporto 56, ed un insieme 57 di M x N strati a specchio 53.

La Fig. 3 rappresenta una vista in sezione trasversale dettagliata dell'insieme a specchio azionato in pellicola sottile 50 mostrato in Fig. 2. La matrice attiva 52 comprende un substrato 59, un insieme di M x N transistor (non mostrato) ed un insieme 60 di M x N terminali di collegamento 61. Ciascuna delle strutture di azionamento 54 comprende identicamente strutturate prime parti di azionamento e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b), in cui ciascuna parte di azionamento, per esempio, la 62(a), è fornita di una superficie di sommità ed una di fondo 63, 64, una estremità prossimale ed una distale 65, 66. Ciascuna parte di azionamento, per esempio, la 62(a), ulteriormente ha almeno uno strato di pellicola sottile 67 di un materiale che induce movimento, per esempio, un materiale piezoelettrico, un materiale eìettrostrittivo oppure un materiale magnetostrittivo, comprendente una superficie di sommità ed una di fondo 68, 69 ed un primo ed un secondo elettrodo 70, 71 con il primo elettrodo 70 che è collocato sulla superficie di sommità 68 dello strato che induce movimento 67 ed il secondo elettrodo 71, sulla superficie di fondo 69 dello strato che induce movimento 67. Nel caso in cui lo strato che induce movimento 67 è fatto di un materiale piezoelettrico, per esempio, titanato zirconio piombo (PZT), esso deve essere dotato di poli. I primi e secondi elettrodi sono fatti di un metallo quale oro (Au) o argento (Ag).

Ciascuno degli M x N elementi di supporto 56, fornito di una superficie di sommità e di una di fondo 72, 73, viene usato per mantenere le prime e le seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) di ciascuna delle strutture di azionamento 54 in posizione ed anche per coìlegare elettricamente il secondo elettrodo 71 nelle prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54 con i terminali di collegamento corrispondenti 61 sulla matrice attiva 52 essendo fornito di un condotto 99 fatto di un materiale elettricamente conduttivo, per esempio, un metallo. In questo insieme inventivo 50 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 51, ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54 è montata a sbalzo da ciascuno degli elementi di supporto 56 essendo montata sulla superficie di sommità 73 di ciascuno degli elementi di supporto 56 nella superficie di fondo 64 di ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54 nella sua estremità prossimale 65, e la superficie di fondo 74 di ciascuno degli elementi di supporto 56 è collocata sulla sommità della matrice attiva 52.

Ulteriormente, ciascuno degli strati a specchio 58, comprendente uno specchio 75 per riflettere fasci di luce ed uno strato di supporto 76 avente una superficie di sommità 77, viene fornito di un primo lato 78, un secondo lato opposto 79 ed una porzione centrale 80 collocata tra questi, come illustrato in Fig. 4. Il primo lato 78 ed il secondo lato opposto 79 di ciascuno degli strati a specchio 58 sono collocati sulla sommità delle prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) di ciascuna delle strutture di azionamento 54, rispettivamente.

Quando un campo elettrico è applicato attraverso lo strato che induce movimento 67 tra i primi e secondi elettrodi 70, 71 di ciascuna delle parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54, lo strato che induce movimento 67 si deformerà, il che, a sua volta, determinerà una deformazione del primo lato 78 e del secondo lato opposto 79 dello strato a specchio corrispondente 58. In una tale situazione, la porzione centrale 80 dello strato a specchio corrispondente 58, diversamente dal primo lato 78 e dal secondo lato opposto 79, non si deformerà, vale a dire, rimarrà piano, il che si risolve in una efficienza ottica migliorata. In Figg. 5 e 6, vengono mostrate una vista prospettica di uno specchio azionato in pellicola sottile 51 della prima realizzazione e rispettivamente un'altra configurazione di strato a specchio possibile per l'insieme 50 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 51.

Il materiale che costituisce lo strato di supporto 76 in ciascuno degli strati a specchio 58 può anche essere riflettente la luce, per esempio, alluminio (Al), il che consentirà alla superficie di sommità 77 di questo di funzionare anche quale specchio 75 in ciascuno degli specchi azionati in pellicola sottile 51.

E' possibile per l'insieme inventivo 50 di specchi azionati in pellicola sottile 51 di funzionare ugualmente bene avendo le superfici di sommità e di fondo 68, 69 dello strato in pellicola sottile che induce movimento 67 in ciascuna delle strutture di azionamento 54 coperte completamente con i primi e secondi elettrodi 70, 71 oppure avendo ciascuna delle superfici di sommità e di fondo 68, 69 dello strato in pellicola sottile che induce movimento 67 in ciascuna delle strutture di azionamento 54 coperta parzialmente con i primi e secondi elettrodi 70, 71.

A titolo di esempio della prima realizzazione, vengono illustrati nelle Figg. 3 e 7 un insieme 50 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 51 comprendente un insieme 53 di M x N strutture di azionamento 54, fatte di materiale ceramico piezoelettrico, per esempio, PZT. Un campo elettrico viene applicato attraverso lo strato piezoelettrico in pellicola sottile 67 collocato tra i primi e secondi elettrodi 70, 71 in ciascuna delle parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54. L'applicazione del campo elettrico o determinerà il materiale ceramico piezoelettrico a contrarsi oppure ad espandersi, a secondo della polarità del campo elettrico rispetto all'andamento polare del materiale piezoelettrico. Se la polarità del campo elettrico corrisponde alla polarità del materiale piezoelettrico, il materiale piezoelettrico si contrarrà. Se la polarità del campo elettrico è opposta alla polarità del materiale piezoelettrico, il materiale piezoelettrico si espanderà.

In Fig. 7, la polarità del materiale piezoelettrico corrisponde alla polarità del campo elettrico applicato, determinando il materiale piezoelettrico a contrarsi. In un tale caso, le prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) di ciascuna delle strutture di azionamento 54 curvano verso il basso, come mostrato in Fig. 7, in modo da inclinare il primo lato 78 ed il secondo lato opposto 79 dello strato a specchio 58 verso il basso secondo un certo angolo. la porzione centrale 80 dello strato a specchio 58, comunque, rimane piano, e quale risultato, la lunghezza efficace dello strato a specchio 58 è l'intera lunghezza della porzione centrale 80 dello strato a specchio 58. In confronto, se lo strato a specchio 58 è direttamente fissato alla struttura di azionamento 54, la porzione dello strato a specchio 58 fissata all'elemento di supporto 56 non si deforma in reazione al campo elettrico, ma rimane in modo fisso in posizione. Quale risultato, la lunghezza efficace dello strato a specchio 58 è uguale ad una lunghezza minore della lunghezza della porzione della struttura di azionamento 54 fissata all'elemento di supporto 56. L'implementazione del primo lato 78, del secondo lato opposto 79 e rispettivamente delle prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) attaccate ad essi nella prima realizzazione mostrata in Fig. 3, inoltre, aumenta il fattore di riempimento e l'efficacia dell'insieme 57 degli strati a specchio 58. Con riferimento ora alle Figg. 3 e 7, può essere mostrato che la luce che urta sullo strato a specchio 58, dello specchio azionato 51 mostrato in Fig. 7 viene deflessa secondo un angolo più ampio della luce riflessa dallo specchio azionato non azionato 51 mostrato in Fig. 3.

Alternativamente, un campo elettrico di una polarità inversa può essere applicato attraverso lo strato piezoelettrico in pellicola sottile che induce movimento 67, determinando il materiale piezoelettrico ad espandere. In questo esempio, la struttura di azionamento 54 curva verso l'alto (non mostrata). La luce che urta lo strato a specchio 58 dello specchio azionato verso l'alto 51 viene deflessa secondo un angolo piu piccolo della luce deflessa dallo specchio azionato 51 non azionato mostrato in Fig. 3.

Viene mostrata in Fig. 8 una vista in sezione trasversale di una seconda realizzazione di un insieme 100 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 101, in cui la seconda realizzazione è simile alla prima realizzazione eccetto che ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54 è di una struttura bimorfa, comprendente un primo elettrodo 70, un secondo elettrodo 71, uno strato di metallo intermedio 87, uno strato in pellicola sottile superiore che induce movimento 89 avente superfici di sommità e di fondo 90, 91 ed uno strato in pellicola sottile inferiore che induce movimento 92 provvisto di superfici di sommità e di fondo 93, 94. In ciascuna delle parti di azionamento 62(a), 62(b), gli strati in pellicola sottile che inducono movimento superiore ed inferiore 89, 92 vengono separati dallo strato di metallo intermedio 87, dal primo elettrodo 70 che è collocato sulla superficie di sommità 90 dello strato in pellicola sottile superiore che induce movimento 89, e dal secondo elettrodo 71, sulla superficie di fondo 94 dello strato in pellicola sottile inferiore che induce movimento 92.

Come nel caso della prima realizzazione, gli strati in pellicola sottile superiore ed inferiore che inducono movimento 89, 92 in ciascuna delle strutture di azionamento 54 sono realizzati di un materiale piezoelettrico, di un materiale ceramico elettrostrittivo oppure di un materiale ceramico magnetostrittivo. Nel caso in cui gli strati in pellicola sottile superiore ed inferiore che inducono movimento 89, 92 vengono realizzati di un materiale piezoelettrico, per esempio, un materiale ceramico piezoelettrico oppure un polimero piezoelettrico, gli strati in pellicola sottile superiore ed inferiore che inducono movimento 89, 92 devono essere dotati di poli in modo tale che la direzione di polarizzazione del materiale piezoelettrico nello strato in pellicola sottile superiore che induce movimento 89 è opposta a quella dello strato in pellicola sottile inferiore che induce movimento 92.

Quale esempio di come funziona la seconda realizzazione, si ipotizza che gli strati superiore ed inferiore che inducono movimento 89, 92 nell'insieme 100 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 101 mostrato in Fig. 8 siano realizzati di un materiale piezoelettrico, per esempio, PZT. Quando un campo elettrico viene applicato attraverso ciascuna delle strutture di azionamento 54, gli strati piezoelettrici in pellicola sottile superiore ed inferiore che inducono movimento 89, 92, della struttura di azionamento 54 saranno o curvati verso l'alto oppure verso il basso, a secondo della direzione di polarizzazione del materiale piezoelettrico e della polarità del campo elettrico. Per esempio, se la polarità determina lo strato piezoelettrico in pellicola sottile superiore che induce movimento 89 a contrarsi, e lo strato piezoelettrico in pellicola sottile inferiore che induce movimento 92 ad espandersi, le parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54 sarà curvata verso l'alto. In questa situazione, la luce che urta viene deflessa secondo un angolo più piccolo dallo specchio azionato 51 che la luce deflessa dallo specchio azionato non azionato 51. Comunque, se la polarità del materiale piezoelettrico e del campo elettrico determina lo strato piezoelettrico in pellicola sottile superiore che induce movimento 89 ad espandersi e lo strato piezoelettrico in pellicola sottile inferiore che induce movimento 92 a contrarsi, la struttura di azionamento 54 sarà curvata verso il basso. In questa situazione, la luce che urta viene deflessa secondo un angolo più grande dallo specchio azionato 51 della luce deflessa dallo specchio azionato 51 non azionato.

Viene illustrata in Fig. 9 una vista in sezione trasversale di una terza realizzazione di un insieme 200 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 201. La terza realizzazione è simile alla prima realizzazione eccetto che le prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) di ciascuna delle strutture di azionamento 54 mancano dello strato di supporto 76 nello strato a specchio 58. Al contrario, esse sono provviste di uno strato elastico 202 collocato sulla superficie di fondo 69 dello strato che induce movimento 67, come mostrato in Fig. 10. Convenzionalmente, quando uno strato elastico viene realizzato in uno specchio azionato, gli strati elastico e che induce movimento sono usualmente separati da uno strato di un metallo costoso elettricamente conduttivo, per esempio, platino (Pt) per migliorare l'adesione tra questi.

Comunque, se il coefficiente di espansione termica dei materiali che costituiscono lo strato elastico e lo strato che induce movimento è drasticamente differente nell'uno dall'altro e l'interfaccia tra lo strato elastico e lo strato metallico elettricamente conduttivo oppure l'interfaccia tra lo strato che induce movimento e lo strato elettricamente conduttivo sono deboli, essi condurranno ad una pelatura dello strato metallico elettricamente conduttivo, in questo modo riducendo la prestazione completa dello specchio azionato. Una possibile soluzione a questo problema è di formare gli strati elastico e che induce movimento con i materiale che hanno la medesima struttura, per esempio, perovskite. Dal momento che i materiali che costituiscono gli strati elastico e che induce movimento sono simili strutturalmente, vi sarà migliore adesività tra questi in modo tale da eliminare la necessità di formare lo strato elettricamente conduttivo ed anche consentire un controllo più facile della energia di sollecitazione tra loro. Una possibile combinazione di tali materiali sono PZT per lo strato che induce movimento e piombo titanato (PbTiO^) per 10 strato elastico. In questo caso, il materiale che costituisce lo strato elastico è caratterizzato da una costante dielettrica alta (ε ) ed una costante piezoelettrica bassa (d).

Inoltre, se il primo elettrodo è fatto di un materiale che riflette la luce, per esempio, Al, lo strato a specchio 58 può essere omesso. In tal caso il primo elettrodo funzionerà anche come strato a specchio 58.

Vengono illustrati nelle Figg. da 12A a 12J le fasi di fabbricazione comportate nella fabbricazione della prima realizzazione della presente invenzione. Il procedimento per la fabbricazione della prima realizzazione, vale a dire, l'insieme 50 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 51, in cui M x N sono numeri interi, inizia con la preparazione della matrice attiva 52, avente una superficie di sommità ed una di fondo 102, 103, comprendente il substrato 59, l'insieme di M x N transistor (non mostrato) e l'insieme 104 di M x N terminali di collegamento 105, come illustrato in Fig. 12A.

Nella successiva fase, viene formato sulla superficie di sommità 102 della matrice attiva 52 un primo strato di supporto 106, comprendente un insieme 107 di M x N piedistalli 108 corrispondenti all'insieme 55 di M x N elementi di supporto 56 ed una prima zona sacrificale 109, in cui il primo strato di supporto 106 viene formato da: depositare un primo strato sacrificale (non mostrato) sulla totalità della superficie di sommità 102 della matrice attiva 52; formare un insieme di M x N intagli vuoti (non mostrato), in modo da generare la prima zona sacrificale 109, ciascuno degli intagli vuoti essendo collocato attorno a ciascuno degli M x N terminali di collegamento 61; e realizzare un piedistallo 108 in ciascuno degli intagli vuoti, come mostrato in Fig. 12B. Il primo strato sacrificale viene formato utilizzando un metodo di rivestimento a polverizzazione, l'insieme di intagli vuoti, utilizzando un metodo di incisione, ed i piedistalli, utilizzando un rivestimento a polverizzazione oppure un metodo di deposizione chimica a vapore (CVD), seguito da un metodo di incisione. La zona sacrificale 109 del primo strato di supporto 106 viene poi trattata in modo da essere amovibile più tardi utilizzando un metodo di incisione oppure l'applicazione di prodotti chimici.

Un condotto 99 per collegare elettricamente ciascuno dei terminali di collegamento 61 con ciascuno dei secondi elettrodi 71, fatti di un materiale elettricamente conduttivo, per esempio, tungsteno (W), viene ricavato in ciascuno dei piedistalli 108 dapprima creando un foro che si estende dalla sommità di questi alla sommità dei corri spondenti terminali di collegamento 61 utilizzando un metodo di incisione, seguito dal riempimento di essi con materiale che conduce elettricamente, come illustrato in Fig. 12C.

Nella fase successiva, come illustrata in Fig. 12D, un primo strato di elettrodo in pellicola sottile 111, fatto di un materiale che conduce elettricamente, per esempio, Au, viene depositato sul primo strato di supporto 106. Dopo di ciò, uno strato in pellicola sottile che induce movimento 112, fatto di un materiale che induce movimento, per esempio, PZT, ed un secondo strato di elettrodo in pellicola sottile 113 vengono poi ricavati sul primo strato di elettrodo in pellicola sottile Ili.

Dopo di ciò, il primo strato di elettrodo in pellicola sottile 111, lo strato che induce movimento in pellicola sottile 112 ed il secondo strato di elettrodo in pellicola sottile 113 vengono disegnati in un insieme 53 di M x N strutture di azionamento 54 ed una zona vuota (non mostrata) che circonda ciascuna delle strutture di azionamento 54, in cui ciascuna delle strutture di azionamento 54 comprende prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b), come mostrato in Fig. 12E.

Successivamente, un secondo strato sacrificale 114 viene formato sulla zona vuota che circonda ciascuna delle strutture di azionamento 54, come descritto in Fig. 12F. La seconda zona sacrificale 114 viene poi trattata in modo da essere amovibile più avanti .

Come illustrato in Fig. 12G, lo strato sacrificale 114 viene poi disegnato in un insieme 115 di M x N elementi sacrificali 116. Successivamente un secondo strato di supporto 117 ed uno strato che riflette la luce 119 comprendente lo strato a specchio 58 vengono successivamente depositati sulla sommità dello strato 53 di M x N strutture di azionamento 54 ed il secondo strato sacrificale 116 precedentemente disegnato, come illustrato in Fig. 12H.

Lo strato che riflette la luce 119 ed il secondo strato di supporto 117 vengono poi disegnati in un insieme 57 di M x N strati a specchio 58, come illustrato in Fig. 121.

Gli strati in pellicola sottile dei materiali che conducono elettricamente, che inducono movimento, e che riflettono la luce possono essere depositati e disegnati con tecniche note in pellicola sottile, quali rivestimento a polverizzazione, sol-gel, evaporazione, incisione e microlavorazione.

Dopo di ciò, la prima zona sacrificale 109 e l'insieme 115 di M x N elementi sacrificali 116 vengono poi rimossi oppure dissolti mediante l'applicazione di prodotti chimici in modo da formare detto insieme 50 di M x N specchi azionati in pellicola sottile 51, come illustrato in Fig. 12J.

La fabbricazione della seconda realizzazione è similare alla prima realizzazione eccetto che essa richiede due fasi aggiuntive, le fasi essendo la formazione di uno strato che induce movimento aggiuntivo ed uno strato metallico intermedio.

Nel caso della terza realizzazione, dal momento che ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento 62(a), 62(b) in ciascuna delle strutture di azionamento 54 è fornito di uno strato elastico 202 sulla superficie di fondo dello strato che induce movimento 67 tralasciando lo strato di supporto 76, le fasi di fabbricazione per la terza realizzazione sono essenzialmente le medesime di quelle della prima realizzazione con gli ordini che sono leggermente cambiati. Inoltre, se il secondo strato di elettrodo è fatto di un materiale che riflette la luce, per esempio, Al, la fase comportata nel formare lo strato che riflette la luce 119 può anche essere tralasciata dalle fasi dell'intera fabbricazione.

Mentre la presente invenzione è stata descritta rispetto a certe preferite realizzazioni solamente, altre modifiche e variazioni possono essere realizzate senza fuoriuscire dallo scopo della presente invenzione come esposto nelle rivendicazioni seguenti.

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico, l’insieme comprendendo: una matrice attiva comprendente un substrato, un insieme di M x N transistor ed un insieme di M x N terminali di collegamento; un insieme di M x N strutture di azionamento in pellicola sottile, ciascuna delle strutture di azionamento comprendendo una prima ed una seconda parte di azionamento, le prime e le seconde parti di azionamento essendo identicamente strutturate, ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento essendo fornita di una superficie di sommità ed una di fondo, una estremità prossimale ed una distale, ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento avendo almeno uno strato in pellicola sottile di un materiale che induce movimento comprendente una superficie di sommità ed una di fondo ed un primo ed un secondo elettrodo con il primo elettrodo che è collocato sulla superficie di sommità dello strato in pellicola sottile che induce movimento, ed il secondo elettrodo, sulla superficie di fondo dello strato in pellicola sottile che induce movimento, in cui un segnale elettrico applicato attraverso lo strato in pellicola sottile che induce movimento tra il primo ed il secondo elettrodo di ciascuna parte di azionamento determina una deformazione dello strato in pellicola sottile che induce movimento, e pertanto della parte di azionamento; un insieme di M x N elementi di supporto, ciascuno degli elementi di supporto essendo fornito di una superficie di sommità e di una di fondo, in cui ciascuno degli elementi di supporto è usato per mantenere ciascuna delle strutture di azionamento in posizione ed anche per collegare elettricamente ciascuna delle strutture di azionamento con la matrice attiva; ed un insieme di M x N strati a specchio, ciascuno degli strati a specchio comprendendo uno specchio per riflettere fasci di luce ed uno strato di supporto, ciascuno degli strati a specchio comprendendo un primo lato, un secondo lato opposto ed una porzione centrale collocata tra questi, in cui il primo lato ed il secondo lato opposto di ciascuno degli strati a specchio sono fissati rispettivamente sulla sommità delle prime e seconde parti di azionamento di ciascuna delle strutture di azionamento, cosi che quando le prime e seconde parti di azionamento in ciascuna delle strutture di azionamento si deforma in risposta al segnale elettrico, la porzione centrale del corrispondente strato a specchio si inclina rimanendo piana, in questo modo consentendo a tutte le porzioni centrale di riflettere i fasci di luce, il cne si risolve in una efficienza ottica aumentata.
2. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui le prime e le seconde parti di azionamento di ciascuna delle strutture di azionamento sono montate a sbalzo da ciascuno degli elementi di supporto essendo montate sulla superficie di sommità di ciascuno degli elementi di supporto nella superficie di fondo delle prime e seconde parti di azionamento nella loro estremità prossimale.
3. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui la superficie di fondo di ciascuno degli elementi di supporto è collocata sulla sommità della matrice attiva.
4. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui le prime e seconde parti di azionamento in ciascuna delle strutture di azionamento sono di una struttura bimorfa e comprendono un primo elettrodo, un secondo elettrodo, uno strato di metallo intermedio, uno strato in pellicola sottile superiore che induce movimento avente una superficie di sommità ed una di fondo ed uno strato in pellicola sottile inferiore che induce movimento fornito di una superficie di sommità ed una di fondo, in cui gli strati in pellicola sottile superiore ed inferiore che inducono movimento sono separati dallo strato di metallo intermedio, il primo elettrodo è collocato sulla superficie di sommità dello strato in pellicola sottile superiore che induce movimento ed il secondo elettrodo è collocato sulla superficie di fondo dello strato in pellicola sottile inferiore che induce movimento.
5. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento è fatto di un materiale ceramico piezoelettrico oppure un polimero piezoelettrico.
6. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 5, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento è dotato di poli.
7. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento viene fatto di un materiale elettrostrittivo.
8. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento è fatto di un materiale magnetostrittivo.
9. Insieme a specchio azionato delia rivendicazione 4, in cui gli strati in pellicola sottile superiore ed inferiore che inducono movimento sono fatti di un materiale piezoelettrico.
10. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 9, in cui il materiale piezoelettrico dello strato in pellicola sottile superiore che induce movimento viene polarizzato in una direzione opposta a quella dello strato in pellicola sottile inferiore che induce movimento.
11. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui ciascuno degli elementi di supporto è provvisto di un condotto per collegare elettricamente il secondo elettrodo nelle prime e seconde parti di azionamento di ciascuna delle strutture di azionamento con il corrispondente terminale di collegamento sul1a matrice attiva.
12. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui i primi e secondi elettrodi coprono completamente rispettivamente le superfici di sommità e di fondo dello strato in pellicola sottile che induce movimento.
13. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui od il primo oppure il secondo elettrodo copre parzialmente la superficie di sommità o di fondo dello strato in pellicola sottile che induce movimento.
14. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 1, in cui lo strato di supporto è fatto di un materiale che riflette la luce, consentendo allo strato di supporto di funzionare anche quale specchio in ciascuno degli specchi azionati in pellicola sottile.
15. Sistema di proiezione ottico comprendente un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile avente una struttura rivendicata in una qualunque delle rivendicazioni da 1 a 14.
16. Insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico, l'insieme comprendendo: una matrice attiva comprendente un substrato, un insieme di M x N transistor ed un insieme di M x N terminali di collegamento; un insieme di M x N strutture di azionamento in pellicola sottile, ciascuna delle strutture di azionamento comprendendo una prima ed una seconda parte di azionamento, le prime e le seconde parti di azionamento essendo identicamente strutturate, ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento essendo fornita di una superficie di sommità ed una di fondo, una estremità prossimale ed una distale, ciascuna delle prime e seconde parti di azionamento avendo almeno uno strato in pellicola sottile di un materiale che induce movimento comprendente una superficie di sommità ed una di fondo, uno strato elastico avente una superficie di fondo, ed un primo ed un secondo elettrodo, lo strato elastico essendo collocato sulla superficie di fondo dello strato in pellicola sottile che induce movimento, il primo ed il secondo elettrodo essendo collocati sulla superficie di sommità dello strato in pellicola sottile che induce movimento e rispettivamente sulla superficie di fondo dello strato elastico, in cui un segnale elettrico applicato attraverso gli strati in pellicola sottile che induce movimento ed elastico tra il primo ed il secondo elettrodo determina una loro deformazione, e pertanto della parte di azionamento; un insieme di M x N elementi di supporto, ciascuno degli elementi di supporto essendo fornito di una superficie di sommità e di una di fondo, in cui ciascuno degli elementi di supporto έ usato per mantenere ciascuna delle strutture di azionamento in posizione ed anche per collegare elettricamente ciascuna delle strutture di azionamento con la matrice attiva; ed un insieme di M x N strati a specchio per riflettere fasci di luce, ciascuno degli strati a specchio comprendendo un primo lato, un secondo lato opposto ed una porzione centrale collocata tra questi, in cui il primo lato ed il secondo lato opposto di ciascuno degli strati a specchio sono fissati rispettivamente sulla sommità delle prime e seconde parti di azionamento di ciascuna delle strutture di azionamento, così che quando le prime e seconde parti di azionamento in ciascuna delle strutture di azionamento si deforma in risposta al segnale elettrico, la porzione centrale del corrispondente strato a specchio si inclina rimanendo piana, consentendo a tutte le porzioni centrali di riflettere i fasci di luce, il che si risolve in una efficienza ottica aumentata.
17. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 16, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento e gli strati elastici sono fatti di materiali strutturalmente simili.
18. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 16, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento è fatto di perovskite.
19. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 17, in cui lo strato elastico, fatto di perovskite, è caratterizzato da una alta costante dielettrica (ε) ed una bassa costante piezoelettrica (d).
20. Insieme a specchio azionato della rivendicazione 16, in cui il primo elettrodo è fatto di un materiale che riflette la luce, in modo tale da consentire al primo elettrodo di funzionare anche quale specchio .
21. Sistema di proiezione ottico comprendente un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile avente una struttura rivendicata in una qualunque delle rivendicazioni da 16 a 20.
22. Metodo per la fabbricazione di un insieme di M x N specchi azionati da usarsi in un sistema di proiezione ottico, in cui M ed N sono numeri interi, il metodo comprendendo le fasi di: (a) realizzare una matrice attiva avente una superficie di sommità ed una di fondo, la matrice attiva comprendendo un substrato, un insieme di M x N transistor e un insieme di M x N terminali di collegamento ; (b) formare un primo strato di supporto sulla superficie di sommità della matrice attiva, il primo strato di supporto comprendendo un insieme di M x N piedistalli corrispondenti all'insieme di M x N elementi di supporto nell'insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile ed una prima zona sacrificale; (c) trattare la prima zona sacrificale del primo strato ai supporto per essere amovibile; (d) depositare un primo strato di elettrodo in pellicola sottile sul primo strato di supporto; (e) realizzare uno strato in pellicola sottile che induce movimento sul primo strato di elettrodo in pellicola sottile; (f) formare un secondo strato di elettrodo in pellicola sottile sullo strato che induce movimento in pellicola sottile ; (g) disegnare il primo strato di elettrodo in pellicola sottile, lo strato che induce movimento in pellicola sottile ed il secondo strato di elettrodo in pellicola sottile in un insieme di M x N strutture di azionamento ed una zona vuota circostante, ciascuna delle strutture di azionamento ulteri ormente comprendendo una prima ed una seconda parte di azionamento ; (h) formare un secondo strato sacrificale sulla zona vuota circostante ciascuna delle strutture di azionamento ; (i) trattare il secondo strato sacrificale per essere amovibile; (j) disegnare il secondo strato sacrificale in un insieme di M x N elementi sacrificali; (k) depositare un secondo strato di supporto sulla sommità dell'insieme di M x N strutture di azionamento e sul secondo strato sacrificale disegnato nella fase precedente; (l) depositare uno strato che riflette luce sulla sommità del secondo strato di supporto; (m) disegnare lo strato che riflette la luce ed il secondo strato di supporto in un insieme di M x N strati a specchio; e (n) rimuovere le prime zone sacrificali e l'insieme di M x N elementi sacrificali in modo da formare detto insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile.
23. Metodo della rivendicazione 22, in cui il primo ed il secondo strato di elettrodo in pellicola sottile sono formati utilizzando un metodo di rivestimento a polverizzazione.
24. Metodo della rivendicazione 22, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento è formato utilizzando un metodo di rivestimento a polverizzazione.
25. Metodo della rivendicazione 22, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento è formato utilizzando un metodo di deposizione chimica a vapore.
26. Metodo delia rivendicazione 22, in cui lo strato in pellicola sottile che induce movimento è formato utilizzando un metodo sol-gel.
27. Metodo della rivendicazione 22, in cui lo strato a specchio è formato utilizzando un metodo di rivestimento a polverizzazione.
28. Metodo della rivendicazione 22, in cui il primo strato di supporto è formato da: (a) depositare un primo strato sacrificale sulla superficie di sommità della matrice attiva; (b) realizzare un insieme di M x N primi intagli vuoti sullo strato sacrificale, ciascuno dei primi intagli vuoti essendo collocato attorno a ciascuno degli M x N terminali di collegamento; e (c) formare un piedistallo in ciascuno dei primi intagli vuoti.
29. Metodo della rivendicazione 28, in cui il primo strato sacrificale è formato utilizzando un metodo di rivestimento a polverizzazione.
30. Metodo della rivendicazione 28, in cui l'insieme di M x N primi intagli vuoti è formato utilizzando un metodo di incisione.
31. Metodo della rivendicazione 28, in cui i piedistalli sono formati utilizzando un metodo di rivestimento a polverizzazione, seguito da un metodo di incisione.
32. Metodo della rivendicazione 28, in cui i piedistalli sono formati utilizzando un metodo di deposizione chimica a vapore, seguito da un metodo di incisione.
33. Metodo della rivendicazione 22, in cui il secondo strato sacrificale e il secondo strato di supporto sono formati da un metodo di rivestimento a polverizzazione.
34. Sistema di proiezione ottico comprendente un insieme di 11 x N specchi azionati in pellicola sottile preparato secondo il metodo citato in una qualunque delle rivendicazioni da 22 a 33.
35. Metodo per la fabbricazione di un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico, in cui M ed N sono numeri interi, 11 metodo comprendendo le fasi di: (a) realizzare una matrice attiva avente una superficie di sommità ed una di fondo, la matrice attiva comprendendo un substrato, un insieme di M x N transistor ed un insieme di M x N terminali di collegamento; (b) formare uno strato di supporto sulla superficie di sommità della matrice attiva, lo strato di supporto comprendendo un insieme di M x N piedistalli corrispondenti ad un insieme di M x N elementi di supporto nell'insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile ed una zona sacrificale; (c) trattare la zona sacrificale dello strato di supporto per essere amovibile; (d) depositare un primo strato di elettrodo in pellicola sottile sullo strato di supporto; (e) realizzare uno strato dielettrico sulla sommità del primo strato di elettrodo in pellicola sottile; (f) realizzare uno strato in pellicola sottile che induce movimento sulla sommità dello strato dielettrico; (g) realizzare un secondo strato di elettrodo in pellicola sottile sullo strato in pellicola sottile superiore che induce movimento; (h) disegnare il primo strato di elettrodo in pellicola sottile, lo strato dielettrico, lo strato in pellicola sottile che induce movimento ed il secondo strato di elettrodo in pellicola sottile in un insieme di M x N strutture di azionamento ed una zona vuota che circonda ciascuna delle strutture di azionamento, ciascuna delle strutture di azionamento ulteriormente comprendendo una prima ed una seconda parte di azionamento; (i) formare un secondo strato di supporto sulla sommità dell'insieme delle strutture di azionamento, comprendente la zona vuota circostante; (j) depositare uno strato che riflette luce sullo strato di supporto; (k) disegnare lo strato che riflette la luce ed il secondo strato di supporto in un insieme di M x H strati a specchio; e (l) rimuovere la prima zona sacrificale in modo da formare detto insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile.
36. Sistema di proiezione ottico comprendente un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile preparati secondo il metodo citato nella rivendicazione 35.
37. Metodo per la fabbricazione di un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile da usarsi in un sistema di proiezione ottico, in cui M e N sono numeri interi, il metodo comprendendo le fasi di; (a) realizzare una matrice attiva avente una superficie di sommità ed una di fondo, la matrice attiva comprendendo un substrato, un insieme di M x N transistor e un insieme di M x N terminali di collegamento; (b) formare un primo strato di supporto sulla superficie di sommità della matrice attiva, il primo strato di supporto comprendendo un insieme di M x N piedistalli corrispondenti all’insieme di M x N elementi di supporto nell'insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile ed una prima zona sacrificai e; (c) trattare la prima zona sacrificale del primo strato di supporto per essere amovibile; (d) depositare un primo strato di elettrodo in pellicola sottile sul primo strato di supporto; (e) formare uno strato elastico sul primo strato di elettrodo in pellicola sottile; (f) realizzare uno strato in pellicola sottile che induce movimento sullo strato elastico; (g) formare un secondo strato di elettrodo in pellicola sottile sullo strato che induce movimento in pellicola sottile ; (h) disegnare il primo strato di elettrodo in pellicola sottile, lo strato elastico, lo strato che induce movimento in pellicola sottile ed il secondo strato di elettrodo 1n pellicola sottile in un insieme di M x N strutture di azionamento ed una zona vuota circostante, ciascuna delle strutture di azionamento ulteriormente comprendendo una prima ed una seconda parte di azionamento; (i) formare un secondo strato sacrificale sulla zona vuota circostante ciascuna delle strutture di azionamento; (j) trattare il secondo strato sacrificale per essere amovibile; (k) disegnare il secondo strato sacrificale in un insieme di M x N elementi sacrificali; (l) depositare uno strato che riflette la luce sulla sommità dell'insieme di M x N strutture di azionamento e sul secondo strato sacrificale disegnato nella fase precedente; (m) disegnare lo strato che riflette la luce in un insieme di H x N strati a specchio; e (n) rimuovere le prime zone sacrificali e l'insieme di M x N elementi sacrificali in modo da formare detto insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile.
38. Sistema di proiezione ottico comprendente un insieme di M x N specchi azionati in pellicola sottile preparati secondo il metodo citato nella rivendicazione 36.