ITRM910087A1 - Contenitore a tenuta per l'immagazzinamento ed il trasporto di dischetti (fette) di silicio. - Google Patents

Contenitore a tenuta per l'immagazzinamento ed il trasporto di dischetti (fette) di silicio.

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ITRM910087A1
ITRM910087A1 IT000087A ITRM910087A ITRM910087A1 IT RM910087 A1 ITRM910087 A1 IT RM910087A1 IT 000087 A IT000087 A IT 000087A IT RM910087 A ITRM910087 A IT RM910087A IT RM910087 A1 ITRM910087 A1 IT RM910087A1
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
slices
transport
storage
sealed container
silicon disks
Prior art date
Application number
IT000087A
Other languages
English (en)
Inventor
William Hughes
Fabrizio Leoni
Moreno Morici
Luigi Vesco
Original Assignee
Memc Electronic Materials
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