ITTO20000596A0 - Processo di pulitura della superficie di un contenitore di un circuito integrato per la preparazione della stessa per un successivo processo - Google Patents

Processo di pulitura della superficie di un contenitore di un circuito integrato per la preparazione della stessa per un successivo processo

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ITTO20000596A0
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IT
Italy
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preparation
integrated circuit
same
circuit container
cleaning process
Prior art date
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IT2000TO000596A
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English (en)
Inventor
Andrea Cigada
Pierre Yves Shechter
Sivakuma Krithivasan
Original Assignee
St Microelectronics Srl
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