ITTO20010788A0 - Procedimento per incrementare la stabilita' termica di siliciuri su silicio. - Google Patents

Procedimento per incrementare la stabilita' termica di siliciuri su silicio.

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ITTO20010788A0
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IT
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silicides
silicon
procedure
increasing
thermal stability
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IT2001TO000788A
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Sebastiano Ravesi
Alessandra Alberti
Via Francesco La
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St Microelectronics Srl
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