JP2000009459A - 画像測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ステージ移動操作を簡単にして測定作業の効
率を大幅に向上させる。 【解決手段】 表示画面のビデオウィンドウ５１内に、
その中央部で交差するＸ軸線６１及びＹ軸線６２と、ス
テージの現在位置とマウス操作により指定された目標位
置との垂直及び水平方向のずれ量をそれぞれ示す位置合
わせ用のＸ軸線６３及び位置合わせ用Ｙ軸線６４とを表
示する。位置合わせ用のＸ軸線６３及びＹ軸線６４とＸ
軸線６１及びＹ軸線６２とが一致するようにマニュアル
でステージを移動操作することにより、ビデオウィンド
ウ５１から目線を移動せずにステージを目標位置へ移動
させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡測定装置や
非接触三次元測定機等の画像測定装置に関し、特にマニ
ュアル操作により被測定対象を含む測定可能範囲におけ
るカメラの相対的な撮像位置を移動させる（以下、ステ
ージ移動と呼ぶ）機能を備えた画像測定装置に関する。

【０００２】

【背景技術】従来のマニュアル操作型の非接触画像三次
元測定機や顕微鏡・投影機などのステージ上にワークを
載置して画像により測定、検査を行う光学機器では、被
測定対象であるワークの測定や観察すべき部分を必要な
大きさまで拡大表示させて測定を行ったのち、次の測定
箇所を表示させるべくマニュアル操作でステージ移動を
行って、光学系の中心軸をワークの次の測定位置に位置
決めするという操作を繰り返す必要がある。通常は、ス
テージに備えられたハンドル等を作業者が回転させて、
ステージ位置を調整していた。このため、測定箇所が多
いと、ステージ移動の操作が煩雑になる。

【０００３】また、このような従来のマニュアル操作型
の測定機では、ステージ移動を行う場合、特にビデオカ
メラを備えた画像測定機の場合、光学系の倍率が比較的
大きいため、画像だけを見てもどちらの方向にどれだけ
移動させればよいかが容易に把握できない。このため、
測定機本体のカメラとワークとの相対位置関係を目視で
確認しながら、微動つまみ及びカメラの撮像画面（ＣＲ
Ｔ）を順番に見ながらステージを移動させなければなら
ないため、目線が頻繁に移動して操作性が悪く、測定作
業の効率が悪いという問題がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
点に鑑みなされたもので、ステージ移動操作を簡単にし
て測定作業の効率を大幅に向上させることができる画像
測定装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、被測定対象を載置するステージと、この
ステージに載置された被測定対象を撮像する撮像手段
と、この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段
と、前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実
行する測定処理手段と、前記被測定対象に対する相対的
な前記撮像手段の撮像位置を変化させるための位置調整
用操作手段と、前記被測定対象に対する前記撮像手段の
撮像位置を検出して位置情報を出力する位置検出手段
と、移動すべき目標位置を記憶する記憶手段と、前記表
示手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示されるビ
デオウィンドウを設定し、このビデオウィンドウ内にそ
の中央部で交差する水平及び垂直軸とそれらの軸の両端
位置に配置された矢印型の移動指示用アイコンとを表示
すると共に、この移動指示用アイコンがクリック操作に
より指示されたときに指定されたアイコンに予め設定さ
れた方向及びピッチから、前記被測定対象に対する前記
撮像手段の撮像位置を変化させるべく目標位置を前記記
憶手段に記憶させて、前記位置検出手段からの位置情報
によって求められる現在の撮像位置と前記記憶手段に記
憶された目標位置との垂直及び水平方向のずれ量をそれ
ぞれ示す位置合わせ用水平線及び位置合わせ用垂直線を
前記ビデオウィンドウ内に重ねて表示する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。

【０００６】また、本発明は上記手段に加え、前記制御
手段は、前記ビデオウィンドウ内に表示された垂直方向
の中央部を示す印と前記位置合わせ用水平線とが一致し
たときに前記撮像位置が垂直方向の目標位置に達したこ
とを表わすために前記位置合わせ用水平線の表示形態を
変化させ、前記ビデオウィンドウ内に表示された水平方
向の中央部を示す印と前記位置合わせ用垂直線とが一致
したときに前記撮像位置が水平方向の目標位置に達した
ことを表すため前記位置合わせ用垂直線の表示形態を変
化させるように制御するもので構成することも可能であ
る。

【０００７】また、本発明は上記手段の他に、被測定対
象を載置するステージと、このステージに載置された被
測定対象を撮像する撮像手段と、この撮像手段で撮像さ
れた画像を表示する表示手段と、前記撮像された画像に
基づいて所定の測定処理を実行する測定処理手段と、前
記被測定対象に対する相対的な前記撮像手段の撮像位置
を変化させるための位置調整用操作手段と、前記被測定
対象に対する相対的な前記撮像手段の撮像位置を検出し
て位置情報を出力する位置検出手段と、移動すべき目標
位置を記憶する記憶手段と、前記表示手段に前記撮像手
段で撮像された画像が表示されるビデオウィンドウと前
記撮像手段で撮像されるステージの仮想的なイメージを
少なくとも前記撮像手段の撮像範囲よりも広い範囲で表
示するグラフィックスウィンドウとを設定し、前記グラ
フィックスウィンドウ内に前記位置検出手段からの位置
情報によって求められる現在の撮像位置を示す情報と前
記記憶手段に記憶された目標位置を示す情報と前記現在
の撮像位置から前記目標位置へ至る直線とを表示させる
制御手段と、を備えることでも構成可能である。

【０００８】また、本発明は、上記手段に加えて、前記
撮像手段で撮像された画像は前記グラフィックスウィン
ドウ内の略中央に表示すると共に、前記位置調整用操作
手段により前記被測定対象に対する相対的な前記撮像手
段の撮像位置の移動に対応して前記仮想的なイメージの
表示位置を移動する制御手段を備えることでも構成可能
である。

【０００９】また、本発明は、上記手段に加えて、前記
位置検出手段からの位置情報によって求められる前記被
測定対象に対する相対的な現在の撮像位置を示す情報と
前記記憶手段に記憶された目標位置を示す情報と前記現
在の撮像位置と前記目標位置との水平方向及び垂直方向
のずれ量を数値で前記表示手段に表示する制御手段を備
えることでも構成可能である。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を用いた好適な実施
の形態について図面を用いて説明する。なお、全図中に
おいて同一符号を付したものは同一構成要素を表わして
いる。図１は、この発明の一実施例に係るマニュアル操
作型の画像測定装置の全体構成を示す斜視図である。こ
の装置は、非接触画像計測型の測定機本体１と、この測
定機本体１のステージ移動操作をアシストする処理を実
行すると共に必要な測定データ処理を実行するコンピュ
ータシステム２と、測定機本体１に対して必要な測定指
令を与える指令入力部３と、これら各部に安定した電力
を供給すると共に測定機本体１に光ファイバーケブルを
介して照明光を供給する光源を備えた電源ユニット４と
により構成されている。

【００１１】測定機本体１は、次のように構成されてい
る。即ち、架台１１上には、被測定物であるワーク１２
を載置するステージ１３が装着されており、このステー
ジ１３は、Ｘ軸駆動ハンドル１４、Ｙ軸駆動ハンドル１
５及び微動つまみ１６に対する手動操作によって、Ｘ軸
方向、Ｙ軸方向、及びＸＹ面内回転方向に駆動されるよ
うになっている。架台１１の後端部には架台１１に立設
されるフレーム１７が固定されており、このフレーム１
７にＣＣＤカメラユニット１８が支持されている。ま
た、ＣＣＤカメラユニット１８は、Ｚ軸駆動つまみ１９
によってフレーム１７に形成されたガイドレールに沿っ
て、Ｚ軸方向に移動可能になっている。ＣＣＤカメラユ
ニット１８の内部には、ステージ１３を上部から臨むよ
うにＣＣＤカメラ２０が取り付けられている。ＣＣＤカ
メラ２０の下端には、ワーク１２に照明光を照射するた
めのリング状の照明装置２１が備えられている。

【００１２】コンピュータシステム２は、コンピュータ
本体３１、キーボード３２、マウス３３及びＣＲＴディ
スプレイ３４を備えて構成されている。コンピュータ本
体３１を中心とするこのシステムは、例えば図２に示す
ように構成されている。即ち、ＣＣＤカメラ２０で捉え
たワーク１２の画像信号は、ＡＤ変換部３５で多値画像
データに変換され、多値画像メモリ３６に格納される。
多値画像メモリ３６に格納された多値画像データは、表
示制御部３７の動作によってＣＲＴディスプレイ３４に
表示される。ＣＰＵ３８は、オペレータの指令又はプロ
グラムメモリ３９に格納されたプログラムに従ってステ
ージ移動のためのアシスト処理等の各種の処理を実行す
る。ワークメモリ４０は、ステージ移動操作時の測定目
標位置を記憶する他、ＣＰＵ３８の各種処理のための作
業領域を提供する。

【００１３】また、ステージ１３に対するＣＣＤカメラ
１６のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向位置（以下、これをステージ位
置と呼ぶ）をそれぞれ検出するためのＸ軸エンコーダ４
１、Ｙ軸エンコーダ４２及びＺ軸エンコーダ４３が設け
られ、これらエンコーダ４１〜４３からの出力はＣＰＵ
３８に取り込まれる。ＣＰＵ３８は、取り込まれた各軸
位置の情報とワークメモリ４０に記憶された目標位置と
に基づいて、ステージ移動アシストのための各種の表示
制御を実行する。更に、照明制御部４４は、ＣＰＵ３８
で生成された指令値に基づいてアナログ量の指令電圧を
生成し照明装置２１に印加する。

【００１４】次に、このように構成された画像測定装置
のステージ移動操作について説明する。図３は、この画
像測定装置の測定時にＣＲＴディスプレイ３４の表示画
面を示す図である。表示画面は、カラー表示可能なビデ
オウィンドウ５１、グラフィックスウィンドウ５２、カ
ウンタウィンドウ５３、ファンクションウィンドウ５
４、照明・ステージウィンドウ５５及び測定ウィンドウ
５６から構成されている。ビデオウィンドウ５１には、
ＣＣＤカメラ２０で撮像されるステージの仮想的なイメ
ージが表示される。また、倍率の異なる対物レンズに交
換するか、または、ズームレンズを使うことで、ＣＣＤ
カメラ２０の撮像範囲を調節できる。また、グラフィッ
クスウィンドウ５２には、ＣＡＤ等から入力したワーク
１２の図形（ＣＡＤ）データを表示したり、あるいは、
測定により求められた幾何形状の図形（例えば、円や直
線等）を表示することができる。この時表示倍率を自由
に調節できるので、ステージ１３の範囲がこのグラフィ
ックスウィンドウ５２内に収まるように表示させること
もできる。

【００１５】カウンタウィンドウ５３には、ステージ座
標に対する相対的なＣＣＤカメラ２０の中心座標値
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）が表示される他、設定により目標位置ま
での相対座標値を表示させることもできる。ファンクシ
ョンウィンドウ５４には、各種測定処理及び測定値を算
出するためのマイクロプログラムを起動するアイコンが
配置されている。照明・ステージウィンドウ５５は、照
明装置２１やステージ１３に関する各種設定操作のため
のウィンドウである。測定ウィンドウ５６は、ファンク
ションウィンドウ５４で選択された測定マイクロプログ
ラムに沿った測定操作を行うためのウィンドウである。

【００１６】ビデオウィンドウ５１には、その中心部で
互いに直交するＸ（水平）軸線６１及びＹ（垂直）軸線
６２が、ビデオウィンドウ５１に対して固定的に表示さ
れているので、作業者がステージ１３を移動させてこれ
らの交点に測定部位を配置することにより、測定位置の
位置決めが容易になされるようになっている。また、こ
れらＸ，Ｙ軸線６１，６２の各両端には、内向き矢印８
２が形成されている。これらの矢印８２も含めたＸ，Ｙ
軸線６１，６２がビデオウィンドウ５１の垂直及び水平
方向の中央部を示す印となる。

【００１７】作業者がステージ１３を移動させて、ビデ
オウィンドウ５１の中心に合わせるべきステージ１３上
の位置を示すために、その目標位置にＸ軸線６３及びＹ
軸線６４の交点が来るようにＸ軸線６３及びＹ軸線６４
が表示される。この各軸線６３，６４は仮想的にステー
ジ上の特定箇所に固定されていて、作業者がＸ軸駆動ハ
ンドル１４とＹ軸駆動ハンドル１５を操作してステージ
１３移動させると、この移動に伴いビデオウィンドウ５
１に表示されている画像が移動すると共に各軸線６３，
６４はステージ１３にあたかも貼り付いているかのよう
にいっしょに移動する。

【００１８】これらの位置合わせ用の各軸線６３，６４
とＸ，Ｙ軸線６１，６２のずれ量が、すなわちステージ
の現在位置と目標位置とのずれ量を示しており、作業者
のステージ１３の移動操作によりこれらの各軸線６３，
６４をＸ，Ｙ軸線６１，６２と一致させると、ステージ
が目標位置まで移動したことになる。さらに、一致した
かどうか目視による確認がより簡単にできるように、位
置合わせ用の各軸線６３，６４の両端には各軸線６１，
６２の内向き矢印と向き合う外向き矢印がそれぞれ形成
されている。

【００１９】また、カウンタウィンドウ５３に、ステー
ジ座標に対する相対的なＣＣＤカメラ２０の中心座標値
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を表示するのに換えて、ステージ移動さ
せるべき目標位置とのずれ量を数値で、リアルタイムに
表示させることも可能である。従って、正確に残りのス
テージ移動量が数値で表示されるので、作業者は正確に
位置合わせすることができる。

【００２０】次にステージを移動させるべき目標位置の
指定の仕方について説明する。図４（ａ）にビデオウィ
ンドウ５１にワークが表示されている状態を示す。この
ビデオウィンドウ５１内にはＸ軸線６１，Ｙ軸線６２が
表示されている。この２つの軸線の表示位置は、ビデオ
ウィンドウ５１に対して常に固定である。各軸線６１，
６２の両端には内向きで矢印８２（三角形）が表示され
ている。作業者がマウス３３を操作して、画面に表示さ
れているポインタ５７を４つの矢印のどれかの上に重ね
てマウス３３のボタンを押すと、予めワークメモリ４０
内に設定されている移動量と移動方向により、ＣＣＤカ
メラ１６の移動すべき目標位置が設定される。

【００２１】例えば、図４（ａ）のようにマウス３３を
操作してポインタ５７をＸ軸線６１の図中右端にある矢
印８２上に重ねてマウスのボタンを押すと、図４（ｂ）
に示すようにビデオウィンドウ５１の中心からＸ軸線プ
ラス方向（図中右方向）に、予め設定されている移動量
ｄｘと方向がワークメモリ４０内に記憶されると共にこ
の移動量と移動方向を表す軸線６４が表示される。また
このとき、マウスのボタンを複数回押した場合は、移動
量としてこの回数に所定移動量ｄｘを乗じた距離が移動
量としてワークメモリ４０に記憶される。なお、この軸
線６４は仮想的にステージ１３上に固定されているの
で、作業者がＸ軸駆動ハンドル１４を操作して、ステー
ジ１３をＣＣＤカメラ２０に対して相対的にマイナスＸ
軸方向に移動させると、これに応じて軸線６４がビデオ
ウィンドウ５１内でマイナスＸ軸方向に移動する。ま
た、この移動の際に移動すべき残りの量をカウンタウィ
ンドウ５３にリアルタイムで表示するようにすることも
可能である。

【００２２】同様に、図４（ｂ）のようにマウス３３を
操作してポインタ５７をＹ軸線６２の図中下端にある矢
印８２上に重ねてマウスのボタンを押すと、図４（ｂ）
に示すようにビデオウィンドウ５１の中心からＹ軸線マ
イナス方向（図中下方向）に、予め設定されている移動
量ｄｙと方向がワークメモリ４０内に記憶されると共に
この移動量と移動方向を表す軸線６３が表示される。ま
たこのとき、マウスのボタンを複数回押した場合は、移
動量としてこの回数に所定移動量ｄｙを乗じた距離が移
動量としてワークメモリ４０に記憶される。なお、この
軸線６３は仮想的にステージ１３上に固定されているの
で、作業者がＹ軸駆動ハンドル１５を操作して、ステー
ジ１３をＣＣＤカメラ２０に対してプラスＹ軸方向に移
動させると、これに応じて軸線６３がビデオウィンドウ
５１内でプラスＹ軸方向に移動する。また、この移動の
際に移動すべき残りの量をカウンタウィンドウ５３にリ
アルタイムの表示するようにすることも可能である。

【００２３】以上のように、作業者がＸ軸駆動ハンドル
１４とＹ軸駆動ハンドル１５を操作して、Ｘ軸線６４と
Ｙ軸線６３をビデオウィンドウ５１内で移動させてそれ
ぞれＸ軸線６１とＹ軸線６２に一致させると、図４
（ｃ）に示すように各軸線の両端にある三角形の矢印が
向き合うので、見ために一致したかどうかが分かりやす
く、さらに、各軸線の表示とカウンタウィンドウ５３の
表示における色を変化させたり、点滅させるようにする
と一層分かりやすくなる。また、一致した瞬間にコンピ
ュータ本体３１からビープ音を発するようにすることも
できる。

【００２４】また、図５に示すように、ステージを移動
させるべき目標位置をグラフィックスウィンドウ５２に
移動ベクトル６５として移動すべき量と方向を矢印を使
って表示させることもできる。Ｘ軸線６６とＹ軸線６７
の交点が現在のステージ座標に対する相対的なＣＣＤカ
メラ２０の中心座標値を表している。この移動ベクトル
６５は、現在のＣＣＤカメラ２０の中心座標値から、ワ
ークメモリ４０内に記憶された移動目標位置までに引か
れた直線で表され、目標位置に向かって矢印が形成され
ている。作業者がステージ１３を移動させると、この移
動に応じて移動ベクトル６５の長さと方向はリアルタイ
ムに変化するので、残りの移動させるべき量と方向が簡
単に分かる。

【００２５】また、図５に示すようにグラフィックスウ
ィンドウ５２内で、ステージを移動させるべき目標位置
をマウスのポインタ５７で直接指定することも可能であ
る。すなわち、通常はＣＡＤから入力されたワーク１２
のＣＡＤデータが表示されているので、このＣＡＤデー
タの表示上で移動目標位置にポインタを重ねてマウス３
３のボタンを押せば、目標位置としてワークメモリ４０
内に記憶させることができる。また、このグラフィック
スウィンドウ５２にはＣＡＤから入力されるＣＡＤデー
タの他、測定結果に基づく幾何形状のデータを表示する
ことも可能である。従って、ワークが量産品である場
合、最初に測定したワークの測定結果に基づく幾何形状
のデータをこのグラフィックスウィンドウ５２に表示す
れば、移動すべき目標位置の指定がマウス３３を使って
簡単にできるようになり、２個目以降の測定は作業者の
ステージ１３移動操作のアシストが可能なので簡単にな
る。

【００２６】グラフィックスウィンドウ５２内における
ステージ座標に対する相対的なＣＣＤカメラ２０の位置
は、前述したように軸線６６、６７の交点で表される
他、ビデオウィンドウ５１に表示している範囲を矩型枠
６８として表示するようにすることもできる。また、グ
ラフィックスウィンドウ５２での表示モードとして２つ
のモードがある。第１のモードはＣＣＤカメラ２０の中
心を常にグラフィックスウィンドウ５２の中央に位置さ
せるように表示する。この場合、ステージ１３を移動さ
せるとそれに応じて表示されているＣＡＤデータが相対
的にウィンドウ内を上下左右に平行移動するようにな
る。第２のモードは基本的にステージ１３を移動させて
もＣＡＤデータはグラフィックスウィンドウ５２に対し
て動かず、ＣＣＤカメラ２０の中心を示す軸線６６、６
７や矩型枠６８が上下左右に平行移動する。しかし、グ
ラフィックスウィンドウ５２における表示倍率によって
は、ステージ１３を移動させるとウィンドウからはみ出
てしまうことになる。この場合は、ウィンドウの端ぎり
ぎりまで軸線６６、６７や矩型枠６８を移動させた後、
ＣＡＤデータ側を移動させてはみ出すことのないように
表示制御する。

【００２７】以上説明したように、この実施例によれ
ば、ＣＣＤカメラをステージ全体のどの位置に相対移動
させればよいかが一目で分かるので、作業者による測定
時のステージ移動のマニュアル操作の能率が更に向上す
ることになる。

【００２８】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ビ
デオウィンドウやグラフィックスウィンドウといった、
常時、目視している限られた範囲内を参照するだけで目
標位置までのステージ移動操作が行えるので、測定作業
の効率を大幅に向上させることができるという効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るマニュアル操作型の画
像測定装置である。

【図２】同装置のブロック構成図である。

【図３】同装置の測定における表示画面全体を示す図で
ある。

【図４】同装置におけるステージ移動操作におけるビデ
オウィンドウの図である。

【図５】同装置におけるステージ移動操作におけるグラ
フィックスウィンドウの図である。

【符号の説明】

1 測定機本体 2 コンピュータシステム 12 ワーク 13 ステージ 20 ＣＣＤカメラ 40 ワークメモリ 51 ビデオウィンドウ 52 グラフィックスウィンドウ 53 カウンタウィンドウ 56 測定ウィンドウ 57 ポインタ 61 Ｘ（水平）軸線 62 Ｙ（垂直）軸線 65 移動ベクトル

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F064 KK01 MM15 MM28 MM45 2F065 AA49 AA51 FF01 FF27 JJ19 JJ26 PP12 PP22 PP23 PP24 QQ23 QQ35 QQ36 SS03 SS14 UU05 2F069 AA60 AA61 DD25 GG04 GG07 GG52 MM24 QQ10 5H303 AA20 BB03 BB12 DD25 EE01 FF09 FF11

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定対象を載置するステージと、 このステージに載置された被測定対象を撮像する撮像手
   段と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実行す
   る測定処理手段と、 前記被測定対象に対する相対的な前記撮像手段の撮像位
   置を変化させるための位置調整用操作手段と、 前記被測定対象に対する前記撮像手段の撮像位置を検出
   して位置情報を出力する位置検出手段と、 移動すべき目標位置を記憶する記憶手段と、 前記表示手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示さ
   れるビデオウィンドウを設定し、このビデオウィンドウ
   内にその中央部で交差する水平及び垂直軸とそれらの軸
   の両端位置に配置された矢印型の移動指示用アイコンと
   を表示すると共に、この移動指示用アイコンがクリック
   操作により指示されたときに指定されたアイコンに予め
   設定された方向及びピッチから、前記被測定対象に対す
   る前記撮像手段の撮像位置を変化させるべく目標位置を
   前記記憶手段に記憶させて、前記位置検出手段からの位
   置情報によって求められる現在の撮像位置と前記記憶手
   段に記憶された目標位置との垂直及び水平方向のずれ量
   をそれぞれ示す位置合わせ用水平線及び位置合わせ用垂
   直線を前記ビデオウィンドウ内に重ねて表示する制御手
   段と、 を備えたことを特徴とする画像測定装置。
2. 【請求項２】 前記制御手段は、前記ビデオウィンドウ
   内に表示された垂直方向の中央部を示す印と前記位置合
   わせ用水平線とが一致したときに前記撮像位置が垂直方
   向の目標位置に達したことを表わすために前記位置合わ
   せ用水平線の表示形態を変化させ、前記ビデオウィンド
   ウ内に表示された水平方向の中央部を示す印と前記位置
   合わせ用垂直線とが一致したときに前記撮像位置が水平
   方向の目標位置に達したことを表すため前記位置合わせ
   用垂直線の表示形態を変化させるように制御するもので
   あることを特徴とする請求項１記載の画像測定装置。
3. 【請求項３】 被測定対象を載置するステージと、 このステージに載置された被測定対象を撮像する撮像手
   段と、 この撮像手段で撮像された画像を表示する表示手段と、 前記撮像された画像に基づいて所定の測定処理を実行す
   る測定処理手段と、 前記被測定対象に対する相対的な前記撮像手段の撮像位
   置を変化させるための位置調整用操作手段と、 前記被測定対象に対する相対的な前記撮像手段の撮像位
   置を検出して位置情報を出力する位置検出手段と、 移動すべき目標位置を記憶する記憶手段と、 前記表示手段に前記撮像手段で撮像された画像が表示さ
   れるビデオウィンドウと前記撮像手段で撮像されるステ
   ージの仮想的なイメージを少なくとも前記撮像手段の撮
   像範囲よりも広い範囲で表示するグラフィックスウィン
   ドウとを設定し、前記グラフィックスウィンドウ内に前
   記位置検出手段からの位置情報によって求められる現在
   の撮像位置を示す情報と前記記憶手段に記憶された目標
   位置を示す情報と前記現在の撮像位置から前記目標位置
   へ至る直線とを表示させる制御手段と、 を備えたことを特徴とする画像測定装置。
4. 【請求項４】 前記請求項３において、前記撮像手段で
   撮像された画像は前記グラフィックスウィンドウ内の略
   中央に表示すると共に、前記位置調整用操作手段により
   前記被測定対象に対する相対的な前記撮像手段の撮像位
   置の移動に対応して前記仮想的なイメージの表示位置を
   移動する制御手段を備えたことを特徴とする画像測定装
   置。
5. 【請求項５】 前記請求項１乃至４において、前記位置
   検出手段からの位置情報によって求められる前記被測定
   対象に対する相対的な現在の撮像位置を示す情報と前記
   記憶手段に記憶された目標位置を示す情報と前記現在の
   撮像位置と前記目標位置との水平方向及び垂直方向のず
   れ量を数値で前記表示手段に表示する制御手段を備えた
   ことを特徴とする画像測定装置。