JP2000077345A5 - - Google Patents

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JP2000077345A5 JP1998248635A JP24863598A JP2000077345A5 JP 2000077345 A5 JP2000077345 A5 JP 2000077345A5 JP 1998248635 A JP1998248635 A JP 1998248635A JP 24863598 A JP24863598 A JP 24863598A JP 2000077345 A5 JP2000077345 A5 JP 2000077345A5
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【特許請求の範囲】
【請求項１】炉を加熱するヒータと、
前記ヒータに供給する電力を制御信号に応じて通電制御する電力制御回路と、
前記電力制御回路に加える制御信号を生成する複数の制御信号生成手段と、
半導体製造プロセスの各ステップに応じて前記複数の制御信号生成手段を選択する切替手段と、
前記炉内外の検出温度をもとに前記ヒータに供給する電力を決定する電力決定手段と、
前記電力決定手段で決定されたヒータ供給電力を得るために要求される制御信号を、前記切替手段によって選択された前記制御信号生成手段に生成される制御手段とを備えた熱処理装置。
【請求項２】 炉内外の検出温度をもとにヒータに供給する電力を決定し、この決定されたヒータ供給電力を得るために、半導体製造プロセスの各ステップに応じて複数の制御信号生成手段を選択し、この選択された前記制御信号生成手段に生成される制御信号を出力し、この出力された制御信号に応じて前記ヒータに与える電力を制御することを特徴とする熱処理装置おける温度制御方法。
JP10248635A 1998-09-02 1998-09-02 電気炉制御装置 Withdrawn JP2000077345A (ja)

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