JP2000202716A - 高周波加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高周波加工装置において、高周波電流により
発生する電磁エネルギーを効果的に利用して、少ない電
力消費量で、被加工体に対してさまざまな加工を高い精
度で安全に施すことができるようにする。 【解決手段】 高周波加工装置は、加工具４と、加工具
４により保持され先端側に電極先端部を有する電磁波放
射電極５と、電磁波放射電極５へ高帯域の高周波電流を
供給する高周波電流供給手段１と、芯線と同芯線を絶縁
材を介して同軸状に取り囲むシールド線とを有して上記
高周波電流供給手段からマッチングユニット３を介して
送られた上記高帯域の高周波電流を上記電磁波放射電極
５へ直接送る高周波電流ケーブル１１とを備え、上記電
磁波放射電極５の上記電極先端部が、同電極先端部の近
傍電磁界中に曝露された被加工体に対して、電磁エネル
ギーを局所的に放射する先端部表面を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波放射電極の
電極先端部が、同電極先端部の近傍電磁界中に被加工体
が曝露された状態において、同被加工体の表面原子がイ
オン化され同被加工体から外部空間へと飛び出すのに必
要な強さの電磁エネルギーを局所的に放射して、同被加
工体に対して種々の表面加工、切断、穿孔等の加工を施
すことができるようにした、高周波加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は従来の高周波加工装置の概念的な
構成図、図８は図７の高周波加工装置においてモノポー
ラ型の加工具を使用したときの高周波電流の伝達経路
図、図９は図７の高周波加工装置においてバイポーラ型
の加工具を使用したときの高周波電流の伝達経路図であ
る。

【０００３】まず図７に示すように、従来の高周波加工
装置においては、加工具３２の先端部から突出する放電
電極３３を使用して、被加工体３６に対し例えば表面加
工、切断、穿孔等の加工を施すに当たっては、被加工体
３６を挟んで放電電極３３とは反対側に例えば対極板３
４等のアース電極を接触あるいは接続させた上、放電電
極３３を、高周波電流ケーブル３１を介して、高周波を
発生する高周波電源を備えた加工装置本体３０の一方の
出力端子に接続し、これに対し対極板３４等のアース電
極を、高周波電流ケーブル３５を介して加工装置本体３
０の他方の出力端子に接続するようにしていた。

【０００４】そして、放電電極３３に高周波電流を流し
て、放電電極３３と被加工体３６との間の放電部３８に
放電を生じさせ、そのときの放電による局部的な加熱
と、放電部３８から被加工体３６内へと集中的に流れ込
む電流に対する被加工体３６の電気抵抗によって発生す
るジュール熱とにより、被加工体３６を局部的に加熱し
溶融して、同被加工体３６の局部に対し表面加工、切
断、穿孔等の加工を行なっていた。その際、放電電極３
３から被加工体３６内へと流れ込んだ電流３９は、被加
工体３６内を流れて対極板３４等のアース電極へと向か
い、対極板３４等のアース電極へと流れた電流は、さら
に高周波電流ケーブル３５を通って加工装置本体３０へ
と還流する。

【０００５】図８に、図７に示した高周波加工装置の加
工具３２としてモノポーラ型の加工具を使用したときの
高周波電流の伝達経路を示す。同図において、加工装置
本体３０から高周波電流ケーブル３１を介して加工具３
２へと送られた高周波電流は、放電電極３３と被加工体
３６との間の放電により被加工体３６へと流れ、さらに
被加工体３６を横断して対極板３４等のアース電極へと
流れ、その上、さらに対極板３４等のアース電極から高
周波電流ケーブル３５ａを介して加工装置本体３０へと
還流する。すなわち、加工装置本体３０、高周波電流ケ
ーブル３１、加工具３２、被加工体３６、対極板３４等
のアース電極、および、高周波電流ケーブル３５ａが閉
じた回路を形成している。

【０００６】上述の図８の場合とは異なった形態を示す
図９において、すなわち図７に示した高周波加工装置の
加工具３２としてバイポーラ型の加工具を使用したとき
の高周波電流の伝達経路を示す図９において、加工装置
本体３０から高周波電流ケーブル３１を介して加工具３
２へと送られた高周波電流は、１対の放電電極３３のう
ちの加工具３２のアクティブ電極３２ａに接続された一
方の放電電極と、被加工体３６との間の放電により被加
工体３６へと流れ、さらに被加工体３６から上記１対の
放電電極３３のうちの加工具３２のパッシブ電極３２ｂ
に接続された他方の放電電極へと流れ、そして、さらに
このパッシブ電極３２ｂに接続された他方の放電電極か
ら加工具３２のパッシブ電極３２ｂを介して加工具３２
へと流れ、その上、さらに加工具３２から高周波電流ケ
ーブル３５ｂを介して、加工装置本体３０へと還流す
る。すなわち、加工装置本体３０、高周波電流ケーブル
３１、加工具３２のアクティブ電極３２ａ、被加工体３
６、および加工具３２のパッシブ電極３２ｂ、さらに高
周波電流ケーブル３５ｂが閉じた回路を形成している。

【０００７】図７において、上述のように放電電極３３
に高周波電流が通電されると、電流３９が、放電部３８
から被加工体３６内を横断して、例えば対極板３４等の
アース電極へと向けて流れるが、その際、放電により局
部的に加熱された被加工部から熱伝導により伝わった伝
導熱と、放電部３８から被加工体３６内へと集中的に流
れ込む電流に対する被加工体３６の電気抵抗によって発
生するジュール熱とにより、被加工部の周辺の被加工体
３６が、広い範囲にわたって大きく熱歪を起こすことと
なる。

【０００８】また、従来の高周波加工装置においては、
例えば対極板３４等のアース電極が不可欠で、それに伴
って対極板３４等のアース電極を加工装置本体３０に接
続するための高周波電流ケーブル３５も必要となり、し
かも被加工体３６に対して表面加工、切断、穿孔等の加
工を施す際には、放電電極３３と対極板３４等のアース
電極との間で、高周波電流が被加工体３６を横断して流
れることとなり、この横断電流による被加工体３６への
さまざまな悪影響が懸念される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の高
周波加工装置においては、使用周波数としては、低い周
波数帯域の高周波を使用しており、被加工体を回路中に
含めて閉じた高周波回路を形成するためにはアース電極
が不可欠であり、また単純に、放電電極と被加工体との
間の放電による局部加熱と、被加工体を流れる電流のジ
ュール熱とを利用して被加工体に対する加工を行なって
いたため、被加工体の局部すなわち被加工部への加熱エ
ネルギーの集中度を高めることには限界があり、そのた
め被加工体の局部に例えば表面加工、切断、穿孔等の加
工を施す際には被加工部の周辺部が、広い範囲にわたっ
て大きく熱歪を起こしてしまうなどの不都合があり、さ
らに放電電極とアース電極との間で、高周波電流が被加
工体を横断して流れるため、この横断電流による被加工
体へのさまざまな悪影響も懸念される。

【００１０】そこで本発明は、使用周波数として従来の
高周波加工装置において使用されていた周波数帯域の周
波数よりも高い周波数の高周波電流を用いて、同高周波
電流により発生する電磁エネルギーを効果的に利用する
ことができるようにし、高周波電流ケーブルからの電磁
波の漏洩を防止して高周波エネルギーの伝送効率を高
め、高周波電流ケーブルが、マッチングケーブルとして
効果的にマッチング機能を果たすことができるように
し、従来のように被加工体を組み入れて閉じた高周波回
路を形成する必要がなく、また、被加工体の表面原子が
イオン化され同被加工体から外部空間へと飛び出すのに
必要な強さの電磁エネルギーを同被加工体の局部に集中
させて同被加工体に対する加工を正確且つ確実に行なう
ことができるようにし、その結果、被加工体の局部に加
工を施す際に、被加工体の被加工部の周辺まで広く熱歪
をさせてしまうということがなく、さらに高周波電流が
被加工体を横断して流れることがなく、加工量に対する
出力電力が少なくて済み、被加工体に対してさまざまな
加工を高い精度で安全に施すことができるようにした、
高周波加工装置を提供しようとするものである。

【００１１】また本発明は、被加工体の局部に対し表面
加工、切断、穿孔等の加工を施すことができるととも
に、被加工体の局部に対し周囲への熱歪を伴うことなく
高精度で多様な表面加工を施すことができるようにし
た、高周波加工装置を提供しようとするものである。

【００１２】さらに本発明は、被加工体が仮に電解液に
よる湿気を全く有しない状態の被加工体であっても、同
被加工体の局部に対する表面加工、切断、穿孔等の加工
を円滑に行なうことができるようにした、高周波加工装
置を提供しようとするものである。

【００１３】また本発明は、上記加工具内において、ア
クティブ出力端子および電磁波放射電極から放射される
電磁エネルギーがパッシブ出力端子により捕捉され、高
周波エネルギーの空中への放散を抑制して効果的にエネ
ルギーの回収をすることができ、被加工体に対する加工
に応じた要求にしたがって最適な高周波特性を選択する
ことができるようにした、高周波加工装置を提供しよう
とするものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明の高周波加工装置は、電極保持部を有する加
工具と、同加工具の電極保持部により保持され先端側に
電極先端部を有して高帯域のラジオ周波数を持つ高周波
電流の供給を受ける電磁波放射電極と、同電磁波放射電
極へ上記高帯域のラジオ周波数を持つ高周波電流を供給
する高周波電流供給手段と、芯線と同芯線を絶縁材を介
して同軸状に取り囲むシールド線とを有しマッチングユ
ニットを介して上記高周波電流供給手段に接続され先端
側が昇圧コイルを介することなく上記電磁波放射電極に
接続され上記高周波電流供給手段からマッチングユニッ
トを介して送られた上記高帯域のラジオ周波数を持つ高
周波電流を上記電磁波放射電極へ送る高周波電流ケーブ
ルとを備え、上記電磁波放射電極の上記電極先端部が、
同電極先端部の近傍電磁界中に被加工体が曝露された状
態において、アース電極を用いることなしに上記被加工
体の表面原子がイオン化され同被加工体から外部空間へ
と飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーを上記電極
先端部から局所的に放射して同被加工体に対して加工を
施すことができる先端部表面を有している。

【００１５】また、本発明の高周波加工装置は、電極保
持部を有する加工具と、同加工具の電極保持部により保
持され先端側に電極先端部を有して高帯域のラジオ周波
数を持つ高周波電流の供給を受ける電磁波放射電極と、
同電磁波放射電極へ上記高帯域のラジオ周波数を持つ高
周波電流を供給する高周波電流供給手段と、芯線と同芯
線を絶縁材を介して同軸状に取り囲むシールド線とを有
しマッチングユニットを介して上記高周波電流供給手段
に接続され先端側が昇圧コイルを介することなく上記電
磁波放射電極に接続され上記高周波電流供給手段からマ
ッチングユニットを介して送られた上記高帯域のラジオ
周波数を持つ高周波電流を上記電磁波放射電極へ送る高
周波電流ケーブルとを備え、上記電磁波放射電極の上記
電極先端部が、同電極先端部の近傍電磁界中に被加工体
が曝露された状態において、上記被加工体の表面原子が
イオン化され同被加工体から外部空間へと飛び出すのに
必要な強さの電磁エネルギーを上記電極先端部から局所
的に放射して同被加工体に対して加工を施すことができ
る先端部表面を有している、高周波加工装置において、
上記電磁波放射電極と、同電磁波放射電極と対をなして
同電磁波放射電極とともにバイポーラの電極を形成する
対向電極とが、それぞれ上記加工具の共通の電極保持部
により保持され、上記電磁波放射電極および上記対向電
極の各先端部側が、上記加工具の共通の電極保持部の先
端部から共に概ね同じ向きに突出しており、同加工具の
共通の電極保持部内において、上記電磁波放射電極が、
アクティブ出力端子に接続されているのに対し、上記対
向電極とパッシブ出力端子とアクティブ出力端子との間
には、同対向電極と同パッシブ出力端子と同アクティブ
出力端子との間の接続関係を規定する終端処理手段が介
在している。

【００１６】さらに、本発明の高周波加工装置におい
て、同高周波加工装置が、上記被加工体に対して加工を
施す際に、上記被加工体の少なくとも加工対象となる局
部に電解液および電解液含有物のうちの少なくともいず
れか一方を接触させる電解液付与手段を備えている。

【００１７】また、本発明の高周波加工装置において、
上記電磁波放射電極が、上記加工具の電極保持部により
保持され、上記電磁波放射電極の上記電極先端部側が、
上記加工具の電極保持部の先端部から突出しており、同
加工具の電極保持部の内部において、上記電磁波放射電
極が、アクティブ出力端子に接続されているとともに、
同電極保持部の内部には、上記電磁波放射電極とパッシ
ブ出力端子との間のインピーダンスを整合させるインピ
ーダンス整合手段が介在している。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の実施の
形態について説明する。図１は本発明の１実施の形態に
係る高周波加工装置の概念的な構成図、図２（１）は図
１の実施の形態に係る高周波加工装置において使用する
ことができるマッチングケーブルおよびモノポーラ型の
加工具の１例を示す側面図であり、図２（２）は図１の
実施の形態に係る高周波加工装置において使用すること
ができる図２（１）とは異なったマッチングケーブルお
よびバイポーラ型の加工具の１例を示す側面図、図３は
図２（１）のモノポーラ型の加工具の使用態様を説明す
るための側面図、図４は図１の高周波加工装置において
モノポーラ型の加工具を使用したときの高周波電流およ
び電磁エネルギーの伝達経路図、図５は図１の高周波加
工装置においてバイポーラ型の加工具を使用したときの
高周波電流および電磁エネルギーの伝達経路図、図６は
図１の高周波加工装置の電源からモノポーラ型の加工具
あるいはバイポーラ型の加工具に至る電流および制御信
号の伝達経路図である。

【００１９】まず図１において、本発明の１実施の形態
に係る高周波加工装置は、少なくとも高帯域のラジオ周
波数、例えば８ＭＨｚ〜６０ＭＨｚの周波数、あるいは
それ以上の周波数の高周波電流を発生する高周波電源部
１を備える。この高周波電源部１から、マッチングユニ
ット３およびマッチングケーブル１１を介して，後述の
ようにモノポーラ型の加工具４の電磁波放射電極５ある
いはバイポーラ型の加工具４の電磁波放射電極５ａが、
上記帯域の高周波電流の供給を受けることができるよう
になっている。

【００２０】上記モノポーラ型の加工具４の電磁波放射
電極５は、絶縁性の材料により形成されたモノポーラ型
の加工具４の電極保持部により保持されており、電磁波
放射電極５の先端部側は、モノポーラ型の加工具４の電
極保持部の先端部からさらに先方へと突出している。同
様にして、バイポーラ型の加工具４の電磁波放射電極５
ａも、絶縁性の材料により形成されたバイポーラ型の加
工具４の電極保持部により保持されており、電磁波放射
電極５ａの先端部側は、バイポーラ型の加工具４の電極
保持部の先端部からさらに先方へと突出している。モノ
ポーラ型の加工具４およびバイポーラ型の加工具４のさ
らに詳細な構成については後述する。

【００２１】マッチングケーブル１１は、芯線２と同芯
線２を絶縁材を介して同軸状に取り囲むシールド線６と
を有し、芯線２がマッチングユニット３を介して高周波
電源部１のアクティブ端子７ａに接続されているととも
に、シールド線６がマッチングユニット３を介して高周
波電源部１のパッシブ端子７ｂに接続されている。芯線
２の先端側は、モノポーラ型の加工具４の電極保持部に
おいて保持された電磁波放射電極５、あるいはバイポー
ラ型の加工具４の電極保持部において保持された電磁波
放射電極５ａに、それぞれ昇圧コイルを介することなく
接続されている。モノポーラ型の加工具４の場合、シー
ルド線６は、マッチングユニット３からモノポーラ型の
加工具４内の電磁波放射電極５の先端寄りの位置に至る
まで芯線２を取り囲んでいる。他方、バイポーラ型の加
工具４の場合においては、シールド線６が、バイポーラ
型の加工具４の電極保持部の位置に至るまで芯線２を取
り囲んでいる。

【００２２】このようにシールド線６が、モノポーラ型
の加工具４の場合には、マッチングユニット３からモノ
ポーラ型の加工具４の加工具４内の電磁波放射電極５の
先端寄りの位置に至るまで芯線２を取り囲んでおり、ま
たバイポーラ型の加工具４の場合においては、マッチン
グユニット３からバイポーラ型の加工具４の電極保持部
の位置に至るまで芯線２を取り囲んでいることにより、
高周波電源部１から電磁波放射電極５、５ａへと芯線２
を通して高周波電流が送られる際に、このシールド線６
が、芯線２から放射された電磁波を効果的に捕捉し、そ
の結果、芯線２から漏洩して放射されるエネルギーが、
マッチングユニット３からモノポーラ型の加工具４によ
り保持されている電磁波放射電極５に至る途中、あるい
はマッチングユニット３からバイポーラ型の加工具４に
より保持されている電磁波放射電極５ａに至る途中で、
それぞれ大気等の系外に散逸することが抑制されるとと
もに、長さおよび太さが調整されているマッチングケー
ブル１１が、マッチングユニット３と協働して良好なマ
ッチング機能を果たすことができる。

【００２３】上述のように、電磁波放射電極５、５ａ
が、マッチングユニット３およびマッチングケーブル１
１を介して、高周波電源部１から、少なくとも高帯域の
ラジオ周波数、例えば８ＭＨｚ〜６０ＭＨｚの周波数、
あるいはそれ以上の周波数の高周波電流の供給を受ける
と、電磁波放射電極５、５ａは、その先端部から強い電
磁エネルギーを放射する。

【００２４】モノポーラ型の加工具４の場合、電磁波放
射電極５の電極先端部の近傍電磁界中に被加工体８が曝
露される位置となるまで、電磁波放射電極５の電極先端
部を被加工体８の局部９に接近させると、電磁波放射電
極５の電極先端部の近傍電磁界中に被加工体８が曝露さ
れた状態となり、アース電極を用いることなしに、被加
工体８の表面原子がイオン化され被加工体８から外部空
間へと飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーが、電
磁波放射電極５の電極先端部の先端部表面から被加工体
８に対し局所的に放射される。その際、電磁波放射電極
５の電極先端部および被加工体８の局部９間には電磁エ
ネルギーによるアーク放電も発生するとともに、被加工
体８の局部９には電磁エネルギーによるジュール熱も発
生する。その結果、電磁波放射電極５の電極先端部の先
端部表面から被加工体８に対し局所的に放射される、被
加工体８の表面原子がイオン化され被加工体８から外部
空間へと飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーの作
用により、被加工体８の表面原子が、イオン化され、被
加工体８から外部空間へと飛び出すこととなり、被加工
体８の局部９の周囲へ好ましくない影響を与えることな
く、電磁波放射電極５の電極先端部により被加工体８の
局部９に対し種々の表面加工、切断、穿孔等の高い精度
の加工を施すことができる。

【００２５】バイポーラ型の加工具４の場合には、電磁
波放射電極５ａの電極先端部の近傍電磁界中に被加工体
８が曝露される位置となるまで、電磁波放射電極５ａの
電極先端部を被加工体８の局部９に接近させると、電磁
波放射電極５ａの電極先端部の近傍電磁界中に被加工体
８が曝露された状態となり、被加工体８の表面原子がイ
オン化され被加工体８から外部空間へと飛び出すのに必
要な強さの電磁エネルギーが、電磁波放射電極５ａの電
極先端部の先端部表面から被加工体８に対し局所的に放
射される。その際、電磁波放射電極５ａの電極先端部お
よび被加工体８の局部９間には電磁エネルギーによるア
ーク放電も発生するとともに、被加工体８の局部９には
電磁エネルギーによるジュール熱も発生する。その結
果、電磁波放射電極５ａの電極先端部の先端部表面から
被加工体８に対し局所的に放射される、被加工体８の表
面原子がイオン化され被加工体８から外部空間へと飛び
出すのに必要な強さの電磁エネルギーの作用により、被
加工体８の表面原子が、イオン化され、被加工体８から
外部空間へと飛び出すこととなり、被加工体８の局部９
の周囲へ好ましくない影響を与えることなく、電磁波放
射電極５ａの電極先端部により被加工体８の局部９に対
し種々の表面加工、切断、穿孔等の高い精度の加工を施
すことができる。

【００２６】モノポーラ型の加工具４の場合において
も、またバイポーラ型の加工具４の場合においても、被
加工体８の局部９に対し表面加工、切断、穿孔等の加工
を施す際、被加工体８の材質に応じて、電磁波放射電極
５、５ａの電極先端部の近傍電磁界における電磁エネル
ギーの作用が異なり、一般に、被加工体８が湿潤な材質
の被加工体８に対する加工の方が、乾燥状態の被加工体
８に対する加工の場合よりも、被加工体８の局部９に対
する表面加工、切断、穿孔等の加工が、より円滑に行な
われる。

【００２７】モノポーラ型の加工具４の場合において
も、バイポーラ型の加工具４の場合においても、被加工
体８がもともと湿潤な材質の被加工体８であるが加工時
には乾燥した状態にあったり、被加工体８の材質そのも
のが水分を含まない材質であったりして、被加工体８に
対する加工が円滑に行なわれない場合には、被加工体８
に対して加工を施す際に、被加工体８の少なくとも加工
対象となる局部に、電解液および電解液含有物のうちの
少なくともいずれか一方を接触させる電解液付与手段、
例えば電解液を被加工体８に接触させる場合には、噴霧
器、刷毛、注入器等を利用した電解液付与手段により、
また例えば電解液含有物を薄肉フィルム状の被加工体８
に裏面側から接触させるような場合には、電解液を含浸
させた電解液含浸材あるいは天然の動物性あるいは植物
性の肉質材等を利用した電解液付与手段、により被加工
体８の少なくとも加工対象となる局部に電解液を接触さ
せることにより、被加工体８の局部９に対する表面加
工、切断、穿孔等の加工を、より円滑に行なうことがで
きる。

【００２８】図２（１）に、図１の実施の形態に係る高
周波加工装置において使用することができるマッチング
機能を持つ高周波電流ケーブルすなわちマッチングケー
ブルおよびモノポーラ型の加工具４の１例を示す。同図
において、マッチングケーブル１１は、同マッチングケ
ーブル１１の中間部において互いに係合および離脱が可
能なコネクタソケット１３ａおよび１３ｂよりなるコネ
クタを介して複数本、例えば、図示のように２本の分割
ケーブル１１ａおよび１１ｂに分割可能とすることがで
きる。そして互いに隣接する分割ケーブル１１ａと分割
ケーブル１１ｂとのうち、高周波加工装置の本体側の分
割ケーブル、例えば、図示のように、コネクタソケット
１２を介して高周波加工装置の本体側に接続される分割
ケーブル１１ａのケーブル径に比し、先端側の分割ケー
ブル、例えば、図示のように、保持部４ａが形成された
モノポーラ型の加工具４に一体的に接続している分割ケ
ーブル１１ｂのケーブル径の方が、より小径となってい
る。

【００２９】この場合、図２（１）に示したように、分
割ケーブル１１ｂにモノポーラ型の加工具４を一体的に
接続することに代えて、分割ケーブル１１ｂとモノポー
ラ型の加工具４とをコネクタを介して接続するように
し、さまざまな種類のモノポーラ型の加工具を、分割ケ
ーブル１１ｂの先端部に着脱可能に接続するようにして
も良い。また、芯線２に接続されるモノポーラ型の加工
具４内のアクティブ出力端子に対して、さまざまな種類
の先端部を有する電磁波放射電極５を、交換可能に着脱
自在に接続するようにしても良い。いずれにしても、モ
ノポーラ型の加工具４の電磁波放射電極５の電極先端部
は、同電極先端部の近傍電磁界中に被加工体８が曝露さ
れた状態において、被加工体８の表面原子がイオン化さ
れ同被加工体８から外部空間へと飛び出すのに必要な強
さの電磁エネルギーを上記電磁波放射電極５の電極先端
部から局所的に放射して被加工体８に対して加工を施す
ことができる先端部表面を有している。

【００３０】次いで、図２（２）に、図１の実施の形態
に係る高周波加工装置において使用することができる図
２（１）とは異なったマッチングケーブルおよびバイポ
ーラ型の加工具４の１例を示す。この図２（２）に示し
たマッチングケーブル１１も、同マッチングケーブル１
１の中間部において互いに係合および離脱が可能なコネ
クタソケット１３ａおよび１３ｂよりなるコネクタを介
して複数本、例えば図示のように２本の分割ケーブル１
１ａおよび１１ｂに分割可能とすることができる。そし
て、互いに隣接し合う分割ケーブル１１ａおよび１１ｂ
のうち、高周波加工装置の本体側の分割ケーブル、例え
ば図示のようにコネクタソケット１２を介して高周波加
工装置の本体側に接続される分割ケーブル１１ａのケー
ブル径に比し、先端側の分割ケーブル、例えば図示のよ
うにコネクタソケット１４ａと１４ｂとよりなるコネク
タを介してバイポーラ型の加工具４に着脱可能に接続さ
れる分割ケーブル１１ｂのケーブル径の方が、より小径
となっている。

【００３１】図２（２）に示したバイポーラ型の加工具
４は、電極保持部１５を有し、電磁波放射電極５ａと、
同電磁波放射電極５ａと対をなして電磁波放射電極５ａ
とともにバイポーラの電極を形成する対向電極５ｂと
が、それぞれ、共通の電極保持部１５により保持されて
いる。電磁波放射電極５ａおよび対向電極５ｂの各先端
部側が、バイポーラ型の加工具４の共通の電極保持部１
５の先端部から共に概ね同じ向きに突出している。バイ
ポーラ型の加工具４の共通の電極保持部１５内におい
て、マッチングケーブル１１の芯線２に接続されるアク
ティブ出力端子が、電磁波放射電極５ａに接続されてい
るのに対し、マッチングケーブル１１のシールド線６に
接続されるパッシブ出力端子とマッチングケーブル１１
の芯線２に接続されるアクティブ出力端子と上記対向電
極５ｂとの間には、同パッシブ出力端子と同アクティブ
出力端子と対向電極５ｂとの間の接続関係を規定する以
下のような終端処理手段が介在している。

【００３２】上記終端処理手段としては、例えばマッチ
ングケーブル１１の芯線２に接続されるアクティブ出力
端子を対向電極５ｂに対しては接続しないで、マッチン
グケーブル１１のシールド線６に接続されるパッシブ出
力端子を対向電極５ｂに対して接続する第１の終端処理
手段、上記芯線２に接続されるアクティブ出力端子およ
び上記シールド線６に接続されるパッシブ出力端子を、
共に対向電極５ｂに対しては接続しない第２の終端処理
手段、および、上記芯線２に接続されるアクティブ出力
端子を対向電極５ｂに対して接続する一方で、上記シー
ルド線６に接続されるパッシブ出力端子を対向電極５ｂ
に対しては接続しない第３の終端処理手段等の種々の終
端処理手段より選択された１つの終端処理手段を採用す
ることができる。また上記第１、第２あるいは第３の終
端処理手段において、上記アクティブ出力端子と上記パ
ッシブ出力端子との間にインピーダンス回路を介在させ
ることもできる。

【００３３】上述のようなバイポーラ型の加工具４の場
合においても、さまざまな種類の加工具４を分割ケーブ
ル１１ｂの先端部に着脱可能に接続することができ、ま
た、バイポーラ型の加工具４内の上記アクティブ出力端
子に対して、さまざまな種類の先端部を有する電磁波放
射電極５ａを、交換可能に着脱自在に接続するようにし
ても良い。いずれにしても、バイポーラ型の加工具４の
電磁波放射電極５ａの電極先端部は、同電極先端部の近
傍電磁界中に被加工体８が曝露された状態において、被
加工体８の表面原子がイオン化され同被加工体８から外
部空間へと飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーを
電磁波放射電極５ａの電極先端部から局所的に放射して
被加工体８に対して加工を施すことができる先端部表面
を有している。

【００３４】図２（１）および図２（２）に示したよう
に、マッチングケーブル１１をコネクタを介して複数本
の分割ケーブルに分割可能とし、互いに隣接する分割ケ
ーブルのうち高周波加工装置の本体側の分割ケーブル１
１ａのケーブル径に比し、先端側の分割ケーブル１１ｂ
のケーブル径の方を、より小径としたことにより、マッ
チングケーブル１１の全長にわたるマッチングの調整を
図りながら、一方では、高周波加工装置の本体側の分割
ケーブル１１ａの電気抵抗をできるだけ小さくして、高
周波電流のエネルギーの損失をできるだけ少なく抑え、
他方では、先端側の分割ケーブル１１ｂの柔軟屈曲性を
高めて、加工具４のハンドリング操作における加工具４
への追従性を高めて、加工具４の操作性を高め、例えば
自動化の際にロボットによる自動操作をし易くすること
ができる。

【００３５】図３に示すように、モノポーラ型の加工具
４あるいはバイポーラ型の加工具４の操作をロボットに
よらず人の手により行なう場合、例えば、モノポーラ型
の加工具４あるいはバイポーラ型の加工具４の保持部４
ａ、１５の形状を、側面視で屈曲した形状にして、モノ
ポーラ型の加工具４あるいはバイポーラ型の加工具４の
保持部４ａ、１５の軸線の、電磁波放射電極５、５ａに
対する相対的な位置を、保持部４ａ、１５の後方から見
たときの電磁波放射電極５、５ａの軸線上の目視線１６
を保持部４ａ、１５や保持部４ａ、１５を握る操作者の
指先が遮ることのないように、電磁波放射電極５、５ａ
の軸線から横ずれした位置に設定しておくことができ、
そのようにした場合には、電磁波放射電極５、５ａの軸
線上の目視線１６が保持部４ａ、１５や保持部４ａ、１
５を握る操作者の指先によって遮られることなく、安全
かつ正確にモノポーラ型の加工具４あるいはバイポーラ
型の加工具４を操作することができる。

【００３６】上述のように、モノポーラ型の加工具４お
よびバイポーラ型の加工具４は、保持部４ａ、１５の内
部においてアクティブ出力端子とパッシブ出力端子とを
備えているが、アクティブ出力端子に接続された電磁波
放射電極５、５ａの電極先端部の形状としては、針型や
ブレード型等の先鋭な先端形状や、制限された大きさ以
下の寸法のボール型やリング型等の鈍い先端形状の先端
部とすることができ、被加工体に対する加工の内容に応
じて最適な形状の電極先端部を選択して使用することが
できる。

【００３７】図４は、図１の高周波加工装置においてモ
ノポーラ型の加工具４を使用したときの高周波電流およ
び電磁エネルギーの伝達経路を示している。同図におい
て、高周波電源部１７が発生した少なくとも高帯域のラ
ジオ周波数、例えば８ＭＨｚ〜６０ＭＨｚの周波数、あ
るいはそれ以上の周波数の高周波電流が、マッチングユ
ニット３からマッチングケーブル１１を介してモノポー
ラ型の加工具４に至るエネルギー変換器１８に供給され
ることによって、モノポーラ型の加工具４の電磁波放射
電極５の電極先端部からは強い電磁エネルギーが放射さ
れる。

【００３８】その結果、上述のように、電磁波放射電極
５の電極先端部の近傍電磁界中に被加工体８が曝露され
る位置となるまで、電磁波放射電極５の電極先端部を被
加工体８の局部９に接近させると、電磁波放射電極５の
電極先端部の近傍電磁界中に被加工体８が曝露された状
態となり、アース電極を用いることなしに、被加工体８
の表面原子がイオン化され被加工体８から外部空間へと
飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーが、電磁波放
射電極５の電極先端部の先端部表面から被加工体８に対
し局所的に放射される。その際、電磁波放射電極５の電
極先端部および被加工体８の局部９間には電磁エネルギ
ーによるアーク放電も発生するとともに、被加工体８の
局部９には電磁エネルギーによるジュール熱も発生す
る。その結果、電磁波放射電極５の電極先端部の先端部
表面から被加工体８に対し局所的に放射される、被加工
体８の表面原子がイオン化され被加工体８から外部空間
へと飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーの作用に
より、被加工体８の表面原子が、イオン化され、被加工
体８から外部空間へと飛び出すこととなり、被加工体８
の局部９の周囲へ好ましくない影響を与えることなく、
電磁波放射電極５の電極先端部により被加工体８の局部
９に対し種々の表面加工、切断、穿孔等の高い精度の加
工を施すことができる。

【００３９】これに対し、図５は、図１の高周波加工装
置においてバイポーラ型の加工具４を使用したときの高
周波電流および電磁エネルギーの伝達経路を示してい
る。同図において、高周波電源部１７が発生した少なく
とも高帯域のラジオ周波数、例えば８ＭＨｚ〜６０ＭＨ
ｚの周波数、あるいはそれ以上の周波数の高周波電流
が、マッチングユニット３からマッチングケーブル１１
を介してバイポーラ型の加工具４に至るエネルギー変換
器１８に供給されることによって、バイポーラ型の加工
具４の電磁波放射電極５ａの電極先端部からは強い電磁
エネルギーが放射される。

【００４０】その結果、上述のように、電磁波放射電極
５ａの電極先端部の近傍電磁界中に被加工体８が曝露さ
れる位置となるまで、電磁波放射電極５ａの電極先端部
を被加工体８の局部９に接近させると、電磁波放射電極
５ａの電極先端部の近傍電磁界中に被加工体８が曝露さ
れた状態となり、被加工体８の表面原子がイオン化され
被加工体８から外部空間へと飛び出すのに必要な強さの
電磁エネルギーが、電磁波放射電極５ａの電極先端部の
先端部表面から被加工体８に対し局所的に放射される。
その際、電磁波放射電極５ａの電極先端部および被加工
体８の局部９間には電磁エネルギーによるアーク放電も
発生するとともに、被加工体８の局部９には電磁エネル
ギーによるジュール熱も発生する。そして、電磁波放射
電極５ａの電極先端部の先端部表面から被加工体８に対
し局所的に放射される、被加工体８の表面原子がイオン
化され被加工体８から外部空間へと飛び出すのに必要な
強さの電磁エネルギーの作用により、被加工体８の表面
原子が、イオン化され、被加工体８から外部空間へと飛
び出すこととなり、被加工体８の局部９の周囲へ好まし
くない影響を与えることなく、電磁波放射電極５ａの電
極先端部により被加工体８の局部９に対し種々の表面加
工、切断、穿孔等の高い精度の加工を施すことができ
る。

【００４１】モノポーラ型の加工具４において、電極保
持部４ａの内部においては、上述のように、マッチング
ケーブル１１の芯線２に接続されるアクティブ出力端子
が、電磁波放射電極５に接続されている。これに対し、
電極保持部４ａの内部には、例えば以下のようなインピ
ーダンス整合手段を介在させることができる。すなわ
ち、マッチングケーブル１１のシールド線６に接続され
るパッシブ出力端子が、電磁波放射電極５に対して回路
を介して接続されないで開状態に保たれた構成となって
いるインピーダンス整合手段を介在させることができる
ほか、これとは別に、上記パッシブ出力端子が、電磁波
放射電極５に対して少なくとも１つのコンデンサおよび
少なくとも１つのインダクタンスのうちの少なくとも一
方を含むインピーダンス回路を介して接続された構成と
なっているインピーダンス整合手段等の種々のインピー
ダンス整合手段のうちから、例えば被加工物８の材質、
電磁波放射電極５の形状および寸法、被加工物８に対す
る加工条件の内容等に応じて選択されたいずれか一つの
インピーダンス整合手段を介在させることもできる。

【００４２】バイポーラ型の加工具４においては、電極
保持部１５の内部において、上述のようにマッチングケ
ーブル１１の芯線２に接続されたアクティブ出力端子
が、電磁波放射電極５ａに接続されている。これに対
し、同電極保持部１５の内部において、インピーダンス
整合手段として、マッチングケーブル１１のシールド線
６に接続されるパッシブ出力端子が、電磁波放射電極５
ａに対して回路を介しては接続されていない構成となっ
ているインピーダンス整合手段を介在させることができ
るほか、これとは別に、上記パッシブ出力端子が、電磁
波放射電極５ａに対して少なくとも１つのコンデンサお
よび少なくとも１つのインダクタンスのうちの少なくと
も一方を含むインピーダンス回路を介して接続された構
成となっているインピーダンス整合手段等の種々のイン
ピーダンス整合手段のうちから、例えば被加工物８の材
質、電磁波放射電極５ａの形状および寸法、被加工物８
に対する加工条件の内容等に応じて選択されたいずれか
一つのインピーダンス整合手段を介在させることもでき
る。

【００４３】図６に、図１の高周波加工装置の電源から
加工具に至る電流および制御信号の伝達経路の一例を示
す。同図において、電源部１９は、例えば通常の商用電
源であってよく、電源部１９において取り入れられた電
流は、高周波電源部２２において、少なくとも高帯域の
ラジオ周波数、例えば８ＭＨｚ〜６０ＭＨｚの周波数、
あるいはそれ以上の周波数の高周波電流に変換される。
高周波電源部２２により生成された高周波電流は、マッ
チングユニット２５へと送られる。マッチングユニット
２５は、モノポーラ出力部２６とバイポーラ出力部２７
とを有する。

【００４４】マイクロコンピュータ制御部２０は、制御
信号入出力部２１を介して高周波電源部２２の出力制御
およびマッチングユニット２５のマッチング制御を行な
うとともに、表示・入力部２３には、高周波電源部２２
の出力状態およびマッチングユニット２５のマッチング
作動状態等に関する必要な事項を表示させる。フットス
イッチあるいはペダルスイッチ２４を制御信号入出力部
２１に接続し、このフットスイッチあるいはペダルスイ
ッチ２４により例えばマッチングユニット２５の出力の
断接を行なうようにすることができる。

【００４５】モノポーラ型の加工具あるいはバイポーラ
型の加工具４は、大径の分割ケーブル１１ａ、中継用の
コネクタ１３および小径の分割ケーブル１１ｂよりなる
マッチングケーブル１１を介してマッチングユニット２
５に接続される。その際、モノポーラ型の加工具４を使
用する場合には、マッチングケーブル１１をマッチング
ユニット２５のモノポーラ出力部２６に接続し、バイポ
ーラ型の加工具４を使用する場合には、マッチングケー
ブル１１を、マッチングユニット２５のバイポーラ出力
部２６に接続する。

【００４６】被加工体８に対する加工の効果を高めるた
めに、高周波の出力波形を変形して出力することができ
る。例えば、バイポーラの加工具４を使用する際に、電
磁波放射電極５ａの先端部における焦げ付きを防止する
目的で変調パルス波のデユーテイーサイクルを調整する
ことができる。バイポーラの加工具４を使用する場合
に、種々の加工に応じて、変調パルス波のデユーテイサ
イクルを調整することができる。例えばメイン周波数が
１３．５６ＭＨｚの連続サイン波である場合に、この連
続サイン波を１００ｋＨｚ〜３００ｋＨｚの変調パルス
波により変調することにより出力波形を変換することが
でき、さらに、この１００ｋＨｚ〜３００ｋＨｚの変調
パルス波のデユーテイサイクルを調整して出力波形を変
換することができる。

【００４７】

【発明の効果】本発明の高周波加工装置によれば、以下
のような効果が得られる。 （１）電極保持部を有する加工具と、同加工具の電極保
持部により保持され先端側に電極先端部を有して高帯域
のラジオ周波数を持つ高周波電流の供給を受ける電磁波
放射電極と、同電磁波放射電極へ上記高帯域のラジオ周
波数を持つ高周波電流を供給する高周波電流供給手段
と、芯線と同芯線を絶縁材を介して同軸状に取り囲むシ
ールド線とを有しマッチングユニットを介して上記高周
波電流供給手段に接続され先端側が昇圧コイルを介する
ことなく上記電磁波放射電極に接続され上記高周波電流
供給手段からマッチングユニットを介して送られた上記
高帯域のラジオ周波数を持つ高周波電流を上記電磁波放
射電極へ送る高周波電流ケーブルとを備え、上記電磁波
放射電極の上記電極先端部が、同電極先端部の近傍電磁
界中に被加工体が曝露された状態において、アース電極
を用いることなしに上記被加工体の表面原子がイオン化
され同被加工体から外部空間へと飛び出すのに必要な強
さの電磁エネルギーを上記電極先端部から局所的に放射
して同被加工体に対して加工を施すことができる先端部
表面を有しているので、使用周波数として従来の高周波
加工装置において使用されていた周波数帯域の周波数よ
りも高い周波数の高周波電流を用いて、同高周波電流に
より発生する電磁エネルギーを効果的に利用することが
でき、高周波電流ケーブルからの電磁波の漏洩を抑制し
て高周波エネルギーの伝送効率を高めることができ、高
周波電流ケーブルが、マッチングケーブルとして効果的
にマッチング機能を果たすことができ、従来のように被
加工体を組み入れて閉じた高周波回路を形成する必要が
なく、また、被加工体の表面原子がイオン化され同被加
工体から外部空間へと飛び出すのに必要な強さの電磁エ
ネルギーを同被加工体の局部に集中させて同被加工体に
対する加工を正確且つ確実に行なうことができ、その結
果、被加工体の局部に加工を施す際に、被加工体の被加
工部の周辺まで広く熱歪をさせてしまうということがな
く、さらに高周波電流が被加工体を横断して流れること
がなく、加工量に対する出力電力が少なくて済み、被加
工体に対してさまざまな加工を高い精度で安全に施すこ
とができる（請求項１）。 （２）電極保持部を有する加工具と、同加工具の電極保
持部により保持され先端側に電極先端部を有して高帯域
のラジオ周波数を持つ高周波電流の供給を受ける電磁波
放射電極と、同電磁波放射電極へ上記高帯域のラジオ周
波数を持つ高周波電流を供給する高周波電流供給手段
と、芯線と同芯線を絶縁材を介して同軸状に取り囲むシ
ールド線とを有しマッチングユニットを介して上記高周
波電流供給手段に接続され先端側が昇圧コイルを介する
ことなく上記電磁波放射電極に接続され上記高周波電流
供給手段からマッチングユニットを介して送られた上記
高帯域のラジオ周波数を持つ高周波電流を上記電磁波放
射電極へ送る高周波電流ケーブルとを備え、上記電磁波
放射電極の上記電極先端部が、同電極先端部の近傍電磁
界中に被加工体が曝露された状態において、上記被加工
体の表面原子がイオン化され同被加工体から外部空間へ
と飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーを上記電極
先端部から局所的に放射して同被加工体に対して加工を
施すことができる先端部表面を有している、高周波加工
装置において、上記電磁波放射電極と、同電磁波放射電
極と対をなして同電磁波放射電極とともにバイポーラの
電極を形成する対向電極とが、それぞれ上記加工具の共
通の電極保持部により保持され、上記電磁波放射電極お
よび上記対向電極の各先端部側が、上記加工具の共通の
電極保持部の先端部から共に概ね同じ向きに突出してお
り、同加工具の共通の電極保持部内において、上記電磁
波放射電極が、アクティブ出力端子に接続されているの
に対し、上記対向電極とパッシブ出力端子とアクティブ
出力端子との間には、同対向電極と同パッシブ出力端子
と同アクティブ出力端子との間の接続関係を規定する終
端処理手段が介在しているので、被加工体の局部に対し
表面加工、切断、穿孔等の加工を施すことができるとと
もに、被加工体の局部に対し周囲への熱歪を伴うことな
く高精度で多様な表面加工を施すことができる（請求項
２）。 （３）上記高周波加工装置が、上記被加工体に対して加
工を施す際に、上記被加工体の少なくとも加工対象とな
る局部に電解液および電解液含有物のうちの少なくとも
いずれか一方を接触させる電解液付与手段を備えている
ので、被加工体が仮に電解液による湿気を全く有しない
状態の被加工体であっても、同被加工体の局部に対する
表面加工、切断、穿孔等の加工を円滑に行なうことがで
きる（請求項３）。 （４）上記電磁波放射電極が、上記加工具の電極保持部
により保持され、上記電磁波放射電極の上記電極先端部
側が、上記加工具の電極保持部の先端部から突出してお
り、同加工具の電極保持部の内部において、上記電磁波
放射電極が、アクティブ出力端子に接続されているとと
もに、同電極保持部の内部には、上記電磁波放射電極と
パッシブ出力端子との間のインピーダンスを整合させる
インピーダンス整合手段が介在しているので、上記加工
具内において、アクティブ出力端子および電磁波放射電
極から放射される電磁エネルギーがパッシブ出力端子に
より捕捉され、高周波エネルギーの空中への放散を抑制
して効果的にエネルギーの回収をすることができ、被加
工体に対する加工に応じた要求にしたがって最適な高周
波特性を選択することができる（請求項４）。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施の形態に係る高周波加工装置の
概念的な構成図である。

【図２】（１）図は図１の実施の形態に係る高周波加工
装置において使用することができるマッチングケーブル
およびモノポーラ型の加工具の１例を示す側面図であ
り、（２）図は図１の実施の形態に係る高周波加工装置
において使用することができる図２（１）とは異なった
マッチングケーブルおよびバイポーラ型の加工具の１例
を示す側面図である。

【図３】図２（１）のモノポーラ型の加工具の使用態様
を説明するための側面図である。

【図４】図１の高周波加工装置においてモノポーラ型の
加工具を使用したときの高周波電流および電磁波エネル
ギーの伝達経路図である。

【図５】図１の高周波加工装置においてバイポーラ型の
加工具を使用したときの高周波電流および電磁波エネル
ギーの伝達経路図である。

【図６】図１の高周波加工装置の電源からモノポーラ型
の加工具あるいはバイポーラ型の加工具に至る電流およ
び制御信号の伝達経路図である。

【図７】従来の高周波加工装置の概念的な構成図であ
る。

【図８】図７の高周波加工装置においてモノポーラ型の
加工具を使用したときの高周波電流の伝達経路図であ
る。

【図９】図７の高周波加工装置においてバイポーラ型の
加工具を使用したときの高周波電流の伝達経路図であ
る。

【符号の説明】

１ 高周波電源部 ２ 芯線 ３ マッチングユニット ４ 加工具 ４ａ 電極保持部 ５，５ａ 電磁波放射電極 ５ｂ 対向電極 ６ シールド線 ７ａ アクティブ端子 ７ｂ パッシブ端子 ８ 被加工体 ９ 被加工体の局部 １０ 放電部 １１ マッチングケーブル １１ａ，１１ｂ 分割ケーブル １２ コネクタソケット １３ 中継コネクタ １３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ コネクタソケット １５ 電極保持部 １６ 目視線 １７ 高周波電源部 １８ エネルギー変換器 １９ 電源部 ２０ マイクロコンピュータ制御部 ２１ 制御信号入出力部 ２２ 高周波電源部 ２３ 表示・入力部 ２４ フットスイッチ（ペダルスイッチ） ２５ マッチングユニット ２６ モノポーラ出力部 ２７ バイポーラ出力部 ３０ 加工装置本体 ３１ 高周波電流ケーブル ３２ 加工具 ３２ａ アクテイブ電極 ３２ｂ パッシブ電極 ３３ 放電電極 ３４ アース電極としての対極板 ３５，３５ａ，３５ｂ 高周波電流ケーブル ３６ 被加工体 ３７ 熱変性部 ３８ 放電部 ３９ 電流

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電極保持部を有する加工具と、同加工具
   の電極保持部により保持され先端側に電極先端部を有し
   て高帯域のラジオ周波数を持つ高周波電流の供給を受け
   る電磁波放射電極と、同電磁波放射電極へ上記高帯域の
   ラジオ周波数を持つ高周波電流を供給する高周波電流供
   給手段と、芯線と同芯線を絶縁材を介して同軸状に取り
   囲むシールド線とを有しマッチングユニットを介して上
   記高周波電流供給手段に接続され先端側が昇圧コイルを
   介することなく上記電磁波放射電極に接続され上記高周
   波電流供給手段からマッチングユニットを介して送られ
   た上記高帯域のラジオ周波数を持つ高周波電流を上記電
   磁波放射電極へ送る高周波電流ケーブルとを備え、上記
   電磁波放射電極の上記電極先端部が、同電極先端部の近
   傍電磁界中に被加工体が曝露された状態において、アー
   ス電極を用いることなしに上記被加工体の表面原子がイ
   オン化され同被加工体から外部空間へと飛び出すのに必
   要な強さの電磁エネルギーを上記電極先端部から局所的
   に放射して同被加工体に対して加工を施すことができる
   先端部表面を有していることを特徴とする、高周波加工
   装置。
2. 【請求項２】 電極保持部を有する加工具と、同加工具
   の電極保持部により保持され先端側に電極先端部を有し
   て高帯域のラジオ周波数を持つ高周波電流の供給を受け
   る電磁波放射電極と、同電磁波放射電極へ上記高帯域の
   ラジオ周波数を持つ高周波電流を供給する高周波電流供
   給手段と、芯線と同芯線を絶縁材を介して同軸状に取り
   囲むシールド線とを有しマッチングユニットを介して上
   記高周波電流供給手段に接続され先端側が昇圧コイルを
   介することなく上記電磁波放射電極に接続され上記高周
   波電流供給手段からマッチングユニットを介して送られ
   た上記高帯域のラジオ周波数を持つ高周波電流を上記電
   磁波放射電極へ送る高周波電流ケーブルとを備え、上記
   電磁波放射電極の上記電極先端部が、同電極先端部の近
   傍電磁界中に被加工体が曝露された状態において、上記
   被加工体の表面原子がイオン化され同被加工体から外部
   空間へと飛び出すのに必要な強さの電磁エネルギーを上
   記電極先端部から局所的に放射して同被加工体に対して
   加工を施すことができる先端部表面を有している、高周
   波加工装置において、上記電磁波放射電極と、同電磁波
   放射電極と対をなして同電磁波放射電極とともにバイポ
   ーラの電極を形成する対向電極とが、それぞれ上記加工
   具の共通の電極保持部により保持され、上記電磁波放射
   電極および上記対向電極の各先端部側が、上記加工具の
   共通の電極保持部の先端部から共に概ね同じ向きに突出
   しており、同加工具の共通の電極保持部内において、上
   記電磁波放射電極が、アクティブ出力端子に接続されて
   いるのに対し、上記対向電極とパッシブ出力端子とアク
   ティブ出力端子との間には、同対向電極と同パッシブ出
   力端子と同アクティブ出力端子との間の接続関係を規定
   する終端処理手段が介在していることを特徴とする、高
   周波加工装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の高周波加工装
   置において、同高周波加工装置が、上記被加工体に対し
   て加工を施す際に、上記被加工体の少なくとも加工対象
   となる局部に電解液および電解液含有物のうちの少なく
   ともいずれか一方を接触させる電解液付与手段を備えて
   いることを特徴とする、高周波加工装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１つに記載
   の高周波加工装置において、上記電磁波放射電極が、上
   記加工具の電極保持部により保持され、上記電磁波放射
   電極の上記電極先端部側が、上記加工具の電極保持部の
   先端部から突出しており、同加工具の電極保持部の内部
   において、上記電磁波放射電極が、アクティブ出力端子
   に接続されているとともに、同電極保持部の内部には、
   上記電磁波放射電極とパッシブ出力端子との間のインピ
   ーダンスを整合させるインピーダンス整合手段が介在し
   ていることを特徴とする、高周波加工装置。