JP2000203678A - 露光装置本体の梱包方法および梱包構造、並びにその方法または構造で梱包される露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 輸送中における外部からのシリコン系や硫安
系など不純物ガスの進入を防ぎ、光学素子のクリーン度
を保つことのできる露光装置本体の梱包方法および梱包
構造、並びにその方法または構造で梱包される露光装置
を提供することを課題とする。 【解決手段】 露光装置本体１のチャンバ２の外壁を、
第１梱包層Ａで梱包し、さらにその外周側を第２梱包層
Ｂで梱包する構成とし、第１梱包層Ａを、第２梱包層Ｂ
を形成するエアパッキン１６，タップシート２１等より
もアウトガスの発生が少ない材料である、例えば四フッ
化エチレン製のシート材１０で形成する構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体集
積回路の製造工程等で使用される露光装置本体を輸送す
るとき等に用いて好適な露光装置本体の梱包方法および
梱包構造、並びにその方法または構造で梱包される露光
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や液晶表示素子等のデバイス
の製造工程において重要な位置を占めるフォトリソグラ
フィ工程では、フォトマスクまたはレチクル（以降、単
に「レチクル」と称する）の回路パターンを、投影光学
系を介し、感光剤を塗布したウエハまたはガラスプレー
ト等の基板上に投影露光し転写する投影露光装置が用い
られている。このような投影露光装置において、光源か
ら射出される露光光としてはレーザー光が多用されてお
り、特に近年の回路パターンの微細化に対応するため、
露光波長の短いＡｒＦエキシマレーザー等が用いられつ
つある。

【０００３】ところが、エキシマレーザー等を光源とす
る投影露光装置において、露光光が透過するレンズ、ガ
ラス等の光学素子は、有機系のガスに触れるとその表面
に有機系の物質が留まる性質を持っている。特にシリコ
ン系や硫安系の有機物質は、光学素子表面に付着すると
その剥離は非常に困難を極め、その後、露光光を通すと
さらに光学素子表面に固着してしまい、露光光透過の妨
げになるという非常に厄介な性質を持っている。

【０００４】そこで、エキシマレーザーを光源とする投
影露光装置では、投影光学系の鏡筒をケーシングにより
密封状態とし、ケーシングの内部に窒素などの不活性ガ
スを充填したりこれを循環させたりすることによって、
外部からの有機系ガスの進入を防ぐよう設計されてい
る。また、鏡筒の回りの環境からは、シリコン系や硫安
系の特に問題の大きなガスの発生源を徹底的に排除する
よう設計されている。

【０００５】ところで、上記したような配慮を要する投
影露光装置の本体部分（以下、「露光装置本体」と称す
る）を、投影露光装置製造メーカーから半導体製造メー
カー等へとを輸送する際には、図１６に示すように、露
光装置本体１のチャンバ２の外壁をタップシート（断湿
用ビニールシート）３・エアーパッキン４・ビニールシ
ート５等で梱包し、さらにその外周側を保温材６・段ボ
ール材７で覆い、最終的に木枠８で梱包するようにして
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の露光装置本体の梱包方法では、以下のよ
うな問題が存在する。すなわち、投影露光装置製造メー
カーから半導体製造メーカー等へと露光装置本体を輸送
するときには、投影光学系の鏡筒と周辺との隔離壁は完
全ではないので、鏡筒内に不活性ガスを供給し続けない
限り、鏡筒内の雰囲気が外部の空気（気体）と置換して
しまう。しかし、輸送中においても鏡筒内に不活性ガス
を供給し続けるには、不活性ガスを供給するための供給
装置を駆動する電源が必要となるが、例えば海外へ輸送
するとき等に露光装置本体を航空機に搭載する場合、航
空機においてはノイズの発生による飛行機事故を防止す
るため、電源を動かすことが禁じられている。従って、
このような場合、輸送中に鏡筒内に不活性ガスを供給し
続けることは不可能である。

【０００７】また、例えば税関を通過するとき、あるい
は輸送の途中で輸送手段を切り替えるとき、工場への搬
入の直前に何らかの都合により待機するとき等にも、不
活性ガスを常に供給することができない状況が発生す
る。このような場合、露光装置本体が置かれている周囲
の環境は保証されているわけではなく、シリコン系や硫
安系の発生源が装置の近くにあれば、後に非常に重大な
問題を招くことになる。

【０００８】さらに、従来はタップシート３・エアーパ
ッキン４・ビニールシート５等の梱包材で露光装置本体
１を梱包していたが、このような梱包方法および梱包構
造では、梱包材自体から発生するアウトガスが露光装置
本体１の光学素子に悪影響を及ぼすという問題もある。

【０００９】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、輸送中における外部からのシリコン系や硫
安系など不純物ガスの進入を防ぎ、光学素子のクリーン
度を保つことのできる露光装置本体の梱包方法および梱
包構造、並びにその方法または構造で梱包される露光装
置を提供することを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
露光装置本体（１）の輸送時の梱包方法であって、前記
露光装置本体（１）の少なくとも一部または前記露光装
置本体（１）を構成する部品を第１の梱包材（１０，３
０）で梱包し、該第１の梱包材（１０，３０）を第２の
梱包材（１６，２１，２３）で梱包し、前記第１の梱包
材（１０，３０）を、前記第２の梱包材（１６，２１，
２３）よりも有機系ガスの発生が少ない材料を用いて形
成したことを特徴としている。

【００１１】このような梱包方法においては、第１の梱
包材（１０，３０）によって、露光装置本体（１）の少
なくとも一部または露光装置本体（１）を構成する部品
を覆う第１の梱包材（１０，３０）自体からのアウトガ
スの影響を抑え、また、外部や第２の梱包材（１６，２
１，２３）からの不純物質の進入を防止することができ
る。

【００１２】請求項７に係る発明は、露光装置本体
（１）の梱包構造であって、前記露光装置本体（１）の
少なくとも一部または前記露光装置本体（１）を構成す
る部品を覆うよう形成された第１梱包層（Ａ，Ａ’）
と、該第１梱包層（Ａ，Ａ’）を覆うよう形成された第
２梱包層（Ｂ）とから構成され、前記第１梱包層（Ａ，
Ａ’）が、前記第２梱包層（Ｂ）よりも有機系ガスの発
生が少ない材料で形成されていることを特徴としてい
る。

【００１３】このような梱包構造においては、第１梱包
層（Ａ，Ａ’）によって、露光装置本体（１）の少なく
とも一部または前記露光装置本体（１）を構成する部品
を覆う第１梱包層（Ａ，Ａ’）自体からのアウトガスの
影響を抑え、また、外部や第２梱包層（Ｂ）からの不純
物質の進入を防止することができる。

【００１４】請求項９に係る発明は、請求項１から６の
いずれかに記載された露光装置本体（１）の梱包方法ま
たは請求項７から８のいずれかに記載された露光装置本
体（１）の梱包構造によって梱包されていることを特徴
としている。

【００１５】このような露光装置によれば、輸送中にお
ける不純物質の進入が防止される。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る露光装置本体
の梱包方法および梱包構造、並びにその方法または構造
で梱包される露光装置の実施の形態の一例を、図１ない
し図１５を参照して説明する。

【００１７】図１に示すように、投影露光装置メーカー
において組み立てられた露光装置本体１を輸送するに際
しては、まず、クリーンルーム内において、例えば四フ
ッ化エチレン（いわゆるテフロン：登録商標），テトラ
フルオロエチレン−テルフルオロ（アルキルビニールエ
ーテル），テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプ
ロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー、あるいはナイ
ロン（ＯＮＹ重合）−片面シリカコートペット樹脂（Ｐ
ＥＴ１２）−ポリエチレン（ＰＥＦ６０）からなる三層
構造のいわゆるハイバリアシート、等の材料（以下、単
に「テフロン製」と称する）からなるシート材（第１の
梱包材）１０を敷く。そして、露光装置本体１を、フレ
ームキャスター１１に載せてシート材１０上に移動す
る。フレームキャスター１１は、キャスター（車輪）１
１ａを備えており、キャッチパレット１２に連結するこ
とによって、任意に走行移動可能となっているものであ
る。なお、ここで露光装置本体１は、その外周面がチャ
ンバ２によって覆われているものとする。

【００１８】次いで、図２に示すように、シート材１０
の下に、角材などのスペーサー１３をセットする。ここ
で、図２（ｂ）に示したように、スペーサー１３は、フ
レームキャスター１１のキャスター１１ａに干渉しない
位置に配置する。続いて、図３（ａ）に示すように、フ
レームキャスター１１からキャッチパレット１２を外し
た後、図３（ｂ）に示すように、露光装置本体１のチャ
ンバ２にシート材１０を上から被せ、余分な空気を吸い
出した後、その端部の合わせ目を熱溶着する。ここでシ
ート材１０の内部、およびチャンバ２の内部には、窒素
・クリーンエアー・エアー等の所定の気体を封入するも
のとする。また、必要に応じシート材１０に呼吸口を形
成し、この呼吸口にフィルターを設けて外部気体の不純
物ガスを除去しつつ外部気体を導入するような構成も採
用可能である。

【００１９】続いて、図４に示すように、フレームキャ
スター１１の４つの端部のそれぞれまたは１つに複数の
固定金物１５を取り付ける。この固定金物１５は、断面
視Ｌ字状で、シート材１０への当接面となる部分にはゴ
ムパッキン１５ａが装着されている。このような固定金
物１５は、ボルト１５ｂでフレームキャスター１１に固
定するため、シート材１０に孔が空くこととなるが、こ
のとき孔の周囲に位置するゴムパッキン１５ａによりシ
ート材１０内外の密閉は保たれる。

【００２０】この後、図５に示すように、緩衝材、断熱
材としてエアパッキン（第２の梱包材）１６をテープで
貼り付ける。このときエアパッキン１６は固定金物１５
に被らないようにする。そして、図６に示すように、フ
レームキャスター１１の下部にエアカセット１７をセッ
トし、エアカセット１７にエアを送り込んで露光装置本
体１を持ち上げ、油圧ジャッキ等を用いて図５に示した
スペーサー１３を引き抜く。

【００２１】図７に示すように、さらにエアカセット１
７にエアを送り込んで露光装置本体１を持ち上げ、フォ
ークリフト１８の爪が挿入できる高さにセットする。

【００２２】図８に示すように、この状態で露光装置本
体１をフォークリフト１８で持ち上げ、クリーンルーム
外に搬出する。

【００２３】そして、クリーンルーム外の所定の位置に
セットした腰板２０上にタップシート（第２の梱包材）
２１を敷いておき、その上面に露光装置本体１を下ろ
す。続いて、図９（ａ）および（ｂ）に示すように、固
定金物１５を腰板２０にボルト等を用いて固定する。こ
れにより、露光装置本体１は腰板２０に固定されたこと
になる。

【００２４】次いで、図１０（ａ）に示すように、タッ
プシート２１を露光装置本体１に被せ、余分な空気を吸
い出した後に、その合わせ目を熱溶着する。

【００２５】この後、図１０（ｂ）に示すように、その
外周を図示しない段ボール材で梱包し、さらにその外周
側を必要に応じ木枠（第２の梱包材）２３で梱包する。

【００２６】図１０（ｂ）および図１１に示すように、
この状態で露光装置本体１は、チャンバ２の外壁が、テ
フロン（登録商標）製等のシート材１０から形成された
第１梱包層Ａによって梱包され、さらにその外周側が、
エアパッキン１６，タップシート２１，段ボール材（図
示なし），木枠２３等から形成された第２梱包層Ｂによ
って梱包された構成となっている。そして、第１梱包層
Ａを形成するシート材１０は、それ自体からのアウトガ
スが非常に少ないテフロン（登録商標）製等であり、第
２梱包層Ｂを形成するエアパッキン１６，タップシート
２１等のビニール系材料よりもアウトガスの発生が少な
い。

【００２７】この状態で輸送を行い、相手先に到着した
時点で、木枠２３および段ボール材（図示なし）を開梱
した後、図１２（ａ）に示すように、タップシート２１
とエアパッキン１６を開き、固定金物１５と腰板２０と
を止めているボルトを取り外す。

【００２８】そして、図１２（ｂ）に示すように、露光
装置本体１をフォークリフト２５で持ち上げ、図１３
（ａ）に示すように、床面にセットした角材などのスペ
ーサー２６上に下ろす。さらに、図１３（ｂ）に示すよ
うに、四隅にエアカセット２７をセットし、図示しない
エアホースからエアカセット２７にエアを供給して露光
装置本体１を浮上させ、スペーサー２６を取り外す。

【００２９】この状態で露光装置本体１を移動させ、ク
リーンルーム内に搬入する。クリーンルーム内において
は、露光装置本体１をジャッキアップしてエアカセット
２７を引き抜いた後、固定金物１５を取り外し、さらに
シート材１０を取り外す。

【００３０】図１４（ａ）に示すように、これにより露
光装置本体１はチャンバ２の外壁が露出した状態となる
ので、しかる後には、図１４（ｂ）に示すように、露光
装置本体１が搭載されているフレームキャスター１１に
キャッチパレット１２を連結し、露光装置本体１を所定
の設置場所まで移動するのである。

【００３１】そして、設置場所に露光装置本体１が設置
された後は、露光光路中において外部からの有機ガスの
進入を防ぐために設けられているケーシング（照明光学
系や送光系）内に、その設置工場から直ちに窒素ガスな
どの不活性ガスを供給してもらう。なお、梱包前に、上
記ケーシング内には窒素ガス等の光学的に不活性な不活
性ガスを充填しておくものとする。

【００３２】上述した露光装置本体１の梱包方法および
梱包構造では、露光装置本体１のチャンバ２の外壁を、
テフロン（登録商標）製のシート材１０から形成される
第１梱包層Ａで梱包するようにしたので、シート材１０
自体からはアウトガスの発生が少なく、また外周側の第
２梱包層Ｂを形成するエアパッキン１６，タップシート
２１等からの有機系ガスや、外部環境からのシリコン系
や硫安系の有機物質等の進入を防ぐことができる。した
がって、輸送中における露光装置本体１の光学素子への
悪影響を回避することができ、露光装置本体１の性能低
下を防止することができる。しかも、従来のタップシー
トに替えてシート材１０を用いるだけでよいのでその梱
包作業が何ら面倒になることもない。

【００３３】また、第１梱包層Ａの外周側をエアパッキ
ン１６で梱包するまでの工程をクリーンルーム内で行う
構成とした。このように、クリーンルーム内で第１梱包
層Ａの外周側に、第２梱包層Ｂを少なくとも一層分形成
しておくことにより、第１梱包層Ａの表面をクリーンな
状態に保つことができる。そして、開梱時には、エアパ
ッキン１６を開いた後に露光装置本体１を設置先のクリ
ーンルーム内に搬入することによって、クリーンルーム
内への、エアパッキン１６等の有機系ガスを発生する物
質の持込を防止することができる。したがって、クリー
ンルーム内の環境を汚染することもなく、輸送および露
光装置本体１の設置作業を、品質を確保した状態で行う
ことができる。

【００３４】なお、上記の実施の形態の他に、以下のよ
うな実施の形態が採用可能である。図１５に示すよう
に、露光装置本体１のチャンバ２の外壁のすぐ外周側を
ステンレス鋼からなる箱体（第１の梱包材）３０で梱包
し、その外周面側をシート材１０で梱包することによっ
て、このステンレス製の箱体３０とテフロン（登録商
標）製のシート材１０とで第１梱包層Ａ’を形成するの
である。そして、その外周側に、第２梱包層Ｂを形成す
る。

【００３５】ステンレス鋼は有機系ガスの発生がもっと
も少ない金属であるため、このような箱体３０で露光装
置本体１を梱包することによって、前記シート材１０で
梱包することによる前記各効果を、より顕著なものとす
ることができる。

【００３６】しかも、ステンレス鋼からなる箱体３０に
アースを取れば除電効果が得られ、シート材１０の帯電
を防止することができる。その結果、シート材１０の表
裏面にゴミなどが付着してこれがクリーンルーム内に持
ち込まれるのを防止することができ、クリーンルーム内
の環境を悪化させるのを防止することができる。

【００３７】ここで、ステンレス鋼からなる箱体３０を
省略した構成とする場合、シート材１０の外周面に除電
スプレーなどを吹き付けるのが好ましい。

【００３８】なお上記実施の形態では、輸送する露光装
置本体１の構成については何ら限定するものではなく、
いかなる構成のものであってもよい。

【００３９】また、第２梱包層Ｂについては、エアパッ
キン１６，タップシート２１，段ボール材（図示な
し），木枠２３等を適宜選択して用いてもよいし、また
ここに挙げた以外のものを用いてもよい。

【００４０】本実施の形態における露光装置本体１は、
レチクルに光源からの露光光を照射する照明光学系、光
源と照明光学系との間に配置される送光系、レチクルか
らの露光光をウェハ上に転写する投影光学系、レチクル
を載置するレチクルステージ、ウェハを載置するウェハ
ステージ、これら各構成部品を連結し、制御装置で制御
するための配線やケーブル、露光光の光路（光源、送光
系、照明光学系、投影光学系のそれぞれを別々に）を包
囲するケーシング内に窒素ガスやヘリウムガスなどの不
活性ガスを供給するための供給管等を一つのチャンバ２
に収容して梱包する構成について、説明したが、一つの
チャンバ２に収納されていない状態で梱包しても本実施
の形態を適用することも可能である。その例を以下に説
明する。

【００４１】露光装置は、大きく分けて、露光光を射出
する光源と、上述した露光装置本体１とで構成される。
そこで、露光装置本体１を、例えば、照明光学系と、送
光系と、それ以外の主要部分（投影光学系、各ステー
ジ、配線やケーブル等）に細分化する。そして、光源、
照明光学系、送光系、それ以外の主要部分をそれぞれ、
専用ボックスに入れた後、前述した四フッ化エチレン等
のシート材１０で梱包して、輸送すればよい。この場
合、大きい構成部品は、専用ボックスに収容した後、そ
の専用ボックス内の空気を吸い出した後、窒素・クリー
ン・エア等を封入する。その後、シート材１０の呼吸口
を熱溶着する構成は同じである。なお、専用ボックスの
内側の面には、不純物ガス発生抑制材料がコートされて
いるものとする。前述したチャンバ２の内周面も同様の
構成としてもよい。

【００４２】また、レチクルや、ウェハステージ上に載
置されるウェハホルダや、照明光学系を構成する交換可
能な光学部材などの小物の交換部品に関しては、専用ボ
ックスに収容せずに、ダイレクトに上記シート材１０で
梱包してもよい。その際、シート材１０の空間は、照明
光学系を収容するケーシング内に供給されるガスと同じ
ガスで満たされるものとする。また、小物部品に関して
は、シート材１０のみで梱包され、その他の梱包材でさ
らに梱包しなくてもよい。また、回路パターンが形成さ
れたレチクルを輸送する場合も、レチクルケースに収容
した後、本実施の形態におけるシート材１０で梱包し、
その内部の空気を吸い出した後、窒素・クリーンエア・
エア等を封入することが望ましい。さらに、配線やケー
ブル、供給管が取り外し可能である場合は、それらをま
とめて上記レクチルと同様に梱包してもよい。これらレ
クチル、配線、ケーブル、供給管等の場合もシート材１
０のみで梱包し、その他を梱包材しなくてもよい。

【００４３】なお、露光装置を構成する配線、ケーブ
ル、供給管等も、不純物ガス発生抑制材料として、ステ
ンレス鋼、四フッ化エチレンまたはテトラフルオロエチ
レン−テルフルオロ（アルキルビニールエーテル）また
はテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロペン共
重合体等の各種フッ素ポリマーで形成されているのが好
ましい。

【００４４】加えて、本発明は、ステップ・アンド・リ
ピート式や、レクチルとウェハを同期移動させる走査型
の露光装置の梱包にも適用することができる。

【００４５】また、露光装置は、半導体製造用に限定さ
れることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表
示素子パターンを露光する液晶用の投影露光装置や、薄
膜磁気ヘッドを製造するための露光装置等であってもよ
く、これらの露光装置にも本発明の技術を適用すること
ができる。

【００４６】さらに、投影光学系についても、全反射
系、全屈折系、反射屈折系のいずれでもよく、その倍率
は、縮小系、等倍、拡大系のいずれであってもよい。光
源の種類もＡｒＦエキシマレーザー（１９３ｎｍ）、Ｋ
ｒＦエキシマレーザー（２４８ｎｍ）、Ｆ₂レーザー
（１５７ｎｍ）、あるいはＹＡＧレーザーや金属蒸気レ
ーザーであってもよい。

【００４７】また、チャンバ２内、専用ボックス、シー
ト材１０で形成される空間内に供給される不活性ガスと
して、窒素・クリーンエア・エアを用いて説明したが、
他のガス、例えば、水素、ヘリウム、ネオン、アルゴ
ン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスを用
いてもよい。エアの場合、好ましくは、化学的にクリー
ンなドライエア（レンズの曇りの原因となる物質、例え
ば、クリーンルーム内を浮遊するアンモニウムイオン等
が除去されたエア、又は湿度が５％以下のエア）を用い
る。

【００４８】これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない
範囲内であれば、いかなる構成を採用しても良く、また
上記したような構成を適宜選択的に組み合わせたものと
しても良いのは言うまでもない。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜４に係
る露光装置本体の梱包方法によれば、露光装置本体の少
なくとも一部または露光装置本体を構成する部品を第１
の梱包材で梱包し、さらにその外周側を第２の梱包材で
梱包するようにし、第１の梱包材を、エアパッキン、保
温材、木枠等からなる第２の梱包材よりも有機系ガスの
発生が少ない材料、例えば四フッ化エチレンまたはテト
ラフルオロエチレン−テルフルオロ（アルキルビニール
エーテル）またはテトラフルオロエチレン−ヘキサフル
オロプロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー製、ある
いはナイロン−片面シリカコートペット樹脂−ポリエチ
レンからなる三層構造のシートや、ステンレス製の箱体
等で形成するようにした。これによって、第１の梱包材
自体からのアウトガスを最小限に抑えることができ、ま
た、外部からのシリコン系や硫安系の有機物質等の不純
物質の進入を防止することができる。したがって、輸送
中における露光装置本体の光学素子に悪影響が及ぶのを
回避することができ、露光装置本体の性能低下を防止す
ることができる。しかも、従来のタップシートに替え
て、第１の梱包材を用いるだけでよいので、その梱包作
業が何ら面倒になることもない。しかも、前記ステンレ
ス製の箱体はアースをとることにより除電効果が得ら
れ、帯電しやすいシート材の帯電を防止することができ
る。その結果、シート材の表裏面にゴミなどが付着して
これがクリーンルーム内に持ち込まれるのを防止して、
クリーンルーム内の環境悪化を防止できる。

【００５０】請求項５に係る露光装置本体の梱包方法に
よれば、第１の梱包材の外周側に、第２の梱包材を少な
くとも一層分形成するまでの工程をクリーンルーム内で
行う構成としたので、第１の梱包材は、クリーンな環境
下で少なくとも一層分の第２の梱包材に覆われることに
なり、クリーンな状態を保つことができる。そして、開
梱時には、第２の梱包材を開梱した後に露光装置本体を
設置先のクリーンルーム内に搬入することによって、ク
リーンルーム内の環境を汚染することもなく、輸送およ
び装置の設置作業を品質を確保した状態で行うことがで
きる。

【００５１】請求項６に係る露光装置本体の梱包方法に
よれば、第１の梱包材で囲まれた空間内を不活性ガスで
満たす構成としたので、輸送中における露光装置本体の
光学素子に悪影響が及ぶのを回避することができ、露光
装置本体の性能低下を防止することができる、といった
上記効果を、より確実なものとすることができる。

【００５２】請求項７に係る露光装置本体の梱包構造に
よれば、第１梱包層自体からのアウトガスを最小限に抑
えることができ、また、外部あるいは第２梱包層からの
シリコン系や硫安系の有機物質等の不純物質の進入を防
止することができる。したがって、輸送中における露光
装置本体の光学素子に悪影響が及ぶのを回避することが
でき、露光装置本体の性能低下を防止することができ
る。

【００５３】請求項８に係る露光装置本体の梱包構造に
よれば、第１梱包層で形成された空間内が不活性ガスで
満たされた構成となっているので、輸送中における露光
装置本体の光学素子に悪影響が及ぶのを回避することが
でき、露光装置本体の性能低下を防止することができ
る、という効果をより確実な物とすることができる。

【００５４】請求項９に係る露光装置によれば、輸送中
における露光装置本体の光学素子に悪影響が及ぶのを回
避することができるので、露光装置本体の性能低下が防
止され、所要の性能を充分に発揮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る露光装置本体の梱包方法および
梱包構造、並びにその方法または構造で梱包される露光
装置の一実施の形態を示す図であって、露光装置本体を
第１の梱包材上に位置させた状態を示す側面図である。

【図２】 図１に続く工程図であって、その側面図およ
び底面図である。

【図３】 図２に続く工程図である。

【図４】 前記露光装置本体の固定に用いる固定金物の
取付状態を示す図である。

【図５】 図３に続く工程図である。

【図６】 図５に続く工程図であって、その側面図およ
び底面図である。

【図７】 図６に続く工程図である。

【図８】 図７に続く工程図である。

【図９】 図８に続く工程図である。

【図１０】 図９に続く工程図であって、（ｂ）は梱包
の完了した状態を示す側面図である。

【図１１】 露光装置本体の梱包構造を示す平断面図で
ある。

【図１２】 開梱時の工程を示す図である。

【図１３】 図１２に続く工程図である。

【図１４】 図１３に続く工程図である。

【図１５】 本発明に係る露光装置本体の梱包方法およ
び梱包構造、並びにその方法または構造で梱包される露
光装置の他の一実施形態を示す図であって、露光装置本
体の梱包構造を示す平断面図である。

【図１６】 従来の露光装置本体の梱包構造を示す平断
面図である。

【符号の説明】

１ 露光装置本体 １０ シート材（第１の梱包材） １６ エアパッキン（第２の梱包材） ２１ タップシート（第２の梱包材） ２３ 木枠（第２の梱包材） ３０ 箱体（第１の梱包材） Ａ，Ａ’ 第１梱包層 Ｂ 第２梱包層

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 露光装置本体の輸送時の梱包方法であっ
   て、 前記露光装置本体の少なくとも一部または前記露光装置
   本体を構成する部品を第１の梱包材で梱包し、該第１の
   梱包材を第２の梱包材で梱包し、 前記第１の梱包材を、前記第２の梱包材よりも有機系ガ
   スの発生が少ない材料を用いて形成したことを特徴とす
   る露光装置本体の梱包方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の露光装置本体の梱包方法
   であって、前記第１の梱包材を、四フッ化エチレンまた
   はテトラフルオロエチレン−テルフルオロ（アルキルビ
   ニールエーテル）またはテトラフルオロエチレン−ヘキ
   サフルオロプロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー
   製、あるいはナイロン−片面シリカコートペット樹脂−
   ポリエチレンからなる三層構造のシート材で形成するこ
   とを特徴とする露光装置本体の梱包方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の露光装置本体の梱包方法
   であって、前記露光装置本体の少なくとも一部または前
   記露光装置本体を構成する部品を収容するチャンバを有
   し、前記第１の梱包材を、前記チャンバ外壁の外周面を
   覆うステンレス製の箱体と、該ステンレス製の箱体を梱
   包する、四フッ化エチレンまたはテトラフルオロエチレ
   ン−テルフルオロ（アルキルビニールエーテル）または
   テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロペン共重
   合体等の各種フッ素ポリマー製、あるいはナイロン−片
   面シリカコートペット樹脂−ポリエチレンからなる三層
   構造のシート材とで構成することを特徴とする露光装置
   本体の梱包方法。
4. 【請求項４】 前記第２の梱包材は、エアパッキン、保
   温材、木枠のうち少なくとも１つを備えることを特徴と
   する請求項１から３のいずれかに記載の露光装置本体の
   梱包方法。
5. 【請求項５】 前記第１の梱包材の外周側に前記第２の
   梱包材を少なくとも一層分梱包するまでの工程を、クリ
   ーンルーム内で行うことを特徴とする請求項１から４の
   いずれかに記載の露光装置本体の梱包方法。
6. 【請求項６】 前記第１の梱包材で囲まれた空間内を光
   学的に不活性な不活性ガスで満たすことを特徴とする請
   求項１から５のいずれかに記載の露光装置本体の梱包方
   法。
7. 【請求項７】 露光装置本体の梱包構造であって、 前記露光装置本体の少なくとも一部または前記露光装置
   本体を構成する部品を覆うよう形成された第１梱包層
   と、 該第１梱包層を覆うよう形成された第２梱包層とから構
   成され、 前記第１梱包層が、前記第２梱包層よりも有機系ガスの
   発生が少ない材料で形成されていることを特徴とする露
   光装置本体の梱包構造。
8. 【請求項８】 前記第１梱包層で形成された空間内が、
   光学的に不活性な不活性ガスで満たされていることを特
   徴とする請求項７記載の露光装置本体の梱包構造。
9. 【請求項９】 請求項１から６のいずれかに記載された
   露光装置本体の梱包方法または請求項７から８のいずれ
   かに記載された露光装置本体の梱包構造によって梱包さ
   れていることを特徴とする露光装置。