JP2000205280A - 転がり摺動部品 - Google Patents
転がり摺動部品Info
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- JP2000205280A JP2000205280A JP11011661A JP1166199A JP2000205280A JP 2000205280 A JP2000205280 A JP 2000205280A JP 11011661 A JP11011661 A JP 11011661A JP 1166199 A JP1166199 A JP 1166199A JP 2000205280 A JP2000205280 A JP 2000205280A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】転がり摺動部品において、転動部位あるいは摺
動部位の耐摩耗性を向上すること。 【解決手段】相手部材３との間で相対的に転がり接触ま
たはすべり接触が生ずる転がり摺動部品１，２であっ
て、前記接触面に、Ｈｖ（ビッカース硬度）１０００以
上の硬質膜３０が被覆されている。これにより、転動部
位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在しなくても、そこ
の滑性を良好に保つから、摩耗が抑制されることにな
る。
動部位の耐摩耗性を向上すること。 【解決手段】相手部材３との間で相対的に転がり接触ま
たはすべり接触が生ずる転がり摺動部品１，２であっ
て、前記接触面に、Ｈｖ（ビッカース硬度）１０００以
上の硬質膜３０が被覆されている。これにより、転動部
位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在しなくても、そこ
の滑性を良好に保つから、摩耗が抑制されることにな
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば転がり軸受
の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、直動型軸受のレ
ールや移動体などの転がり摺動部品に関する。
の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、直動型軸受のレ
ールや移動体などの転がり摺動部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、上述した転がり軸受、送りね
じ、直動型軸受などでは、グリースやオイルなどの潤滑
剤を使用するような状況においても、転動部位あるいは
摺動部位から潤滑剤が排除されて油膜切れが発生する
と、早期段階で摩耗が進展しやすくなる。
じ、直動型軸受などでは、グリースやオイルなどの潤滑
剤を使用するような状況においても、転動部位あるいは
摺動部位から潤滑剤が排除されて油膜切れが発生する
と、早期段階で摩耗が進展しやすくなる。
【０００３】これに対し、前述した軌道溝に、グリース
やオイルなどの潤滑剤の代わりに、銀、銅、鉛などの軟
質金属、二硫化モリブデンなどの固体潤滑膜を被覆する
ことが行われる。
やオイルなどの潤滑剤の代わりに、銀、銅、鉛などの軟
質金属、二硫化モリブデンなどの固体潤滑膜を被覆する
ことが行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記固体潤
滑膜では、その硬さが比較的軟質であるために、転動動
作あるいは摺動動作に伴い比較的早期段階で摩滅して、
転動部位あるいは摺動部位での摩擦抵抗が増大するな
ど、転動部位あるいは摺動部位の摩耗が促進されること
になるなど、寿命という点において問題がある。
滑膜では、その硬さが比較的軟質であるために、転動動
作あるいは摺動動作に伴い比較的早期段階で摩滅して、
転動部位あるいは摺動部位での摩擦抵抗が増大するな
ど、転動部位あるいは摺動部位の摩耗が促進されること
になるなど、寿命という点において問題がある。
【０００５】このような事情に鑑み、本発明では、転が
り摺動部品において、転動部位あるいは摺動部位の耐摩
耗性を向上することを目的としている。
り摺動部品において、転動部位あるいは摺動部位の耐摩
耗性を向上することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明にかかる
転がり摺動部品は、相手部材との間で相対的に転がり接
触またはすべり接触が生ずるもので、前記相手部材との
接触面に、ビッカース硬度Ｈｖ１０００以上の硬質膜が
被覆されている。
転がり摺動部品は、相手部材との間で相対的に転がり接
触またはすべり接触が生ずるもので、前記相手部材との
接触面に、ビッカース硬度Ｈｖ１０００以上の硬質膜が
被覆されている。
【０００７】請求項２の発明にかかる転がり摺動部品
は、上記請求項１の構成であって、転がり軸受の軌道
輪、送りねじのねじ軸やナット、あるいは直動型軸受の
レールや移動体として用いられるものである。
は、上記請求項１の構成であって、転がり軸受の軌道
輪、送りねじのねじ軸やナット、あるいは直動型軸受の
レールや移動体として用いられるものである。
【０００８】請求項３の発明にかかる転がり摺動部品
は、上記請求項１または２の硬質膜を、ダイヤモンドラ
イクカーボンあるいは窒化チタンのいずれか一方として
いる。
は、上記請求項１または２の硬質膜を、ダイヤモンドラ
イクカーボンあるいは窒化チタンのいずれか一方として
いる。
【０００９】要するに、本発明では、所要硬さの硬質膜
で転がり摺動部品を保護しているから、相手部品との転
動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在しなくても、
転動部位あるいは摺動部位の滑性が良好に保たれる。
で転がり摺動部品を保護しているから、相手部品との転
動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存在しなくても、
転動部位あるいは摺動部位の滑性が良好に保たれる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の転がり摺動部品として
は、転がり軸受の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、
直動型軸受のレールや移動体などが挙げられるが、この
実施形態では、送りねじとしてのボールねじと、直動型
軸受としての直動型玉軸受との２つを例に挙げる。
は、転がり軸受の軌道輪、送りねじのねじ軸やナット、
直動型軸受のレールや移動体などが挙げられるが、この
実施形態では、送りねじとしてのボールねじと、直動型
軸受としての直動型玉軸受との２つを例に挙げる。
【００１１】図１は本発明の一実施形態にかかるボール
ねじの縦断面図である。図中、Ａは送りねじの全体を示
しており、１はねじ軸、２はナット、３はボール、４は
サーキュレータチューブである。
ねじの縦断面図である。図中、Ａは送りねじの全体を示
しており、１はねじ軸、２はナット、３はボール、４は
サーキュレータチューブである。
【００１２】ねじ軸１は、その外周面に螺旋溝５が形成
されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されており、
その内周面にねじ軸１の螺旋溝５に対応する螺旋溝６が
形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１の螺旋溝
５と、ナット２の螺旋溝６との間に介装されている。サ
ーキュレータチューブ４は、ねじ軸１またはナット２の
いずれか一方の回転により両螺旋溝５，６間に介装され
るボール３を転動循環させるためのもので、ナット２に
取り付けられている。
されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されており、
その内周面にねじ軸１の螺旋溝５に対応する螺旋溝６が
形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１の螺旋溝
５と、ナット２の螺旋溝６との間に介装されている。サ
ーキュレータチューブ４は、ねじ軸１またはナット２の
いずれか一方の回転により両螺旋溝５，６間に介装され
るボール３を転動循環させるためのもので、ナット２に
取り付けられている。
【００１３】ねじ軸１の螺旋溝５およびナット２の螺旋
溝６の断面形状は、詳細に図示しないが、ゴチックアー
チ状（二つの曲率中心の異なる円弧をほぼＶ字形に組み
合わせた形状）あるいは円弧状に形成される。
溝６の断面形状は、詳細に図示しないが、ゴチックアー
チ状（二つの曲率中心の異なる円弧をほぼＶ字形に組み
合わせた形状）あるいは円弧状に形成される。
【００１４】このようなボールねじＡにおいて、ねじ軸
１、ナット２、ボール３ならびにサーキュレータチュー
ブ４は、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０、ＳＵＳ４４０
Ｃ、ＳＵＳ６３０、ＳＵＳ３０４などの金属で形成され
る。但し、ボール３は、例えば窒化けい素（Ｓｉ
3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化けい素（Ｓｉ
Ｃ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックスで形
成してもよい。
１、ナット２、ボール３ならびにサーキュレータチュー
ブ４は、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０、ＳＵＳ４４０
Ｃ、ＳＵＳ６３０、ＳＵＳ３０４などの金属で形成され
る。但し、ボール３は、例えば窒化けい素（Ｓｉ
3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化けい素（Ｓｉ
Ｃ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックスで形
成してもよい。
【００１５】この実施形態では、ねじ軸１の螺旋溝５と
ナット２の螺旋溝６とに対して、Ｈｖ（ビッカース硬
度）１０００以上の硬質膜３０を形成している。この硬
質膜３０は、例えばダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉ
ａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ：ＤＬＣ）や窒化
チタン（ＴｉＮ、ＴｉＣ、ＣｒＮなど）とされ、例えば
ＣＶＤ、ＰＶＤなどで形成される。
ナット２の螺旋溝６とに対して、Ｈｖ（ビッカース硬
度）１０００以上の硬質膜３０を形成している。この硬
質膜３０は、例えばダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉ
ａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ：ＤＬＣ）や窒化
チタン（ＴｉＮ、ＴｉＣ、ＣｒＮなど）とされ、例えば
ＣＶＤ、ＰＶＤなどで形成される。
【００１６】仮に、ＣＶＤ法でＤＬＣからなる硬質膜３
０を形成する場合には、例えばＣＨ4などの炭素源また
はこれに水素などを混合した混合ガスに、必要に応じて
キャリアガスとして適量の不活性ガスを加え、これを１
〜１０-3Ｔｏｒｒ程度で、５００〜１１００℃程度に加
熱された対象部品に対して流通する。これにより、対象
部品に炭素が付着されてＤＬＣからなる硬質膜３０が生
成されることになる。このとき、硬質膜３０の膜厚は、
例えば０．３μｍ以上に管理され、また、表面粗さは、
Ｒａ（中心線平均粗さ）で０．０５μｍに管理される。
なお、硬質膜５を対象部品に部分的に形成する場合に
は、適宜マスキングを施せばよい。
０を形成する場合には、例えばＣＨ4などの炭素源また
はこれに水素などを混合した混合ガスに、必要に応じて
キャリアガスとして適量の不活性ガスを加え、これを１
〜１０-3Ｔｏｒｒ程度で、５００〜１１００℃程度に加
熱された対象部品に対して流通する。これにより、対象
部品に炭素が付着されてＤＬＣからなる硬質膜３０が生
成されることになる。このとき、硬質膜３０の膜厚は、
例えば０．３μｍ以上に管理され、また、表面粗さは、
Ｒａ（中心線平均粗さ）で０．０５μｍに管理される。
なお、硬質膜５を対象部品に部分的に形成する場合に
は、適宜マスキングを施せばよい。
【００１７】図２ないし図４に本発明の一実施形態にか
かる直動型軸受を示している。図２は、直動型玉軸受の
上半分を断面にした側面図、図３は、直動型玉軸受の一
部を断面にした端面図、図４は、図１中のレールの断面
図である。
かる直動型軸受を示している。図２は、直動型玉軸受の
上半分を断面にした側面図、図３は、直動型玉軸受の一
部を断面にした端面図、図４は、図１中のレールの断面
図である。
【００１８】図中、Ｂは直動型玉軸受の全体を示してお
り、１１は円筒形の軸からなるレール、１２は円筒部材
からなる移動体、１３は保持器、１４は転動体としての
ボール、１５は環体である。
り、１１は円筒形の軸からなるレール、１２は円筒部材
からなる移動体、１３は保持器、１４は転動体としての
ボール、１５は環体である。
【００１９】レール１１は、その外周面の円周六箇所に
軸方向に沿う直線状の溝１６が全長に及んで設けられて
いる。
軸方向に沿う直線状の溝１６が全長に及んで設けられて
いる。
【００２０】移動体１２は、その内周面の軸方向中間領
域の円周六箇所にレール１１の溝１６に径方向で対向す
るようにそれぞれ負荷循環ボール列および無負荷循環ボ
ール列用の溝１７，１８が設けられている。
域の円周六箇所にレール１１の溝１６に径方向で対向す
るようにそれぞれ負荷循環ボール列および無負荷循環ボ
ール列用の溝１７，１８が設けられている。
【００２１】保持器１３は、移動体１２の内周面の一部
に沿うように湾曲加工された円筒形状をなす。その両端
部分は、環体１５により支持されている。保持器１３の
軸方向中間領域には、平面的に見ると横長の輪状溝１９
が周方向に合計六つ設けられている。輪状溝１９の軸方
向に沿う片方の直線部１９ａは、底が貫通されて底無し
とされ、残り片方の直線部１９ｂは底有りとされてい
る。
に沿うように湾曲加工された円筒形状をなす。その両端
部分は、環体１５により支持されている。保持器１３の
軸方向中間領域には、平面的に見ると横長の輪状溝１９
が周方向に合計六つ設けられている。輪状溝１９の軸方
向に沿う片方の直線部１９ａは、底が貫通されて底無し
とされ、残り片方の直線部１９ｂは底有りとされてい
る。
【００２２】前述のレール１１側と移動体１２側の対向
する二つの直線状の溝１６，１７がそれぞれ対となって
合計六本の負荷用ボール転送路２０を構成している。こ
のボール転送路２０に、保持器１３の輪状溝１９の底無
しの直線部１９ａが位置する。また、移動体１２の溝１
８と保持器１３の輪状溝１９の底有りの直線部１９ｂと
が対となって合計六本の無負荷用ボール循環路２１を構
成している。これら、六本のボール転送路２０それぞれ
とそれに近い側に隣り合う六本のボール循環路２１それ
ぞれとが保持器１３の輪状溝１９の周方向に沿う部分に
よって一本ずつ連通連結されていて、それでボール循環
回路を構成している。このため、レール１１と移動体１
２との相対的な軸方向スライド動作に伴って、このボー
ル転送路２０とボール循環路２１との間でボール１４群
が転動循環されるようになっている。なお、レール１１
の溝１６と移動体１２の溝１７の横断面は、例えばＶ字
形に形成されていて、これら対向する一対の溝１６，１
７に対してボール１４が２点ずつ計四点で接触するよう
になっている。
する二つの直線状の溝１６，１７がそれぞれ対となって
合計六本の負荷用ボール転送路２０を構成している。こ
のボール転送路２０に、保持器１３の輪状溝１９の底無
しの直線部１９ａが位置する。また、移動体１２の溝１
８と保持器１３の輪状溝１９の底有りの直線部１９ｂと
が対となって合計六本の無負荷用ボール循環路２１を構
成している。これら、六本のボール転送路２０それぞれ
とそれに近い側に隣り合う六本のボール循環路２１それ
ぞれとが保持器１３の輪状溝１９の周方向に沿う部分に
よって一本ずつ連通連結されていて、それでボール循環
回路を構成している。このため、レール１１と移動体１
２との相対的な軸方向スライド動作に伴って、このボー
ル転送路２０とボール循環路２１との間でボール１４群
が転動循環されるようになっている。なお、レール１１
の溝１６と移動体１２の溝１７の横断面は、例えばＶ字
形に形成されていて、これら対向する一対の溝１６，１
７に対してボール１４が２点ずつ計四点で接触するよう
になっている。
【００２３】このような直動型玉軸受Ｂにおいて、レー
ル１１の溝１６、移動体１２の溝１７，１８に対して、
上述した硬質膜３０を形成している。
ル１１の溝１６、移動体１２の溝１７，１８に対して、
上述した硬質膜３０を形成している。
【００２４】直動型玉軸受Ｂにおいて、レール１１、移
動体１２、保持器１３ならびにボール１４は、例えばＪ
ＩＳ規格ＳＵＳ４４０、ＳＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ６３
０、ＳＵＳ３０４などの金属で形成され、環体１５は、
例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エチ
レンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）などのふっ素
系樹脂やポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポ
リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルサ
ルフォン（ＰＥＳ）、ナイロン（ＰＡ）などのエンジニ
アリングプラスチックスで形成される。但し、ボール１
４は、例えば窒化けい素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2）などのセラミックスで形成してもよい。また、保
持器１３は、例えば黄銅やチタン、あるいは上記合成樹
脂などで形成してもよい。
動体１２、保持器１３ならびにボール１４は、例えばＪ
ＩＳ規格ＳＵＳ４４０、ＳＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ６３
０、ＳＵＳ３０４などの金属で形成され、環体１５は、
例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エチ
レンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）などのふっ素
系樹脂やポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポ
リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルサ
ルフォン（ＰＥＳ）、ナイロン（ＰＡ）などのエンジニ
アリングプラスチックスで形成される。但し、ボール１
４は、例えば窒化けい素（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2）などのセラミックスで形成してもよい。また、保
持器１３は、例えば黄銅やチタン、あるいは上記合成樹
脂などで形成してもよい。
【００２５】以上説明したように、ボールねじＡや直動
型玉軸受Ｂの所要部位に硬質膜３０を形成すれば、ボー
ル３，１４の転動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存
在しなくても、ボール３，１４の滑性が良好に保たれて
転がりが安定するから、ボール３，１４、ねじ軸１、ナ
ット２、レール１１、移動体１２などの摩耗を軽減でき
るようになり、耐摩耗性、耐発塵性において有利とな
る。
型玉軸受Ｂの所要部位に硬質膜３０を形成すれば、ボー
ル３，１４の転動部位あるいは摺動部位に潤滑成分が存
在しなくても、ボール３，１４の滑性が良好に保たれて
転がりが安定するから、ボール３，１４、ねじ軸１、ナ
ット２、レール１１、移動体１２などの摩耗を軽減でき
るようになり、耐摩耗性、耐発塵性において有利とな
る。
【００２６】参考までに、上述した硬質膜３０の耐摩耗
性、耐発塵性を調べたので、説明する。
性、耐発塵性を調べたので、説明する。
【００２７】試験には、光洋精工（株）製型番ＳＥＳＤ
Ｍ１０ＳＴ５の直動型軸受を用いており、レール１１の
溝１６、移動体１２の溝１７，１８に対して、硬質膜３
０を約１μｍの厚さで形成している。この硬質膜３０の
硬さについて、実施形態１としてＨｖ１２００（ＣｒＮ
膜）、実施形態２としてＨｖ２５００（ＤＬＣ膜）、比
較例としてＨｖ７００（ＮｉＰ膜）に設定したものを用
意した。
Ｍ１０ＳＴ５の直動型軸受を用いており、レール１１の
溝１６、移動体１２の溝１７，１８に対して、硬質膜３
０を約１μｍの厚さで形成している。この硬質膜３０の
硬さについて、実施形態１としてＨｖ１２００（ＣｒＮ
膜）、実施形態２としてＨｖ２５００（ＤＬＣ膜）、比
較例としてＨｖ７００（ＮｉＰ膜）に設定したものを用
意した。
【００２８】図５に示す試験装置において、６０は試験
用直動型玉軸受、６１はレール、６２はケース、６３は
パーティクルモニタ、６４は負荷用重り、Ｍ1およびＭ2
は負荷用重り駆動用のモータである。
用直動型玉軸受、６１はレール、６２はケース、６３は
パーティクルモニタ、６４は負荷用重り、Ｍ1およびＭ2
は負荷用重り駆動用のモータである。
【００２９】試験条件は、次のとおり。
【００３０】 ・往復速度 ：２０〜３０ｍｍ／ｓ ・荷重 ：ラジアル荷重（１００Ｎ） ・ストローク：１００ｍｍ ・雰囲気 ：大気、クリーンベンチ内（クラス１０） ・環境温度 ：室温 ・計測条件 ：粒子径０．１μｍ以上の発塵粒子数 ・潤滑剤 ：使用せず この試験では、発塵量が１０００個／０．１ｃｆ以上と
なる状況を、連続１０回測定した時点までの時間を計測
し運動距離に換算する。なお、測定は１０分間隔とす
る。
なる状況を、連続１０回測定した時点までの時間を計測
し運動距離に換算する。なお、測定は１０分間隔とす
る。
【００３１】結果としては、図６に示すように、比較例
を「１」とした場合の運動距離比が、実施形態１で
「３」、実施形態２で「４」となり、硬質膜３０をＨｖ
（ビッカース硬度）１０００以上とすれば、転動部位あ
るいは摺動部位の摩耗を抑制できることが明らかになっ
た。
を「１」とした場合の運動距離比が、実施形態１で
「３」、実施形態２で「４」となり、硬質膜３０をＨｖ
（ビッカース硬度）１０００以上とすれば、転動部位あ
るいは摺動部位の摩耗を抑制できることが明らかになっ
た。
【００３２】なお、本発明は上記実施形態のみに限定さ
れるものではなく、種々な応用や変形が考えられる。
れるものではなく、種々な応用や変形が考えられる。
【００３３】（１）上記実施形態で例示したボールねじ
Ａや直動型玉軸受Ｂは、あくまでも本発明の対象の一例
であって、転がり摺動部品の範疇に含まれる周知の各種
機器に対して本発明を適用できる。
Ａや直動型玉軸受Ｂは、あくまでも本発明の対象の一例
であって、転がり摺動部品の範疇に含まれる周知の各種
機器に対して本発明を適用できる。
【００３４】（２）上記実施形態で例示したボールねじ
Ａでは、ねじ軸１の螺旋溝５とナット２の螺旋溝６とに
対して、また、上記実施形態で例示した直動型玉軸受Ｂ
では、レール１１の溝１６、移動体１２の溝１７，１８
に対して、硬質膜３０を形成したが、いずれも、ボール
３，１４に対して硬質膜３０を形成してもよい。また、
ボールねじのサーキュレータチューブ４や直動型玉軸受
の保持器１３にも硬質膜３０を形成してもよい。
Ａでは、ねじ軸１の螺旋溝５とナット２の螺旋溝６とに
対して、また、上記実施形態で例示した直動型玉軸受Ｂ
では、レール１１の溝１６、移動体１２の溝１７，１８
に対して、硬質膜３０を形成したが、いずれも、ボール
３，１４に対して硬質膜３０を形成してもよい。また、
ボールねじのサーキュレータチューブ４や直動型玉軸受
の保持器１３にも硬質膜３０を形成してもよい。
【００３５】
【発明の効果】請求項１ないし３の発明では、転動部位
あるいは摺動部位に潤滑成分が存在しなくても転動部位
あるいは摺動部位の滑性が良好に保たれるから、摩耗を
長期にわたって抑制できるなど、長寿命化が達成され
る。
あるいは摺動部位に潤滑成分が存在しなくても転動部位
あるいは摺動部位の滑性が良好に保たれるから、摩耗を
長期にわたって抑制できるなど、長寿命化が達成され
る。
【００３６】このように耐摩耗性、すなわち耐発塵性が
向上するので、例えば清浄環境で用いられる各種機器に
本発明を適用すれば、清浄雰囲気を阻害しにくくでき
る。特に半導体製造に関連する機器および液晶製造装置
などに本発明を適用すれば、不良品の発生率低下に貢献
できる。
向上するので、例えば清浄環境で用いられる各種機器に
本発明を適用すれば、清浄雰囲気を阻害しにくくでき
る。特に半導体製造に関連する機器および液晶製造装置
などに本発明を適用すれば、不良品の発生率低下に貢献
できる。
【図１】本発明の一実施形態にかかるボールねじの縦断
面図
面図
【図２】本発明の他の実施形態にかかる直動型玉軸受の
上半分を断面にした側面図
上半分を断面にした側面図
【図３】図２の直動型玉軸受の一部を断面にした端面図
【図４】図２中のレールの断面図
【図５】同直動型玉軸受の発塵量測定に用いる試験装置
の概略図
の概略図
【図６】直動型玉軸受の発塵量測定結果を示すグラフ
Ａ ボールねじ １ ねじ軸 ２ ナット ３ ボール ５ ねじ軸の螺旋溝 ６ ナットの螺旋溝 Ｂ 直動型玉軸受 １１ レール １２ 移動体 １３ 保持器 １４ ボール １６ レールの溝 １７，１８ 移動体の溝 ３０ 硬質膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林田 一徳 大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋 精工株式会社内 Ｆターム(参考） 3J101 AA02 AA44 AA62 AA72 DA05 EA06 EA42 EA43 EA44 FA31 GA42 GA60
Claims (3)
- 【請求項１】相手部材との間で相対的に転がり接触また
はすべり接触が生ずる転がり摺動部品であって、 前記相手部材との接触面に、Ｈｖ（ビッカース硬度）１
０００以上の硬質膜が被覆されている、ことを特徴とす
る転がり摺動部品。 - 【請求項２】転がり軸受の軌道輪、送りねじのねじ軸や
ナット、あるいは直動型軸受のレールや移動体として用
いられる、請求項１の転がり摺動部品。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の転がり摺動部品
において、 前記硬質膜は、ダイヤモンドライクカーボンあるいは窒
化チタンのいずれか一方からなる、ことを特徴とする転
がり摺動部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11011661A JP2000205280A (ja) | 1999-01-20 | 1999-01-20 | 転がり摺動部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11011661A JP2000205280A (ja) | 1999-01-20 | 1999-01-20 | 転がり摺動部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000205280A true JP2000205280A (ja) | 2000-07-25 |
Family
ID=11784175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11011661A Pending JP2000205280A (ja) | 1999-01-20 | 1999-01-20 | 転がり摺動部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000205280A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002349577A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Nsk Ltd | 転がり摺動部材 |
| EP1262674A3 (en) * | 2001-05-29 | 2006-10-04 | NSK Ltd. | Rolling sliding member and rolling apparatus |
| US7278332B2 (en) | 2002-01-17 | 2007-10-09 | Nsk Ltd. | Linear motion device |
-
1999
- 1999-01-20 JP JP11011661A patent/JP2000205280A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002349577A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Nsk Ltd | 転がり摺動部材 |
| EP1262674A3 (en) * | 2001-05-29 | 2006-10-04 | NSK Ltd. | Rolling sliding member and rolling apparatus |
| US7278332B2 (en) | 2002-01-17 | 2007-10-09 | Nsk Ltd. | Linear motion device |
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