JP2000206351A - 基板導波路型光デバイス - Google Patents
基板導波路型光デバイスInfo
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- JP2000206351A JP2000206351A JP4364999A JP4364999A JP2000206351A JP 2000206351 A JP2000206351 A JP 2000206351A JP 4364999 A JP4364999 A JP 4364999A JP 4364999 A JP4364999 A JP 4364999A JP 2000206351 A JP2000206351 A JP 2000206351A
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- waveguide
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- array
- optical fiber
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の基板導波路型光デバイスでは、入力導
波路２２Ａと出力導波路２２Ｂが、基板の別々の側面に
開口していた。そのため、入・出力側に別々の光ファイ
バアレイ３０を作製し、別々に調心・接着の必要があっ
た。そのたる、製造に多くの工数と材料費がかかり、低
コスト化に限界があった。また、初めのアレイ調心時に
は、反対側のアレイがないために、光ファイバのコア位
置を見付けるのに多大の時間を要するという問題もあっ
た。 【解決手段】 入力導波路２２Ａと出力導波路２２Ｂの
両方とも、基板１０の同じ一つの側面に開口させる。こ
うすると、光ファイバアレイ３０は１個で済み、上記の
問題は解消する。
波路２２Ａと出力導波路２２Ｂが、基板の別々の側面に
開口していた。そのため、入・出力側に別々の光ファイ
バアレイ３０を作製し、別々に調心・接着の必要があっ
た。そのたる、製造に多くの工数と材料費がかかり、低
コスト化に限界があった。また、初めのアレイ調心時に
は、反対側のアレイがないために、光ファイバのコア位
置を見付けるのに多大の時間を要するという問題もあっ
た。 【解決手段】 入力導波路２２Ａと出力導波路２２Ｂの
両方とも、基板１０の同じ一つの側面に開口させる。こ
うすると、光ファイバアレイ３０は１個で済み、上記の
問題は解消する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板導波路型光デ
バイスに関するものである。
バイスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３（ａ）は、基板導波路型光スプリッ
タの例である。１０は基板で、例えばシリコン、石英等
からなる。通常、四角形の薄板状で、この場合は、上面
に、１ｘ８スプリッタの導波路回路２０が形成されてい
る。導波路回路２０の入力導波路２２Ａ（光ファイバの
コアに相当する）は、四角形の基板１０のＣＤ側面に開
口している。また、出力導波路２２Ｂ（光ファイバのコ
アに相当する）は、ＥＦ側面に開口している。この基板
は、シリコン基板上に、光ファイバの原料を堆積し、焼
結するＦＤＨ（火炎加水分解堆積）法を用い反応性イオ
ンスパッタリング等を用いて、クラッド堆積層に埋め込
まれた導波路パターン（コアパターン）を製作したもの
である。このＦＤＨ法は、周知であるので詳細には説明
しない。通常、一枚の基板上に、複数個の回路を形成
し、それを複数個に切り分けている。
タの例である。１０は基板で、例えばシリコン、石英等
からなる。通常、四角形の薄板状で、この場合は、上面
に、１ｘ８スプリッタの導波路回路２０が形成されてい
る。導波路回路２０の入力導波路２２Ａ（光ファイバの
コアに相当する）は、四角形の基板１０のＣＤ側面に開
口している。また、出力導波路２２Ｂ（光ファイバのコ
アに相当する）は、ＥＦ側面に開口している。この基板
は、シリコン基板上に、光ファイバの原料を堆積し、焼
結するＦＤＨ（火炎加水分解堆積）法を用い反応性イオ
ンスパッタリング等を用いて、クラッド堆積層に埋め込
まれた導波路パターン（コアパターン）を製作したもの
である。このＦＤＨ法は、周知であるので詳細には説明
しない。通常、一枚の基板上に、複数個の回路を形成
し、それを複数個に切り分けている。
【０００３】なお、図１において、左を入力側、右を出
力側としたが、その反対のこともある。しかし、以下の
説明は、すべて左を入力側として述べた。
力側としたが、その反対のこともある。しかし、以下の
説明は、すべて左を入力側として述べた。
【０００４】また、上記の「ＣＤ側面」というのは、図
１（ａ）で、左側側面の意味で、言い据えれば、基板１
０の上面の辺ＣＤを含む側面ということである。ＥＦ側
面も、後記のＤＦ側面も、同じ意味で用いている。
１（ａ）で、左側側面の意味で、言い据えれば、基板１
０の上面の辺ＣＤを含む側面ということである。ＥＦ側
面も、後記のＤＦ側面も、同じ意味で用いている。
【０００５】また、入力導波路２２Ａは、１本でなく
て、複数本のこともある。
て、複数本のこともある。
【０００６】図３（ｂ）の３０Ａは、入力側の光ファイ
バアレイである。光ファイバ搭載用部材３２上のＶ溝に
光ファイバ３４を納め、押さえ板３６とともに接着剤で
固定したものである。
バアレイである。光ファイバ搭載用部材３２上のＶ溝に
光ファイバ３４を納め、押さえ板３６とともに接着剤で
固定したものである。
【０００７】また、３０Ｂは、出力側の光ファイバアレ
イ部品である。これも、光ファイバ搭載用部材３２上の
複数のＶ溝（出力導波路２２Ｂのコアの並びと同ピッ
チ）に光ファイバ３４を納め、押さえ板３６とともに接
着剤で固定したものである。光ファイバアレイは、外部
光ファイバのコアと光導波路とを位置決め接続するため
に必要な部品である。部材３２の材質は、例えば石英、
ガラス、セラミックス、その他樹脂などを用いることが
できる。
イ部品である。これも、光ファイバ搭載用部材３２上の
複数のＶ溝（出力導波路２２Ｂのコアの並びと同ピッ
チ）に光ファイバ３４を納め、押さえ板３６とともに接
着剤で固定したものである。光ファイバアレイは、外部
光ファイバのコアと光導波路とを位置決め接続するため
に必要な部品である。部材３２の材質は、例えば石英、
ガラス、セラミックス、その他樹脂などを用いることが
できる。
【０００８】基板１０のＣＤ側面とＥＦ側面、及び入力
側アレイ３０Ａと出力側アレイ３０Ｂの端面を斜め研削
する。それから、それぞれ光モニタしながらコア調心
し、接着剤等で接続固定する。通常、その後、パッケー
ジ内に実装される。
側アレイ３０Ａと出力側アレイ３０Ｂの端面を斜め研削
する。それから、それぞれ光モニタしながらコア調心
し、接着剤等で接続固定する。通常、その後、パッケー
ジ内に実装される。
【０００９】図４（ａ）は、前述と同様に石英系の平面
基板型の導波路であるアレイ導波路回折格子（以下、Ａ
ＷＧ）の例である。２４はいわゆるレンズ作用を持ち、
入力導波路の出力光をアレイ導波路へ回折結合するスラ
ブ導波路、２６は必要とする分解能だけ光路差を生ずる
ように長さが異なるアレイ導波路群、を示す。この場合
も、入力導波路２２Ａは、四角形基板１０のＣＤ側面に
開口している。また、図面を見易くするたため、出力導
波路２２Ｂの本数とアレイ導波路２６の本数は一致させ
ていない。入力導波路２２Ａが１本の場合を示したが、
複数本のこともある。また、出力導波路２２Ｂは、ＥＦ
側面に開口している。
基板型の導波路であるアレイ導波路回折格子（以下、Ａ
ＷＧ）の例である。２４はいわゆるレンズ作用を持ち、
入力導波路の出力光をアレイ導波路へ回折結合するスラ
ブ導波路、２６は必要とする分解能だけ光路差を生ずる
ように長さが異なるアレイ導波路群、を示す。この場合
も、入力導波路２２Ａは、四角形基板１０のＣＤ側面に
開口している。また、図面を見易くするたため、出力導
波路２２Ｂの本数とアレイ導波路２６の本数は一致させ
ていない。入力導波路２２Ａが１本の場合を示したが、
複数本のこともある。また、出力導波路２２Ｂは、ＥＦ
側面に開口している。
【００１０】この場合もまた、基板１０のＣＤ側面とＥ
Ｆ側面、及び入力側アレイ３０Ａと出力側アレイ３０Ｂ
の端面を斜め研削し、それぞれ光モニタしながら調心
し、接着剤等で接続固定する。
Ｆ側面、及び入力側アレイ３０Ａと出力側アレイ３０Ｂ
の端面を斜め研削し、それぞれ光モニタしながら調心
し、接着剤等で接続固定する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】入力・出力側に別々
の光ファイバアレイ（適用心数、すなわち、Ｖ溝の数が
異なる場合もある）を作製し、さらに、基板１０との接
続時にも、別々に調心を行い、接着等で固定していた。
そのため、１個の基板導波路型光デバイスを製造するの
に、工数と材料費が多くかかり、低コスト化に限界があ
った。 現在数多く使用されている光スプリッタやＡＷＧ等の
光回路では、片側（入力側又は出力側）が単心のケース
が多い。この単心側の光ファイバアレイについては、幅
を最適化して材料費を削減させることも考えられるが、
アレイを小さくすると、今度は基板１０との接着強度が
弱く、実用に耐えられなくなってしまう。そのため、大
きくしなければならないという問題もあった。 初めのアレイ調心時には、反対側のアレイがないため
に、光ファイバのコア位置を見付けるのに、基板の一側
面あるいは一点を基準として機械的に位置決めするた
め、位置決め精度の問題と、多大の時間を要するという
問題もあった。
の光ファイバアレイ（適用心数、すなわち、Ｖ溝の数が
異なる場合もある）を作製し、さらに、基板１０との接
続時にも、別々に調心を行い、接着等で固定していた。
そのため、１個の基板導波路型光デバイスを製造するの
に、工数と材料費が多くかかり、低コスト化に限界があ
った。 現在数多く使用されている光スプリッタやＡＷＧ等の
光回路では、片側（入力側又は出力側）が単心のケース
が多い。この単心側の光ファイバアレイについては、幅
を最適化して材料費を削減させることも考えられるが、
アレイを小さくすると、今度は基板１０との接着強度が
弱く、実用に耐えられなくなってしまう。そのため、大
きくしなければならないという問題もあった。 初めのアレイ調心時には、反対側のアレイがないため
に、光ファイバのコア位置を見付けるのに、基板の一側
面あるいは一点を基準として機械的に位置決めするた
め、位置決め精度の問題と、多大の時間を要するという
問題もあった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、図
１，図２に例示するように、上記の基板導波路型光デバ
イスにおいて、入力導波路２２Ａと出力導波路２２Ｂの
両方とも、基板１０の同じ一つの側面に開口するように
してあることを特徴とする。
１，図２に例示するように、上記の基板導波路型光デバ
イスにおいて、入力導波路２２Ａと出力導波路２２Ｂの
両方とも、基板１０の同じ一つの側面に開口するように
してあることを特徴とする。
【００１３】上記の記載で、「一つの側面」というの
は、例えば基板１０が四角形の場合は、左側面や右側面
等が、それぞれ「一つの側面」ということになる。
は、例えば基板１０が四角形の場合は、左側面や右側面
等が、それぞれ「一つの側面」ということになる。
【００１４】また、「開口する」とは、例えば入力導波
路２２Ａのコア端面が、ＣＤ側面に現れている、という
意味である。
路２２Ａのコア端面が、ＣＤ側面に現れている、という
意味である。
【００１５】
【発明の実施の形態１】図１（ａ）に示す光スプリッタ
の場合である。従来、図で左側のＣＤ側面に開口してい
た入力導波路２２Ａが、１８０度方向転換して、ＥＦ側
面に開口するようにする。なお、当然のことながら、方
向転換部分の導波路は、放射損失を起こさず、不要モー
ド発生を極力抑える曲率半径とする。以上により、ＥＦ
側面には、出力導波路２２Ｂと入力導波路２２Ａとが並
ぶことになる。
の場合である。従来、図で左側のＣＤ側面に開口してい
た入力導波路２２Ａが、１８０度方向転換して、ＥＦ側
面に開口するようにする。なお、当然のことながら、方
向転換部分の導波路は、放射損失を起こさず、不要モー
ド発生を極力抑える曲率半径とする。以上により、ＥＦ
側面には、出力導波路２２Ｂと入力導波路２２Ａとが並
ぶことになる。
【００１６】外部回路との接続には、図１（ｂ）のよう
に、ＥＦ側面に一つの光ファイバアレイ３０を、上記の
とおり、調心し、接着固定するだけでよい。
に、ＥＦ側面に一つの光ファイバアレイ３０を、上記の
とおり、調心し、接着固定するだけでよい。
【００１７】
【発明の実施の形態２】図２（ａ）は、ＡＷＧ型の光合
波器の場合である。入力導波路２２Ａ、出力導波路２２
Ｂとも、真っ直ぐ、図で下方に下げ、先端をＤＦ側面に
おいて開口させる。アレイ導波路２６は、光路差を設け
るために従来のごとく扇型に湾曲している。ＤＦ側面に
は、出力導波路２２Ｂと入力導波路２２Ａとが並ぶ。
波器の場合である。入力導波路２２Ａ、出力導波路２２
Ｂとも、真っ直ぐ、図で下方に下げ、先端をＤＦ側面に
おいて開口させる。アレイ導波路２６は、光路差を設け
るために従来のごとく扇型に湾曲している。ＤＦ側面に
は、出力導波路２２Ｂと入力導波路２２Ａとが並ぶ。
【００１８】外部回路との接続には、図２（ｂ）のよう
に、ＤＦ側面に一つの光ファイバアレイ３０を、上記の
とおり、調心し、接着固定するだけでよい。
に、ＤＦ側面に一つの光ファイバアレイ３０を、上記の
とおり、調心し、接着固定するだけでよい。
【００１９】なお、本発明は、石英系に限られず、他系
統の平面基板型導波路にも適用できる。他系統とは、例
えば化合物半導体系あるいはポリマー系である。
統の平面基板型導波路にも適用できる。他系統とは、例
えば化合物半導体系あるいはポリマー系である。
【００２０】
【発明の効果】光ファイバアレイが１個で済むことか
ら、アレイの材料費、工数が、約１／２にまで低減可能
となる。 単心側の大きさの問題も同時に解決される。 １回の調心と接着で、入力側・出力側同時に行うこと
が可能となり、この工程においても１／２の工数で可能
となる。 接着箇所が信頼性上のネックとなっているが、接着箇
所が１箇所であるため、信頼性も向上し、バラツキも低
減できる。 一方向しかアレイが接続されていないため、モジュー
ル全体（パッケージサイズ）の小型化が達成できる。 特にＡＷＧにおいては、導波路そのものが小さくな
り、基板１０のコストダウンにつながる。
ら、アレイの材料費、工数が、約１／２にまで低減可能
となる。 単心側の大きさの問題も同時に解決される。 １回の調心と接着で、入力側・出力側同時に行うこと
が可能となり、この工程においても１／２の工数で可能
となる。 接着箇所が信頼性上のネックとなっているが、接着箇
所が１箇所であるため、信頼性も向上し、バラツキも低
減できる。 一方向しかアレイが接続されていないため、モジュー
ル全体（パッケージサイズ）の小型化が達成できる。 特にＡＷＧにおいては、導波路そのものが小さくな
り、基板１０のコストダウンにつながる。
【図１】実施例１に係る本発明の説明図で、（ａ）は基
板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ３０を接続
した状態を示す。
板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ３０を接続
した状態を示す。
【図２】実施例２に係る本発明の説明図で、（ａ）は基
板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ３０を接続
した状態を示す。
板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ３０を接続
した状態を示す。
【図３】光スプリッタを例とする従来技術の説明図で、
（ａ）は基板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ
３０を接続した状態を示す。
（ａ）は基板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ
３０を接続した状態を示す。
【図４】ＡＷＧを例とする従来技術の説明図で、（ａ）
は基板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ３０を
接続した状態を示す。
は基板１０の平面図、（ｂ）は光ファイバアレイ３０を
接続した状態を示す。
１０ 基板 ２０ 導波路回路 ２２Ａ 入力導波路 ２２Ｂ 出力導波路 ２４ スラブ導波路 ２６ アレイ導波路群 ３０ 光ファイバアレイ ３０Ａ 入力側アレイ ３０Ｂ 出力側アレイ ３２ 光ファイバ搭載部材 ３４ 光ファイバ ３６ 押さえ板
Claims (1)
- 【請求項１】 多角形の基板１０の上に、入力導波路２
２Ａと出力導波路２２Ｂとを有する導波路回路２０が形
成されており、前記入力導波路２２Ａと出力導波路２２
Ｂにおいて、外部の光回路と接続するようにしてある、
基板導波路型光デバイスにおいて、前記入力導波路２２
Ａと出力導波路２２Ｂの両方とも、前記多角形基板１０
の同じ一つの側面に開口するようにしてあることを特徴
とする、基板導波路型光デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4364999A JP2000206351A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 基板導波路型光デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4364999A JP2000206351A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 基板導波路型光デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000206351A true JP2000206351A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=12669726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4364999A Pending JP2000206351A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 基板導波路型光デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000206351A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004021038A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Fujikura Ltd | 導波路型光部品、光クロスコネクト装置及び導波路型光部品の製造方法 |
| KR100442657B1 (ko) * | 2002-03-29 | 2004-08-02 | 삼성전자주식회사 | 광도파로열 격자를 포함하는 파장 분할 다중화기 |
| US6810167B2 (en) | 2001-10-29 | 2004-10-26 | Fujitsu Limited | Wavelength division demultiplexing apparatus |
| KR100485888B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-04-29 | 엘에스전선 주식회사 | 단일 입출력 단자를 구비한 평면 광도파로 소자 모듈 |
-
1999
- 1999-01-13 JP JP4364999A patent/JP2000206351A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6810167B2 (en) | 2001-10-29 | 2004-10-26 | Fujitsu Limited | Wavelength division demultiplexing apparatus |
| US7020358B2 (en) | 2001-10-29 | 2006-03-28 | Fujitsu Limited | Wavelength division demultiplexing apparatus |
| CN100372272C (zh) * | 2001-10-29 | 2008-02-27 | 富士通株式会社 | 波分分用设备 |
| KR100442657B1 (ko) * | 2002-03-29 | 2004-08-02 | 삼성전자주식회사 | 광도파로열 격자를 포함하는 파장 분할 다중화기 |
| JP2004021038A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Fujikura Ltd | 導波路型光部品、光クロスコネクト装置及び導波路型光部品の製造方法 |
| KR100485888B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-04-29 | 엘에스전선 주식회사 | 단일 입출력 단자를 구비한 평면 광도파로 소자 모듈 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040413 |