JP2000208240A - 高周波電源装置及び高周波誘導加熱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 狭いスペースにおいても使用可能であると共
に、容易に移動させることができる高周波電源装置及び
高周波誘導加熱装置の提供。 【解決手段】 高周波誘導加熱装置１は、高周波電力を
発生させるための発振器３と、発振器３に接続された整
合回路４と、整合回路４に冷却流体を循環供給可能であ
ると共に、冷却流体の熱交換を行う熱交換器１８を含む
冷却ユニット１４と、発振器３、整合回路４、及び、冷
却ユニット１４が配置される筐体７とを備えた高周波電
源装置２を含み、高周波電源装置２には、高周波電力の
供給を受けると共に、冷却ユニット１４から冷却流体が
循環供給される電流変成器１１が接続され、電流変成器
１１には、電流変成器１１から高周波電流の供給を受け
ると共に、冷却ユニット１４から電流変成器１１を介し
て冷却流体が循環供給される加熱コイル１２が一体化さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高周波誘導加熱処
理を行う際に用いられる高周波電源装置、及び、この高
周波電源装置を用いた高周波誘導加熱装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、熱間圧延設備におけ
る仕上圧延工程では、圧延ロール等のロール表面を非接
触で加熱するために高周波誘導加熱装置が用いられてい
る。図８に、従来から用いられている高周波誘導加熱装
置のブロック構成図を示す。同図に示す高周波誘導加熱
装置１００は、５０Ｈｚ又は６０Ｈｚの商用周波数電力
を所望の周波数をもった高周波数電力に変換する高周波
電源装置１０１を含む。この高周波電源装置１０１に
は、整合変圧器１０２を介して直列共振用コンデンサ又
は並列共振用コンデンサからなる整合器１０３が接続さ
れる。また、整合器１０３には、電流変成器１０４を介
して被加熱金属等に応じた加熱コイル１０５が接続され
る。これら高周波電源装置１０１、整合変圧器１０２、
整合器１０３、電流変成器１０４、加熱コイル１０５
は、何れも個別のユニットとして構成されており、各ユ
ニット同士は、高周波給電線１０６によって接続されて
いる。

【０００３】このように構成された高周波誘導加熱装置
１００を作動させた場合、高周波電圧による損失密度や
電力用半導体デバイスのスイッチング損失密度が大きく
なることから、各ユニット１０１〜１０５が発熱してし
まう。従って、各ユニット１０１〜１０５を冷却水等に
よって冷却することが必要となる。このため、高周波誘
導加熱装置１００付近には、冷却水循環装置１０７が配
置される。冷却水循環装置１０７は、上記各ユニット１
０１〜１０５に対して冷却水を循環させるための還流式
循環ポンプ１０８と、一次冷却水（工業用水等）が供給
される液−液式熱交換器１０９を有する。各ユニット１
０１〜１０５から冷却水循環装置１０７に戻された冷却
水は、熱交換器１０９によって冷却された後、再び、還
流式循環ポンプ１０８によって各ユニット１０１〜１０
５に供給される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の高周波誘導加熱装置は、個別のユニットとして構成さ
れた高周波電源装置、整合変圧器、整合器等を組み合わ
せたものであった。従って、従来、高周波誘導加熱装置
を実際に導入するに際しては、高周波電源装置、整合変
圧器、整合器等の各種構成機器の容量、電力（電圧、電
流）等のみならず、冷却装置の仕様、冷却能力、一次冷
却水の供給方法、配管の取回し、各機器のレイアウト等
に至るまでを慎重に検討・設計する必要があった。この
ため、従来の高周波誘導加熱装置は、設置箇所に制約を
受けることが多く、数十ｋＷ程度の比較的小さな加熱容
量が求められる工事現場における処理（ろう付、配管の
局所等）に適用するのは極めて困難であった。また、高
周波誘導加熱装置を一旦設置した後に設置箇所を変更す
るような場合、その都度、システム全体の設計を見直す
必要があった。

【０００５】そこで、本発明は、容易に移動させること
ができると共に、狭いスペースにおいても使用可能であ
る高周波電源装置及び高周波誘導加熱装置の提供を目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
による高周波電源装置は、高周波誘導加熱処理を行う際
に用いられ、高周波電力を発生可能な高周波電源装置に
おいて、高周波電力を発生させるための発振器と、発振
器に接続された整合回路と、整合回路に冷却流体を循環
供給可能であると共に、冷却流体の熱交換を行う熱交換
器を含む冷却ユニットと、発振器、整合回路、及び、冷
却ユニットが配置される筐体とを備えることを特徴とす
る。

【０００７】この高周波電源装置では、高周波電力を発
生するに際して必要とされる発振器、整合回路（整合変
圧器、整合用コンデンサ等）、及び、冷却ユニットが１
体の筐体に対して配置されている。従って、この高周波
電源装置は、容易に移動させることができると共に、狭
いスペースにおいても使用可能である。また、設置場所
を変更しても、その都度、発振器、整合回路等の仕様、
配置等を変更することは一切不要となる。更に、この高
周波電源装置を作動させている間、整合回路は、冷却ユ
ニットから冷却流体の供給を受け、整合回路を流通・冷
却した冷却流体は、冷却ユニットに戻されて熱交換器に
より冷却された後、再び、整合回路に供給される。これ
により、整合回路を冷却するための冷却装置を別途設け
る必要は一切なくなる。

【０００８】この場合、高周波電源装置に、高周波電力
の供給を受ける外部負荷機器を接続可能であると共に、
冷却ユニットは、外部負荷機器に対して冷却流体を循環
供給可能であると好ましい。この高周波電源装置を用い
て高周波誘導加熱処理を行う場合、冷却ユニットから
は、高周波電源装置の整合回路に加えて、電流変成器、
加熱コイルといった主要な外部負荷機器に対しても冷却
流体が供給される。外部負荷機器を流通・冷却した冷却
流体は、冷却ユニットに戻されて熱交換器により冷却さ
れた後、再び、外部負荷機器に供給される。これによ
り、外部負荷機器を冷却するための冷却装置を別途設け
る必要は一切不要となる。

【０００９】更に、筐体の下部に設けられたキャスタを
更に備えると好ましい。これにより、高周波電源装置を
所望の場所に極めて容易に移動させることが可能とな
る。

【００１０】また、熱交換器は、気−液式熱交換器であ
ると好ましく、また、圧縮冷凍サイクルを利用した可搬
式冷却装置であってもよい。更に、熱交換器として、気
−液式熱交換器と、圧縮冷凍サイクルを利用した可搬式
冷却装置とを併用すれば、高周波電源装置の加熱容量を
容易に大きくすることができる。

【００１１】請求項７に記載の本発明による高周波誘導
加熱装置は、高周波電力による高周波誘導加熱処理を行
うに用いられる高周波誘導加熱装置において、高周波電
力を発生させるための発振器と、発振器に接続された整
合回路と、整合回路に冷却流体を循環供給可能であると
共に、冷却流体の熱交換を行う熱交換器を含む冷却ユニ
ットと、発振器、整合回路、及び、冷却ユニットが配置
される筐体とを備える高周波電源装置と、高周波電源装
置に接続可能であり、高周波電力の供給を受けると共
に、冷却ユニットから冷却流体が循環供給される電流変
成器と、電流変成器に固定されており、電流変成器から
高周波電流の供給を受けると共に、冷却ユニットから電
流変成器を介して冷却流体が循環供給される加熱コイル
とを備えることを特徴とする。

【００１２】この高周波誘導加熱装置では、高周波電力
を発生するに際して必要とされる発振器、整合回路（整
合変圧器、整合用コンデンサ等）、及び、冷却ユニット
が１体の高周波電源装置に配置されている。この高周波
電源装置を作動させている間、整合回路は、冷却ユニッ
トから冷却流体の供給を受け、整合回路を流通した冷却
流体は、冷却ユニットに戻されて熱交換器により冷却さ
れた後、再び、整合回路に供給される。また、冷却ユニ
ットからは、高周波電源装置に接続させた電流変成器、
加熱コイルに対しても冷却流体が供給される。電流変成
器、加熱コイルを流通・冷却した冷却流体は、冷却ユニ
ットに戻されて熱交換器により冷却された後、再び、電
流変成器等に供給される。

【００１３】このように、この高周波誘導加熱装置は、
高周波誘導加熱処理に対して必要な冷却ユニットを自ら
備えているので、整合回路、電流変成器、及び、加熱コ
イルを冷却するための冷却装置を別途設ける必要は一切
不要となる。従って、この高周波誘導加熱装置は、容易
に移動させることができると共に、狭いスペースにおい
ても使用可能である。また、設置場所を変更しても、発
振器、整合回路、電流変成器、加熱コイル、冷却ユニッ
ト等の仕様、配置等を変更することは一切不要となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による高
周波電源装置及び高周波誘導加熱装置の好適な実施形態
について詳細に説明する。

【００１５】図１は、本発明による高周波誘導加熱装置
を示すブロック構成図である。同図に示す高周波誘導加
熱装置１は、可搬式の高周波電源装置２を備える。高周
波電源装置２は、発振器３を有しており、この発振器３
は、外部から供給された５０Hｚ又は６０Hｚの商用周波
数電力（例えば、２００V）を、所望の周波数をもった
高周波電力（例えば、出力周波数３０〜５００Ｈｚ又は
それ以上、出力電圧２００〜２００００Ｖ）に変化す
る。発振器３には、整合変圧器５と整合用コンデンサ６
とからなる整合回路４が接続されている。整合変圧器５
は、整合用コンデンサ６等のインピーダンスと、発振器
３の出力インピーダンスとの整合（マッチング）を図る
ためのものである。また、整合用コンデンサ６によっ
て、加熱周波数近傍における負荷力率がほぼ１．０に設
定される。

【００１６】これら発振器３、整合回路４（整合変圧器
５、整合用コンデンサ６）は、一体の筐体７の内部に収
容されている。筐体７は、図２及び３に示すように、略
矩形状に形成されている。筐体７の下部には、４体のキ
ャスタ１３が取り付けられている。これにより、この高
周波電源装置２は、所望の場所に極めて容易に移動させ
ることできる。筐体７には、発振器３、整合回路４のほ
かに、主回路導体、各種制御計測器、制御配線等が収容
されている。これら主回路導体等の発熱密度は小さいた
め、筐体７の側面には、これら主回路導体等を強制的に
冷却するための通風ファン８が複数配設されている。

【００１７】また、筐体７の正面扉には、制御パネル９
が設けられており、高周波電源装置２を運転する際に
は、この制御パネル９を操作する。更に、筐体７の正面
には、図２に示すように、整合用コンデンサ６に接続さ
れた給電ニップル１０が２個配設されており、給電ニッ
プル１０の下方には、通水ニップル２５が２個配設され
ている。各給電ニップル１０及び各通水ニップル２５に
は、加熱コイル１２と一体化された電流変成器１１が接
続可能である。（図１参照）。

【００１８】また、筐体７の背部には、冷却ユニット１
４が配置されている。この冷却ユニット１４は、筐体７
内に配置された整合回路４に冷却水（冷却流体）を循環
供給可能であると共に、高周波電源装置２に接続される
電流変成器１１、加熱コイル１２といった主要な外部負
荷機器に対しても冷却水を循環供給可能なものである。
冷却ユニット１４は、図３及び４に示すように、冷却水
循環ポンプ１５を含む。冷却水循環ポンプ１５の上方に
は、サージタンク１６が配置されている。サージタンク
１６の内部は、図４に示すように、仕切板１６ａによっ
て冷水室１６ｃと温水室１６ｈとに区分されている。

【００１９】サージタンク１６の温水室１６ｈには、ポ
ンプ１７を介して熱交換器１８が接続されている。熱交
換器１８は、気−液式熱交換器として構成されており、
ポンプ１７によってサージタンク１６の温水室１６ｈ内
の温水が供給されるラジエータ１９と、ラジエータ１９
の側方に配置された冷却ファン２０とからなる。ラジエ
ータ１９に供給された温水は、冷却ファン２０によって
外気との間で効率よく熱交換される。冷却された冷却水
は、再度、サージタンク１６の冷水室１６ｃに返送され
る。これにより、冷水室１６ｃ内を常時低温の冷却水で
満たしておくことが可能となる。なお、熱交換器１８と
しては、圧縮冷凍サイクルを利用した可搬式冷却装置
（ハンディクーラユニット）を用いてもよい。

【００２０】冷却水循環ポンプ１５は、サージタンク１
６の冷水室１６ｃに接続されており、冷水室１６ｃ内の
低温の冷却水を給水母管２１に対して圧送する。給水母
管２１は、筐体７に配置されており、３個の給水口２２
ａ，２２ｂ，２２ｃを有する。給水口２２ａからは、整
合回路４に対して冷却水が供給される。すなわち、冷却
水は、図４に示すように、整合変圧器５を流通・冷却す
ると共に、整合用コンデンサ６に対して設けられた冷却
ブス内を流通する。整合用コンデンサ６の冷却ブスに
は、返送管２３ａが接続されており、この返送管２３ａ
は、サージタンク１６の温水室１６ｈに導かれている。

【００２１】また、給水口２２ｂからは、筐体７に配設
された給電ニップル１０のうちの一方に冷却水が導かれ
る。また、他方の給電ニップル１０には、返送管２３ｂ
が接続されており、この返送管２３ｂは、サージタンク
１６の温水室１６ｈに導かれている。ここで、各給電ニ
ップル１０としては、いわゆるフレアニップル端子が用
いられており、給電ニップル１０からは、高周波電力及
び冷却水の双方が供給可能となっている。更に、給水口
２２ｃからは、給電ニップル１０の下方に配設された通
水ニップル２５（図２参照）のうちの一方に冷却水が導
かれる。他方の通水ニップル２５には、返送管２３ｃが
接続されており、この返送管２３ｃは、サージタンク１
６の温水室１６ｈに導かれている。

【００２２】このように、この高周波電源装置２では、
高周波電力を発生するに際して必要とされる発振器３、
整合回路４（整合変圧器５、整合用コンデンサ６等）、
及び、冷却ユニット１４が１体の筐体７に対して配置さ
れている。従って、この高周波電源装置２は、コンパク
トに構成可能であると共に、狭いスペースにおいても使
用可能であり、かつ、容易に移動させることができる。
また、設置場所を変更しても、その都度、発振器３、整
合回路４等の仕様、配置等を変更することは一切不要と
なる。

【００２３】図５及び６に、高周波誘導加熱装置１に含
まれており、上述した高周波電源装置２に接続可能な電
流変成器１１を示す。これらの図面に示すように、電流
変成器１１は、両端部が閉鎖された円筒状のケース１１
４を有する。ケース１１４内の中央部には、鉄心１１５
が配置されており、鉄心１１５の周囲には、銅管等によ
り形成された一次巻線１１１が複数回（この場合、１１
回）にわたって巻回されている。一次巻線１１１の両端
は、ケース１１４の一方の端部（図５における左側の端
面）に配設されている給電端子１１７とそれぞれ接続さ
れている。給電端子１１７は、高周波電源装置２の給電
ニップル１０と同様に、フレアニップルとして構成され
ている。

【００２４】また、一次巻線１１１の周囲には、銅管等
により形成された二次巻線１１２が複数回（この場合、
２回）にわたり巻回されている。この二次巻線１１２に
は、給電端子１１７の上方に配設された２個の通水端子
１１８が接続されている。また、二次巻線１１２の両端
は、ケース１１４の他方の端部（図５における右側の端
面）に配設された加熱コイル取付部１１９に接続されて
いる。更に、二次巻線１１２の周囲には、互いに対向し
合うフェライトコア１１６が配置されている。このよう
なフェライトコア１１６を用いることにより、電流変成
器１１のコンパクト化を図ることができる。

【００２５】ケース１１４に配設された加熱コイル取付
部１１９には、図１に示すように、加熱コイル１２が固
定される。加熱コイル１２は、銅管等によって形成され
ており、加熱コイル取付部１１９に固定された際には、
その内部は二次巻線１１２の内部と連通することにな
る。このように、加熱コイル１２が電流変成器１１とコ
ンパクトに一体化されているので、この高周波誘導加熱
装置１は、数十ｋＷ程度の比較的小さな加熱容量が求め
られる工事現場における処理等に対して容易に適用する
ことができる。

【００２６】次に、上述した高周波誘導加熱装置１の使
用手順について説明する。この場合、まず、高周波電源
装置２を作業箇所まで移動させ、設置する。そして、加
熱コイル１２が一体化されている電流変成器１１を、加
熱対象物に対して配置すると共に、高周波電力と冷却水
を同時に供給可能な水冷式ケーブル２４（図４参照、可
撓式のものが好ましい）及び流水管２６（図４参照）に
よって高周波電源装置２に接続する。すなわち、電流変
成器１１の各給電端子１１７は、水冷式ケーブル２４に
よって高周波電源装置２の各給電ニップル１０と接続さ
れる。また、電流変成器１１の各通水端子１１８は、流
水管２６（図４参照）によって高周波電源装置２の各通
水ニップル２５と接続される。

【００２７】この状態で、高周波電源装置２に商用周波
数電力を供給すると、加熱コイル１２によって磁界が発
生され、加熱対象が加熱される。この間、冷却ユニット
１４も作動され、整合回路４には、冷却水循環ポンプ１
５によって冷却水（冷却流体）が循環供給される。すな
わち、冷却水循環ポンプ１５によってサージタンク１６
の冷水室１６ｃから吸い出された冷却水は、給水母管２
１、給水口２２ａを介して、整合変圧器５に供給され
る。整合変圧器５を流通・冷却した冷却水は、整合用コ
ンデンサ６に対して設けられた冷却ブス内を流通する。
整合変圧器５及び整合用コンデンサ６を流通・冷却した
冷却水は、返送管２３ａを介してサージタンク１６の温
水室１６ｈに戻される。

【００２８】また、電流変成器１１の一次巻線１１１の
内部には、高周波電源装置２から高周波電力が供給され
ると共に、冷却ユニット１４から冷却水が循環供給され
ることになる。すなわち、冷却水循環ポンプ１５によっ
てサージタンク１６の冷水室１６ｃから吸い出された冷
却水は、給水母管２１、給水口２２ｂ、給電ニップル１
０、水冷式ケーブル２４、給電端子１１７を介して、一
次巻線１１１内に供給される。一次巻線１１１を流通・
冷却した冷却水は、給電端子１１７、水冷式ケーブル２
４、給電ニップル１０、返送管２３ｂを介して、サージ
タンク１６の温水室１６ｈに戻される。

【００２９】また、電流変成器１１の二次巻線１１２と
接続（一体化）する加熱コイル１２は、電流変成器１１
の二次巻線１１２から高周波電流の供給を受けると共
に、二次巻線１１２を介して冷却ユニット１４から冷却
水が循環供給されることになる。すなわち、冷却水循環
ポンプ１５によってサージタンク１６の冷水室１６ｃか
ら吸い出された冷却水は、給水母管２１、給水口２２
ｃ、通水ニップル２５、流水管２６、通水端子１１８を
介して、二次巻線１１２内に供給される。二次巻線１１
２内を流通した冷却水は、加熱コイル取付部１１９を介
して、加熱コイル１２内に流入する。そして、加熱コイ
ル１２を流通・冷却した冷却水は、二次巻線１１２、通
水端子１１８、流水管２６、通水ニップル２５、返送管
２３ｃを介して、サージタンク１６の温水室１６ｈに戻
される。

【００３０】サージタンク１６の温水室１６ｈ内に戻さ
れた温水は、ポンプ１７によってラジエータ１９に圧送
される。そして、冷却ファン２０によって外気との間で
熱交換がなされて冷却された後、サージタンク１６の冷
水室１６ｃに戻され、再度、整合回路４等の冷却に供さ
れる。

【００３１】このように、高周波電源装置２を備えた高
周波誘導加熱装置１では、冷却ユニット１４から、高周
波電源装置２の整合回路４に加えて、電流変成器１１、
加熱コイル１２といった主要な外部負荷機器に対しても
冷却流体を供給することができる。これにより、外部負
荷機器を冷却するための冷却装置を別途設ける必要は一
切不要となる。すなわち、この高周波誘導加熱装置１
は、高周波誘導加熱処理に対して必要な冷却ユニット１
４を自ら備えており、整合回路４、電流変成器１１、及
び、加熱コイル１２を冷却するための冷却装置を別途設
ける必要は一切不要となる。従って、この高周波誘導加
熱装置１は、容易に移動させることができると共に、狭
いスペースにおいても使用可能である。また、設置場所
を変更しても、発振器３、整合回路４、電流変成器１
１、加熱コイル１２、冷却ユニット１４等の仕様、配置
等を変更することは一切不要となる。

【００３２】図７は、本発明による高周波電源装置及び
高周波誘導加熱装置の他の実施形態を示すブロック構成
図である。なお、上述した高周波誘導加熱装置１及び高
周波電源装置２と同一の要素については同一の符号を付
し、重複する説明は省略する。

【００３３】同図に示す高周波誘導加熱装置１Ａでは、
圧縮冷凍サイクルを利用した可搬式冷却装置（ハンディ
クーラユニット）２７が、気−液式の熱交換器１８と併
用されている。すなわち、高周波誘導加熱装置１Ａに含
まれる高周波電源装置２Ａには、別途設置された外部冷
却装置としての可搬式冷却装置２７が接続される。可搬
式冷却装置２７の冷却部２８は、冷却ユニット１４のサ
ージタンク１６内に配置されている。整合回路４、電流
変成器１１、加熱コイル１２の熱を奪って温度が上昇し
た温水は、気−液式の熱交換器１８及び可搬式冷却装置
２７の双方によって冷却される。これにより、温水をコ
ンパクトな設備によって効率よく冷却可能であるので、
高周波誘導加熱装置１Ａ及び高周波電源装置２Ａの加熱
容量を大きくすることが可能となる。

【００３４】なお、可搬式冷却装置２７の容量次第で
は、図７に示す構成から、気−液式の熱交換器１８を省
略することも可能である。また、図７に示すように、サ
ージタンク１６の内部を仕切板１６ａによって仕切るこ
とを省略することもできる。

【００３５】

【発明の効果】本発明による高周波電源装置及び高周波
誘導加熱装置は、以上説明したように構成されているた
め、次のような効果を得る。すなわち、発振器、整合回
路（整合変圧器、整合用コンデンサ等）、及び、冷却ユ
ニットが１体の高周波電源装置に配置されており、整合
回路、電流変成器、加熱コイルに対しては、冷却ユニッ
トから冷却流体が循環供給される。従って、本発明によ
る高周波電源装置及び高周波誘導加熱装置は、容易に移
動させることができると共に、狭いスペースにおいても
使用可能である。また、設置場所を変更しても、発振
器、整合回路、電流変成器、加熱コイル、冷却ユニット
等の仕様、配置等を変更することは一切不要となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による高周波誘導加熱装置を示すブロッ
ク構成図である。

【図２】本発明による高周波電源装置の正面図である。

【図３】本発明による高周波電源装置の側面図である。

【図４】本発明による高周波誘導加熱装置及び高周波電
源装置における冷却ユニットの系統図である。

【図５】本発明による高周波誘導加熱装置に含まれる電
流変成器を示す模式図である。

【図６】図５に示す電流変成器の断面図である。

【図７】本発明による高周波誘導加熱装置の他の実施形
態を示すブロック構成図である。

【図８】従来の高周波誘導加熱装置を示すブロック構成
図である。

【符号の説明】

１，１Ａ…高周波誘導加熱装置、２，２Ａ…高周波電源
装置、３…発振器、４…整合回路、５…整合変圧器、６
…整合用コンデンサ、７…筐体、１０…給電ニップル、
１１…電流変成器、１２…加熱コイル、１３…キャス
タ、１４…冷却ユニット、１５…冷却水循環ポンプ、１
６…サージタンク、１８…熱交換器、１９…ラジエー
タ、２０…冷却ファン、２４…水冷式ケーブル、２５…
通水ニップル、２６…流水管、２７…可搬式冷却装置、
１１１…一次巻線、１１２…二次巻線、１１４…ケー
ス、１１５…鉄心、１１６…フェライトコア、１１７…
給電端子、１１８…通水端子、１１９…加熱コイル取付
部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横尾 和俊 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工株式会社広島研究所内 (72)発明者 佐古 彰 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工株式会社広島製作所内 (72)発明者 江口 剛敏 東京都大田区城南島二丁目４番３号 株式 会社江口高周波内 (72)発明者 岩間 信男 東京都大田区城南島二丁目４番３号 株式 会社江口高周波内 (72)発明者 井家 仁 東京都大田区城南島二丁目４番３号 株式 会社江口高周波内 Ｆターム(参考） 3K059 AA01 AA10 AA15 AA16 AB00 AB08 AB09 AC07 AC09 AD04 AD39 AD40 CD48 CD72 CD73 CD74 CD75

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高周波誘導加熱処理を行う際に用いら
   れ、高周波電力を発生可能な高周波電源装置において、 前記高周波電力を発生させるための発振器と、 前記発振器に接続された整合回路と、 前記整合回路に冷却流体を循環供給可能であると共に、
   前記冷却流体の熱交換を行う熱交換器を含む冷却ユニッ
   トと、 前記発振器、前記整合回路、及び、前記冷却ユニットが
   配置される筐体とを備えることを特徴とする高周波電源
   装置。
2. 【請求項２】 前記高周波電力の供給を受ける外部負荷
   機器を接続可能であると共に、前記冷却ユニットは、前
   記外部負荷機器に対して前記冷却流体を循環供給可能で
   あることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装
   置。
3. 【請求項３】 前記筐体の下部に設けられたキャスタを
   更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の高
   周波電源装置。
4. 【請求項４】 前記熱交換器は、気−液式熱交換器であ
   ることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の高周
   波電源装置。
5. 【請求項５】 前記熱交換器は、圧縮冷凍サイクルを利
   用した可搬式冷却装置であることを特徴とする請求項１
   〜３の何れかに記載の高周波電源装置。
6. 【請求項６】 前記熱交換器として、気―液熱交換器
   と、圧縮冷凍サイクルを利用した可搬式冷却装置とが併
   用されていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに
   記載の高周波電源装置。
7. 【請求項７】 高周波電力による高周波誘導加熱処理を
   行う際に用いられる高周波誘導加熱装置において、 前記高周波電力を発生させるための発振器と、前記発振
   器に接続された整合回路と、前記整合回路に冷却流体を
   循環供給可能であると共に、前記冷却流体の熱交換を行
   う熱交換器を含む冷却ユニットと、前記発振器、前記整
   合回路、及び、前記冷却ユニットが配置される筐体とを
   備える高周波電源装置と、 前記高周波電源装置に接続可能であり、前記高周波電力
   の供給を受けると共に、前記冷却ユニットから前記冷却
   流体が循環供給される電流変成器と、 前記電流変成器に固定されており、前記電流変成器から
   高周波電流の供給を受けると共に、前記冷却ユニットか
   ら前記電流変成器を介して前記冷却流体が循環供給され
   る加熱コイルとを備えることを特徴とする高周波誘導加
   熱装置。